JPS61278013A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明は金属薄膜磁気記録媒体に関するものである。

［従来の技術］ 真空中で機能性薄膜を形成する技術の進歩は、近年めざ
ましいものがある。中でも、プラスチックフィルム七へ
の薄膜形成技術を用いた磁気記録媒体は、従来から、例
えばオーディオ用磁気テープ、パーソナルコンピュータ
ー用フロッピーディスク等として使われてきた、いわゆ
る塗布型媒体に代わり、最近では記録密度を更に向上さ
せるために、金属または金属化合物の蒸着薄膜またはス
パッタ薄膜を磁性層とする金属薄膜型磁気記録媒体の研
究開発が進んでいる。

磁気テープ、磁気ディスクに代表きれる磁気記録媒体は
、磁気的性能を満足させつつ、摩擦係数が小さく、円滑
な走行安定性を示すこと、耐摩耗性に優れ、長期にわた
る安定走行を維持する耐久性があること、いつでもどこ
でも安定な性能が発揮できる耐環境性が強く要求される
。高密度記録された情報を長期にわたって安定でいつで
も確実に再生できるように、これら金属表面がむき出し
のままとなっている高密度磁気記録媒体では、ヘッドと
媒体の摺動により傷がつきやすいため、ヘッドと媒体と
の間の潤滑を向ｔさせた走行安定性、耐久性等が一段と
強く要望される。

走行安定性、耐久性を向上する方法としては、従来より
フッ素系やシリコン系オイル、界面活性剤、滑剤などの
潤滑剤を塗布する方法や、直鎖の飽和脂肪酸ないしその
エステルを蒸着等によりトップコートする方法が検討さ
れている。

［発明が解決しようとする問題点］ 従来公知の方法では、塗牟剤の均一な混合または塗布が
難しい事やトップコートに十分な耐久性がなく、潤滑効
果が低減する傾向があった。このように潤滑効果を長期
維持した長期信頼性のある薄い被膜を形成することは困
難であった。

本発明はに記従来技術に鑑みてなされたもので、走行安
定性、耐久性、潤滑性等の表面特性が優れた磁気記録媒
体を提供することを目的としている。

［問題点を解決するための手段及び作用］本発明によれ
ば、非磁性基体上に金属磁性薄膜を有する金属薄膜磁気
記録媒体であって、前記金属磁性薄膜上に炭化ハフニウ
ム薄膜を有することを特徴とする磁気記録媒体が提供さ
れる。

本発明者は磁気記録媒体の金属磁性薄膜上に炭化ハフニ
ウムの薄膜を積層させることにより、走行安定性、耐久
性に非常に優れた効果゛を発揮することを見出した。す
なわち、金属薄膜表面に炭化ハフニウムの薄膜を積層さ
せることで、低摩擦係数で潤滑性、耐久性に優れる長期
安定性のある媒体となる。

以下、図面を用い本発明を説明する。第１図は本発明の
磁気記録媒体の一例を示す側面図である。第１図におい
て非磁性基体ｌトに金属磁性薄膜２が形成きれ、さらに
そのＬに炭化ハフニウム層３が形成されている。金属薄
膜磁気記録媒体の非磁性基体ｌとしては、−ポリエステ
ル、ポリイミド、ポリアミド等の５〜１００μｍ程度の
高分子フィルムが好ましく用いられるが、その他、ガラ
ス、アルミニウムのような非磁性金属なども必要に応じ
て用いることができ、基本的には所望の磁性層形成面を
与える任意の非磁性固体材料が用いられる。また金属あ
るいは金属化合物の磁性層としては、Ｆｅ、　Ｎｉ、　
Ｆｅ−Ｇｏ、　Ｇｏ−Ｎｉ、　Ｇｏ−Ｇｒ、　Ｇｏ−Ｐ
。

Ｍｎ−Ｂ１．　Ｆｅ−Ｇｏ−Ｂ、　Ｃｏ−Ｎ１−Ｐ、　
Ｇｏ−Ｖ、　Ｇｏ−Ｒｅ、　Ｇｏ−Ｐｔ等が挙げられる
が、本発明の特許はこれを制限するものではない。さら
に金属磁性薄膜と非磁性基体との間に特性向」二のため
のＦｅ−Ｎｉ系や非晶質高透磁率材料であるＣｏ−Ｚｒ
系、Ｆｅ−Ｐ−Ｃ系、Ｇｏ−５ｉ−Ｂ系等の軟磁性膜や
Ｔｉ、　Ｇａ等の・非磁性金属薄膜などのような中間層
を設けてもよい。中間層や金属磁性薄膜、炭化ハフニウ
ムは、同一真空槽内で生産性を損わないように連続工程
にすることも可能である。金属磁性薄膜の厚さは０．０
５〜１．０μｍが好ましい。炭化ハフニウムを形成する
手段としては、ＣＶＤ　、プラズマＣＶＤ　、高周波ス
パッタ、マグネトロンスパ・ツタ、反応スパッタ、イオ
ン、ブレーティング等が適用されうる。

炭化ハフニウムの膜厚は３０〜１００ＯＡが好ましく、
更に好ましくは５０〜３００Ａである。炭化ハフニウム
の厚みを厚くすれば長期走行安定性は向上するが、スペ
ーシングロスも大きくなって、再生信号出力も小さくな
るため好ましくない。また、薄すぎても長期にわたる耐
久性が得られず信頼性がないため好ましくない。

［実施例］ 以下実施例により本発明をさらに詳しく説明する。

実施例１ １２ｇｍ厚のＰＥＴ上にＣｏＮ　ｉ合金（Ｃｏ　８０ｗ
ｔ＄−Ｎｉ２０ｗｔ％　）を０．２７Ｌｍに蒸着した磁
気テープを作った。更に炭化ハフニウムターゲットを配
したマグネトロンスパッタにより、真空槽内を２．５　
×１Ｏ−４Ｐａ以上まで排気した後、アルゴンを導入し
てスパッタ圧０．４Ｐａの条件で炭化ハフニウムを１２
０Ａ厚になる様にスパッタした。

実施例２ １０ル膜厚のアラミドフィルムにＱｏＣｒ含ＣｒＣｒ２
０ｗｔ％　）を０．５　ｇｒｍ　スバ・ツタした磁気テ
ープを作った。さらに炭化ハフニウムターゲットを配し
たマグネトロンスパッタにより真空槽内を２．５　Ｘ　
１０１Ｐａ以上まで排気した後アルゴンを導入してスパ
ッタ圧０　、５Ｐａの条件で炭化ハフニウムを７ＯＡ厚
になる様にスパッタした。

実−施例３ ４０ＩＬ１１厚のポリイミドフィルムにパーマロイＦｅ
−Ｎｉ　　（Ｆｅ　２０ｗｔ％−Ｎｉ　８０ｗｔ％　）
　０．５　ｇｍ及びＣｏＣｒ（Ｏｒ　２０ｗｔ％）合金
をその」−に０．５　ｐ、ｔａ蒸着した１５０ｍｍφの
磁気ディスクを作った。炭化ハフニウムターゲットを配
したマグネトロンスパッタにより真空槽内を２．５　Ｘ
　１（１４Ｐａ以上まで排気した後、アルゴンを導入し
てスパッタ圧０．３Ｐａの条件で炭化ハフニウムを３０
ＯＡ厚スパツタした。

比較例１〜３ 実施例１〜３において炭化ハフニウム層を金属磁性薄膜
層上に積層しないものをそれぞれ比較例１〜３とし、そ
の他の条件は実施例１〜３と同一にした。

実施例１〜３．比較例１〜３の試料を用いて次の性能実
験を行った。

〔動摩擦係数〕

３０°０．８０％ＲＨの恒温恒湿室中で各試料を１００
回往復させて走行させ、最初と１００回目の往復時にお
ける動摩擦係数ｋを表１に示した。

表１ 表１より実施例１〜３の炭化ハフニウムの薄膜を金属磁
性薄膜上に形成するだけで動摩擦係数は２／３程度とな
り、１００回往復後でもほとんど動摩擦係数の変化が見
られない。それに対し、比較例１〜３では動摩擦係数体
の大幅な増加が認められた。これらから炭化ハフニウム
薄膜は長期にわたり低摩擦を維持し、走行安定性、耐久
性向上に寄与していることがわかる。

〔走行耐久性〕

市販のＶＴＲ装置のスチルモードにて、スチル再生寿命
（分）を磁気テープである実施例１，２、比較例１．２
のサンプルで行った。スチル再生寿命としては、最初の
再生出力の半分になるまでの時間を測定し、また、磁気
ディスクである実施例３、比較例３のサンプルの場合は
、垂直記録方式専用の録再装置で１８００ｒｐ腸、サン
プリング周波数（輝度信号）　７．１８ＭＨｚで録画し
た画像の再生出力が半分になるまでの走行回数パスを測
定した。その結果を表１に示した。本発明により、耐摩
耗性、耐久性が大幅に向上されたことが分かる。

〔耐食性〕

本発明のテープ（実施例１）と炭化ハフニウムのない磁
気テープ（比較例１）を６０℃、８５％の恒温恒湿中に
放置し、サビの発生および飽和磁束密度ＢＳの変化を測
定した。比較例１のテープには２時間後にすでにサビの
発生が見られたのに対し、本発明のテープ（実施例１）
には１０００時間放置後もサビの発生がなかった。また
Ｂｓは第２図に示した様に比較例１のテープではＧｏ−
Ｎｉ膜の酸化進行とともに減少したのに対し、実施例１
のテープには変化が見られず極めて耐食性に優れている
。

これらの結果から、本発明の磁気記録媒体が走行安定性
、耐久性、潤滑性等の表面特性が優れていることがわか
る。

［発明の効果］ 以上説明した様に本発明によれば、磁気記録媒体の金属
磁性薄膜表面に炭化ハフニウムの薄膜を積層させること
により長期走行安定性が維持され、耐久性、耐摩耗性、
潤滑性が向トし、生産性や磁気特性を損うことのない磁
気記録媒体を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の磁気記録媒体を説明する図である。第
２図は実施例１と比較例１の耐食性を示す図である。 １・・・非磁性基体、２・・・金属磁性薄膜、３・・・
炭化ハフニウム層、 ４・・・実施例１のＢｓの変化、 ５・・・比較例１のＢｓの変化。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性基体上に金属磁性薄膜を有する金属薄膜磁気記録
   媒体であって、前記金属磁性薄膜上に炭化ハフニウム薄
   膜を有することを特徴とする磁気記録媒体。