JPS61259580A - サ−モパイル - Google Patents
サ−モパイルInfo
- Publication number
- JPS61259580A JPS61259580A JP60102134A JP10213485A JPS61259580A JP S61259580 A JPS61259580 A JP S61259580A JP 60102134 A JP60102134 A JP 60102134A JP 10213485 A JP10213485 A JP 10213485A JP S61259580 A JPS61259580 A JP S61259580A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermopile
- temperature
- substrate
- cold contact
- thermistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/80—Constructional details
- H10N10/81—Structural details of the junction
- H10N10/817—Structural details of the junction the junction being non-separable, e.g. being cemented, sintered or soldered
Landscapes
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野1
この発明は、放射エネルギーを検出するサーモパイルの
温度補償に関するものである。
温度補償に関するものである。
[従来の技術1
4ノーエバイル型赤外線検出素子は、微少な熱電対群を
基板上に直列に形成し、受光部(温接点部)に放射エネ
ルギーを入射させ、非受光部(冷接点部)との温度差に
応じた電圧出力を取り出すようなものである。
基板上に直列に形成し、受光部(温接点部)に放射エネ
ルギーを入射させ、非受光部(冷接点部)との温度差に
応じた電圧出力を取り出すようなものである。
被測定対象の温度が低くなると、冷接点部の温度が無視
できなくなり、濃度補償が必要となる。
できなくなり、濃度補償が必要となる。
通常は、サーミスタ等の淘劇検出器を、サーモパイル検
出素子のパッケージに外イー」けして接触させたりして
温度を測定し、温度補償を行っていた。
出素子のパッケージに外イー」けして接触させたりして
温度を測定し、温度補償を行っていた。
[この発明か解決しようどづる問題点]しかしながら、
このにうに、素子の外部の雰囲気渦電を測定する方法で
は、得られた温度はサーモパイルの冷接点部の実際の温
度とは異なり、正確な温度補償かなされない問題点があ
った。また、リーーモパイルと別に温度素子を設りるた
め部品点数を多く必要とし、取(=J智が煩雑であった
。
このにうに、素子の外部の雰囲気渦電を測定する方法で
は、得られた温度はサーモパイルの冷接点部の実際の温
度とは異なり、正確な温度補償かなされない問題点があ
った。また、リーーモパイルと別に温度素子を設りるた
め部品点数を多く必要とし、取(=J智が煩雑であった
。
この発明の目的は、以」−の点に鑑み、より正確な温度
補償を可能としたり゛−モバイルを提供することである
。
補償を可能としたり゛−モバイルを提供することである
。
[問題点を解決するための手段]
この発明は、基板に形成されたサーモパイルの冷接点部
の少くとも一部にサーミスタ等の温度素子を設けるよう
にしたサーモパイルである。
の少くとも一部にサーミスタ等の温度素子を設けるよう
にしたサーモパイルである。
[実施例1
@1図は、この発明の一実施例を示す平面説明図、第2
図は、断面説明図である。
図は、断面説明図である。
図において、1は、ガラス、セラミック、高分子フィル
ム等よりなる絶縁性の基板で、この基板1上に、81〜
S b等の異種金属よりなる複数の熱雷対21.22群
か、酒肴で交互に電気的に接続して放射状に形成されて
サーモバイルとされ、中心部か温接点部、外周部が冷接
点部とされいる。
ム等よりなる絶縁性の基板で、この基板1上に、81〜
S b等の異種金属よりなる複数の熱雷対21.22群
か、酒肴で交互に電気的に接続して放射状に形成されて
サーモバイルとされ、中心部か温接点部、外周部が冷接
点部とされいる。
熱雷対21.22群の一端の電極3.3より外部に電圧
用ノつが取り出せ、また、熱雷対21.22群の表面に
は、SiO等よりなる絶縁膜4が蒸着等で形成され、中
心部には金ブラック等の黒化膜5が蒸着等で形成されて
いる。そして、基板1の裏面の熱雷対21.22群の冷
接点部に対応した全周または一部にスパッタリング等で
形成された薄膜のサーミスタ等よりなる温度素子6が設
けられている。
用ノつが取り出せ、また、熱雷対21.22群の表面に
は、SiO等よりなる絶縁膜4が蒸着等で形成され、中
心部には金ブラック等の黒化膜5が蒸着等で形成されて
いる。そして、基板1の裏面の熱雷対21.22群の冷
接点部に対応した全周または一部にスパッタリング等で
形成された薄膜のサーミスタ等よりなる温度素子6が設
けられている。
つまり、このサーモパイルにおいて、中心部の黒化膜5
に入射した放射エネルギーは、熱に変換され、温接点部
を加熱し、周辺の冷接点部との温度差を生じ、この濡m
差に応じた電圧出力が端子3.3より取り出される。そ
して、冷接点部の温度は、濃度索子6により検出され、
温度補償用の信号として用いられ、より正しい測定を可
能としている。
に入射した放射エネルギーは、熱に変換され、温接点部
を加熱し、周辺の冷接点部との温度差を生じ、この濡m
差に応じた電圧出力が端子3.3より取り出される。そ
して、冷接点部の温度は、濃度索子6により検出され、
温度補償用の信号として用いられ、より正しい測定を可
能としている。
また、調度素子6は、基板1の表面側の冷接点−3一
部に形成してもよく、このサーモパイル素子全体は、適
当な基台に設けられ、パッケージに収納されて使用され
る。
当な基台に設けられ、パッケージに収納されて使用され
る。
[発明の効果]
以上述べたように、この発明は、サーモパイル素子の基
板の冷接点部に近接して薄膜サーミスタ等の調度素子を
設けて一体化し、温度補償を行っているので、余分な部
品は不要で、きわめて小型で、しかも、正確な冷接点温
度が迅速に検出でき、きわめて高精度の測定が可能であ
る。
板の冷接点部に近接して薄膜サーミスタ等の調度素子を
設けて一体化し、温度補償を行っているので、余分な部
品は不要で、きわめて小型で、しかも、正確な冷接点温
度が迅速に検出でき、きわめて高精度の測定が可能であ
る。
第1図、第2図は、この発明の一実施例を示す構成説明
図である。 1・・・基板、 21.22・・・熱電対(サーモバイ
ル)、 3・・・電極、 4・・・絶縁膜、 5・・・
黒化膜、6・・・温度素子
図である。 1・・・基板、 21.22・・・熱電対(サーモバイ
ル)、 3・・・電極、 4・・・絶縁膜、 5・・・
黒化膜、6・・・温度素子
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、基板上に形成されたサーモパイルと、このサーモパ
イルの冷接点部の少くとも一部に設けられた温度素子と
を備えたことを特徴とするサーモパイル。 2、前記温度素子として、薄膜サーミスタを用いたこと
を特徴とする特許請求の範囲第1項記載のサーモパイル
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60102134A JPS61259580A (ja) | 1985-05-13 | 1985-05-13 | サ−モパイル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60102134A JPS61259580A (ja) | 1985-05-13 | 1985-05-13 | サ−モパイル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61259580A true JPS61259580A (ja) | 1986-11-17 |
Family
ID=14319294
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60102134A Pending JPS61259580A (ja) | 1985-05-13 | 1985-05-13 | サ−モパイル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61259580A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH672705GA3 (en) * | 1988-02-22 | 1989-12-29 | Migowski Friedrich Karl | Thermoelectric generator structure using P and N elements |
US7834263B2 (en) | 2003-12-02 | 2010-11-16 | Battelle Memorial Institute | Thermoelectric power source utilizing ambient energy harvesting for remote sensing and transmitting |
US7851691B2 (en) | 2003-12-02 | 2010-12-14 | Battelle Memorial Institute | Thermoelectric devices and applications for the same |
EP2549250A2 (en) | 2011-07-20 | 2013-01-23 | Melexis Technologies NV | Thermopile design for an infrared sensor |
US8455751B2 (en) | 2003-12-02 | 2013-06-04 | Battelle Memorial Institute | Thermoelectric devices and applications for the same |
US9281461B2 (en) | 2003-12-02 | 2016-03-08 | Battelle Memorial Institute | Thermoelectric devices and applications for the same |
CN106098925A (zh) * | 2016-06-28 | 2016-11-09 | 杜效中 | 一种用陶瓷薄膜做基材的薄膜热电半导体器件的制作方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5331985A (en) * | 1976-09-06 | 1978-03-25 | Seiko Epson Corp | Thermoelectric generator for wristwatches |
-
1985
- 1985-05-13 JP JP60102134A patent/JPS61259580A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5331985A (en) * | 1976-09-06 | 1978-03-25 | Seiko Epson Corp | Thermoelectric generator for wristwatches |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH672705GA3 (en) * | 1988-02-22 | 1989-12-29 | Migowski Friedrich Karl | Thermoelectric generator structure using P and N elements |
US7834263B2 (en) | 2003-12-02 | 2010-11-16 | Battelle Memorial Institute | Thermoelectric power source utilizing ambient energy harvesting for remote sensing and transmitting |
US7851691B2 (en) | 2003-12-02 | 2010-12-14 | Battelle Memorial Institute | Thermoelectric devices and applications for the same |
US8455751B2 (en) | 2003-12-02 | 2013-06-04 | Battelle Memorial Institute | Thermoelectric devices and applications for the same |
US9281461B2 (en) | 2003-12-02 | 2016-03-08 | Battelle Memorial Institute | Thermoelectric devices and applications for the same |
EP2549250A2 (en) | 2011-07-20 | 2013-01-23 | Melexis Technologies NV | Thermopile design for an infrared sensor |
CN106098925A (zh) * | 2016-06-28 | 2016-11-09 | 杜效中 | 一种用陶瓷薄膜做基材的薄膜热电半导体器件的制作方法 |
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