JPS61165096A - 真空容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は真空容器に係り、詳しくは容器および容器内に
収納された部品の脱ガスのためのベーキングと、容器内
の残留ガスの容器内面（クライオパネル面）への吸着を
行う真空容器に関する。

〔発明の背景〕

従来の真空容器は、第２図に示すように、容器１内にシ
ュラウド２を配設し、容器１および容器内部品の脱ガス
のためのベーキングを、容器外周面に配設したヒータ３
およびこれらを囲むベーキングカバー４により行う構造
となっている。尚、図中５は容器１の真空排気を行うノ
ズル、６はシュラウド２内へ冷媒（ＬＮ、等）を注入す
るノズル、７はシュラウド２内の冷媒を大気に開放する
ノズルを示している。

しかし、前記の真空容器では、ヒータ３が容器外周面に
あるので該ヒータの熱が放散し易い、即ちベーキング時
の熱効率が悪い、また、シュラウド２とヒータ３とが容
器１の内外に配置されているので、容器内残留ガスのク
ライオパネル面への吸着をコントロールすることが難し
い。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、熱効率よくベーキングを行え、かつ容
器内残留ガスのクライオパネル面（容器内面）への吸着
のコントロールが可能な真空容器を提供することにある
。

〔発明の概要〕

この目的を達成するため、本発明は、容器の外側にシュ
ラウドを設け、そのシュラウド内において容器の外周面
にヒータを配設して、容器および容器内部品のベーキン
グのためにヒータを加熱する際は、前記シュラウド内を
真空とし、外部への熱の放散を防ぐ。一方、シュラウド
内にＬＮ、等の冷媒を注入して容器内面をクライオパネ
ル面として活用する際は、目的に応じてヒータを加熱し
、容器内面への残留ガスの吸着を調整する。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。

第１１！Ｉは本発明による真空容器を一部断面して示す
正面図である。この真空容器は、容器１１と。

その容器１１の胴部外側に設けたシュラウド１２と、そ
のシュラウド１２内において容器１１の胴部外局面に配
設したヒータ１３とを備えた構成となっている。また容
器１１の下部には、該容器内を真空排気するノズル１４
が設けられている。シュラウド１２の上部には、該シュ
ラウド１２内へＬＮ２等の冷媒を注入するノズル１５が
、かつ下部にシュラウド１２内の冷媒を大気に開放する
ノズル１６が設けられている。尚、前記のノズル１５．
１６は、シュラウド１２内の真空排気を行う場合のノズ
ルも兼ねている。

次に本発明の作用について説明する。

容器１１および容器内部品の脱ガスベーキングを行う際
には、容器１１内に所定の部品を挿入し、かつ容器１１
内を真空にした後、シュラウド１２内を真空に保ち、ヒ
ータ１３で容器１１を加熱する。この場合、シュラウド
１２内が真空に保たれているので、容器外側への熱の放
散は微少である。

即ち、ベーキングが熱効率よく行われる。

所定の脱ガスが行われ、かつノズル１４からの真空排気
により容器１１内が一定の圧力に到達した後は、ノズル
１５からシュラウド１２内へ冷媒を注入して、容器内面
のクライオパネル面に残留ガスを吸着させ、圧力を低下
させる。そして、前記圧力をヒータ１３の加熱でコント
ロールすることで、クライオパネル面のガス吸着能力を
コントロールする。

尚、本実施例では、シュラウド１２を容器１１の胴部の
みに配設した例を示したが、目的によって容器のヘッド
部に配設することも可能である。

〔発明の効果〕

以上説明したように１本発明によれば、熱効率よく脱ガ
スのベーキングを行え、かつ容器内残留ガスのクライオ
パネル面への吸着のコントロールを行える効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示し、一部所面して示す真
空容器の正面図、第２図は従来の真空容器を一部断面し
て示す正面図である。 １１・・・容器、１２・・・シュラウド、１３・・・ヒ
ータ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 容器および容器内に収納された部品の脱ガスのためのベ
   ーキングと、容器内の残留ガスの容器内面への吸着を行
   う真空容器であつて、前記容器の外側にシユラウドを設
   け、そのシユラウド内において容器の外周面にヒータを
   配設したことを特徴とする真空容器。