JPS61184606A - 機械位置検出装置 - Google Patents

機械位置検出装置

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JPS61184606A
JPS61184606A JP60025694A JP2569485A JPS61184606A JP S61184606 A JPS61184606 A JP S61184606A JP 60025694 A JP60025694 A JP 60025694A JP 2569485 A JP2569485 A JP 2569485A JP S61184606 A JPS61184606 A JP S61184606A
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JP
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backlash
amount
output
polarity
circuit
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Application number
JP60025694A
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Inventor
Etsuo Yamazaki
悦雄 山崎
Hitoshi Matsuura
仁 松浦
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Fanuc Corp
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Fanuc Corp
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    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/19Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
    • G05B19/21Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device
    • G05B19/23Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an incremental digital measuring device for point-to-point control

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
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  • Numerical Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 本発明は、モータに直接又は間接的に取付けた位置検出
器からのフィードバックパルスを用いて前記モータによ
って駆動される機械可動部の位置を検出する装置におい
て、バックラッシ補正処理を行なうことによってバック
ラッシ内で帰還されるフィードバックパルスによっては
機械位置を変更しないようにすることで、正確で且つ変
動の少ない機械位置データを得るようにしたものである
〔産業上の利用分野〕
本発明はならい制御装置等における機械可動部の機械位
置検出装置に関する。
ならい制御装置は、原理的に機械可動部の位置を知らな
くても加工を行なうことができる。しかし、ならい折り
返し制御、停止制御をリミットスイッチ等の機械的スイ
ッチを用いずに可能とするため、或はならい領域から他
のならい領域への位置決めを可能とするために、最近の
ならい制御装置には簡単な位置制御機能と機械位置検出
機能が付加されている。そして、このような機能はモー
タに直接または間接的に取付けられた位置検出器からの
フィードバックパルスを用いて行なわれている。なお、
機械可動部の検出位置はならい制御のためだけでなく、
それを表示させることでオペレータのならい動作の監視
等にも利用されている。
〔従来の技術〕
従来の前記機械位置検出は、位置検出器からのフィード
バックパルスをカウンタで計数させ、このカウンタの内
容を所定時間毎に読取ると共に、読取った値の極性を反
転して前記カウンタに入力することによりカウンタの内
容をキャンセルし、他方前記読取った値を今までの機械
位置データに加算することにより行なわれている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、位置検出器からのフィードバックパルスは駆動
系にバックラッシがある場合、機械可動部が実際に移動
していなくても発生されるから、読取ったカウンタの内
容を積算するだけでは機械位置データはバフクラッシの
影響を受けて正確に機械位置を示さず、またバックラッ
シ内の変動に応じて頻繁にその値が変化することから表
示がチラチラして非常に見ずらいという問題点がある。
本発明はこのような従来の問題点を解決したもので、そ
の目的は、正確で且つバックラッシ内での駆動では機械
位置データが変動しないようにすることにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は上記問題点を解決するために、例えば第1図に
示すように、モータ1によって駆動される機械可動部2
の機械位置をモータ1に直接または間接的に取付けた位
置検出器3からのパルスを用いて検出する装置において
、位置検出器3からのパルスを計数する計数手段4と、
この計数手段4の計数値を所定時間毎に読取る読取り手
段5と、この読取られた計数値骨だけ計数手段4の内容
をキャンセルするキャンセル手段6と、駆動系のバック
ラッシ量を記憶するバックラッシ量記憶手段7と、読取
り手段5で読取られた計数値および前記バックラッシ量
に基づき前記所定時間毎に機械可動部2の実際の移動量
を算出する移動量算出手段8と、移動量算出手段8で算
出された移動量を積算する積算手段9とを設ける。
〔作用〕
読取り手段5で読取られる計数値のなかには機械可動部
2の実際の移動に対応した値とバックラッシに対応した
値とが含まれるが、移動量算出手段8は予め設定された
バックラッシ量に基づき機械可動部2の実際の移動量を
算出するので、バックラッシ内に対応する計数値は無視
され、積算手段は正確な機械位置を示し、且つバックラ
ッシ内の駆動では機械位置データは変化しなくなる。
〔実施例〕
第2図は本発明を通用したならい制御装置の要部ブロッ
ク図である。このならい制御装置は、ならい制御機能と
位置決め機能と機械位置検出機能とを有する。
第2図において、マイクロコンピュータ26は、データ
バス、アドレスバス、コントロールバスを含むバス27
により周辺回路と接続される。メモリ28はマイクロコ
ンピュータ26に所定の制御を行なわせるためのプログ
ラムやならい規定データ例えば基準変位量、ならい送り
速度、ならい折り返し位置等を記憶する領域、及び位置
決めのための目標位置データ等を記憶する領域を有する
。入力回路30はキーボード31のインタフェイスであ
り、各種データはこのキーボード31からメモリ28に
記憶等させることができる。出力回路29からは、なら
い制御回路21へならい規定データが、エラ−カウンタ
32〜34ヘゲート回路38〜40を介して各軸の移動
措令値が又直接リセット信号が、制御部35〜3′7へ
初期化信号および所定のタイミング信号が、ゲート回路
38〜40.22には切換信号が、Z軸しジスタ44.
X軸しジスタ45.Y軸しジスタ46ヘリセツト信号が
それぞれ送出される。入力回路48はレジスタ44〜4
6の内容をマイクロコンピュータ26が読取るためのイ
ンクフェイスである。
ならい制御回路21はトレーサヘッド12から出力され
る変位信号εX、εy、ε2と出力回路29から入力さ
れるならい規定データとから公知のようにならい制御に
必要な各軸の指令速度信号を発生するものである。この
指令速度信号はゲート回路22を介して各軸のサーボア
ンプ詔〜怒に加えられる。サーボアンプ23〜25の出
力で駆動されるX軸モータ15.Y軸モータ16.Z軸
モータ17は図示しない歯車、ボールねじ等の動力伝達
機構を介してトレーサヘッド12とカッタ13を一体的
に駆動するためのものである。トレーサヘッド12には
モデル11の形状を検出するためのスタイラス10が装
着される。また、各軸のモータ15〜17にはパルスコ
ーダ等の位置検出器17〜19が取付けられ、各位置検
出器17〜19から出力されるパルスはエラーカウンタ
32〜34に入力される。
エラーカウンタ32〜34はゲート回路38〜40の出
力でカウントアツプされ、位置検出器17〜19の出力
パルスでカウントダウンされる。エラーカウンタ32〜
34の出力はD/A変換器41〜43でアナログ電圧に
変換され、ゲート回路22を介して各サーボアンプ23
〜25に加えられる。制御部35〜37はエラーカウン
タ32〜34の内容を所定時間例えば数ms毎に読取り
、読取った内容の極性を反転してゲート回路38〜40
を介してエラーカウンタ32〜34に入力することによ
り、エラーカウンタの内容を読取った分だけキャンセル
すると共に、読取った内容と後述する各軸のバックラッ
シ量に基づき機械可動部の機械位置(例えばスタイラス
10の中心位置)の所定時間毎の移動量を求め、これを
レジスタ44〜46に送出する。レジスタ44〜46は
、入力される移動量を積算するものであり、その内容は
前述したように入力回路48を介してマイクロコンピュ
ータ26に読取られると共に、CRT等の表示装置47
に表示される。次に第2図の動作を説明する。
〔位置決め動作〕
位置決め時にはゲート回路38〜40の入力は出力回路
西側に切換えられ、ゲート回路22の入力はD/A変換
器41〜43側に切換えられる。X軸を位置検出器18
のパルス数にして例えば100パルス分、Y軸を位置検
出器19のパルス数にして200パルス分、Z軸を位置
検出器20のパルス数にして300パルス分それぞれ各
軸の子方向に移動させる場合、マイクロコンピュータ2
6は、出力回路29とゲートY軸用のエラーカウンタ3
3に合計200の値をセットする。ゲート回路22はD
/A変換器側に切換えられているので、各エラーカウン
タの内容がアナログ量に変換された電圧は各軸のサーボ
アンプに入力され、各モータはサーボアンプの出力によ
り駆動される。モータが回転すると、位置検出器から回
転数に応じた繰返し周波数のパルスが発生され、エラー
カウンタ32〜34の内容が減算されていく。そして、
エラーカウンタの内容が零になると、モータの回転は停
止し、位置決めが完了する。
〔ならい制御の動作〕
ならい制御時は、ゲート回路38〜40の入力は制御部
35〜37側に切換えられ、ゲート回路22の入力はな
らい制御回路21側に切換えられる。また、機械座標系
の原点においてエラーカウンタ32〜34の内容及びレ
ジスタ44〜46の内容は零にプリセットされ、制御部
35〜37の初期化が行なわれる。モデル11にスタイ
ラス10が接触してモータによる送りが行なわれ、スタ
イラス10の変位に応じた変位信号εX、εy、ε2が
トレーサヘッド12から出力されると、この変位信号と
出力回路29からのならい規定データとからならい制御
回路21では、公知のようにして2軸指令速度信号、Y
軸指令速度信号、X軸指令速度信号が生成される。この
各指令速度信号はゲート回路22を介して各サーボアン
プ23〜25に加えられ、その増幅出力によって各軸モ
ータが駆動され、カッタ13とスタイラス10との一体
的な送りが行なわれ、ワーク14がカッタ13により加
工される。
〔ならい制御中の機械位置検出動作〕
ならいが行なわれ、各軸のモータ15〜17が回転する
と、その回転量に応じたパルスが位置検出器17〜19
から発生され、エラーカウンタ32〜34の内容は零か
ら順次カウントダウンしていく。制御部35〜37は所
定時間毎例えば数ms毎にエラーカウンタ32〜34の
内容を読取り、その読取った値の極性を反転してゲート
回路38〜40を介してエラーカウンタ32〜34に加
えることにより、読取った値分だけその内容をキャンセ
ルする。また、読取った内容および各軸のバックラッシ
量からバックラッシ補正を加えた各時間毎の各軸の実際
の移動量を求め、これをレジスタ44〜46に送出する
。各レジスタ44〜46は入力された移動量を積算する
ことにより各軸の現在の機械位置を求める。このレジス
タ44〜46の内容は表示装置47に入力され、図示し
たように各軸の機械位置が画面に表示される。また、マ
イクロコンピュータ妬は入力回路48を介してレジスタ
44〜46の値を読取り、これと予めメモリ28に記憶
された例えばならい折り返し位置データと比較すること
によりスタイラス10がならい折り返し位置に到達した
か否かを検出し、達しておればならい制御回路21にピ
ックフィードを行なわせる等の制御を行なう。
第3図は制御部35の要部ブロック図である。制御部3
6.37も同様の構成とすることができる。
制御部35には、エラーカウンタ32の内容と出力回路
29からの初期信号及びタイミング信号が入力される。
レジスタ50は、タイミング信号で規定される所定時間
毎即ち数ms毎にエラーカウンタ32の内容を読取り、
符号反転回路51はその読取られた値の極性を反転して
ゲート回路38と移動量算出手段52に送出する。移動
量算出手段52で算出されたZ軸の実際の移動量は、Z
軸しジスタ44に入力される。
第4図は移動量算出手段52の実施例の要部ブロック図
である。この実施例の移動量算出手段には、Z軸の中方
向のバックラッシ吐き出し量を記憶するレジスタ61と
、その出力すと符号反転回路51からの入力aを加算す
る加算器60と、Z軸のバックラッシ量Aを記憶するレ
ジスタ62と、加算器60の出力Cからバックラッシ量
Aを減算する減算器63と、減算器63の出力dの極性
を判別し正のときその出力を“1”とする極性判別回路
64と、加算器60の出力Cの極性を判別し負のときそ
の出力を“1”とする極性判別回路65と、極性判別回
路64の出力eと極性判別回路65の出力fの内容に基
づきZ軸しジスタ材に加算器60の出力Cを送出するか
或は減算器63の出力dを送出するかを決定する。
アンド回路66.67とオア回路69から成る回路と、
極性判別回路64.65の判別結果、加算器60の出力
C,バックラッシ量Aおよび予め設定された値即ち零を
用い、レジスタ61に新たなバックラッシ吐き出し量を
記憶させる更新手段とを有する。この更新手段は、排他
的論理和回路68.アンド回路72〜74.インバータ
71.定数(0)を設定する設定回路70.オア回路7
5から成る。
第5図は第4図の動作タイミングチャートであり、80
はZ軸の移動量の変化、81はエラーカウンタ32の内
容の変化をそれぞれ示す。Z軸がその正方向のバックラ
ッシ量が全て吐き出された状態で原点にあるとき、レジ
スタ61の内容はAとなっている。ならいが行なわれて
所定時間後のt、において、Z軸の実際の機械位置がX
lだけ子方向に移動したとすると、エラーカウンタ32
の内容は−x1となる。その時刻1.においてレジスタ
50にエラーカウンタ32の値−X、が取り込まれ、符
号反転回路51で反転されて移動量算出手段52に入力
される信号aの値はxlであり、Xlとレジスタ61の
内容Aとが加算器60で加算され出力Cの値はx 1 
+Aとなる。また、減算器63においてCの内容からバ
ックラッシ量Aが引かれて得られるdの値はX、となる
。従って、加算器60の出力Cおよび減算器63の出力
dが共に正であることから極性判別回路64の出力eの
みが“1”となり、減算器63の出力d(X+)がアン
ド回路66、オア回路69を介して出力jとしてZ軸し
ジスタ44に送出される。また、出力eが1″になるこ
とによりアンド回路73が開かれ、バックラッシ量Aが
信号りとしてオア回路75を介してレジスタ61に入力
され、レジスタ61の内容はAに保たれる。
次に、所定時間経過後の時刻t2までにZ軸の機械位置
が一方向にx2だけ移動したとすると、移動方向が反転
したことによりバックラノシ量分だけのパルスが余分に
位置検出器20から発生されるので、時刻t2における
エラーカウンタ32の内容はx2よりもAだけ多くなり
、入力aは−(X2+A)となる。従って、加算器60
の出力Cは−x2)減算器63の出力dは−(X2+A
)となり、両者とも負であるので極性判別回路65の出
力fのみが“1″となり、Z軸しジスタ44には加算器
60の出力C1即ち−x2がアンド回路67、オア回路
69を介して送出される。また、極性判別回路65の出
力fが“1”となることにより設定回路70の定数(0
)がアンド回路74を介して信号iとしてレジスタ61
にセットされ、その時点でZ軸の子方向のバックラッシ
吐き出し量が零であることが記憶される。
次に時刻t2から時刻t3までの所定時間においてZ軸
の機械位置は実際には変化していないが、スタイラス1
0の振動等により2軸モータ17がバックラッシ量を越
えない量例えばA/α(α〉■)だけ子方向に回転した
とすると、時刻t3におけるエラーカウンタ32の内容
は−A/αとなる。この場合、加算器60の出力CはA
/α、減算器63の出力dはA((1/α)−1)とな
り、極性判別回路64.65の出力は共に“θ′になる
のでアンド回路66.67は閉じられたままであり、Z
軸しジスタ44に対しては移動量は送出されない。そし
て、排他的論理和回路68の出力が“0”になることに
よりインバータ71の出力によってアンド回路72が開
かれ、加算器60の出力c (A/α)が信号gとして
オア回路75を介してレジスタ61にセットされる。即
ち、Z軸の子方向のバックラッシ量がA/αだけ吐き出
されたことが記憶される。
続いて時刻t3から時刻t4の間に更にZ軸が+方向に
駆動され、Z軸の機械位置がx3だけ移動すると、時刻
t、におけるエラーカウンタ32の内容は−(X3+A
 (1−1/α))となる。そのため、加算器60の出
力CはX3+A、減算器63の出力dはx3となり、共
に正であることから極性判別回路64の出力eのみが“
1”となり、減算器63の出力d(x3)がアンド回路
66、オア回路69を介してZ軸しジスタ44に入力さ
れる。また、この移動によってZ軸の子方向のバックラ
ッシ量が全て吐き出されたことにより、アンド回路73
が開かれバックラッシ量Aがレジスタ61にセットされ
る。
以上の実施例は、本発明の機械位置検出装置をならい制
御装置に通用したものであるが、本発明は倣い制御装置
以外の装置例えば数値制御装置等地の装置にも通用する
ことが可能である。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、モータに直接ま
たは間接的に取付けた位置検出器からのフィードバック
パルスにより機械位置を検出する装置において、バック
ラッシ補正処理を行なうことによってバックラッシ内で
帰還されるフィードバックパルスによっては機械位置を
更新しないようにしたので、実際の機械位置に合致した
正確な機械位置が得られる。またバックラッシ内の駆動
では積算される機械位置は変動しないので、これを表示
したとき表示内容の頻繁な変動がなくなり見易くなる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の構成説明図、第2図は本発明を適用し
たならい制御装置の要部ブロック図、第3図は制御部3
5の実施例の要部ブロック図、第4図は移動量算出手段
55の実施例の要部ブロック図、第5図は第4図の動作
タイミングチャートである。 1はモータ、2は機械可動部、3は位置検出器、4は計
数手段、5は読取り手段、6はキャンセル手段、7はバ
ックラッシ量記憶手段、8は移動量算出手段、9は積算
手段である。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)モータによって駆動される機械可動部の機械位置
    を前記モータに直接又は間接的に取付けた位置検出器か
    らのパルスを用いて検出する装置において、 前記位置検出器からのパルスを計数する計数手段と、 該計数手段の計数値を所定時間毎に読取る読取り手段と
    、 該読取り手段で読取られた計数値分だけ前記計数手段の
    内容をキャンセルするキャンセル手段と、バックラッシ
    量を記憶するバックラッシ量記憶手段と、 前記読取り手段で読取られた計数値及び前記バックラッ
    シ量に基づき前記所定時間毎の前記機械可動部の実際の
    移動量を算出する移動量算出手段と、 該移動量算出手段で算出された移動量を積算する積算手
    段とを具備したことを特徴とする機械位置検出装置。
  2. (2)特許請求の範囲第1項記載の機械位置検出装置に
    おいて、前記移動量算出手段は、 所定方向の移動に対するバックラッシ吐き出し量を記憶
    するバックラッシ吐き出し量記憶手段と、該記憶手段の
    記憶値と前記読出し手段で読出された計数値とを加算す
    る加算手段と、 該加算手段の出力値から前記バックラッシ量を減算する
    減算手段と、 前記加算手段の出力の極性を判別する第1の極性判別手
    段と、 前記減算手段の出力の極性を判別する第2の極性判別手
    段と、 該第1及び第2の極性判別手段の判別結果に応じて前記
    加算手段の出力と前記減算手段の出力のいずれか一方を
    前記積算手段に出力する移動量出力手段と、 前記第1及び第2の極性判別手段の判別結果、前記加算
    器の出力、前記バックラッシ量及び予め設定された値に
    基づき前記バックラッシ吐き出し量記憶手段の記憶値を
    更新する更新手段とから成ることを特徴とする機械位置
    検出装置。
JP60025694A 1985-02-13 1985-02-13 機械位置検出装置 Pending JPS61184606A (ja)

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US06/912,520 US4792738A (en) 1985-02-13 1986-02-12 Machine position sensing device
EP86901484A EP0215127B1 (en) 1985-02-13 1986-02-12 Apparatus for detecting machine positions
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63148315A (ja) * 1986-12-12 1988-06-21 Fanuc Ltd サ−ボモ−タ制御装置
JPH0371206A (ja) * 1989-08-10 1991-03-27 Mitsubishi Electric Corp Nc工作機械の機械誤差補正装置
JPH0667716A (ja) * 1992-08-19 1994-03-11 Mitsubishi Electric Corp 数値制御装置並びに数値制御方法
JP5112361B2 (ja) * 2009-02-27 2013-01-09 三菱重工業株式会社 航空機構造体製造装置
DE102009058087A1 (de) * 2009-12-14 2011-06-16 Krones Ag Vorrichtung zum Behandeln von Behältnissen mit kombinierter Formatteil- und Einbauerfassung
DE102011006300A1 (de) * 2011-03-29 2012-10-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Verfahren und Überwachungseinheit zur Überprüfung von Positionswerten
GB2573273B (en) * 2018-04-05 2020-09-30 Nikken Kosakusho Europe Ltd System And Method For Monitoring Characteristics Of A Rotary Table

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5371750A (en) * 1976-12-07 1978-06-26 Komatsu Ltd Backlash compensating device
JPS5775310A (en) * 1980-10-30 1982-05-11 Toshiba Mach Co Ltd Detector for positional error of numerical control machine tool
JPS5858613B1 (ja) * 1971-04-30 1983-12-26 Mts System Corp

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4042869A (en) * 1971-03-29 1977-08-16 Industrial Nucleonics Corporation Backlash compensation
JPS522074B1 (ja) * 1971-04-22 1977-01-19
US3766461A (en) * 1971-10-04 1973-10-16 Superior Electric Co Backlash compensation circuit for numerically controlled stepping motor driven machine
JPS5221674B2 (ja) * 1972-08-08 1977-06-11
JPS5613329B2 (ja) * 1974-09-28 1981-03-27
JPS54132090A (en) * 1978-04-03 1979-10-13 Fanuc Ltd Error correction system for numerical control
JPS5776608A (en) * 1980-10-30 1982-05-13 Fanuc Ltd Position error correction device
SE427509B (sv) * 1981-09-18 1983-04-11 Facit Ab Anordning for korrigering av glapp i en drivanordning bestaende av en driven skruv och ett mutterorgan
JPS5876904A (ja) * 1981-10-30 1983-05-10 Yokogawa Hokushin Electric Corp オンオフ出力型調節計

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5858613B1 (ja) * 1971-04-30 1983-12-26 Mts System Corp
JPS5371750A (en) * 1976-12-07 1978-06-26 Komatsu Ltd Backlash compensating device
JPS5775310A (en) * 1980-10-30 1982-05-11 Toshiba Mach Co Ltd Detector for positional error of numerical control machine tool

Also Published As

Publication number Publication date
EP0215127A4 (en) 1989-10-04
DE3688272D1 (de) 1993-05-19
US4792738A (en) 1988-12-20
EP0215127A1 (en) 1987-03-25
DE3688272T2 (de) 1993-07-29
WO1986005009A1 (en) 1986-08-28
EP0215127B1 (en) 1993-04-14

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