JPS61271616A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS61271616A JPS61271616A JP11136885A JP11136885A JPS61271616A JP S61271616 A JPS61271616 A JP S61271616A JP 11136885 A JP11136885 A JP 11136885A JP 11136885 A JP11136885 A JP 11136885A JP S61271616 A JPS61271616 A JP S61271616A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- film
- layer
- recording layer
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Lubricants (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、耐食性、耐摩耗性、耐久性に優れた磁気記録
媒体に関するものである。
媒体に関するものである。
［従来の技術］
近年、Ｆｅ、Ｇｏ、Ｏｒ、旧等の金属またはそれらの合
金を含む強磁性薄膜が種々の方法により基体上に形成さ
れた磁気記録媒体が実用化されはじめている。
金を含む強磁性薄膜が種々の方法により基体上に形成さ
れた磁気記録媒体が実用化されはじめている。
この磁気記録媒体の大きな特徴として、前記強磁性薄膜
の厚みをきわめて薄く構成することができるため、磁気
記録媒体に記録された信号を再生するに際し、厚み損失
を少なくすることができる。したがって、短波長での再
生が有利になる点をあげることができる。
の厚みをきわめて薄く構成することができるため、磁気
記録媒体に記録された信号を再生するに際し、厚み損失
を少なくすることができる。したがって、短波長での再
生が有利になる点をあげることができる。
しかし、先に記した金属又は合金から成る強磁性薄膜は
、腐食を起こすという重大な問題をかがえている。
、腐食を起こすという重大な問題をかがえている。
さらに大きな問題として、このような金属薄膜型磁気記
録媒体をたとえば磁気テープとして記録・再生用の装置
内で走行させ、ガイドボストあるいは磁気ヘッドと接触
、摺動した際、磁気テープを構成している強磁性薄膜が
摩耗するという問題がある。
録媒体をたとえば磁気テープとして記録・再生用の装置
内で走行させ、ガイドボストあるいは磁気ヘッドと接触
、摺動した際、磁気テープを構成している強磁性薄膜が
摩耗するという問題がある。
以上の問題は、磁気記録媒体としての＠顕性にかかわる
重要な問題であるが、これらの問題を解決する方法とし
て、従来から脂肪酸炭化水素、高級脂肪酸、オキシ脂肪
酸、脂肪酸アミド、脂肪酸エステル、脂肪アルコール、
金属セッケン等を表面に塗布することが行なわれてきた
。
重要な問題であるが、これらの問題を解決する方法とし
て、従来から脂肪酸炭化水素、高級脂肪酸、オキシ脂肪
酸、脂肪酸アミド、脂肪酸エステル、脂肪アルコール、
金属セッケン等を表面に塗布することが行なわれてきた
。
［発明が解決しようとする問題点］
従来公知の方法ではトップコート層の厚みを均一にする
ことがむずかしく、易滑その他の効果が使用するにつれ
て低下し、耐久性がない為に満足すべきものではなかっ
た。また塗布膜が厚くなると、スペーシングロスによる
出力低下が生じる。
ことがむずかしく、易滑その他の効果が使用するにつれ
て低下し、耐久性がない為に満足すべきものではなかっ
た。また塗布膜が厚くなると、スペーシングロスによる
出力低下が生じる。
以上のように、薄くて耐久性があり所定の効果を持つ被
膜を形成することは困難であった。
膜を形成することは困難であった。
本発明は、上記従来例の欠点であった腐食の問題と摩耗
の問題をきわめて少なくした磁気記録媒体を提供するこ
とを目的とする。
の問題をきわめて少なくした磁気記録媒体を提供するこ
とを目的とする。
［問題点を解決するための手段及び作用］本発明は非磁
性基体上に強磁性薄膜の磁気記録層を有し、さらに前記
強磁性薄膜の表面にＳｉとＣ。
性基体上に強磁性薄膜の磁気記録層を有し、さらに前記
強磁性薄膜の表面にＳｉとＣ。
との合金酸化膜層を有する磁気記録媒体である。
以下、本発明を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の媒体の構成図である。
非磁性基体１は、厚み５〜１００ ＩＬｍのポリエチレ
ンテレフタレート、ポリイミド、ポリカーボネート、ポ
リアミド等から成るプラスチックフィルムあるいはステ
ンレス、アルミニウム、ガラス等である。
ンテレフタレート、ポリイミド、ポリカーボネート、ポ
リアミド等から成るプラスチックフィルムあるいはステ
ンレス、アルミニウム、ガラス等である。
磁気記録層２は、Ｆｅ、Ｇｏ、Ｎｉ等の金属又は少なく
ともそれらを含む合金を、真空蒸着法、スパッタリング
法、イオンブレーティング法、メッキ法等の手段により
形成した。その膜厚は０．０５ｐｍ〜１゜０ル腸の範囲
が好ましい。
ともそれらを含む合金を、真空蒸着法、スパッタリング
法、イオンブレーティング法、メッキ法等の手段により
形成した。その膜厚は０．０５ｐｍ〜１゜０ル腸の範囲
が好ましい。
保護膜層３はＳｉとＣｏとの合金の酸化物からなり、厚
みは５０〜５００人が好ましい。５０Ａ以下であると保
護、潤滑膜としての効果が発揮されず、また５００八以
上ではヘッドと磁気記録層との間隙を増加させ、記録再
生効率を低下させる。 Ｃｏに含まれるＳｉの比率は５
〜５０ａｔ＄が好ましく、さらに５〜３０ａｔ＄がより
好ましい範囲である。 Ｇｏが多い場合は耐食性向上の
効果が十分でなく、またＣｏが少ない場合は摩擦係数の
低減効果が小さい。
みは５０〜５００人が好ましい。５０Ａ以下であると保
護、潤滑膜としての効果が発揮されず、また５００八以
上ではヘッドと磁気記録層との間隙を増加させ、記録再
生効率を低下させる。 Ｃｏに含まれるＳｉの比率は５
〜５０ａｔ＄が好ましく、さらに５〜３０ａｔ＄がより
好ましい範囲である。 Ｇｏが多い場合は耐食性向上の
効果が十分でなく、またＣｏが少ない場合は摩擦係数の
低減効果が小さい。
保護膜層３は酸素あるいはオゾン等の酸化性ガス雰囲気
中で前記１合金を真空蒸着法あるいはイオンブレーティ
ング法で形成される。あるいは酸化性ガスを含む不活性
ガス中で前記合金をスパッタリングすることにより形成
される。酸化性ガスの分圧範囲は、使用する装置の大き
さ、蒸発源と被着すべき磁気媒体との距離、成膜速度に
依存するが、真空蒸着法、イオンブレーティング法では
通常１０−４〜１Ｏ−２Ｔｏｒｒ、スパッタリング法で
は全スパッタガスに対し数％以上である。
中で前記１合金を真空蒸着法あるいはイオンブレーティ
ング法で形成される。あるいは酸化性ガスを含む不活性
ガス中で前記合金をスパッタリングすることにより形成
される。酸化性ガスの分圧範囲は、使用する装置の大き
さ、蒸発源と被着すべき磁気媒体との距離、成膜速度に
依存するが、真空蒸着法、イオンブレーティング法では
通常１０−４〜１Ｏ−２Ｔｏｒｒ、スパッタリング法で
は全スパッタガスに対し数％以上である。
［実施例］
以下、実施例により本発明をさらに詳しく説明する。
実施例１
１２ｇｍ厚のポリエチレンテレフタレート上に、組成が
Ｃｏｏ、 ａＮｉｏ、 ２である強磁性薄膜を斜め蒸着
法により０．２ ｐ−ｔｓ影形成、ざらにその表面にＣ
ａ−Ｓｉ酸化物層をスパッタ法により１００人形成した
。
Ｃｏｏ、 ａＮｉｏ、 ２である強磁性薄膜を斜め蒸着
法により０．２ ｐ−ｔｓ影形成、ざらにその表面にＣ
ａ−Ｓｉ酸化物層をスパッタ法により１００人形成した
。
Ｃｒａ−Ｓｉ酸化物はＧｏとＳｉの２源ターゲツトを同
時に使用し、酸素ガス１０％を含むＡｒガス中でスパッ
タした。ＧＯとＳｉのターゲツト面積比は５：工である
。
時に使用し、酸素ガス１０％を含むＡｒガス中でスパッ
タした。ＧＯとＳｉのターゲツト面積比は５：工である
。
比較例１
比較のために、Ｃｏ−Ｓｉ酸化物層を形成しないＣｏ−
旧の磁性層のみの磁気テープを作製した。
旧の磁性層のみの磁気テープを作製した。
以上の媒体を繕インチに裁断し、ＶＨＳビデオ用デツキ
でスチル画像を２０分間再生した後、磁性層の摩耗量を
調べたところ、本発明の磁気テープはほとんど摩耗せず
再生出力も変化しなかったのに対し、比較例１のテープ
は１０秒で磁性層がけずり取られてしまった。
でスチル画像を２０分間再生した後、磁性層の摩耗量を
調べたところ、本発明の磁気テープはほとんど摩耗せず
再生出力も変化しなかったのに対し、比較例１のテープ
は１０秒で磁性層がけずり取られてしまった。
さらに、温度７０℃、湿度９０％の恒温恒湿からなる環
境の中に、約１００時間本発明の磁気テープと比較例１
の磁気テープを入れたところ、比較例１の媒体は腐食さ
れた部分が点在していたが、本発明の磁気テープは腐食
が全く検知されなかった。
境の中に、約１００時間本発明の磁気テープと比較例１
の磁気テープを入れたところ、比較例１の媒体は腐食さ
れた部分が点在していたが、本発明の磁気テープは腐食
が全く検知されなかった。
またＳＵＳ製ポスト（４φ、表面粗さ０．２Ｓ）に対す
る動摩擦係数は、比較例１の磁気テープが０．４８であ
ったのに対し、本発明の磁気テープは０．２５であり、
極めて摩擦係数が減少した。
る動摩擦係数は、比較例１の磁気テープが０．４８であ
ったのに対し、本発明の磁気テープは０．２５であり、
極めて摩擦係数が減少した。
実施例２
厚み４０ＪＬ１のポリイミドフィルム上にＭｉ８０ｗｔ
Ｘ −Ｆｅ ２０ｖｔ駕膜を０．５ ｐ、ｔｓ 、
Ｃｏ ８０ｗｔ＄ −Ｃｒ ２０ｗｔ＄の垂直磁化膜
を０．３ル履スパツタリング法により形成した。さらに
スパッタリング法によりＧＯとＳｉのターゲットを使用
し、１２％の酸素分正中でＧｏ−Ｓｉ酸化膜層を２０Ｏ
Ａ形成した。この際ＧｏとＳｉのターゲツト面積比は７
：ｌであった。この様に作製した本発明の垂直二層フロ
ッピーディスクＡと、比較としてＣｏ−５ｉ酸化膜のな
い垂直二層フロッピーディスクＢの耐久試験を行なった
。
Ｘ −Ｆｅ ２０ｖｔ駕膜を０．５ ｐ、ｔｓ 、
Ｃｏ ８０ｗｔ＄ −Ｃｒ ２０ｗｔ＄の垂直磁化膜
を０．３ル履スパツタリング法により形成した。さらに
スパッタリング法によりＧＯとＳｉのターゲットを使用
し、１２％の酸素分正中でＧｏ−Ｓｉ酸化膜層を２０Ｏ
Ａ形成した。この際ＧｏとＳｉのターゲツト面積比は７
：ｌであった。この様に作製した本発明の垂直二層フロ
ッピーディスクＡと、比較としてＣｏ−５ｉ酸化膜のな
い垂直二層フロッピーディスクＢの耐久試験を行なった
。
その結果第２図に示した様にＧｏ−Ｓｉ酸化膜のないデ
ィスクＢは、９万バス後に再生出力が６ｄＢ減少したの
に対し、本発明のディスクＡは１００万パス後も出力の
低下およびヘッド走行キズが発生せず、極めて耐久性に
優れている。
ィスクＢは、９万バス後に再生出力が６ｄＢ減少したの
に対し、本発明のディスクＡは１００万パス後も出力の
低下およびヘッド走行キズが発生せず、極めて耐久性に
優れている。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば、耐食性ならびに
耐摩耗性に優れた磁気記録媒体を得ることができる。
耐摩耗性に優れた磁気記録媒体を得ることができる。
第１図は本発明の磁気記録媒体の構成図である。第２図
は垂直二層フロッピーディスクの耐久試験結果を示す図
である。 ｌ・・・非磁性基体 ２・・・磁気記録層 ３・・・保護膜層
は垂直二層フロッピーディスクの耐久試験結果を示す図
である。 ｌ・・・非磁性基体 ２・・・磁気記録層 ３・・・保護膜層
Claims (1)
- 非磁性基体上に強磁性薄膜からなる磁気記録層を有し、
さらにその表面にＳｉとＣｏとの合金酸化膜層を有する
ことを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11136885A JPS61271616A (ja) | 1985-05-25 | 1985-05-25 | 磁気記録媒体 |
| CA000509810A CA1307173C (en) | 1985-05-25 | 1986-05-23 | Magnetic recording medium |
| US06/866,315 US4756967A (en) | 1985-05-25 | 1986-05-23 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11136885A JPS61271616A (ja) | 1985-05-25 | 1985-05-25 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61271616A true JPS61271616A (ja) | 1986-12-01 |
Family
ID=14559419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11136885A Pending JPS61271616A (ja) | 1985-05-25 | 1985-05-25 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61271616A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG143046A1 (en) * | 2003-06-30 | 2008-06-27 | Shinetsu Chemical Co | Substrate for magnetic recording medium |
-
1985
- 1985-05-25 JP JP11136885A patent/JPS61271616A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG143046A1 (en) * | 2003-06-30 | 2008-06-27 | Shinetsu Chemical Co | Substrate for magnetic recording medium |
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