JPS61254436A - ウエハ吸着検出器 - Google Patents
ウエハ吸着検出器Info
- Publication number
- JPS61254436A JPS61254436A JP9384285A JP9384285A JPS61254436A JP S61254436 A JPS61254436 A JP S61254436A JP 9384285 A JP9384285 A JP 9384285A JP 9384285 A JP9384285 A JP 9384285A JP S61254436 A JPS61254436 A JP S61254436A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- pressure
- compressed air
- attracted
- wall
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はウェハプロセス工程の製造装置等において使用
されるウェハ吸着器がウエノ）を吸着したことを検出す
るウェハ吸着検出器に関する。
されるウェハ吸着器がウエノ）を吸着したことを検出す
るウェハ吸着検出器に関する。
ウェハ吸着器は円錐形状部材の内壁に沿って圧縮空気を
噴出させ、円錐形状部材下方に載置されたウェハを円錐
形状部材に吸着するもので、ペルヌイチャツクという名
称で呼ばれているものである。
噴出させ、円錐形状部材下方に載置されたウェハを円錐
形状部材に吸着するもので、ペルヌイチャツクという名
称で呼ばれているものである。
第３図はかかる従来のベルヌイチャックの概略図である
。第６図において、（１）は円錐形状のベルヌイチャッ
ク本体、（２）は本体（１）に圧縮空気を供給するホー
ス、（３）はホース（２）から供給される圧縮空気を本
体（１）の内壁に沿って放射状に噴出するノズル、（４
）は本体（１）に取り付けた光検出器、（６）は光検出
器（４）の出力用のケーブル、（５）はベルヌイ効果に
より本体（１）に吸着されるウェアである。
。第６図において、（１）は円錐形状のベルヌイチャッ
ク本体、（２）は本体（１）に圧縮空気を供給するホー
ス、（３）はホース（２）から供給される圧縮空気を本
体（１）の内壁に沿って放射状に噴出するノズル、（４
）は本体（１）に取り付けた光検出器、（６）は光検出
器（４）の出力用のケーブル、（５）はベルヌイ効果に
より本体（１）に吸着されるウェアである。
次に、このベルヌイチャックの動作について説明する。
ホース（２）を介してノズル（３）に供給される圧縮空
気が本体（１）の内壁に沿って噴出されると、ベルヌイ
効果により上向きの吸引力が発生する。
気が本体（１）の内壁に沿って噴出されると、ベルヌイ
効果により上向きの吸引力が発生する。
この吸引力により点線で示す位置にあったウェハ（５）
は本体（１）に吸着されて上昇し、実線で示す位置でバ
ランスして止まる。このとき光検出器（４）がウェハ（
５）からの反射光を検知し、ウェハ（５）の吸着が検出
される。
は本体（１）に吸着されて上昇し、実線で示す位置でバ
ランスして止まる。このとき光検出器（４）がウェハ（
５）からの反射光を検知し、ウェハ（５）の吸着が検出
される。
ところで、従来の光学式の光検出器はウニ／’ （５）
の表面の状態、ウェハ（５）の表面処理に施し方、本体
（１）にｇ＆着されたウェハ（５）の姿勢、パターンが
形成されたウェハ（５）に当る光の位置及びウェハ（５
）に付着した水滴などによりウェハ（５）を正しく検知
しないという問題があった。
の表面の状態、ウェハ（５）の表面処理に施し方、本体
（１）にｇ＆着されたウェハ（５）の姿勢、パターンが
形成されたウェハ（５）に当る光の位置及びウェハ（５
）に付着した水滴などによりウェハ（５）を正しく検知
しないという問題があった。
また、ウェハ（５）が吸着により移動する距離が短かい
ときはウェハ（５）の吸着を検出できないという問題が
あった。
ときはウェハ（５）の吸着を検出できないという問題が
あった。
本発明は上記問題点を解決するため罠なされたもので、
ウェハ（５）がどのような状態であっても、その吸着を
検出できるウェハ吸着検出器を提供することを目的とす
る。
ウェハ（５）がどのような状態であっても、その吸着を
検出できるウェハ吸着検出器を提供することを目的とす
る。
そこで本発明では、円錐形状のベルヌイチャック本体の
内壁に沿って圧縮空気を噴出させ、ベルヌイチャツク本
体下方に置かれたウエノ１がベルヌイチャツク本体に吸
着されたことを、ベルヌイチャツク本体と吸着されたウ
ェハとの間の圧力の変化により検出するウェハ吸着検出
器を構成する。
内壁に沿って圧縮空気を噴出させ、ベルヌイチャツク本
体下方に置かれたウエノ１がベルヌイチャツク本体に吸
着されたことを、ベルヌイチャツク本体と吸着されたウ
ェハとの間の圧力の変化により検出するウェハ吸着検出
器を構成する。
上記構成のウェハ吸着検出器はウェハがベルヌイチャッ
ク本体に吸着されるとベルヌイチャックとウェハとの間
の圧力が大きく変化し、この圧力の変化によりウェハの
吸着を検出する。
ク本体に吸着されるとベルヌイチャックとウェハとの間
の圧力が大きく変化し、この圧力の変化によりウェハの
吸着を検出する。
以下本発明の一実施例を添付図面を参照して詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明に係るウェハ吸着検出器を備えたがベル
ヌイチャックの概略図である。なおＪ１図において第３
図と同様の機能を果たす部分については同一の符号を付
し、その説明は省略する。
ヌイチャックの概略図である。なおＪ１図において第３
図と同様の機能を果たす部分については同一の符号を付
し、その説明は省略する。
また、（８）はノズル（３）への圧縮空気の供給及び供
給の停止を行なう電磁パルプ、（９）は電磁パルプ（８
）を介してノズル（３）へ供給する圧縮空気量を調整す
るための圧力レギュレータ、αυはベルヌイチャックの
本体（１）と吸着されたウェハ（５）との間のＡ点の圧
力を伝達する検出管、α１は検出管（１１）から伝達さ
れる圧力を電気信号に変え、吸着検出信号α２を出力す
る圧力検出器である。
給の停止を行なう電磁パルプ、（９）は電磁パルプ（８
）を介してノズル（３）へ供給する圧縮空気量を調整す
るための圧力レギュレータ、αυはベルヌイチャックの
本体（１）と吸着されたウェハ（５）との間のＡ点の圧
力を伝達する検出管、α１は検出管（１１）から伝達さ
れる圧力を電気信号に変え、吸着検出信号α２を出力す
る圧力検出器である。
次（二本発明６二係るウェハ吸着器の動作Ｃ：ついて説
明する。まず、電磁バルブ（８）を開くと、圧力レギュ
レータ（９） ｃよって設定された所定圧力の圧縮空気
が電磁バルブ（８）及びホース（２）を介してノズル（
３） ｃ供給され、さら（二本体（１）の内壁（：沿っ
て噴出され上向きの吸引力が生じる。この吸引力により
点線で示す位置（二あったウェハ（５）は本体（１）
Ｃ吸着され、実線で示す位置Ｉ：到達する。ウェハ（５
）の移動曝；より、Ａ点の圧力（負圧）が検出管Ｉを介
して圧力検出器αＱに伝達されると、圧力検出器αＱは
Ａ点の圧力を予め設定された圧力と比較し、ウェハ（５
）の吸着又は非吸着を示す電気信号に変換して出力する
。
明する。まず、電磁バルブ（８）を開くと、圧力レギュ
レータ（９） ｃよって設定された所定圧力の圧縮空気
が電磁バルブ（８）及びホース（２）を介してノズル（
３） ｃ供給され、さら（二本体（１）の内壁（：沿っ
て噴出され上向きの吸引力が生じる。この吸引力により
点線で示す位置（二あったウェハ（５）は本体（１）
Ｃ吸着され、実線で示す位置Ｉ：到達する。ウェハ（５
）の移動曝；より、Ａ点の圧力（負圧）が検出管Ｉを介
して圧力検出器αＱに伝達されると、圧力検出器αＱは
Ａ点の圧力を予め設定された圧力と比較し、ウェハ（５
）の吸着又は非吸着を示す電気信号に変換して出力する
。
第６図はＡ点Ｉ：おける圧力の変化を示すグラフである
。第６図６；おいて、点線（ａｌはウェハ（５）を点線
で示す位置１：固定したときのＡ点Ｃ：おける負圧の変
化を示すもので、負圧は圧縮空気の圧力が増加するの６
＝比例して徐々６；増加する。又、実線（ｂｌはウェハ
（５）を点線で示す位置（：置いたときのＡ点（：おけ
る負圧の変化を示すもので、負圧は圧縮空気の圧力が増
加するの（：比例して徐々６二増加するが、圧縮空気の
圧力がＰからＰ′（：変わるとき（；急激（：増加する
。これは圧縮空気の圧力がＰ’（＝なったときＣ；ウェ
ハ（５）が吸着されたことに起因するもので、ウェハ（
５）の吸着時と非吸着時とでは、約４．０■Ｈ，０の負
圧の差がある。従って、圧力検出器（ト）はウェハ（５
）の吸着を確実Ｃ二検出できること（；なる。
。第６図６；おいて、点線（ａｌはウェハ（５）を点線
で示す位置１：固定したときのＡ点Ｃ：おける負圧の変
化を示すもので、負圧は圧縮空気の圧力が増加するの６
＝比例して徐々６；増加する。又、実線（ｂｌはウェハ
（５）を点線で示す位置（：置いたときのＡ点（：おけ
る負圧の変化を示すもので、負圧は圧縮空気の圧力が増
加するの（：比例して徐々６二増加するが、圧縮空気の
圧力がＰからＰ′（：変わるとき（；急激（：増加する
。これは圧縮空気の圧力がＰ’（＝なったときＣ；ウェ
ハ（５）が吸着されたことに起因するもので、ウェハ（
５）の吸着時と非吸着時とでは、約４．０■Ｈ，０の負
圧の差がある。従って、圧力検出器（ト）はウェハ（５
）の吸着を確実Ｃ二検出できること（；なる。
なお、本実施例では負圧を電気的信号Ｉ：変換するよう
（ニジたが、マノメータなどを用い機械的な力（：変換
しても良い。
（ニジたが、マノメータなどを用い機械的な力（：変換
しても良い。
また、本発明Ｃ：係るウェハ吸着検出器はクエへの吸着
を検出するよう逼二したが、ウェハ以外の物を検出する
ようにしても良い。
を検出するよう逼二したが、ウェハ以外の物を検出する
ようにしても良い。
以上説明したよう（二本発明によれば、円錐形状のベル
ヌイテヤツク本体の内壁Ｃ：沿って圧縮空気ヲ噴出させ
、このベルヌイテヤツク本体下方（：置かれたウェハが
ベルヌイテヤツク本体Ｃ：吸着されたことを、ベルヌイ
テヤツク本体と吸着されたりエバどの間の圧力の変化に
より検出するようｃ Ｌ。
ヌイテヤツク本体の内壁Ｃ：沿って圧縮空気ヲ噴出させ
、このベルヌイテヤツク本体下方（：置かれたウェハが
ベルヌイテヤツク本体Ｃ：吸着されたことを、ベルヌイ
テヤツク本体と吸着されたりエバどの間の圧力の変化に
より検出するようｃ Ｌ。
だので、ウェハの材質、ウェハの表面の状態、ウェハの
姿勢、ウェハに付着した水滴など（−影響されることが
ない。
姿勢、ウェハに付着した水滴など（−影響されることが
ない。
また、吸着によってウェハの移動する距離が短かくても
、ウェハの吸着を確実に検出できる。
、ウェハの吸着を確実に検出できる。
第１図は本発明に係るウェハ吸着検出器を備えたベルヌ
イテヤツクの概略図、第２図は第１図のＡ点啄二おける
圧力の変化を示すグラフ、第６図は従来のベルヌイチャ
ックの概略図である。 図中１はベルヌイテヤツクの本体、２はホース、６はノ
ズル、５はウェハ、８は電磁バルブ、９は圧力レギュレ
ータ、１０は圧力検出器、１１は検出管、１２は出力信
号である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示すもので
ある。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第２図 ｍ Ｈ２Ｏ 納醇慨４尺力 第３図
イテヤツクの概略図、第２図は第１図のＡ点啄二おける
圧力の変化を示すグラフ、第６図は従来のベルヌイチャ
ックの概略図である。 図中１はベルヌイテヤツクの本体、２はホース、６はノ
ズル、５はウェハ、８は電磁バルブ、９は圧力レギュレ
ータ、１０は圧力検出器、１１は検出管、１２は出力信
号である。 なお、各図中同一符号は同−又は相当部分を示すもので
ある。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第２図 ｍ Ｈ２Ｏ 納醇慨４尺力 第３図
Claims (1)
- 円錐形状部材の内壁に沿つて圧縮空気を噴出させ、該円
錐形状部材下方に置かれたウェハを該円錐形状部材に吸
着する装置のウェハ吸着検出器において、前記円錐形状
部材とウェハとの間の圧力を検知し、該ウェハが該円錐
形状部材に吸着されたことを検出することを特徴とする
ウェハ吸着検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9384285A JPS61254436A (ja) | 1985-05-02 | 1985-05-02 | ウエハ吸着検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9384285A JPS61254436A (ja) | 1985-05-02 | 1985-05-02 | ウエハ吸着検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61254436A true JPS61254436A (ja) | 1986-11-12 |
Family
ID=14093649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9384285A Pending JPS61254436A (ja) | 1985-05-02 | 1985-05-02 | ウエハ吸着検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61254436A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5207467A (en) * | 1990-08-31 | 1993-05-04 | International Business Machines Corporation | Monitor for detecting the absence of an electronic component on a vacuum pickup |
| US5324087A (en) * | 1990-04-27 | 1994-06-28 | Sony Corporation | Sucked substrate detecting apparatus |
| WO2010041965A1 (en) * | 2008-10-10 | 2010-04-15 | Xiaoqi Chen | Non-contact lifting and locomotion device |
| JP2010527805A (ja) * | 2007-05-31 | 2010-08-19 | ヨナス アンド レードマン アウトマーツィオーンズテヒニク ゲーエムベーハー | ベルヌーイ・グリッパからなるグリッパ |
| JP2012040621A (ja) * | 2010-08-13 | 2012-03-01 | Is Engineering:Kk | 非接触吸着装置 |
| CN102588422A (zh) * | 2012-03-12 | 2012-07-18 | *** | 非接触式吸盘 |
| JP2013136111A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-11 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 非接触搬送装置、配線基板の製造方法 |
-
1985
- 1985-05-02 JP JP9384285A patent/JPS61254436A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5324087A (en) * | 1990-04-27 | 1994-06-28 | Sony Corporation | Sucked substrate detecting apparatus |
| US5207467A (en) * | 1990-08-31 | 1993-05-04 | International Business Machines Corporation | Monitor for detecting the absence of an electronic component on a vacuum pickup |
| JP2010527805A (ja) * | 2007-05-31 | 2010-08-19 | ヨナス アンド レードマン アウトマーツィオーンズテヒニク ゲーエムベーハー | ベルヌーイ・グリッパからなるグリッパ |
| WO2010041965A1 (en) * | 2008-10-10 | 2010-04-15 | Xiaoqi Chen | Non-contact lifting and locomotion device |
| GB2476423A (en) * | 2008-10-10 | 2011-06-22 | Xiaoqi Chen | Non-contact lifting and locomotion device |
| GB2476423B (en) * | 2008-10-10 | 2013-04-24 | Xiaoqi Chen | Non-contact lifting and locomotion device |
| JP2012040621A (ja) * | 2010-08-13 | 2012-03-01 | Is Engineering:Kk | 非接触吸着装置 |
| JP2013136111A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-11 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 非接触搬送装置、配線基板の製造方法 |
| CN102588422A (zh) * | 2012-03-12 | 2012-07-18 | *** | 非接触式吸盘 |
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