JPS61183913A - Laminate capacitor - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は積層コンデンサに関し、特に誘電体ユニット
の側面にその端面が露出するように形成された内部電極
と、誘電体ユニットの側面に形成され内部電極に電気的
に接続される外部電極とを有する、積層コンデンサに関
する。Detailed Description of the Invention (Industrial Application Field) The present invention relates to a multilayer capacitor, and particularly to an internal electrode formed on the side surface of a dielectric unit so that its end surface is exposed, and an internal electrode formed on the side surface of the dielectric unit. The present invention relates to a multilayer capacitor having an external electrode electrically connected to an internal electrode.

（従来技術） 従来、この種の積層コンデンサには、内部電極としてた
とえば銀−パラジウムなどの導電材料が用いられている
。(Prior Art) Conventionally, in this type of multilayer capacitor, a conductive material such as silver-palladium is used as an internal electrode.

（発明が解決しようとする問題点） このような導電材料は高温で蒸発し易いので、誘電体ユ
ニットの焼成時に内部電極の端部が蒸発し、内部電極と
外部電極との電気的な接続が不良となる場合があった。(Problem to be Solved by the Invention) Since such conductive materials easily evaporate at high temperatures, the ends of the internal electrodes evaporate when the dielectric unit is fired, and the electrical connection between the internal electrodes and the external electrodes is broken. There were cases where it became defective.

すなわち、第７図に示すように、積層コンデンサ１の内
部電極２の端部が蒸発してしまい、外部電極３との接続
が遮断される。That is, as shown in FIG. 7, the ends of the internal electrodes 2 of the multilayer capacitor 1 evaporate, and the connection with the external electrodes 3 is cut off.

また、内部電極と外部電極との接続が残っている場合で
も、第８図に示すように、積層コンデンサ１の内部電極
２と外部電極３との接触部分が小さく、その接触抵抗が
大きくなる。Further, even if the connection between the internal electrode and the external electrode remains, as shown in FIG. 8, the contact portion between the internal electrode 2 and external electrode 3 of the multilayer capacitor 1 is small, and the contact resistance becomes large.

前者の場合には設計通りの静電容量値が得られなくなり
、後者の場合には全体としての等価直列抵抗（ＥＳＲ）
が大きくなるという問題があった。In the former case, the designed capacitance value cannot be obtained, and in the latter case, the overall equivalent series resistance (ESR)
The problem was that it became large.

このような対策としては、内部電極層を厚くすることが
考えられるが、これではコストアップが大幅になるばか
りでなく、デラミネーションが発生し易くなる等別の問
題を生じる。As a countermeasure against this problem, it may be considered to increase the thickness of the internal electrode layer, but this not only significantly increases cost but also causes other problems such as increased likelihood of delamination.

それゆえに、この発明の主たる目的は、別の方法で内部
電極と外部電極との電気的な接続の安定性のよい、積層
コンデンサを提供することである。Therefore, the main object of the present invention is to provide a multilayer capacitor in which the electrical connection between internal electrodes and external electrodes is stable using another method.

（問題点を解決するたやの手段） この発明は、内部電極と同質の材料で誘電体ユニットの
表面にその一部が露出するようにダミー電極が形成され
た、積層コンデンサである。(Another Means for Solving the Problems) The present invention is a multilayer capacitor in which a dummy electrode is formed of the same material as the internal electrode so that a portion thereof is exposed on the surface of a dielectric unit.

（作用） ダミー電極が誘電体ユニットの焼成時に蒸発して、焼成
雰囲気たとえば炉内におけるその金泥材料の濃度を高め
、好ましくは飽和状態にする。これによって、内部電極
それ自身からの材料の蒸発が抑えられる。(Operation) The dummy electrode evaporates during firing of the dielectric unit, increasing the concentration of the gold mud material in the firing atmosphere, for example in the furnace, preferably bringing it to a saturated state. This reduces evaporation of material from the inner electrode itself.

（発明の効果） 内部電極材料の蒸発が抑えられるので、その蒸発に起因
する内部電極と外部電極との電気的な接続の遮断あるい
は不良は生じない。そのため、積層コンデンサ全体の等
価直列抵抗を従来に比べて低く抑えることができ、Ｑの
劣化や容量のばらつき等が防止できる。しかも、このよ
うな効果を得るために、特に製造方法を変更したりする
必要がないばかりでなく、コストも大幅に上昇すること
はない。(Effects of the Invention) Since the evaporation of the internal electrode material is suppressed, the electrical connection between the internal electrode and the external electrode will not be interrupted or defective due to the evaporation. Therefore, the equivalent series resistance of the entire multilayer capacitor can be suppressed lower than that of the conventional capacitor, and deterioration of Q and variation in capacitance can be prevented. Moreover, in order to obtain such effects, it is not necessary to particularly change the manufacturing method, and the cost does not increase significantly.

この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点
は、図面を参照して行なう以下の実施例の詳細な説明か
ら一層明らかとなろう。The above objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of embodiments with reference to the drawings.

（実施例） 第１Ａ図および第１Ｂ図はこの発明の一実施例を示し、
第１Ａ図はその斜視図であり、第１Ｂ図は第１Ａ図の線
ＩＢ−ＩＢにおける断面図である。(Example) FIG. 1A and FIG. 1B show an example of this invention,
FIG. 1A is a perspective view thereof, and FIG. 1B is a sectional view taken along line IB-IB in FIG. 1A.

この積層コンデンサ１０は、ブロック状の誘電体ユニッ
ト１２を含む。この誘電体ユニット１２の内部には、た
とえば銀−パラジウムなどの金属材料で７枚の内部電極
１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ、１４ｅ、１４ｆおよ
び１４ｇが間隔を隔ててそれぞれ平行に形成される。ま
た、これらの内部電極１４ａ〜１４ｇの端面ば、それぞ
れが交互に誘電体ユニソ）１２の対向する側面１２ａお
よび１２ｂに露出される。すなわち、内部電極１４ａ、
１４ｃ、１４ｅおよび１４ｇの端面が誘電体ユニット１
２の一方側面１２ａから露出され、内部電極１４ｂ、１
４ｄおよび１４「の端面が誘電体ユニット１２の他方側
面１２ｂから露出される。This multilayer capacitor 10 includes a block-shaped dielectric unit 12. Inside this dielectric unit 12, seven inner electrodes 14a, 14b, 14c, 14d, 14e, 14f and 14g are formed in parallel at intervals, each made of a metal material such as silver-palladium. Further, the end surfaces of these internal electrodes 14a to 14g are alternately exposed to opposing side surfaces 12a and 12b of the dielectric material 12. That is, the internal electrode 14a,
The end faces of 14c, 14e and 14g are dielectric unit 1.
The internal electrodes 14b, 1 are exposed from one side 12a of the
4d and 14'' are exposed from the other side surface 12b of the dielectric unit 12.

さらに、１つまたは複数の（この実施例では７つの）ダ
ミー電極１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ、１６ｅ、１
６ｆおよび１６ｇが、好ましくは、誘電体ユニット１２
の内部電極１４ａ−１４ｇと同じ高さ位置に形成される
。そして、これらのダミー電極１６２〜１６ｇの端面ば
、内部電極１４ａ〜１４ｇの端面が露出する誘電体ユニ
ット１２の側面に対向する側面から露出される。すなわ
ち、ダミー電極１６ｂ、１６ｄおよび１６ｆの端面は誘
電体ユニット１２の一方側面１２ａから露出され、ダミ
ー電極１６ａ、１６ｃ、１’６ｅおよび１６ｇの端面ば
誘電体ユニッ）１２の他方側面１２ｂから露出される。Furthermore, one or more (seven in this example) dummy electrodes 16a, 16b, 16c, 16d, 16e, 1
6f and 16g are preferably dielectric unit 12
It is formed at the same height position as the internal electrodes 14a-14g. The end surfaces of these dummy electrodes 162 to 16g are exposed from the side surface opposite to the side surface of the dielectric unit 12 where the end surfaces of the internal electrodes 14a to 14g are exposed. That is, the end faces of the dummy electrodes 16b, 16d, and 16f are exposed from one side 12a of the dielectric unit 12, and the end faces of the dummy electrodes 16a, 16c, 1'6e, and 16g are exposed from the other side 12b of the dielectric unit 12. Ru.

これらのダミー電極１６３〜１６ｇは、内部電極１４ａ
〜１４ｇと同じ材質の金属材料で形成される。These dummy electrodes 163 to 16g are the internal electrodes 14a.
It is made of the same metal material as ~14g.

さらに、外部電極１８ａおよび１８ｂが、誘電体ユニッ
ト１２の両側面１２ａおよび１２ｂにたとえば銀やパラ
ジウムなどの金属材料を印刷し焼付けすることによって
それぞれ形成される。Furthermore, external electrodes 18a and 18b are formed by printing and baking a metal material such as silver or palladium on both side surfaces 12a and 12b of dielectric unit 12, respectively.

この実施例では、誘電体ユニットを形成するために、た
とえば第２図実線で示すようなセラミックグリーンシー
ト１２’が用いられる。このセラミックグリーンシート
１２′の一方主面には、内部電極１４としてその中央か
ら一端にまで、たとえば銀−パラジウムなどの金属材料
が印刷される。In this embodiment, a ceramic green sheet 12' as shown by the solid line in FIG. 2, for example, is used to form the dielectric unit. On one main surface of the ceramic green sheet 12', a metal material such as silver-palladium is printed as an internal electrode 14 from the center to one end.

さらに、内部電極１４に対向するセラミックグリーンシ
ート１２′の他端部分には、ダミー電極１６としてたと
えば銀−パラジウムなどの金属材料が印刷される。そし
て、このセラミックグリーンシート１２′を数枚準備し
、それらを互い違いに向けて積層し、圧着焼成すれば誘
電体ユニット１２が形成される。Furthermore, a metal material such as silver-palladium is printed as a dummy electrode 16 on the other end portion of the ceramic green sheet 12' facing the internal electrode 14. Then, a dielectric unit 12 is formed by preparing several ceramic green sheets 12', stacking them alternately, and pressing and firing them.

なお、このセラミックグリーンシート１２′は、第２図
実線および１点鎖線で示すように、帯状のセラミックグ
リーンシート１２　″の一方主面に一定間隔を隔てて矩
形状にたとえば銀−パラジウムなどの金属材料を印刷し
、その金属材料の端部でセラミックグリーンシート１２
“を幅方向に切断することによって製造され得る。その
ため、従来の積層コンデンサの製造方法に比べて、新規
な投資はほとんど不要である。The ceramic green sheet 12' is made of a metal such as silver-palladium in a rectangular shape at regular intervals on one main surface of the belt-shaped ceramic green sheet 12'', as shown by the solid line and the dashed-dotted line in FIG. Print the material and attach the ceramic green sheet 12 at the edge of the metal material
Therefore, compared to conventional manufacturing methods for multilayer capacitors, almost no new investment is required.

この積層コンデンサ１０では、ダミー電極１６ａ〜１６
ｇが形成されているため、誘電体ユニット１２の焼成工
程の際に内部電極１４ａ−１４ｇの端部の蒸発が抑えら
れる。なぜなら、焼成炉内では、内部電極材料だけでな
く、ダミー電極材料も蒸発し、そのためダミー電極がな
い場合に比べて、炉内雰囲気のその材料濃度が高くなり
、より短い時間に飽和状態になるので、内部電極材料の
蒸発が比較的少なく抑制されるからである。そのため、
従来のように、内部電極と外部電極との接続不良を起こ
すことがない。このことは、内部電極の材料として高温
で蒸発し易い比較的安価な金属または合金材料を使用で
きるばかりでなく、さらには、誘電体ユニットの焼成工
程における条件を広範囲に選べることを意味する。In this multilayer capacitor 10, dummy electrodes 16a to 16
g is formed, evaporation of the ends of the internal electrodes 14a-14g is suppressed during the firing process of the dielectric unit 12. This is because in the firing furnace, not only the internal electrode material but also the dummy electrode material evaporates, so the concentration of that material in the furnace atmosphere becomes higher and becomes saturated in a shorter time than if there were no dummy electrode. This is because evaporation of the internal electrode material is suppressed to a relatively low level. Therefore,
Unlike the conventional method, there is no possibility of poor connection between the internal electrode and the external electrode. This means that not only can a relatively inexpensive metal or alloy material that easily evaporates at high temperatures be used as the material for the internal electrodes, but also that conditions in the firing process of the dielectric unit can be selected from a wide range.

（実験例） この実験例では、第３Ａ図および第３Ｂ図に示すダミー
電極のないサンプル■　（従来例）と第４図に示すダミ
ー電極を有するサンプル■（実施例）とを形成した。サ
ンプルＩおよびＨの形成条件は次のとおりである。(Experimental Example) In this experimental example, a sample (2) without a dummy electrode shown in FIGS. 3A and 3B (conventional example) and a sample (2) having a dummy electrode (example) shown in FIG. 4 were formed. The conditions for forming Samples I and H are as follows.

サンプルＩ 内部電極延長方向の全体の長さを３．０７ｍｍとし、幅
を１．５５１ｍとし、内部電極間の厚みすなわち素子厚
を２０μｍとした。そして、内部電極としては銀：パラ
ジウムを７：３の割合で混合した金属材料を用いて、長
さ２．７７ｍ、幅０．　９５１１の第９Ａ図および第９
Ｂ図に示すように１字、　　　　　　形電極を１１枚形
成した。さらに、外部電極には、　　　　　　銀：パラ
ジウム＝９：１の金属材料を用いた。Sample I The overall length in the internal electrode extension direction was 3.07 mm, the width was 1.551 m, and the thickness between the internal electrodes, that is, the element thickness was 20 μm. The internal electrodes are made of a metal material containing a mixture of silver and palladium at a ratio of 7:3, and are 2.77 m long and 0.6 m wide. Figures 9A and 9 of 9511
As shown in Figure B, 11 single-character-shaped electrodes were formed. Furthermore, a metal material with a ratio of silver:palladium of 9:1 was used for the external electrode.

１′ 、、、　　　　　　サンプル■ □　　　　　　　全体の長さ９幅および厚さをサンプル
■と同じにした。そして、内部電極は、サンプル■のも
のと比べて長さだけを２．５７ｕ＋に変えた。さらに、
外部電極は、サンプル■のものと同じにした。また、ダ
ミー電極は内部電極と同じ材料を用いて、長さ０．２５
■憩とし幅０．９５ｍｍとして、内部電極から０．２５
＋ｎ離して形成した。1' Sample ■ □ The overall length, width, and thickness were the same as sample ■. Then, only the length of the internal electrode was changed to 2.57u+ compared to that of sample (2). moreover,
The external electrode was the same as that of sample ①. In addition, the dummy electrode is made of the same material as the internal electrode and has a length of 0.25 mm.
■With a width of 0.95 mm, 0.25 mm from the internal electrode.
+n apart.

そして、この実験例では、サンプルＩとサンプル■との
等価直列抵抗ＥＳＲ（ＭΩ）、Ｑおよびサンプルの静電
容量のばらつき程度すなわち３Ｃ■（％）を調べた。こ
の結果を表に示す。In this experimental example, the equivalent series resistance ESR (MΩ) and Q of Sample I and Sample ■ and the degree of variation in capacitance of the samples, that is, 3C■ (%) were investigated. The results are shown in the table.

表 （以下余白） ダミー電極を形成したサンプル■では、ダミー電極を形
成していないサンプル■に比べて、その等価直列抵抗が
４０％以上も小さくなり、そのＱは３倍以上にもなった
。また、静電容量のばらつきも約３分の１になった。こ
れは、誘電体ユニットを焼成炉で焼成する際、サンプル
■では、前述のように、ダミー電極によって内部電極の
端面から蒸発する金属量を抑えることができたからであ
る。Table (blank space below) In sample (2) in which a dummy electrode was formed, the equivalent series resistance was more than 40% smaller and its Q was more than three times as large as that in sample (2) in which no dummy electrode was formed. Furthermore, the variation in capacitance was reduced to about one-third. This is because when the dielectric unit was fired in the firing furnace, in sample 1, the amount of metal evaporated from the end face of the internal electrode could be suppressed by the dummy electrode, as described above.

第５図はこの発明の他の実施例を示す断面図である。こ
の積層コンデンサ１０では、誘電体ユニッ１−１２の内
部に２層の内部電極１４ａおよび１４ｂＬか形成されて
いない。しかしながら、ダミー電極１６は多層（１４層
）形成されている。また、第６図はこの発明のさらに他
の実施例を示す断面図である。この積層コンデンサ１０
では、内部電極１４とダミー電極１６との間に、別のダ
ミー電極１６′が形成される。第５図および第６図に示
すように、ダミー電極を内部電極の数より多くすれば、
内部電極材料の蒸発の度合をさらに抑えることができ、
内部電極が極端に蒸発しやすい場合や積層コンデンサの
等価直列抵抗をさらに小さくしたい場合などに有利に利
用され得る。FIG. 5 is a sectional view showing another embodiment of the invention. In this multilayer capacitor 10, only two layers of internal electrodes 14a and 14bL are formed inside the dielectric unit 1-12. However, the dummy electrode 16 is formed in multiple layers (14 layers). Further, FIG. 6 is a sectional view showing still another embodiment of the present invention. This multilayer capacitor 10
Then, another dummy electrode 16' is formed between the internal electrode 14 and the dummy electrode 16. As shown in FIGS. 5 and 6, if the number of dummy electrodes is greater than the number of internal electrodes,
The degree of evaporation of the internal electrode material can be further suppressed,
This method can be advantageously used when the internal electrodes are extremely prone to evaporation or when it is desired to further reduce the equivalent series resistance of the multilayer capacitor.

上述の各実施例では内部電極は第９Ａ図および第９Ｂ図
に示すような１字形であったが、この発明では内部電極
の形状は第１０Ａ図および第１ＯＢ図に示すような丁字
形のものでもよく、任意の形状を選択できることはいう
までもない。さらに、内部電極としては、銀−パラジウ
ムだけでなく、この発明は、すべての金属材料に適用で
きるものであり、たとえば還元雰囲気で焼成される銅に
ついても育効である。In each of the above-described embodiments, the internal electrodes had a single-shaped shape as shown in FIGS. 9A and 9B, but in this invention, the internal electrodes have a T-shaped shape as shown in FIGS. 10A and 1OB. Needless to say, any shape can be selected. Furthermore, the present invention is applicable not only to silver-palladium as the internal electrode, but also to all metal materials; for example, copper fired in a reducing atmosphere is also effective.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１Ａ図および第１Ｂ図はこの発明の一実施例を示し、
第１Ａ図はその斜視図であり、第１Ｂ図は第１Ａ図の線
ＩＢ−ＩＢにおける断面図である。 第２図は第１Ａ図および第１Ｂ図に示す実施例の誘電体
ユニットを形成し得るセラミックグリーンシートの一例
を示す斜視図である。 第３Ａ図および第３Ｂ図は実験例に用いられたサンプル
■の長手方向の断面図および幅方向の断面図である。 第４図は実験例に用いられたサンプル■の長手方向の断
面図である。 第５図はこの発明の他の実施例を示す断面図である。 第６図はこの発明のさらに他の実施例を示す断面図であ
る。 第７図および第８図は従来例の要部を示し、第７図は内
部電極と外部電極とが完全に離れた状態を示す断面図で
あり、第８図は内部電極と外部電極との接触部分が小さ
い状態を示す断面図である。 第９Ａ図および第９Ｂ図はＩ字形電極パターンの一例を
示す。 第１ＯＡ図および第１０Ｂ図は丁字形電極パターンの一
例を示す。 図において、１０は積層コンデンサ、１２は誘電体ユニ
ット、１４．１４ａ＝１４ｇは内部電極、１６．１６’
、１６ａ　〜１６ｇはダミー電極、１８ａおよび１８ｂ
は外部電極を示す。 第３Ａ図　　　　　　　　第３Ｂ図 第４図 第５図 鴇 第６図 氏1A and 1B show an embodiment of the present invention,
FIG. 1A is a perspective view thereof, and FIG. 1B is a sectional view taken along line IB-IB in FIG. 1A. FIG. 2 is a perspective view showing an example of a ceramic green sheet that can form the dielectric unit of the embodiment shown in FIGS. 1A and 1B. FIGS. 3A and 3B are a longitudinal sectional view and a width sectional view of Sample 1 used in the experimental example. FIG. 4 is a longitudinal cross-sectional view of Sample 1 used in the experimental example. FIG. 5 is a sectional view showing another embodiment of the invention. FIG. 6 is a sectional view showing still another embodiment of the invention. 7 and 8 show the main parts of the conventional example, FIG. 7 is a sectional view showing the state where the internal electrode and external electrode are completely separated, and FIG. 8 is a cross-sectional view showing the state where the internal electrode and external electrode are FIG. 3 is a cross-sectional view showing a state where the contact portion is small. FIGS. 9A and 9B show an example of an I-shaped electrode pattern. Figures 1OA and 10B show an example of a T-shaped electrode pattern. In the figure, 10 is a multilayer capacitor, 12 is a dielectric unit, 14.14a=14g is an internal electrode, 16.16'
, 16a to 16g are dummy electrodes, 18a and 18b
indicates an external electrode. Figure 3A Figure 3B Figure 4 Figure 5 Toki Figure 6 Mr.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 １　誘電体ユニットと、前記誘電体ユニットの側面にそ
の端面が露出するように形成される内部電極と、前記誘
電体ユニットの側面に形成され前記内部電極に電気的に
接続される外部電極とを含む、積層コンデンサであって
、 前記内部電極と同質の材料からなり、前記誘電体ユニッ
トの内部に、この誘電体ユニットの表面近傍にその一部
が露出するように形成されるダミー電極を含む、積層コ
ンデンサ。 ２　前記ダミー電極は、前記内部電極間に形成される、
特許請求の範囲第１項記載の積層コンデンサ。 ３　前記内部電極は、交互に、前記誘電体ユニットの一
方側面および他方側面に露出するように形成され、 前記ダミー電極は、前記内部電極と同じ高さでこの内部
電極から間隔を隔てかつこの内部電極が露出する前記誘
電体ユニットの側面に対向する側面に露出するように形
成される、特許請求の範囲第２項記載の積層コンデンサ
。[Scope of Claims] 1. A dielectric unit, an internal electrode formed on a side surface of the dielectric unit so that its end surface is exposed, and an internal electrode formed on a side surface of the dielectric unit and electrically connected to the internal electrode. a multilayer capacitor comprising an external electrode made of the same material as the internal electrode, formed inside the dielectric unit so that a part thereof is exposed near the surface of the dielectric unit. A multilayer capacitor including a dummy electrode. 2. The dummy electrode is formed between the internal electrodes,
A multilayer capacitor according to claim 1. 3. The internal electrodes are alternately formed to be exposed on one side and the other side of the dielectric unit, and the dummy electrodes are spaced apart from the internal electrodes at the same height as the internal electrodes, and The multilayer capacitor according to claim 2, wherein the electrode is formed to be exposed on a side surface opposite to the side surface of the dielectric unit where the electrode is exposed.