JPH08129748A - Magnetic recording medium - Google Patents
Magnetic recording mediumInfo
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- JPH08129748A JPH08129748A JP28923694A JP28923694A JPH08129748A JP H08129748 A JPH08129748 A JP H08129748A JP 28923694 A JP28923694 A JP 28923694A JP 28923694 A JP28923694 A JP 28923694A JP H08129748 A JPH08129748 A JP H08129748A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、非磁性支持体の面上に
少なくとも磁気記録層が形成されている磁気記録媒体に
関し、例えば真空蒸着やスパッタリング等の真空薄膜形
成技術等の手法により非磁性支持体上に金属磁性薄膜
（強磁性金属薄膜）を磁気記録層として形成した、いわ
ゆる強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体（例えば磁気テー
プ、磁気ディスク）に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium in which at least a magnetic recording layer is formed on the surface of a non-magnetic support, and the non-magnetic support is formed by a vacuum thin film forming technique such as vacuum deposition or sputtering. The present invention relates to a so-called ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium (for example, magnetic tape, magnetic disk) in which a metal magnetic thin film (ferromagnetic metal thin film) is formed as a magnetic recording layer on a support.
【０００２】[0002]
【従来技術】従来より磁気記録媒体としては、非磁性支
持体上にγ−Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｃｏを含有するγ−Ｆｅ2 Ｏ
3 、Ｆｅ3 Ｏ4 、Ｃｏを含有するＦｅ3 Ｏ4 、γ−Ｆｅ
2 Ｏ3 とＦｅ3 Ｏ4 とのベルトライド化合物、Ｃｏを含
有するベルトライド化合物、ＣｒＯ2 等の酸化物強磁性
粉末、あるいはＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等を主成分とする合金
磁性粉末等の粉末磁性材料を塩化ビニル−酢酸ビニル系
共重合体、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂等の有
機バインダー中に分散せしめた磁性塗料を塗布、乾燥す
ることにより作製される塗布型の磁気記録媒体が広く使
用されている。2. Prior Art Conventionally than magnetic recording medium, containing γ-Fe 2 O 3, Co on a nonmagnetic support gamma-Fe 2 O
3, Fe 3 O 4, Fe 3 O 4 containing Co, γ-Fe
Bertride compound of 2 O 3 and Fe 3 O 4 , Bertride compound containing Co, oxide ferromagnetic powder such as CrO 2 or alloy magnetic powder containing Fe, Co, Ni or the like as a main component A coating type magnetic recording medium is widely used, which is prepared by coating and drying a magnetic paint in which a magnetic material is dispersed in an organic binder such as a vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, polyester resin or polyurethane resin. There is.
【０００３】これに対して、例えばビデオテープ等の分
野では、高画質化を図るために高密度磁気記録化が一層
強く要求されてきている。これに対応して、Ｆｅ系やＣ
ｏ−Ｎｉ合金等の強磁性金属材料を、メッキや真空薄膜
形成技術（真空蒸着法やスパッタリング法、イオンプレ
ーティング法等）によってポリエステルフィルムやポリ
イミドフィルム等の非磁性支持体上に直接被着して磁性
層を形成した、いわゆる強磁性金属薄膜型の磁気記録媒
体が提案されている。On the other hand, in the field of video tapes, for example, there is a strong demand for high density magnetic recording in order to achieve high image quality. Corresponding to this, Fe system and C
A ferromagnetic metal material such as an o-Ni alloy is directly deposited on a non-magnetic support such as a polyester film or a polyimide film by plating or a vacuum thin film forming technique (vacuum deposition method, sputtering method, ion plating method, etc.). There is proposed a so-called ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium in which a magnetic layer is formed.
【０００４】この強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体は、
保磁力（抗磁力）や角型比等に優れ、短波長での電磁変
換特性に優れるばかりでなく、磁性層の薄膜化が可能で
あるため、記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さい
こと、磁性層中に非磁性材である有機バインダーを混入
する必要がないため、磁性材料の充填密度を高めること
ができること等、数々の利点を有している。This ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium is
Not only excellent in coercive force (coercive force) and squareness ratio but also excellent in electromagnetic conversion characteristics at short wavelengths, it is possible to thin the magnetic layer, so recording demagnetization and thickness loss during reproduction are extremely small. In addition, since it is not necessary to mix an organic binder that is a non-magnetic material in the magnetic layer, there are various advantages such as the packing density of the magnetic material can be increased.
【０００５】その中でも、真空蒸着法によって磁性層を
形成した蒸着テープは、高生産効率と安定した特性のた
めに、既にハイバンド８ミリ（Ｈｉ８）用テープ及びデ
ィジタルマイクロテープ（ＮＴテープ）として商品化さ
れている。Among them, the vapor deposition tape having the magnetic layer formed by the vacuum vapor deposition method is already commercialized as a high band 8 mm (Hi8) tape and a digital microtape (NT tape) because of its high production efficiency and stable characteristics. Has been converted.
【０００６】蒸着テープの磁性層は、真空中で電子線等
で磁性材料を加熱して蒸発させ、非磁性支持体上に付着
させることによって形成される。The magnetic layer of the vapor deposition tape is formed by heating a magnetic material with an electron beam or the like in a vacuum to evaporate it and depositing it on a non-magnetic support.
【０００７】蒸着テープは、高い再生出力のために、高
密度記録に適している。この場合、記録波長が短くなる
ほど、スペーシングロスの影響は大きくなるので、媒体
（即ち、磁性層）表面はより平滑に設計される。しか
し、表面を平滑化すると、摩擦が高くなり、耐摩耗性が
問題となる。The vapor-deposited tape is suitable for high density recording because of its high reproduction output. In this case, the shorter the recording wavelength, the greater the effect of spacing loss, so the surface of the medium (that is, the magnetic layer) is designed to be smoother. However, when the surface is smoothed, friction becomes high and wear resistance becomes a problem.
【０００８】このような問題を解決するのに、表面に潤
滑剤を塗布したり、微小突起を形成して、表面性をコン
トロールしているが、いずれも表面性のコントロールが
それ程容易ではなく、また、それに必要な工程が面倒で
ある。In order to solve such a problem, the surface property is controlled by applying a lubricant or forming fine projections on the surface, but it is not so easy to control the surface property. Moreover, the process required for it is troublesome.
【０００９】これに対し、カーボンを表面にスパッタす
ることによって保護層を設け、耐摩耗性を向上させる手
法が開発されてきている。On the other hand, there has been developed a method of providing a protective layer by sputtering carbon on the surface to improve wear resistance.
【００１０】しかしながら、このように媒体表面にカー
ボン層を設けると、カーボンが非磁性であるために、カ
ーボン層の厚み分だけスペーシングロスが生じ、電磁変
換特性の劣化を引き起こし易い。However, when the carbon layer is provided on the surface of the medium in this manner, since the carbon is non-magnetic, a spacing loss corresponding to the thickness of the carbon layer is likely to occur, which easily causes deterioration of electromagnetic conversion characteristics.
【００１１】[0011]
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、スペ
ーシングロスを効果的に抑えつつ、優れた耐摩耗性を容
易に得ることのできる磁気記録媒体を提供することにあ
る。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a magnetic recording medium which can easily obtain excellent abrasion resistance while effectively suppressing spacing loss.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記した問
題を解決するために、鋭意研究の結果、ある程度磁性を
もった保護層を形成することによって、スペーシングロ
スを抑え、なおかつ耐摩耗性に優れた磁気記録媒体を作
製することに成功し、本発明に到達したものである。In order to solve the above-mentioned problems, the present inventor has conducted earnest research and, as a result, formed a protective layer having a certain degree of magnetism to suppress a spacing loss and to prevent abrasion. The present invention succeeded in producing a magnetic recording medium having excellent properties and reached the present invention.
【００１３】即ち、本発明は、磁性を有する保護層が磁
気記録層上に形成されている磁気記録媒体に係るもので
ある。That is, the present invention relates to a magnetic recording medium in which a protective layer having magnetism is formed on the magnetic recording layer.
【００１４】本発明の磁気記録媒体によれば、磁気記録
層（磁性層）上に、磁性を有する保護層が形成されてい
るので、磁気記録層が本来の磁気記録に用いられると同
時に、保護層自体も磁性を有しているために磁気記録の
障害とはならず、むしろ磁気記録の一部を担うことにな
る。According to the magnetic recording medium of the present invention, since the protective layer having magnetism is formed on the magnetic recording layer (magnetic layer), the magnetic recording layer is used for the original magnetic recording, and at the same time, is protected. Since the layer itself also has magnetism, it does not hinder magnetic recording, but rather plays a part in magnetic recording.
【００１５】これによって、保護層によるスペーシング
ロスを効果的に抑制し、電磁変換特性を向上させること
ができる。しかも、保護層としてその構成材料（特にカ
ーボンとＣｏ等の磁性材料）によって媒体の耐摩耗性を
容易に向上させることができる。As a result, the spacing loss due to the protective layer can be effectively suppressed and the electromagnetic conversion characteristics can be improved. Moreover, the wear resistance of the medium can be easily improved by the constituent material (especially carbon and a magnetic material such as Co) as the protective layer.
【００１６】本発明の磁気記録媒体は、具体的には、耐
摩耗性に優れてなおかつ磁性をもつ保護層として、耐摩
耗性に優れているカーボンと、強磁性体である例えばコ
バルトとを同時にスパッタすることによって、カーボン
とコバルトの混在した保護層が形成されたものである。Specifically, the magnetic recording medium of the present invention comprises, as a protective layer having excellent wear resistance and magnetism, carbon having excellent wear resistance and ferromagnetic material such as cobalt at the same time. A protective layer in which carbon and cobalt are mixed is formed by sputtering.
【００１７】この場合、保護層が60〜40原子％のカーボ
ンと40〜60原子％のコバルト等の磁性金属とをそれぞれ
含有していることが望ましい。In this case, it is desirable that the protective layer contains 60 to 40 atomic% of carbon and 40 to 60 atomic% of magnetic metal such as cobalt.
【００１８】また、磁気記録層が金属磁性薄膜からなる
と共に、磁気記録層及び保護層がそれぞれ、構成材料の
連続膜として非磁性支持体上に形成されているのがよ
い。Further, it is preferable that the magnetic recording layer is composed of a metal magnetic thin film, and that the magnetic recording layer and the protective layer are respectively formed on the non-magnetic support as continuous films of the constituent materials.
【００１９】磁気記録層及び保護層を形成する方法とし
ては、真空蒸着法、スパッタ法等のＰＶＤ法による製膜
法、ＣＶＤ法による製膜法等があり、これらの方法によ
って磁気記録層及び保護層は連続膜として形成される。As a method for forming the magnetic recording layer and the protective layer, there are a film forming method by a PVD method such as a vacuum deposition method and a sputtering method, a film forming method by a CVD method, and the like. The layers are formed as a continuous film.
【００２０】上記の非磁性支持体としては、ポリエステ
ル類、ポリオレフィン類、セルロース誘導体、ビニル系
樹脂、ポリイミド類、ポリアミド類、ポリカーボネート
等に代表されるような高分子材料により形成される高分
子支持体が挙げられる。この形状はテープ状をはじめ、
ディスク状等であってもよい。As the above-mentioned non-magnetic support, a polymer support formed of a polymer material typified by polyesters, polyolefins, cellulose derivatives, vinyl resins, polyimides, polyamides, polycarbonates and the like. Is mentioned. This shape begins with a tape,
It may be disc-shaped or the like.
【００２１】上記の磁性金属薄膜は、メッキやスパッタ
リング、真空蒸着等のＰＶＤ法により連続膜として形成
されるものであり、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の金属やＣｏ−
Ｎｉ系合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ系合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎ
ｉ系合金、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｂ系合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ系合
金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｂ系合金等からなる面内磁化記
録金属磁性膜や、Ｃｏ−Ｃｒ系合金薄膜、Ｃｏ−Ｏ系薄
膜等の垂直磁化記録金属磁性薄膜が例示される。これら
の磁性金属や磁性合金は、上記の保護層にも使用するこ
とができる。The above magnetic metal thin film is formed as a continuous film by a PVD method such as plating, sputtering or vacuum deposition, and is made of a metal such as Fe, Co or Ni, or Co--.
Ni-based alloy, Co-Ni-Pt-based alloy, Fe-Co-N
In-plane magnetization recording metal magnetic film made of i-based alloy, Fe-Ni-B-based alloy, Fe-Co-B-based alloy, Fe-Co-Ni-B-based alloy, etc., Co-Cr-based alloy thin film, Co- A perpendicular magnetization recording metal magnetic thin film such as an O-based thin film is exemplified. These magnetic metals and magnetic alloys can also be used in the protective layer.
【００２２】こうした金属磁性薄膜の膜厚は、通常 0.1
〜３μｍである。The thickness of such a metal magnetic thin film is usually 0.1.
Is about 3 μm.
【００２３】特に、面内磁化記録金属磁性薄膜の場合、
予め非磁性支持体上にＢｉ、Ｓｂ、Ｐｂ、Ｓｎ、Ｇａ、
Ｉｎ、Ｓｉ、Ｔｉ等の低融点非磁性材料の下地膜を形成
しておき、金属磁性材料を垂直方向から蒸着又はスパッ
タし、金属磁性薄膜中にこれらの低融点非磁性材料を拡
散せしめ、配向性を解消して面内等方性を確保すると共
に抗磁力を向上するようにしても良い。Particularly, in the case of in-plane magnetization recording metal magnetic thin film,
Bi, Sb, Pb, Sn, Ga, on the non-magnetic support in advance
A base film of a low-melting point non-magnetic material such as In, Si, or Ti is formed in advance, a metal magnetic material is vapor-deposited or sputtered from the vertical direction, and the low-melting point non-magnetic material is diffused in the metal magnetic thin film to achieve orientation. The in-plane isotropy may be secured by improving the coercive force and the coercive force may be improved.
【００２４】また、上記の保護層は、厚さ５〜100nm(更
には５〜30nm）に形成されるのがよい。この厚さは大き
すぎると出力低下が生じ易く、小さすぎると保護層とし
ての効果に乏しくなる。The protective layer is preferably formed to a thickness of 5 to 100 nm (further 5 to 30 nm). If this thickness is too large, the output tends to decrease, and if it is too small, the effect as a protective layer becomes poor.
【００２５】なお、媒体のバック面の耐久性を向上させ
る目的で、非磁性支持体のバック面（磁気記録層とは反
対側の面）にバックコート層として形成してよい。その
場合のバックコート層の材質の例として、Ｃ、Ａｌ2 Ｏ
3 、Ｔｉ−Ｎ、Ｍｏ−Ｃ、Ｃｒ−Ｃ、ＳｉＯ、Ｓｉ
Ｏ2 、Ｓｉ−Ｎ等が挙げられるが、これらに限定される
ものではない。In order to improve the durability of the back surface of the medium, a back coat layer may be formed on the back surface of the non-magnetic support (the surface opposite to the magnetic recording layer). In that case, examples of the material of the back coat layer include C and Al 2 O.
3 , Ti-N, Mo-C, Cr-C, SiO, Si
Examples thereof include O 2 and Si—N, but are not limited to these.
【００２６】こうしたバックコート層は、上記の材料を
結合剤中に配合して分散したものであるが、使用可能な
結合剤としては、変性又は非変性の塩化ビニル系樹脂、
ポリウレタン樹脂或いはポリエステル樹脂を使用するこ
とができるし、さらに繊維素系樹脂、フェノキシ系樹脂
或いは特定の使用方式を有する熱可塑性樹脂、熱硬化性
樹脂、反応型樹脂、電子線照射硬化型樹脂等を併用して
もよい。The back coat layer is prepared by mixing and dispersing the above-mentioned materials in a binder, and usable binders are modified or non-modified vinyl chloride resins,
Polyurethane resin or polyester resin can be used, and further, fibrin resin, phenoxy resin or thermoplastic resin having a specific use method, thermosetting resin, reactive resin, electron beam irradiation curable resin, etc. You may use together.
【００２７】このバックコート層を形成するには、例え
ばバックコート層の構成成分を結合剤中に分散し、結合
剤の種類等によってエーテル類、エステル類、ケトン
類、芳香族炭化水素、脂肪族炭化水素、塩素化炭化水素
等から選ばれる有機溶剤とともに混練してバックコート
層用塗料を調製し、この塗料を非磁性支持体の裏面に塗
布し、乾燥、カレンダー処理する。結合剤に対しては、
一層耐久性の向上を図るために、多官能性イソシアネー
ト等の硬化剤を５〜30重量％添加することが好ましい。To form the back coat layer, for example, the constituents of the back coat layer are dispersed in a binder, and ethers, esters, ketones, aromatic hydrocarbons, and aliphatic hydrocarbons are used depending on the kind of the binder. A coating material for a back coat layer is prepared by kneading with an organic solvent selected from hydrocarbons, chlorinated hydrocarbons and the like, the coating material is applied to the back surface of the non-magnetic support, dried and calendered. For the binder,
In order to further improve durability, it is preferable to add a curing agent such as a polyfunctional isocyanate in an amount of 5 to 30% by weight.
【００２８】図１は、本発明に基づく磁気記録媒体、例
えば蒸着テープを示すものである。FIG. 1 shows a magnetic recording medium according to the present invention, for example, a vapor deposition tape.
【００２９】この蒸着テープによれば、本発明に基い
て、ベースフィルム１上に金属磁性薄膜２が形成され、
この金属磁性薄膜２上にはカーボン及び磁性材料からな
る磁性連続膜が保護層４として形成されている。そし
て、金属磁性薄膜２とは反対側のベースフィルム１の面
上には、仮想線で示すように、バックコート層３が形成
されていてよい。According to this vapor deposition tape, the metal magnetic thin film 2 is formed on the base film 1 according to the present invention,
On the metal magnetic thin film 2, a magnetic continuous film made of carbon and a magnetic material is formed as a protective layer 4. Then, a back coat layer 3 may be formed on the surface of the base film 1 on the side opposite to the metal magnetic thin film 2, as indicated by an imaginary line.
【００３０】[0030]
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例を図
面の参照下に詳細に説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Specific embodiments to which the present invention is applied will be described below in detail with reference to the drawings.
【００３１】図２に示す連続巻き取り式蒸着装置のチャ
ンバー100 をバルブ102 を介し真空ポンプ101 によって
10-9気圧に排気し、チャンバー100 内で、坩堝107 内に
置いたコバルト合金を電子銃106 による電子ビーム109
で加熱溶解して、厚さ10μｍのＰＥＴ（ポリエチレンテ
レフタレート）ベースフィルム１上に蒸着し、金属磁性
薄膜２を形成した。The chamber 100 of the continuous winding type vapor deposition apparatus shown in FIG.
After evacuating to 10 -9 atm, the cobalt alloy placed in the crucible 107 was evacuated in the chamber 100 by the electron beam 109 by the electron gun 106.
Was melted by heating and was vapor-deposited on a PET (polyethylene terephthalate) base film 1 having a thickness of 10 μm to form a metal magnetic thin film 2.
【００３２】この場合、蒸着の入射角は、ベースフィル
ム１の法線方向から90度〜45度までであり、ベースフィ
ルム１の送り速度が25ｍ／分で、蒸着膜２の厚みが 200
nmとなるように蒸着した。巻き出しロール104 から巻き
取りロール108 へとクーリングキャン105 に沿ってベー
スフィルム１を送りながら、蒸着した。In this case, the incident angle of vapor deposition is 90 to 45 degrees from the normal direction of the base film 1, the feed rate of the base film 1 is 25 m / min, and the thickness of the vapor deposition film 2 is 200 m / min.
It was vapor-deposited to have a thickness of nm. The base film 1 was vapor-deposited while being fed from the unwinding roll 104 to the winding roll 108 along the cooling can 105.
【００３３】なお、この蒸着において、特に金属磁性薄
膜２の蒸着時にはＡｒガス導入管103 からＡｒガスを導
入し、真空度を調整する。なお、酸素ガス供給管（図示
せず）から酸素ガスを吹き出しながら磁性粒子の一部を
酸化して堆積させると、磁性薄膜２の保磁力と飽和磁化
量をコントロールすることができる。In this vapor deposition, particularly when the metal magnetic thin film 2 is vapor-deposited, Ar gas is introduced from the Ar gas introduction pipe 103 to adjust the degree of vacuum. It is possible to control the coercive force and saturation magnetization of the magnetic thin film 2 by oxidizing and depositing a part of the magnetic particles while blowing oxygen gas from an oxygen gas supply pipe (not shown).
【００３４】次に、図３に示す連続巻き取り式スパッタ
装置において、チャンバー120 内に図４に明示するよう
な、コバルト111 とカーボン112 の混在したターゲット
127を用いて、上記の方法で作成した蒸着フィルム１を
巻き出しロール124 （上記の108 に対応するもの）から
巻き出し、巻き取りロール128 へ巻き取り、クーリング
キャン125 で案内しながら、ベースフィルム１の磁性薄
膜２の表面にカーボンとコバルトを混在させた保護層４
をスパッタによって形成した。この際、ターゲット127
のカーボンとコバルトとの重量比率を変化させてスパッ
タし、保護層の組成を異ならせた各サンプルフィルムを
作成した。Next, in the continuous winding type sputtering apparatus shown in FIG. 3, a target in which cobalt 111 and carbon 112 are mixed as shown in FIG.
Using 127, the vapor-deposited film 1 produced by the above method is unwound from an unwinding roll 124 (corresponding to 108 above), wound up on a winding roll 128, and guided by a cooling can 125 while a base film is being guided. Protective layer 4 in which carbon and cobalt are mixed on the surface of the magnetic thin film 2 of 1.
Was formed by sputtering. At this time, target 127
Each sample film was prepared by changing the weight ratio of carbon and cobalt and sputtering to make the composition of the protective layer different.
【００３５】スパッタ装置は、マグネトロンスパッタ装
置として構成され、図３に示したように、真空ポンプ12
1 にてチャンバー120 内を10-4Paまで減圧した後、真空
ポンプ121 側へ排気するバルブ122 の角度を全開状態か
ら10度まで絞ることにより、排気速度を落とし、Ａｒガ
ス導入管123 からＡｒガスを導入し、真空度を 0.8Paに
した。The sputtering apparatus is constructed as a magnetron sputtering apparatus, and as shown in FIG.
After decompressing the inside of the chamber 120 to 10 -4 Pa in 1 and reducing the angle of the valve 122 that exhausts to the vacuum pump 121 side from the fully open state to 10 degrees, the exhaust speed is reduced, and the Ar gas introduction pipe 123 to Gas was introduced to make the vacuum degree 0.8 Pa.
【００３６】巻き出しロール124 には、Ｃｏの合金を蒸
着した原反をセットし、冷却キャン125 で−20℃に冷却
しながら電極126 とターゲット127 に 600Ｖの電圧129
をかけ、10Ａの電流が流れる状態を保ち、カーボンとコ
バルトからなるスパッタ層（保護層）４を10nmの厚みに
形成した。なお、スパッタ方式はＤＣスパッタ方式であ
り、ターゲット127 とキャン125 との間隔ｄは80mm、フ
ィルム１の送り速度は６ｍ／分であった。A roll of Co alloy deposited is set on the unwinding roll 124, and a voltage of 600 V 129 is applied to the electrode 126 and the target 127 while cooling to -20 ° C. with a cooling can 125.
Then, a sputter layer (protective layer) 4 made of carbon and cobalt was formed to a thickness of 10 nm while maintaining a current of 10 A flowing. The sputtering method was a DC sputtering method, the distance d between the target 127 and the can 125 was 80 mm, and the feeding speed of the film 1 was 6 m / min.
【００３７】その後、カーボンを主体とし、硬化剤とし
て塩化ビニル系のバインダーを使用した高分子のバック
コート層３を 0.5μｍの厚みに形成し、磁気記録媒体の
原反を作成した。After that, a polymer backcoat layer 3 having a thickness of 0.5 μm and containing carbon as a main component and a vinyl chloride binder as a curing agent was formed to prepare a raw material for a magnetic recording medium.
【００３８】次に、金属磁性薄膜２上に、ナフタレンジ
オールを有機防錆剤としてその 0.1wt％溶液をグラビア
ロールを使用した塗布機にて塗布し、 100℃のドライヤ
ーで乾燥した後、潤滑剤としてパーフルオロポリエーテ
ル誘導体からなる有機物を主体とした 0.5wt％溶液を同
様にグラビアロールにて塗布した後、乾燥し、トップコ
ート層を形成した。Next, a 0.1 wt% solution of naphthalene diol as an organic anticorrosive was applied on the metal magnetic thin film 2 by a coating machine using a gravure roll, and dried with a dryer at 100 ° C. Then, a 0.5 wt% solution mainly composed of an organic substance composed of a perfluoropolyether derivative was similarly coated by a gravure roll and then dried to form a top coat layer.
【００３９】そして、この磁気記録媒体原反を８mm幅に
裁断し、図１に示した蒸着テープとした。図５には、サ
ンプル作成のフローチャートを示す。Then, this raw material of the magnetic recording medium was cut into a width of 8 mm to obtain the vapor deposition tape shown in FIG. FIG. 5 shows a flowchart of sample preparation.
【００４０】次に、上記の製法によって作成された蒸着
テープにおいて、保護層４の組成比率と、電磁変換特性
及びスチル耐久性を測定した。Next, the composition ratio of the protective layer 4, the electromagnetic conversion characteristics and the still durability of the vapor deposition tape prepared by the above-mentioned manufacturing method were measured.
【００４１】下記の表１に、使用したターゲット127 の
カーボンとコバルトの構成比率と、形成された保護層の
組成比率の測定結果を示した。但し、保護層の組成比率
は、オージェ電子分光によって測定し、相対原子数比率
を組成比率とした。ターゲットの組成比率に応じて、保
護層の組成比率が変化していることが分かる。Table 1 below shows the measurement results of the composition ratio of carbon and cobalt of the target 127 used and the composition ratio of the formed protective layer. However, the composition ratio of the protective layer was measured by Auger electron spectroscopy, and the relative atomic number ratio was defined as the composition ratio. It can be seen that the composition ratio of the protective layer changes according to the composition ratio of the target.
【００４２】 [0042]
【００４３】更に、下記の表２に各サンプルの電磁変換
特性とスチル耐久性の測定結果を示した。測定は、ソニ
ー社製のハイバンド８ミリビデオデッキＥＶ−Ｓ９００
を改造したもので行った。相対速度は 3.8ｍ／秒、記録
周波数は７MHz で行った。また、スチル耐久性は、出力
が初期レベルに対して３dB劣化するまでの時間を測定し
た。Further, Table 2 below shows the measurement results of electromagnetic conversion characteristics and still durability of each sample. The measurement is a Sony high band 8 mm VCR EV-S900.
I went with a modified version. The relative speed was 3.8 m / sec and the recording frequency was 7 MHz. The still durability was measured as the time until the output deteriorated by 3 dB with respect to the initial level.
【００４４】 [0044]
【００４５】この結果から、本発明に基いて磁性層上に
カーボンと磁性材料からなり、磁性を有する保護層を設
けることによって、電磁変換特性を向上（スペーシング
ロスを減少）させ、耐摩耗性も良好とすることができ
る。From these results, it is possible to improve electromagnetic conversion characteristics (reduce spacing loss) and wear resistance by providing a magnetic protective layer made of carbon and a magnetic material on the magnetic layer according to the present invention. Can also be good.
【００４６】この表２の結果をもとに、スパッタのター
ゲットの組成比率（即ち、保護層の組成比率）と、電磁
変換特性及びスチル耐久性との関係を図６に示した。図
６から、保護層のコバルト原子比率が40％未満では極端
に電磁変換特性が低くなり易く、コバルト原子比率が60
％以上ではスチル耐久性が極端に悪くなり易いため、保
護層のコバルト含有量は40％〜60％の範囲が最も良いこ
とが分かる。Based on the results in Table 2, the relationship between the composition ratio of the sputtering target (that is, the composition ratio of the protective layer) and the electromagnetic conversion characteristics and still durability is shown in FIG. From FIG. 6, when the cobalt atom ratio of the protective layer is less than 40%, the electromagnetic conversion characteristics tend to be extremely low, and the cobalt atom ratio is 60%.
%, The still durability is apt to be extremely deteriorated, so it is understood that the cobalt content of the protective layer is best in the range of 40% to 60%.
【００４７】なお、本実施例では、蒸着層（磁性薄膜）
としてＣｏを用いたが、表面に磁性を持った保護層を設
けて電磁変換特性と走行耐久性を向上させることは、Ｃ
ｏの他に、Ｆｅ、Ｎｉ等の金属やＣｏ−Ｎｉ系合金、Ｃ
ｏ−Ｎｉ−Ｐｔ系合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ系合金、Ｆｅ
−Ｎｉ−Ｂ系合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ系合金、Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｎｉ−Ｂ系合金等からなる面内磁化記録金属磁性膜
や、Ｃｏ−Ｃｒ系合金薄膜、Ｃｏ−Ｏ系薄膜等の垂直磁
化記録金属磁性薄膜に関する場合においても、有効であ
る。こうした磁性材料は、保護層においても適宜選択し
て使用してよい。In this example, the vapor deposition layer (magnetic thin film)
Although Co was used as the material, it is not possible to improve the electromagnetic conversion characteristics and running durability by providing a magnetic protective layer on the surface of C.
In addition to o, metals such as Fe and Ni, Co-Ni alloys, C
o-Ni-Pt alloy, Fe-Co-Ni alloy, Fe
-Ni-B system alloy, Fe-Co-B system alloy, Fe-Co
This is also effective in the case of a perpendicular magnetization recording metal magnetic thin film such as an in-plane magnetization recording metal magnetic film made of a —Ni—B type alloy or a Co—Cr type alloy thin film or a Co—O type thin film. Such a magnetic material may be appropriately selected and used also in the protective layer.
【００４８】また、本実施例では、組成比率の異なる保
護層を形成するためのスパッタターゲットとして、図４
のような形状のものを使用したが、同様の効果が得られ
るものであれば、特にこの形状に限定されるものではな
い。また、カーボン以外の非磁性材料を同様の目的で使
用してよい。Further, in this embodiment, as a sputter target for forming protective layers having different composition ratios, as shown in FIG.
Although the shape as described above was used, it is not particularly limited to this shape as long as the same effect can be obtained. Also, non-magnetic materials other than carbon may be used for similar purposes.
【００４９】その他、上記の例は本発明の技術的思想に
基いて種々に変形可能である。In addition, the above example can be variously modified based on the technical idea of the present invention.
【００５０】[0050]
【発明の作用効果】本発明の磁気記録媒体は、磁性を有
する保護層が、磁気記録層上に形成されているので、磁
気記録層が本来の磁気記録に用いられると同時に、保護
層自体も磁性を有しているために磁気記録の障害とはな
らず、むしろ磁気記録の一部を担うことになる。In the magnetic recording medium of the present invention, since the magnetic protective layer is formed on the magnetic recording layer, the magnetic recording layer is used for the original magnetic recording and at the same time the protective layer itself is formed. Since it has magnetism, it does not hinder magnetic recording, but rather plays a part in magnetic recording.
【００５１】これによって、保護層によるスペーシング
ロスを効果的に抑制し、電磁変換特性を向上させること
ができる。しかも、保護層としてその構成材料（特にカ
ーボンとＣｏ等の磁性材料）によって媒体の耐摩耗性を
容易に向上させることができる。As a result, the spacing loss due to the protective layer can be effectively suppressed and the electromagnetic conversion characteristics can be improved. Moreover, the wear resistance of the medium can be easily improved by the constituent material (especially carbon and a magnetic material such as Co) as the protective layer.
【図１】本発明に基づく磁気記録媒体の一例の断面図で
ある。FIG. 1 is a sectional view of an example of a magnetic recording medium according to the present invention.
【図２】同磁気記録媒体の製造に使用する蒸着装置の概
略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a vapor deposition device used for manufacturing the magnetic recording medium.
【図３】同磁気記録媒体の製造に使用するスパッタ装置
の概略断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of a sputtering apparatus used for manufacturing the magnetic recording medium.
【図４】同スパッタ装置に用いるターゲットの側面図及
び平面図である。FIG. 4 is a side view and a plan view of a target used in the sputtering apparatus.
【図５】同磁気記録媒体の作成工程のフローチャートで
ある。FIG. 5 is a flowchart of a manufacturing process of the magnetic recording medium.
【図６】同磁気記録媒体における保護層の組成比率と電
磁変換特性及びスチル耐久性の関係を示すグラフであ
る。FIG. 6 is a graph showing the relationship between the composition ratio of the protective layer and the electromagnetic conversion characteristics and still durability of the magnetic recording medium.
１・・・非磁性支持体（ベースフィルム） ２・・・金属磁性薄膜 ３・・・バックコート層 ４・・・保護層 100 、120 ・・・チャンバー 101 、121 ・・・真空ポンプ 102 、122 ・・・排気バルブ 103 ・・・Ａｒガス導入管 104 、124 ・・・巻き出しロール 105 、125 ・・・クーリングキャン 106 ・・・電子銃 107 ・・・坩堝 108 、128 ・・・巻き取りロール 109 ・・・電子ビーム 111 ・・・コバルト 112 ・・・カーボン 126 ・・・電極 127 ・・・ターゲット 1 ... Non-magnetic support (base film) 2 ... Metal magnetic thin film 3 ... Back coat layer 4 ... Protective layer 100, 120 ... Chamber 101, 121 ... Vacuum pump 102, 122・ ・ ・ Exhaust valve 103 ・ ・ ・ Ar gas introduction pipes 104, 124 ・ ・ ・ Unwind rolls 105, 125 ・ ・ ・ Cooling can 106 ・ ・ ・ Electron gun 107 ・ ・ ・ Crucible 108, 128 ・ ・ ・ Winding rolls 109 ・ ・ ・ Electron beam 111 ・ ・ ・ Cobalt 112 ・ ・ ・ Carbon 126 ・ ・ ・ Electrode 127 ・ ・ ・ Target
フロントページの続き (72)発明者 千葉 一信 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内Front page continuation (72) Inventor Kazunobu Chiba 6-735 Kitashinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Corporation
Claims (5)
成されている磁気記録媒体。1. A magnetic recording medium in which a protective layer having magnetism is formed on the magnetic recording layer.
れ含有している、請求項１に記載した磁気記録媒体。2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the protective layer contains carbon and a magnetic material, respectively.
60原子％の磁性金属とをそれぞれ含有している、請求項
２に記載した磁気記録媒体。3. A protective layer comprising carbon of 60 to 40 atomic% and 40 to 40
The magnetic recording medium according to claim 2, which contains 60 atomic% of a magnetic metal.
求項１〜３のいずれか１項に記載した磁気記録媒体。4. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic recording layer comprises a metal magnetic thin film.
材料の連続膜として形成されている、請求項１〜４のい
ずれか１項に記載した磁気記録媒体。5. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic recording layer and the protective layer are each formed as a continuous film of constituent materials.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28923694A JPH08129748A (en) | 1994-10-28 | 1994-10-28 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28923694A JPH08129748A (en) | 1994-10-28 | 1994-10-28 | Magnetic recording medium |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08129748A true JPH08129748A (en) | 1996-05-21 |
Family
ID=17740551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28923694A Pending JPH08129748A (en) | 1994-10-28 | 1994-10-28 | Magnetic recording medium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08129748A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG118153A1 (en) * | 2002-08-26 | 2006-01-27 | Inst Data Storage | Magnetic recording medium with magnetic overcoat layer |
| JP2010129167A (en) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Seagate Technology Llc | Recording medium with reduced magnetic head keeper spacing, head medium spacing, or head to soft underlayer spacing |
| JP2012203933A (en) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Toshiba Corp | Vertical magnetic recording medium including soft magnetic particle-mixed protection layer on upper portion of recording layer, and magnetic disk device including the same |
-
1994
- 1994-10-28 JP JP28923694A patent/JPH08129748A/en active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG118153A1 (en) * | 2002-08-26 | 2006-01-27 | Inst Data Storage | Magnetic recording medium with magnetic overcoat layer |
| JP2010129167A (en) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Seagate Technology Llc | Recording medium with reduced magnetic head keeper spacing, head medium spacing, or head to soft underlayer spacing |
| JP2014078315A (en) * | 2008-11-26 | 2014-05-01 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording device |
| US9299379B2 (en) | 2008-11-26 | 2016-03-29 | Seagate Technology Llc | Reduced spacing recording apparatus |
| JP2012203933A (en) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Toshiba Corp | Vertical magnetic recording medium including soft magnetic particle-mixed protection layer on upper portion of recording layer, and magnetic disk device including the same |
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