JPS6117009A

JPS6117009A - 超音波顕微鏡

Info

Publication number: JPS6117009A
Application number: JP59138490A
Authority: JP
Inventors: Akihiro Nanba; 昭宏南波; Junichi Ishibashi; 石橋　純一
Original assignee: Olympus Corp; Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1984-07-03
Filing date: 1984-07-03
Publication date: 1986-01-25
Anticipated expiration: 2009-05-02
Also published as: JPH0634009B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の技術分野］本発明は超音波を効率良く送受波できるようにした超音
波顕微鏡に関する。

［発明の技術的背景とその問題点１光の代りに超音波を用いて物体の微視的な構造を観察す
る装置として、機械走査形超音波顕微鏡がある。この超
音波顕微鏡は、原理的には細く絞った超音波ビームによ
って試料面を機械的に走査し、その試料により散乱され
た超音波を集音して電気信号に変換し、その信号を陰極
線管等の表示面に二次元的に表示し、顕微鏡像を得るも
のである。走査する超音波としては、１００ＭＨｚ〜１
ＧＨｚ位の超高周波ビームが用いられ、略１０μｍ〜１
μｍ程度の分解能が得られる。さらに、上記ＩＧＨｚ以
上の周波数ビームを用いれば、さらに分解能を上げるこ
とも可能であり、また超音波によって物体の内部像を観
察し得るという利点も有している。

ところで、超音波の検出の仕方によって、すなわち試料
内で散乱あるいは減衰しながら透過してぎた超音波を検
出する場合と、試料内の８饗的性質の差によって反射し
てきた超音波を検出する場合とによって、透過型と反射
型とに分けられる。

第１０図は従来の反射型の超音波顕微鏡の外形を示し、
第１１図は保持台付近を拡大して示し、第１２図は電気
処理回路系を示す。

第１０図において、符号１及び２は光学的に観察あるい
はＭ１認用に設けられた接眼レンズ及び鏡筒である。鏡
筒２の下端部には対物レンズ３が取付けられ、ゴニオメ
ータ４を載せた保持台５に対向している。そして、顕微
鏡本体は鏡脚６にて保持されている。保持台５は保持台
移動装置７によって保持され、音響レンズ８はゴニオメ
ータ４に対向し、ボイスコイルより成る加振器１０に支
持されている。鏡筒２は落嗣照明用光源９を導くように
しである。そして、ゴニオメータ４の上には試料１１が
載置されている。なお、符号１２は保持台移動装置７を
移動させるための走査用つまみである。また、第１１図
に示すように音響レンズ８は加振器１０より該加振器１
０の振動を音響レンズ８に伝えるためのアーム１３によ
って支持されている。加振器１０は図示しない外部入力
信号発生器により加えられた交流信号（正弦波信号が使
われる）によって、アーム１３の長手方向に数１０Ｈｚ
の振動数をもって振動する。この加振器１０による振動
を受けて音響レンズ８は走査される、。音響レンズ８の
下面には水１４が浸されており、水１４は音響レンズ８
と試料１１間のを場伝搬媒体として超音波を出来るかぎ
り減衰させることなく伝達する役目をしている。試料１
１はゴニオメータ４の上面に保持されており、ゴニオメ
ータ４のつまみを回すことにより、試料表面が音響レン
ズ８の軸方向に対して垂直に対向するように調整できる
ようになっている。ゴニオメータ４には二次元走査可能
なように、Ｘ、Ｙ方向走査用つまみが付けられている。

ゴニオメータ４は保持台５にて保持されており、保持台
５は保持台移動装置７にて保持されて、保持台移動走査
用つまみ１２を右方向或いは左方向に回転させることに
より、上下方向に移動するようになっている。

第１２図は超音波顕微鏡装置の電気回路系を示すブロッ
ク図である。

同図に示すように、高周波パルス発生器１５によって発
生された高周波パルス信号は、サーキュレータ（方向性
結合器）１６を介して音響レンズ８上面に取り付けられ
た圧電トランスデユーサ（圧電変換器）１７に到達する
ようになっている。

高周波パルス信号は圧電トランスデユーサ１７によって
超音波に変換され、音響レンズ８内を伝搬する。超音波
は音響レンズ８下面の球面レンズ部によって球面波に変
換されて水１４内を通過し、試料１１に当たるようにな
っている。そこで、試料１１から超音波が反射されて再
び水１４内を通過し、再度金管レンズ８の球面レンズ部
を通って平面波に変換され、圧電トランスデユーサ１７
に到達し、圧電トランスデユーサ１７にてさらに電気信
号に変換される。このようにして生じた電気信号は再び
サーキュレータ１６を通してゲート回路１８に導かれる
ようになっている。ゲート回路１８では圧電トランスデ
ユーサ１７に返ってくる超音波反射信号の内試料１１か
らの正しい反射信号のみを取り出すことができるように
、正しい反射信号が戻ってくるタイミングでゲートを開
き、試料１１からの反射信号を取り出し易くするように
している。換言すれば、ゲート回路１８によって音響レ
ンズ８の内部等からの不要反射によるノイズ成分を小さ
くするようにしている。このようにして得られた試料１
１面からの正しい反射信号を高周波増幅回路１９へ導い
て増幅し、混合回路２０へ導くようにする。混合回路２
０へは局部発振器２１からの局部発振周波数信号が入り
、この信号と試料１１からの反射信号が混合され、その
結果中間周波数信号に変換される。このように周波数を
下げて中間周波数に変換づることにより増幅し易くなる
と同時に、ノイズ成分も少くすることができるようにし
ている。中間周波数信号は中間周波数増幅回路２２によ
り増幅されて検波回路２３へ導かれ、試料１１からの信
号であるバースト波の包絡線を取り出し、その後ブラン
キング回路２４へ通すようにしている。ブランキング回
路２４では試料１１からの反射信号のみが取り出され、
他の不要な信号がカットされ、ピーク検波回路２５に導
いてピーク検波する。このようにして得られた検波出力
信号を順次スキャンコンバータ２６に導いてテレビジョ
ン信号に変換し、その輝麿信号によってテレビジョンモ
ニタ２７に画像表示するようにしている。この場合、ス
キャンコンバータ２６はピーク検波回路２５からの検波
出力信号を一時記憶している。又、Ｘ偏向信号発生回路
２８及びＹ偏向信号発生回路２９が制御回路３０にて制
御可能なＸ−Ｙ走査機構３１の走査周期に同期して動作
するように構成され、スキャンコンバータ２６において
前述の一時記憶した検波出力信号をテレビジョン走査周
期で読み出すと共に、この読み出した信号に×及びＹ偏
向信号発生回路２８．２９からの各同期信号を付加して
複合テレビジョン信号を作成し、この信号をテレビジョ
ンモニタ２７に送って試料１１の超音波画像を得るよう
にしている。

以上のような構成、動作を有する従来の超音波顕微鏡に
おいては、圧電トランスデユーサ１７はある周波数で共
振するように製作されているが、その共振周波数が非常
に高いため、その圧電トランスデユーサ１７の厚みも、
非常に薄くなり、精密加工されたものであっても実際に
は少しずれていることが多い。つまり実際の超音波顕微
鏡の圧電トランスデユーサ１７に加えられる周波数は圧
電トランスデユーサ１７の共振周波数から若干ずれてい
る。この圧電トランスデユーサ１７のＱ値は非常に大き
いため、その共振周波数から少しずれた周波数の（送波
時及び受波時の）電気信号の入力に対しても圧缶トラン
スデユーサ１７の励振の効率がかなり下がってしまい、
その結果超音波画像を形成する信号のＳＮ比が小さくな
り、得られる画質が低下してしまうという欠点が生じる
。

従って、ＳＮ比の高い超音波画像を得るためには、実際
に用いる圧電トランスデユーサ１７に対して発振周波数
の微調整が必要となる。このため、微調整を必要とする
ことなく、常に最良状態で超音波画像を得ることができ
る装置であれば、非常に使い易いものとなる。又、ＩＧ
Ｈｚ等高い周波数で使用する場合には超音波伝達媒体（
水等）を加温して、損失を少くすることが必要とされる
場合があるが、この時＠響しンズ８も温・められ、これ
に伴って圧電トランスデユーサの共振周波数もずれてし
まうこと・があるため、たびたび微調整が必要とされる
という欠点があった。

［発明の目的］本発明は上述した点にかんがみてなされたもので、常に
圧電トランスデユーサの共振周波数に合った周波数で、
圧電トランスデユーサを励振し、効率良く超音波を送受
波してＳＮ比の高い超音波画像を得ることができるよう
にした超音波顕微鏡を提供することを目的とする。

［発明の概要］本発明はスイープ発振器で周波数をスイープして圧電変
換器を励振し、該圧電変換器に取付けた他の電極等から
励振された圧電振動を電気信号として取り出し、その検
出信号電圧が最大となる周波数を求め、その周波数で超
音波を送受波して超音波画像を得る構成になっている。

［発明の実施例コ以下、図面を参照して本考案を具体的に説明する。

第１図ないし第５図は本発明の第１実施例に係り、第１
図は第１実施例における電気回路系をブロックにて示し
、第２図及び第３図は第１実施例に用いられる圧電トラ
ンスデユーサ（圧電変換器）を示し、第４図は第１実施
例に用いられるスイープ発振器から出力される信号の周
波数が掃引される様子を示し、第５図は第４図の出力信
号を圧電トランスデユーサに印加した場合における励振
の振幅波形と、その包絡線検波された波形を示す。

第１実施例の超音波顕微鏡の装置外観は第１０図に示す
従来例と殆んど同様である（ので図示略）が、第１実施
例に用いられている圧電トランスデユーサ４１は、第２
図及び第３図に示すように、音響レンズ８の上端面の中
央に円板状に貼着されているが、一方の面（上面）に全
面電極が形成されないで、大面積を有する送受波（送受
信）用電極４２と、スリット状に電極が形成されてない
部分を設けて周波数モニタ用電極４３とが分離形成され
ている。尚、他方の面（下面〉はアースとなる全面電極
が形成されており、この全面電極は双方共通に用いられ
るようになっている。

上記圧電トランスデユーサ４１を用いた第１実施例の電
気回路系は第１図に示すように構成されている。尚、従
来例と同一要素には同符号を付けて示す。

高周波パルス発生器１５によって発生された高周波パル
ス信号は、サーキュレータ１６を通り、スイッチ４４を
経゛て音響レンズ８上面に取付けられた圧電トランスデ
ユーサ４１の電極４２及びンース電極に印加され、圧電
振動を生じさせ、音響レンズ８を経て試料１１側に超音
波を送波できるようになっている。しかして、試料１１
で反射された超音波は音響レンズ８を経て再び圧電トラ
ンスデユーサ４１によって電気信号に変換され、再びサ
ーキュレータ１６を通ってゲート回路１８側に導かれる
。このゲート回路１８以後の超音波画像形成のための構
成及び動作は上述した従来例と同様であるので省略する
。

ところで上記スイッチ４４は、例えばダイオードスイッ
チ等で形成され、超音波顕微鏡の電源役人の際には、第
１図の破線で示す側が導通状態ととなり、第４図に示す
ように時間ｔとともに周波数が（例えば低い方から高い
方へと）可変される（スィーブ発振器４５の）正弦波信
号が圧電トランスデユーサ４１の電極４２に印加され、
その周波数で励振させるようになっている。尚、スィー
ブ発振器４５は、スィーブ制御電圧部４６から出力され
る鋸歯状波等の制御電圧で動作し、その電圧値に応じた
周波数を出力するようになっている。

上記励振された圧電トランスデユーサ４１は、その圧電
振動の振幅に応じてモニタ用電極４３から電気信号とし
て取り出され、高周波増幅回路４７に入力されて増幅さ
れ、次段の検波回路４８で検波され、振動波形の包絡線
が出力される。第５図の実線に示すようにスィーブされ
た周波数の場合には、圧電トランスデユーサ４１の共振
周波数ｊｐで振幅が極大（最大）となり（この最大点を
矢印で示す）、検波回路４８による検波波形として、第
５図の破線で示すような包絡線を得ることができるよう
になっている。（尚、第４図及び第５図においては、周
波数が非常に大きく変化するように′示しであるが、実
際には共振周波数すＲの近傍範囲をカバーすれば十分で
ある。）上記検波出力は、Ａ／Ｄ変換器４９によって、
ディジタル量に変換され、順次メモリ５０に書き込まれ
る。この書き込みに同期して、スイープ制御電圧部４６
の出力信号電圧つまり、スイープ発振器４５の入力電圧
がＡ／ＤＶ！換器５１でディジタル量にされ、メモリ５
２に順次書き込まれる。

上記メモリ５０に書き込まれたデータは１周期の掃引後
、演算処理部５３によって、隣接する２つずつ順次取り
込まれて比較され、ディジタル的に最大となるデータに
おけるそのアドレスが検出され、そのアドレスで上記メ
モリ５２の（スイープ発振器４５の入力電圧のディジタ
ル）データが読み出される。この読み出されたデータは
、Ｄ／Ａ変換器５５でアナログ量にされ、さらに電圧−
周波数（■−士）変換器５６で圧電トランスデユーサ４
１の共振周波数ｆＲに変換されて、高周波パルス発生器
１５に入力され、波形整形及°び増幅等されて所定の振
幅を有する超音波顕微鏡画像形成　用の高周波パルス信
号にされるようになっている。

上述のようにして、電源投入後、わずかの時間が経過づ
ると、その間に圧電トランスデユーサ４１の共振周波数
−ｆＲが検出されて、高周波パルス発生器１５の出力周
波数はその値に自動的に設定され、その後は常時、その
周波数に保持され、その周波数の高周波パルス信号が圧
電トランスデユーサ４１に印加され、変換効率の良い状
態で送波及び受波でき、ＳＮ比の高い鮮明な超音波顕微
鏡画像を得ることができるという特徴を有する。

又、音響レンズ８を交換した場合にも、新たに取付けら
れた圧電トランスデユーサの共振周波数ｆＲに一致した
周波数で励振でき、たとえ若干具る共振周波数のもので
も最適の状態で使用できる。

このため、互換使用可能となる範囲も広くなり、圧電ト
ランスデユーサ４１を取付【プた音響レンズに要求され
る加工精度も低くて済み、低価格のレンズでも使用でき
る。

第６図は本発明の第２実施例を示す。

この第２実施例においては、上記第１実施例と同様にス
イープされた周波数が圧電トランスデユーサ４１に印加
され、分離形成されたモニタ電極４３からその励振され
た振動電圧が取り出され、高周波増幅器４７で増幅され
、検波回路４８で包絡線検波され、さらにＡ／Ｄ変換器
４９でディジタル量にされた後１組のメモリ５７の一方
に書ぎ込まれるようになっている。このメモリ５７の他
方には、スイープ制御電圧部４６の電圧がＡ／Ｄ変換器
５１でディジタル量に変換されて、上記書き込みのタイ
ミングと同期して書き込まれるようになっている。つま
り各周波数がスイープされた場合、そのスィーブされた
周波数に（例えばリニアに）対応するスイープ制御電圧
値のディジタル変換データがメモリ５７の一方に書き込
まれると共に、該メモリの他方には、検波出力のディジ
タル変換データがそれぞれ同期して順次書き込まれるよ
うになっている。

しかして、上記メモリ５７に磨き込まれた検波出力のデ
ィジタル変換データは、演算処理部５３で前後したもの
がそのアドレスと共に取り込まれて一方から他方を減算
したり、お互いに比較させる等して、最大のデータが検
出され、しかしてその最大データに対するアドレスが検
出され、この最大のデータに対応するアドレスで、その
データに対応するメモリ５７のスイープ制御電圧値（の
ディジタルデータ）が読み出される。この読み出された
データはＤ／Ａ変換器５５でアナロ゛グ最に変換され、
電圧−周波数変換器５６で共振周波数すＲにされて、高
周波パルス発生器１５に入力されるようになっている。

この他は上記第１実施例と同様の構成である。

第８図及び第９図は本発明の第３実施例における圧電ト
ランスデュ〜すを示す。

これらの図に示すように円板状の圧電素子板の上面には
、その中央に円状の送受波用電極６１が形成され、この
送受波用電極６１を取り巻いて、リング状の無電極部が
形成され、この無電極部の外周にリング状のモニタ用電
極６２を設けて圧電トランスデユーサ６３が形成されて
いる。尚、下面のアース側電極は全面に形成され、共通
に使用されるようになっている。

その他の構成及び動作は上記第１実施例と同様であるの
で説明を省く。

この第３実施例の効果は上記第１実施例と同様であるが
、さらに円状の電極６１で超音波の送受波を行い得るの
で、音響レンズ８の開口面により位相の整った平面波を
送出することができ、超音波をより集音できるという利
点を有する。

第９図は本発明の第４実施例における圧電トランスデユ
ーサを示す。

この場合の圧電トランスデユーサ７１の上面には、上記
第３実施例と同様に円状の送受波用電極６１が形成され
、一方、モニタ用電極７２は無電極部を介してリング状
に設けられないで、そのリングの一部のみに形成されて
いる。その他は上記第１実施例と同様の構成及び動作を
する。

この第４実施例は上記第３実施例と略同様の作用効果を
有する。尚、第３実施例の場合よりも電極７２を設ける
ことがより容易となるという利点を有する。

尚、上記共振周波数を検出する手段は、上述したものに
限定されるものでなく、例えば第１図に示す検波回路４
８の後段にピーク・ディテクタを設け、先ずスィーブを
一回行って、ピーク・ディ、　テクタでピーク値を検出
し、このピーク値を比較器の一方の入力端に印加して基
準電圧とし、他方に、２度目のスイープした検波信号を
入力させ、一致した場合（例えば基準電圧側に微小電圧
を加算あるいは減算して比較器の出力が反転できるよう
にして比較し易くする。）のその時刻のスイ一プた振器
４５の周波数（あるいは入力電圧でもよい）をカウンタ
等で検出し、高周波パルス発生器１５の発振周波数をそ
の周波数に一致させるようにしても良い。

又、上記第１図において、高周波パルス発生器１５とス
イープ発振器４５を分離（別体と）しているが、これに
限らず、スイープ発振器４５をもとにして周波数がスィ
ーブされる連続波を発生させ、これをダイードスイッチ
等で切換えて高周波パルス信号を発振させるようにして
も良い。即ち、先に周波数モニタ用の連続波を発生させ
て圧電トランスデユーサの共振周波数ｆＲを求めた後、
ダイオード・スイッチによって高周波パルス信号に切換
えて圧電トランスデユーサを励振して送波し、送波した
超音波を受波して超音波顕微鏡画像を得るようにしても
良い。

尚、上記共振周波数ｊｐに設定する動作は、電源の投入
の際のみならず、１画面あるいは数画面の超音波顕微鏡
画像形成の直前に自動的に行わせるようにしても良いし
、加温等の温度変化に対処できるように、術者が所望と
するときにボタン等を操作した際（にも）行うようにし
ても良いし、これらの動作モードを選定できるようにす
ることもできる。又、サーモセンサを設けておいて、気
温の変化する度に、自動的に共振周波数すＲの検出動作
を行わせるようにしても良い。さらにこの検出と共に共
振周波数ｆＲの自動設定も行うようにさせることもでき
る。

尚、スイッチ４４は、マニュアルで切換えて行つても良
いし、スィーブ制ｍ＋電圧部４６の出力に連動して自動
的に切換えるようにしても良い。

尚、上述の実施例では超音波顕微鏡画像を得る場合には
モニタ用電極４３．６２．７２を用いていないが、送受
波用電極４２，６１．６１と共に用いることもできる。

又、上述の各実施例においては、送受波用のものの他に
モニタ用電極が分離形成されているが、本発明はこれに
限定されるものでなく°、送受波用電極を用いて共振周
波数ｆＲを検出することもできる。

例えば、圧電トランスデユーサ４１と直接に抵抗負荷を
接続してスイープ発振器４５の出力信号が印加されるよ
うに設定し、スイープした場合における圧電トランスデ
ユーサ両端の信号電圧の最大値を検出しても良い。この
ようにすると、従来例の音響レンズを用いることができ
る。

又、スィーブ発振器４５の出力信号を、周波数をスイー
プさせながら断続的に印加し、発振を停止した短い各期
間における圧電トランスデユーサの出力波形の最大のも
のを検出して共振周波数を検出するようにしても良い。

尚、本発明に係るトランスデユーサとしては、反射型の
ものに限定されるものでなく、透過型にも利用できるも
のである。

［発明の効果］以上述べたように本発明によれば、圧電トランスデユー
サの共振周波数を検出する共振周波数検出手段と、この
検出手段によって、超音波顕微鏡画像形成用に送波され
る高周波パルス信号の周波数を上記共振周波数に設定す
る周波数設定手段とを設けであるので、自動的に実際に
使用される圧電トランスデユーサの共振周波数の超音波
で超音波顕微鏡画像を形成でき、効率良く超音波の送受
波ができる。従って、ＳＮ比の大きい超音波顕微鏡画像
を得ることができる。

又、音響レンズを変換して使用した場合にも、自動的に
その音響レンズに取付けられた圧電トランスデユーサの
共振周波数に等しい周波数で励振できるので、音響レン
ズの使用可能な互換範囲を広くでき、音響レンズの加工
精度が、低い低価格のものでも使用できる。

さらに、超音波伝達媒体を加温して使用する場合等、周
囲温度で圧電トランスデユーサの共振周波数が変化する
場合においても、手動で調整を必要とすることなく対処
できるという利点を有する。

【図面の簡単な説明】第１図ないし第５図は本発明の第１実施例に係り、第１
図は第１実施例の電気回路系の構成を示すブロック図、
第２図は第１実施例に用いられる圧電トランスデユーサ
を示す斜視図、第３図は第２図の側面図、第４図は第１
実施例に用いられるスィーブ発振器の出力信号の波形を
示す波形図１、第５図は第４図の出力信号が印加された
場合の圧電トランスデユーサの振動（励振）波形を示す
波形図、第６図は本発明の第２実施例の電気回路系の構
成を示すブロック図、第７図は本発明の第３実施例にお
ける圧電トランスデユーサを示す斜視図、第８図は第７
図の側面図、第９図は本発明の第４実施例における圧電
１〜ランスデユーサを示す斜視図、第１０図は従来例の
超音波顕微鏡の外観を示ず側面図、第１１図は第１０図
のステージ部分を拡大して示す側面図、第１２図は従来
例の電気回路系の構成を示すブロック図である。８・・・音響レンズ　　　１１・・・試料１５・・・高
周波パルス発生器１６・・・サーキュレータ　１８・・・ゲート回路４１
．６３．７１・・・圧電トランスデユーサ４２．６１・
・・送受波用電極４３．６２．７２・・・モニタ用電極４４・・・スイッチ　　　　４５・・・スイープ発振器
４６・・・スイープ制御電圧部４７・・・高周波増幅回路　４８・・・検波回路４９．
５１・・・Ａ／Ｄ変換器５０．５２．５７・・・メモリ５３・・・演算処理部　　　５５・・・Ｄ／Ａ変換器５
６・・・電圧−周波数変換器第７図　　　　　第８図第１０図第１１図第１２図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）音響レンズに取付けた圧電変換器に高周波パルス
信号を印加して超音波を試料側に送波し、該試料で反射
又は透過した超音波を前記圧電変換器又は別体の圧電変
換器で受波して超音波像を形成可能とする超音波顕微鏡
において、前記圧電変換器に周波数を変えた電気信号を
印加して振動を生じさせる手段と、その振動を取り込ん
でその振幅が最大となる周波数に関する情報を検出する
検出手段と、この検出手段の出力で超音波顕微鏡画像形
成用の高周波パルス信号の出力周波数を前記共振周波数
に設定する周波数設定手段とを設けたことを特徴とする
超音波顕微鏡。
（２）前記検出手段は、圧電変換器の振動を電気信号と
して取り込み、この信号を検波してディジタル量に変換
してメモリ内にデータとして一時記憶させると共に、そ
の振動の周波数に関する情報も同期して記憶し、前記メ
モリ内のデータを比較する等して信号の最大値を検出し
、その最大値に対応する周波数に関する情報を読み出す
よう構成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の超音波顕微鏡。
（３）前記圧電変換器は、一方の面にはアース側の全面
電極が形成され、他方の面には超音波顕微鏡画像形成用
の電極と、共振周波数の検出用の電極とが分離して形成
されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の超音波顕微鏡。
（４）前記周波数設定手段は、前記検出手段の出力をア
ナログ量にして取り込み、電圧−周波数変換手段を介し
て共振周波数に設定するものとしたことを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の超音波顕微鏡。