JPS61229230A - Magnetic recording tape - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To obtain a surface protective layer which has substantial mechanical strength in spite of a small thickness and exhibits an excellent running characteristic and effect of improving durability by forming a metallic or metalloid layer on the surface of a plastic film on the side opposite from the surface on which a magnetic layer is formed and forming an oxide layer on the surface thereof. CONSTITUTION:The metallic or metalloid layer is formed on the surface of the plastic film on the side opposite from the surface on which the magnetic layer is formed and the oxide layer is formed on the surface of such metallic or metalloid layer. For example, the ferromagnetic layer 2 is formed on one surface of the plastic film 1 which is a non-magnetic substrate, then the metallic layer 3 and the oxide layer 4 are successively formed on the surface on the side opposite therefrom. Metals or metalloids having the Young's modulus relatively larger than the Young's modulus of the plastic film 1 are used for the metal or metalloid to constitute the metallic layer 3; for example, metals such as Al and Ti and metalloids such as Si and Ge are used alone or as an alloy. The oxide layer 4 is preferably selected from the oxides of the metals or metalloids exemplified as the metal or metalloid to constitute the layer 3 or the alloys thereof.

Description

【発明の詳細な説明】 １亙豆１ 本発明は、磁性層形成面とは逆側の面に裏面保護層（い
わゆるバックコート層）を形成せしめた、薄くかつ機械
的強度と走行特性Ｏ耐火性に優れた磁気記録テープに関
する。Detailed Description of the Invention The present invention provides a thin film with mechanical strength and running properties O fire resistance, which has a back protective layer (so-called back coat layer) formed on the opposite side to the magnetic layer forming surface. This invention relates to a magnetic recording tape with excellent properties.

１旦且遣 従来より、通常はポリエステル等のプラスチックフィル
ムからなる非磁性支持体の上に１強磁性徴粒子を高分子
結合剤中に均一に分散せしめた磁性層を有する塗布型磁
気記録テープが広く用いられ、また近年は金属等の薄膜
を蒸着、スパッタリング等の方法で非磁性支持体上に形
成せしめた強磁性薄膜型磁気記録テープの開発が進めら
れている。Once upon a time, there has been a coated magnetic recording tape that has a magnetic layer on a non-magnetic support, usually made of a plastic film such as polyester, in which ferromagnetic particles are uniformly dispersed in a polymeric binder. Ferromagnetic thin film magnetic recording tapes are widely used, and in recent years progress has been made in developing ferromagnetic thin film magnetic recording tapes in which a thin film of metal or the like is formed on a nonmagnetic support by methods such as vapor deposition or sputtering.

これらの磁気記録テープ、特にビデオテープ、オーディ
オテープ、コンピュータメモリーテープ等においては、
小型・軽量化等の要請に応じるために、狭トラツク化に
より単位面積当たりの記録量の増大を図るとともに、磁
気記録テープを薄くし、単位体積当たりの記録量の増大
を図ることが行われて来た。These magnetic recording tapes, especially video tapes, audio tapes, computer memory tapes, etc.
In order to meet the demands for smaller size and lighter weight, attempts have been made to increase the amount of recording per unit area by narrowing the track, and to increase the amount of recording per unit volume by making magnetic recording tapes thinner. It's here.

しかし磁気記録テープを薄くすると、テープの機械的強
度の減少に伴なう種々の問題が生じ、実用上の大きな障
害となっていた。However, making the magnetic recording tape thinner has caused various problems due to a decrease in the mechanical strength of the tape, which has been a major obstacle in practical use.

例えば、テープの引張り強度が減少するとテープが伸び
やすくなり、磁気記録の質と信頼性を大幅に低下させる
こととなっていた。また腰の弱いテープは表面摩擦が大
きい傾向があるため、走行系を安定に走行せず、テープ
ガイド等にからみついたり、リールへの巻き取りが乱巻
状態になることがあった。For example, a decrease in the tensile strength of a tape causes the tape to stretch easily, significantly reducing the quality and reliability of magnetic recording. In addition, weak tapes tend to have high surface friction, so they do not run stably on the running system, and may get tangled with tape guides or the like, or wind up irregularly onto the reel.

従来、薄い磁気記録テープの機械的強度を増大させる１
つの方法として、プラスチック（通常はポリエチレンテ
レフタレートが多い）フィルム自体を延伸処理により補
強することが通常行われている。しかし、延伸で得られ
る機械的強度の向上は、歩留まりを考慮すれば限度があ
り１例えば磁気テープ用ポリエチレンテレフタレート（
ＰＥＴ）フィルムではヤング率１０００　Ｋ　ｇ　／　
ｍ　ｍ　２程度が上限である。また過度の延伸を施した
フィルムは熱的あるいは経時的な寸法安定性に欠けるた
め、高密度記録用磁気テープの素材としは不適当なもの
であった・ さらに、非磁性支持体の裏面に無機物の層を形成せしめ
て、テープの機械的強度を補強する方法が特開昭５６−
１６９３９号公報、特開昭５７−４６３２１号公報等に
提案されている０本発明者らはこの種の構成の磁気テー
プについて検討を行ったが、次の２点で問題があること
を見出した。Conventionally, increasing the mechanical strength of thin magnetic recording tape1
One method is to strengthen the plastic (usually polyethylene terephthalate) film itself by stretching. However, there is a limit to the improvement in mechanical strength that can be obtained by stretching, if yield is taken into account.
PET) film has a Young's modulus of 1000 Kg/
The upper limit is about mm2. In addition, excessively stretched film lacks thermal or temporal dimensional stability, making it unsuitable as a material for magnetic tapes for high-density recording. A method for reinforcing the mechanical strength of the tape by forming a layer of
16939, Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-46321, etc. The present inventors investigated magnetic tapes with this type of structure, but found that there were two problems as follows. .

その第１は、テープに適切な機械的強度を付与するため
には、裏面の無機コーティング層の材質、厚み等に一定
の条件があり、従来知られた例に比べ比較的厚いコーテ
ィングを施さねばならないことである。この層の厚みが
薄いと、腰の弱いテープとなり、前述のように走行系を
安定に走行しないこととなるからである。First, in order to impart appropriate mechanical strength to the tape, there are certain conditions such as the material and thickness of the inorganic coating layer on the back side, and it is necessary to apply a relatively thick coating compared to conventionally known examples. It must not happen. This is because if this layer is thin, the tape will be weak and will not run stably on the running system as described above.

第２には、金属や半金属物質単独の裏面コーティング層
のみでは、コーティング層の摩擦、摩耗のため、十分な
走行特性、電磁変換性能が得られないことである。この
傾向は、コーティング層が薄いときに著しい。Second, with only a back coating layer made of metal or semimetal material, sufficient running characteristics and electromagnetic conversion performance cannot be obtained due to friction and wear of the coating layer. This tendency is significant when the coating layer is thin.

さらにこの種の構成の磁気テープは、後述するように、
実際のテープ走行後のドロップアウトが著しいという結
果が得られている。Furthermore, a magnetic tape with this type of configuration, as described later,
Results show that dropout after actual tape running is significant.

上述のような理由により、家庭用ＶＴＲに用いるビデオ
テープでは、全厚１０ＩＬｍ以下のものは実用されてい
なかった。For the reasons mentioned above, video tapes with a total thickness of 10 ILm or less have not been put into practical use for home VTRs.

１１立１１ 本発明の目的は、薄くとも十分な機械的強度を有し、か
つ優れた走行特性・耐久性改善効果を示す裏面保護層を
有する磁気記録テープを提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a magnetic recording tape having a backside protective layer that has sufficient mechanical strength even though it is thin and exhibits excellent running characteristics and durability improvement effects.

兄」ＬΩ１！’ 本発明者等の研究によれば、金属もしくは半金属のコー
ティング層をそれ単独ではなく、酸化物層と組合わせて
裏面保護層を形成することが、上述の目的の達成のため
に効果的であることが見出された。Brother” LΩ1! 'According to the research conducted by the present inventors, it is effective to form a back protective layer by combining a metal or metalloid coating layer with an oxide layer rather than using it alone. It was found that

本発明の磁気テープはこのような知見に基づくものであ
り、より詳しくは、プラスチックフィルム上に磁性層が
形成されてなる磁気記録テープにおいて、上記プラスチ
ックフィルムの磁性層形成面とは逆側の面に金属もしく
は半金属層を形成し、該金属もしくは半金属層の表面に
酸化物層を形成してなることを特徴とするものである。The magnetic tape of the present invention is based on such findings. More specifically, in a magnetic recording tape in which a magnetic layer is formed on a plastic film, A metal or metalloid layer is formed on the metal or metalloid layer, and an oxide layer is formed on the surface of the metal or metalloid layer.

本発明において上述の効果が達成される理由は、必ずし
も明確ではないが、以下のように推定される。Although the reason why the above effects are achieved in the present invention is not necessarily clear, it is presumed as follows.

第１には、裏面保護層が単独の金属もしくは半金属層（
以下、両者を包括して単に「金属層」という）の場合は
、ガイドビン等と裏面金属層との金属どうしの摺動が凝
着現象を起こし易く、基本的に摩擦・摩耗の起こりやす
い状態であるのに対し、本発明においては１両者の間に
酸化物層を介在させることにより凝着力が弱くなったた
めと推定される。First, the back protective layer is a single metal or semimetal layer (
(Hereinafter, both will be collectively referred to as the "metal layer"), the sliding of the metal between the guide bottle, etc. and the back metal layer tends to cause adhesion, and is basically a state where friction and wear are likely to occur. In contrast, in the present invention, it is presumed that this is because the adhesion force is weakened by interposing an oxide layer between the two.

第２には、表面を構成する酸化物層は、それ単独ではプ
ラスチックフィルムとの密着性が乏しいが硬度が高く、
耐摩耗性に優れているためと推定される。なお、酸化物
層の一部を金属層で置換することにより、コスト的にも
有利になる。Secondly, the oxide layer that makes up the surface has poor adhesion to the plastic film by itself, but it has high hardness.
This is presumed to be due to its excellent wear resistance. Note that replacing part of the oxide layer with a metal layer is advantageous in terms of cost.

ｌ　　　　　　　　　　　　； 以下４本発明を更に詳細に説明する。以下の記載におい
て組成を表わす「％」は特に断らない限り重量基準とす
る。l; The following four aspects of the present invention will be explained in more detail. In the following description, "%" representing the composition is based on weight unless otherwise specified.

本発明の磁気記録テープは、第１図に一実施例の部分断
面構成を示すように、非磁性支持体たるプラスチックフ
ィルムｌの一面に、強磁性層２を形成し、且つこれとは
逆側の面に金属層３．酸化物層４を順次形成してなる。The magnetic recording tape of the present invention has a ferromagnetic layer 2 formed on one side of a plastic film l, which is a non-magnetic support, and a ferromagnetic layer 2 on the opposite side, as shown in FIG. Metal layer 3. It is formed by sequentially forming oxide layers 4.

プラスチックフィルムｌとしては、通常、ポリエチレン
テレフタレート、ポリカーボネート、ポリアセテート、
ポリアミド、ポリイミド、などのプラスチックが用いら
れるが、加熱下の処理を可能にする点からは、ポリイミ
ド系、アラミド系等の耐熱性の良好なプラスチック、特
にガラス転位点Ｔｇが１５０℃以上のものが好ましい。Plastic films usually include polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyacetate,
Plastics such as polyamide and polyimide are used, but in order to enable processing under heat, plastics with good heat resistance such as polyimide and aramid, especially those with a glass transition point Tg of 150°C or higher, are recommended. preferable.

後述のように裏面金属層３を加熱下に形成すると支持体
への付着力が大幅に向上し、また表面磁性Ｎ２において
もＣｏＣｒ等の垂直磁化膜は加熱下に形成すると、垂直
方向への抗磁力Ｈｃ上が大きくなり記録特性が改善され
るからである。As will be described later, if the back metal layer 3 is formed under heating, the adhesion to the support will be greatly improved, and even with surface magnetic N2, if a perpendicularly magnetized film such as CoCr is formed under heating, the resistance in the vertical direction will be increased. This is because the magnetic force Hc increases and recording characteristics are improved.

これらのプラスチックフィルムｌは、厚さ３〜２０１Ｌ
程度あるいはそれ以下のフィルムが好ましく用いられる
。These plastic films have a thickness of 3~201L
A film of about 100% or less is preferably used.

磁性層２は上記のプラスチックフィルムｌ上に強磁性微
粒子を高分子結合剤中に均一に分散せしめたもの（塗布
型）、又は、コバルト、ニッケル、クロミウム、鉄ある
いはこれらを主成分とする強磁性合金等を蒸着、スパッ
タリング、イオンブレーティング、メッキ等の方法でプ
ラスチックフィルムｌ上に形成せしめたもの（強磁性薄
膜型）のいずれでもよいが、磁気テープ全体を薄くする
という点からは磁性層の薄い強磁性薄膜型が好ましい０
強磁性薄１１１ｙ！１テープに本発明の裏面保護層を応
用すれば１両者の効果が相乗して、極めて薄く、単位体
積当たりの記録容量の大きい磁気記録テープが可能とな
る。The magnetic layer 2 is made by dispersing ferromagnetic fine particles uniformly in a polymeric binder on the above-mentioned plastic film (coated type), or by cobalt, nickel, chromium, iron, or a ferromagnetic material mainly composed of cobalt, nickel, chromium, iron, or the like. Any type of material (ferromagnetic thin film type) in which an alloy or the like is formed on a plastic film by vapor deposition, sputtering, ion blating, plating, etc. may be used, but from the point of view of making the entire magnetic tape thinner, it is difficult to form a magnetic layer. Thin ferromagnetic thin film type is preferable0
Ferromagnetic thin 111y! If the backside protective layer of the present invention is applied to one tape, the effects of both effects will be synergized, making it possible to create a magnetic recording tape that is extremely thin and has a large recording capacity per unit volume.

一方、本発明の特徴とする保護層はフィルムの裏面に金
属層３と酸化物Ｍ４からなる保護層として形成される。On the other hand, the protective layer, which is a feature of the present invention, is formed on the back surface of the film as a protective layer consisting of the metal layer 3 and the oxide M4.

金属層３を構成する金属もしくは半金属としては、プラ
スチックフィルム１より比較的ヤング率が大きい金属も
しくは半金属が用いられ、例えば、ＡＩ、Ｔｉ、Ｖ、Ｚ
ｒ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｔａ
、Ｗ、Ｃｒ等の金属、Ｓｉ、Ｇｅ等のいわゆる半金属が
、単体であるいは合金として用いられる。テープの機械
的強度を大きくする点からは、上記の中でもＭｏ、Ｗ等
のヤング率の大きいものがよく、特にプラスチックフィ
ルムｌのヤング率をＥｆ、裏面金属層３のヤング率をＥ
、とすると、ＥＣ＞５Ｅ４のものが好ましく、Ｅ　ｃ＞
　１０　Ｅ　４のものがさらに好ましい、この金属層３
は真空蒸着、スパッタリング、イオンブレーティング等
の物理蒸着プロセスあるいはメッキ等のウェットプロセ
スにより形成される。As the metal or semimetal constituting the metal layer 3, a metal or semimetal having a relatively larger Young's modulus than that of the plastic film 1 is used, such as AI, Ti, V, and Z.
r, Ni, Co, Fe, Cu, Mn, Mo, Nb, Ta
Metals such as , W, and Cr, and so-called semimetals such as Si and Ge are used alone or as an alloy. From the point of view of increasing the mechanical strength of the tape, among the above materials, materials with a large Young's modulus such as Mo and W are preferred.In particular, the Young's modulus of the plastic film 1 is Ef, and the Young's modulus of the back metal layer 3 is E.
, it is preferable that EC>5E4, and E c>
This metal layer 3 is more preferably 10E4.
is formed by a physical vapor deposition process such as vacuum evaporation, sputtering, or ion blating, or a wet process such as plating.

酸化物層４としては、上述の金属層３を構成するものと
して例示した金属もしくは半金属、あるいはこれらの合
金の酸化物の中から選ぶことが好ましい。The oxide layer 4 is preferably selected from the oxides of the metals, metalloids, or alloys thereof exemplified as those constituting the metal layer 3 described above.

この酸化物層４は前述の金属層３の金属もしくは半金属
と同種であってもよく、また異ってもよいが、同種の方
が製造上は有利である。酸化物層４としては耐摩耗性に
すぐれたもの１例えばＴｉ、Ｚｒ等の酸化物が好ましい
。This oxide layer 4 may be of the same kind as the metal or metalloid of the metal layer 3, or may be different from it, but the same kind is more advantageous in manufacturing. The oxide layer 4 is preferably made of a material having excellent wear resistance, such as an oxide of Ti or Zr.

上記酸化物層４の厚さは、金属層３への付着強度が十分
にあればあまり問題ではないが、３０Å以上あることが
好ましく、特に６０Å以上あれば更に好ましい。The thickness of the oxide layer 4 does not matter much as long as it has sufficient adhesion strength to the metal layer 3, but it is preferably 30 Å or more, and particularly preferably 60 Å or more.

裏面金属層３の厚さを酸化物層４の厚さの和はｔｏｏｏ
Å以上あることが望ましく、特に１５００人〜２０００
０人の範囲がさらに望ましい。The sum of the thickness of the back metal layer 3 and the thickness of the oxide layer 4 is too
It is desirable that the number of people is Å or more, especially 1,500 to 2,000 people.
A range of 0 people is more desirable.

また、プラスチックフィルムｌとの関係では金属層３の
厚さと酸化物層４の厚さの和をｔｃ、両者の平均ヤング
率をＥｃ、プラスチックフィルムｌの厚さをｔ４．ヤン
グ率をＥ４とすると、ｔ。In relation to the plastic film l, the sum of the thickness of the metal layer 3 and the thickness of the oxide layer 4 is tc, the average Young's modulus of both is Ec, and the thickness of the plastic film l is t4. If Young's modulus is E4, then t.

ＸＥｃ＞　ｌ／３　ｔ、ＸＥ４であることが好ましく、
ｔｃ　ＸＥｃ＞２／３　ｔ、ＸＥ、であれば更に好まし
い、酸化物層４は、酸素ガス雰囲気中でスパッタリング
、イオンブレーティングを行うか。XEc>l/3t, preferably XE4,
It is more preferable if tc

またはウェットプロセスでは、金属層３を酸化性の溶液
に浸すことにより形成される。その他、酸素ガスを含む
プラズマ中で表面処理を行うことにより酸化物層４を形
成してもよい。Alternatively, in a wet process, the metal layer 3 is formed by immersing it in an oxidizing solution. Alternatively, the oxide layer 4 may be formed by surface treatment in plasma containing oxygen gas.

なお、上記の層以外に、例えば磁性層表面のいわゆるト
ップコート層、磁性層裏面の裏打ち層あるいは有機物等
のバックコート層等を必要に応じて形成することもでき
る。In addition to the above-mentioned layers, for example, a so-called top coat layer on the surface of the magnetic layer, a backing layer on the back surface of the magnetic layer, a back coat layer made of an organic material, etc. may be formed as necessary.

１１立皇Ｊ 上述したように１本発明によれば、薄く十分な機械的強
度を有し、かつ優れた走行特性・耐久性改善効果を示す
磁気記録テープが得られる。11 Rikuo J As described above, according to the present invention, a magnetic recording tape that is thin, has sufficient mechanical strength, and exhibits excellent running characteristics and durability improvement effects can be obtained.

支ムｌ 以下、実施例、比較例により本発明を更に具体的に説明
する。Support 1 The present invention will be explained in more detail below with reference to Examples and Comparative Examples.

実」Ｌ跣」 Ｃｏ表面処理したγ−Ｆｅ２０ｓｉｉ性粉をウレタン系
の結合剤に分散混合した塗布液を、厚さ５４ｍのポリエ
チレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムに乾燥状態で
磁性層が１．５ＩＬｍの厚さになるようにグラビアコー
トシ、乾燥させたのちカレンダー処理を施し、塗布型磁
気テープの基準テープとした。A coating solution prepared by dispersing and mixing Co surface-treated γ-Fe20sii powder in a urethane binder was applied to a 54 m thick polyethylene terephthalate (PET) film to form a magnetic layer with a thickness of 1.5 IL m in the dry state. It was gravure coated so that it looked uniform, dried, and then calendered to make a reference tape for coated magnetic tape.

ついで、上記基準テープを５本用意し、磁性層形成面と
は逆の面（すなわち裏面）に、第２図に示す電子ビーム
真空蒸着装置を用いて、ＡＩ、Ｔｉ、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｉ、
　の５種の金属層をそれぞれａＯＯ人の厚さに形成した
。Next, five of the above reference tapes were prepared, and AI, Ti, V, Zr, Ni,
Five types of metal layers were each formed to a thickness of a000 mm.

第２図を参照して、金属層形成工程を説明する０巻出側
ロールフィルム５から巻き出した支持体フィルム６をフ
リーローラ７を経由させた後。Referring to FIG. 2, the metal layer forming process will be explained after the support film 6 unwound from the zero roll exit roll film 5 is passed through the free roller 7.

キャン８の外周に添って回転させ、フリーローラ９を経
由させて巻取ロール１０に巻き取らせる。It is rotated along the outer periphery of the can 8, passed through a free roller 9, and wound onto a take-up roll 10.

一方、電子銃１１から放射した電子ビーム１２により、
ルツボ１３内に収容した蒸着物質１４を溶解させ、その
蒸気流を防着板１５の開口部を通過させた後、キャン８
の最下部において支持体フィルム６に付着させる。On the other hand, due to the electron beam 12 emitted from the electron gun 11,
After melting the vapor deposition substance 14 housed in the crucible 13 and passing the vapor flow through the opening of the deposition prevention plate 15, the can 8
It is attached to the support film 6 at the bottom of the.

上記装置は、全体を真空槽（図示せず）内に配設し、真
空槽内の圧力は真空ポンプ（図示せず）にて排気するこ
とにより略々２　Ｘ　Ｉ　０−４Ｐ　ａに保った。The entire device was placed in a vacuum chamber (not shown), and the pressure in the vacuum chamber was maintained at approximately 2×I 0-4P a by exhausting with a vacuum pump (not shown). .

さらに、酸素雰囲気中で、同様に第２図に示す装置を用
い、上記と同種の金属をそれぞれ蒸着させて酸化物層を
５００人の厚さに形成した。Furthermore, in an oxygen atmosphere, using the apparatus shown in FIG. 2, the same types of metals as above were deposited to form oxide layers to a thickness of 500 mm.

酸化物層を得る場合は、第２図の装置において酸素導入
口１６の先端より酸素ガスをキャンの下部に向けて吹き
つけながら、上述の蒸着プロセスを行った・ 上記のようにして裏面保護層を形成したフィルム、およ
び上述の基準テープおよび裏面金属層のみを形成せしめ
たもの（比較例）を８ｍｍ幅にスリットし、動摩擦係数
、８ｍｍビデオフォーマットの家庭用ＶＴＲを用いての
異常走行の有無、さらにはＶＴＲで１００パス走行後の
テープの伸び率、同１００パス走行後のドロップアウト
個数を測定した。To obtain an oxide layer, the above-mentioned vapor deposition process was performed while blowing oxygen gas toward the bottom of the can from the tip of the oxygen inlet 16 in the apparatus shown in Fig. 2.The back protective layer was formed as described above. The film on which the above-mentioned reference tape and the back metal layer were formed (comparative example) were slit into 8 mm width, and the coefficient of dynamic friction, presence or absence of abnormal running using a home VTR with 8 mm video format, and Furthermore, the elongation rate of the tape after running 100 passes and the number of dropouts after running the same 100 passes were measured using a VTR.

動摩擦係数は４φ、表面仕上げ精度０．２８のＳＵＳ材
に１４．３２５ｍｍ／５ｅｃｃ７）速さで摺動して測定
した。The coefficient of dynamic friction was measured by sliding on a SUS material with a diameter of 4 and a surface finish accuracy of 0.28 at a speed of 14.325 mm/5 ecc7).

結果を第１表に示す。The results are shown in Table 1.

第１表 第１表から明らかなように裏面コーティングをしていな
いテープ（基準テープ）は剛性に欠けるため、異常走行
を起こし易く、テープの伸びが著しい上に信号の記録が
できなかった（１００パス走行後のドロップアウトの記
録は不可能であった）、観察されたテープの異常走行は
主としてテープエツジの折れ、いたみによるものであっ
た。Table 1 As is clear from Table 1, the tape without back coating (reference tape) lacks rigidity, so it tends to run abnormally, the tape stretches significantly, and no signal can be recorded (100 (It was not possible to record dropouts after passing), and the observed abnormal tape running was mainly due to bending and damage to the tape edges.

また裏面に金属層のみを形成したテープは、異常走行、
テープ伸びの面でやや改善されているものの、裏面の金
属層が薄いので動摩擦係数が大きく、同時にドロップア
ウトが多かった。この、ドロップアウトの原因は、テー
プ裏面の金属層が傷つき、削れた金属粉がテープ巻込時
にテープの磁性層側に移着するためと推定される。In addition, tapes with only a metal layer formed on the back side may run abnormally.
Although the tape elongation was slightly improved, the thin metal layer on the back side had a large coefficient of dynamic friction, and at the same time there were many dropouts. The cause of this dropout is presumed to be that the metal layer on the back side of the tape is damaged and the scraped metal powder is transferred to the magnetic layer side of the tape when the tape is wound.

裏面の金属層が薄い場合、テープの腰が弱くなり、これ
ら摩擦、摩耗等の問題が特に著しい。If the metal layer on the back side is thin, the tape becomes stiff and problems such as friction and abrasion are particularly serious.

裏面保護層として、金属層に加え、酸化物層を形成した
テープは、動摩擦係数の絶対値がテープが走行系を安定
に走行するための条件とされる！＝０．２５〜０．３あ
るいはそれ以下であり。For tapes that have an oxide layer formed in addition to the metal layer as a back protection layer, the absolute value of the coefficient of dynamic friction is a condition for the tape to run stably on the running system! =0.25 to 0.3 or less.

また１００パス走行後のドロップアウト個数も１桁の改
善を示した。The number of dropouts after running 100 passes also showed a one-digit improvement.

磁気テープ裏面の金属層が比較的薄い本実施例の場合で
も、上記金属層の上にさらに酸化物層を形成したテープ
では、酸化物層の持つ剛性の効果および表面効果とで、
摩擦やドロップアウトは大幅に軽減されていた。Even in the case of this embodiment in which the metal layer on the back side of the magnetic tape is relatively thin, in a tape in which an oxide layer is further formed on the metal layer, due to the rigidity effect and surface effect of the oxide layer,
Friction and dropouts were significantly reduced.

支直１」 実施例１と同様の基準テープの裏面に、実施例１と同様
の方法で０．４ｐｍ（４０００人）厚の金属層と、２０
０人厚０酸化物層を形成した。Support 1" A metal layer with a thickness of 0.4 pm (4000 people) was applied to the back side of the same reference tape as in Example 1, and a metal layer with a thickness of 20
An oxide layer with a thickness of 0 was formed.

これらの磁気テープについて、実施例１と同様に動摩擦
係数、異常走行の有無、ｌｏｏパス走行走行子−プの伸
びおよびドロップアウト個数を測定した。Regarding these magnetic tapes, in the same manner as in Example 1, the coefficient of dynamic friction, the presence or absence of abnormal running, the elongation of loop-path running loops, and the number of dropouts were measured.

結果を第２表に示す。The results are shown in Table 2.

実施例１に比較して裏面金属層の厚さが増大し、磁気テ
ープ全体の剛性が大きくなったために、走行後のテープ
伸びが測定限界以下に減少しており、また動摩擦係数、
ドロップアウトの点でも第１表の結果より改善されてい
た。Compared to Example 1, the thickness of the back metal layer was increased and the rigidity of the entire magnetic tape was increased, so the elongation of the tape after running was reduced to below the measurement limit, and the coefficient of dynamic friction,
The dropouts were also improved compared to the results in Table 1.

さらに１種々の厚さの裏面金属層および酸化物層につい
て実施例１と同様に検討したところ、これらの厚さおよ
びヤング率と、プラスチックフィルムの厚さおよびヤン
グ率について前述の結果が得られた。Furthermore, when the back metal layer and oxide layer with various thicknesses were examined in the same manner as in Example 1, the above-mentioned results were obtained regarding the thickness and Young's modulus of these and the thickness and Young's modulus of the plastic film. .

Ｌｉ１」 厚さ５．ｍのポリイミドフィルムの一面に第３図の装置
を用いて１５０”Ｏに加熱しなからマグネトロンスパッ
タリングにより、Ｃａ２Ｏ％、Ｃｒ２Ｏ％の組成を有す
るＣｏＣｒ合金の膜厚０．２ＩＬｍの薄膜を形成した。Li1” Thickness 5. A thin film of CoCr alloy having a composition of Ca2O% and Cr2O% and having a thickness of 0.2ILm was formed on one surface of a polyimide film of 500 mL by magnetron sputtering while heating to 150"O using the apparatus shown in FIG.

第３図において、巻出側ロールフィルム１７から巻き出
した支持体フィルム１８はフリーローラ１９を経由させ
た後、キャン２ｏの外周に添って回転させ、フリーロー
ラ２１を経由させて巻取ロール２２に巻き取らせた。Ｃ
ｏＣｒ合金のターゲット２３を高周波電源（図示せず）
に接続して圧力０．５ＰａのＡｒ雰囲気下で放電させ、
イオンにたたき出されたターゲット原子を防着板２４の
開口部を通過させた後、キャン２ｏの最下部において、
支持体フィルム１８に付着させ。In FIG. 3, the support film 18 unwound from the unwinding roll film 17 passes through a free roller 19, is rotated along the outer periphery of the can 2o, passes through a free roller 21, and then passes through a take-up roll 22. I let it wind up. C
The oCr alloy target 23 is connected to a high frequency power source (not shown).
and discharge under an Ar atmosphere with a pressure of 0.5 Pa.
After the target atoms ejected by the ions pass through the opening of the adhesion prevention plate 24, at the bottom of the can 2o,
It is attached to the support film 18.

ＣｏＣｒ垂直磁化薄膜を形成した。A CoCr perpendicular magnetization thin film was formed.

上記装置は全体を真空槽（図示せず）内に配設し、真空
槽は真空ポンプ（図示せず）で排気することにより略々
２×ｌＯ→Ｐａに保った。The entire apparatus was placed in a vacuum chamber (not shown), and the vacuum chamber was maintained at approximately 2×1O→Pa by evacuating the chamber with a vacuum pump (not shown).

ＣｏＣｒ垂直磁化膜は基板加熱状態で成膜すると１．垂
直方向の抗磁力Ｈｃよが大きくなり、記録特性が改善す
ることが知られている（たとえば第４回日本応用磁気学
会学術講演概要集（１１１８０年１１月）第１２５ペー
ジ）。When a CoCr perpendicular magnetization film is formed while the substrate is heated, 1. It is known that the coercive force Hc in the perpendicular direction becomes larger and the recording characteristics are improved (for example, the 4th Japanese Society of Applied Magnetics Academic Lecture Abstracts (November 11180), page 125).

従って、本実施例ではキャン２ｏの内部に加熱用ヒータ
ー２５を配設し、キャン外周面の温度が１８０℃で一定
値に維持されるような制御を行った。Therefore, in this embodiment, a heating heater 25 is provided inside the can 2o, and control is performed such that the temperature of the outer peripheral surface of the can is maintained at a constant value of 180°C.

支持体フィルム１８の温度はキャン外周面に接すると、
すみやかに上昇し、防着板２４の開口部上方に移動する
までには、キャン外周面温度に達していた。When the support film 18 comes into contact with the outer peripheral surface of the can, the temperature of the support film 18 is as follows.
The temperature rose quickly and reached the temperature of the outer peripheral surface of the can by the time it moved above the opening of the adhesion prevention plate 24.

上述のように作成された膜厚０．２ＪＬｍのＣ。C with a film thickness of 0.2 JLm created as described above.

Ｃｒ垂直磁化膜の磁気特性は、膜厚方向抗磁力Ｈｃよ＝
　ｌ　１０００ｅ、面内方向抗磁力Ｈｃ　〃＝５６００
ｅ、飽和磁化Ｍ　ｓ　＝　４００　ｅ　ｍ　ｕ　／ｃｃ
、配向度Δθ薗＝１１０であった。The magnetic properties of a perpendicularly magnetized Cr film are given by the coercive force in the film thickness direction Hc =
l 1000e, in-plane coercive force Hc = 5600
e, saturation magnetization M s = 400 e m u /cc
, the degree of orientation Δθ=110.

これを金属薄膜型テープの基準テープとし、これを３本
用意し第１図の装置を用いて、裏面金属層をＡ１．Ｔｉ
、Ｖの３種の金属について０．４ＪＬｍ（４０００人）
厚に形成させ、さらに上記金属層の上にそれぞれ同種金
属の酸化物層を２００人厚０形成させた。This was used as a reference tape for the metal thin film type tape, and three tapes were prepared, and the back metal layer was coated with A1. Ti
, 0.4JLm for three types of metals (4000 people)
Further, an oxide layer of the same type of metal was formed on each of the metal layers to a thickness of 200.

上記のテープについて、実施例１と同様の項目の測定を
行った。結果を第３表（中段）に示す。Regarding the above tape, the same items as in Example 1 were measured. The results are shown in Table 3 (middle row).

第３表（金属薄膜型）においても第１表の結果（塗布ｙ
Ｊ）と似た傾向が見られたが、以下の点において若干の
差違が見られた。Table 3 (metal thin film type) also shows the results in Table 1 (coating y
A similar trend was observed as in J), but there were some differences in the following points.

第１点として、磁性層たるＣｏＣｒ合金膜自体が一定の
非磁性支持体補強効果を有するため、基準テープでも塗
布型基準テープに比較してテープの伸びが小さかったこ
とである。ただし、比較的薄い支持体フィルムを用いた
場合は、磁性層たる金属薄膜の補強効果のみではテープ
の腰は十分に強くはならず、その結果、異常走行は免れ
なかった。これは、板材の引っ張り強度が、理論上、厚
さ比例であるのに対し、曲げ強さが厚さの３乗に比例す
ることによる。The first point is that because the CoCr alloy film itself, which is the magnetic layer, has a certain effect of reinforcing the nonmagnetic support, the elongation of the reference tape was smaller than that of the coated reference tape. However, when a relatively thin support film is used, the stiffness of the tape cannot be made sufficiently strong only by the reinforcing effect of the thin metal film serving as the magnetic layer, and as a result, abnormal running cannot be avoided. This is because the tensile strength of a plate material is theoretically proportional to the thickness, whereas the bending strength is proportional to the cube of the thickness.

本発明の裏面保護層は支持体フィルムを金属層ではさみ
込む形にするため、テープの腰を補強する上で極めて効
果的であり、その結果異常走行を解消できることがわか
った。It has been found that the back protective layer of the present invention, in which the support film is sandwiched between the metal layers, is extremely effective in reinforcing the stiffness of the tape, and as a result, abnormal running can be eliminated.

本発明の裏面保護層を施したテープでは、他の金属に比
べ、ややヤング率の小さいＡ１を用いた場合でもテープ
の伸びは観察されなかった。In the tape provided with the back protective layer of the present invention, no elongation of the tape was observed even when A1, which has a slightly lower Young's modulus than other metals, was used.

第２点としては、第２表と第３表の比較から。The second point is from a comparison of Tables 2 and 3.

金属薄膜型テープでは磁性層が削れやすいためドロップ
アウト個数が塗布型テープより多かったことである。The number of dropouts in metal thin film tapes was higher than in coated tapes because the magnetic layer was easily scratched.

ドロップアウトの主たる要因は前述のように裏面金属層
が走行系部材との摺動により削れ、はく離、脱落するた
めと推定されるので、裏面金属層の支持体フィルムに対
する付着強度を改善することがドロップアウトの減少に
寄与するものと考えられる。As mentioned above, the main cause of dropouts is presumed to be that the back metal layer is scraped, peeled off, and fallen off due to sliding with the traveling system components, so it is possible to improve the adhesion strength of the back metal layer to the support film. This is thought to contribute to reducing dropouts.

そこで、上記付着強度を改善する目的で、第２図の裏面
コーティング装置中、キャン８の内部に加熱ヒータを配
設し、基準テープを加熱しながら本発明の裏面保護層を
形成した。その結果、ドロップアウトの個数が顕著に減
少することが認められた（第３表下段）。Therefore, in order to improve the adhesion strength, a heater was disposed inside the can 8 in the back coating apparatus shown in FIG. 2, and the back protective layer of the present invention was formed while heating the reference tape. As a result, it was observed that the number of dropouts decreased significantly (lower row of Table 3).

ドロップアウトの減少と同時に動摩擦係数も減少してい
た。この原因は必ずしも明確ではないが、裏面保護層の
支持体フィルムへの付着強度の改善に伴い摩耗粉の生成
量が減少し、アグレシブ摩擦が軽減されたことによると
推定される。At the same time as the dropout decreased, the coefficient of dynamic friction also decreased. Although the reason for this is not necessarily clear, it is presumed that the amount of abrasion powder produced decreased as the adhesive strength of the back protective layer to the support film was improved, and aggressive friction was reduced.

本実施例ではポリイミド樹脂のフィルムを非磁性支持体
として用いているため、加熱温度は４００℃まで上昇さ
せることが可能であったが。In this example, since a polyimide resin film was used as the nonmagnetic support, the heating temperature could be raised to 400°C.

実用上は１５０℃以下の支持体フィルム加熱でも十分な
効果が認められた。For practical purposes, sufficient effects were observed even when the support film was heated at 150° C. or lower.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１ｒＩ！Ｊは本発明の磁気記録テープの一実施例の部
分断面図であり、第２図は本発明の裏面保護層を形成す
るための装置の概略図であり、第３図は磁性層としての
金属薄膜を形成するための装置の概略図である。 ！・−・プテスチフクフィルム、　２・・・磁性層。 ３・・・裏面金属層、　４・・・酸化物層、５．１７・
・・巻出し側ロールフィルム。 ６．１８・・・支持体フィルム、 ７．９．１９．２１・・・フリーローラ、８．２０・・
・キャン、　　１Ｏ１２２・・・巻取ロール、１１・・
・電子銃、　　１２・・・電子ビーム、１３・・・ルツ
ボ、　　１４・・・蒸着物質、１５．２４・・・防着板
、　　１６・・・酸素導入口。 ２３・・・ターゲット、　　２５・・・加熱用ヒーター
。 えｌｉＬ工ｊユＪ 第１図 第２図 第３図 ｉｍｌ＼２３1st rI! J is a partial sectional view of one embodiment of the magnetic recording tape of the present invention, FIG. 2 is a schematic diagram of an apparatus for forming a back protective layer of the present invention, and FIG. 3 is a partial cross-sectional view of an embodiment of the magnetic recording tape of the present invention. 1 is a schematic diagram of an apparatus for forming thin films; FIG. !・-・Putestifuku film, 2...Magnetic layer. 3... Back metal layer, 4... Oxide layer, 5.17.
... Roll film on the unwinding side. 6.18...Support film, 7.9.19.21...Free roller, 8.20...
・Can, 1O122... Winding roll, 11...
- Electron gun, 12... Electron beam, 13... Crucible, 14... Evaporation substance, 15.24... Deposition prevention plate, 16... Oxygen inlet. 23...Target, 25...Heating heater. Figure 1 Figure 2 Figure 3 iml\23

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １、プラスチックフィルム上に磁性層が形成されてなる
磁気記録テープにおいて、上記プラスチックフィルムの
磁性層形成面とは逆側の面に金属もしくは半金属層を形
成し、該金属もしくは半金属層の表面に酸化物層を形成
してなることを特徴とする磁気記録テープ。 ２、上記磁性層が強磁性金属薄膜である特許請求の範囲
第１項記載の磁気記録テープ。 ３、上記プラスチックフィルムのガラス転移点が１５０
℃以上である特許請求の範囲第１項または第２項記載の
磁気記録テープ。[Claims] 1. In a magnetic recording tape in which a magnetic layer is formed on a plastic film, a metal or semimetal layer is formed on the surface of the plastic film opposite to the surface on which the magnetic layer is formed; Or a magnetic recording tape characterized by forming an oxide layer on the surface of a semimetal layer. 2. The magnetic recording tape according to claim 1, wherein the magnetic layer is a ferromagnetic metal thin film. 3. The glass transition point of the above plastic film is 150.
The magnetic recording tape according to claim 1 or 2, wherein the magnetic recording tape has a temperature of at least .degree.