JPH0341927U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0341927U JPH0341927U JP10245389U JP10245389U JPH0341927U JP H0341927 U JPH0341927 U JP H0341927U JP 10245389 U JP10245389 U JP 10245389U JP 10245389 U JP10245389 U JP 10245389U JP H0341927 U JPH0341927 U JP H0341927U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- boat
- inner lid
- gas outlet
- protrusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
Landscapes
- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る熱処理装置の
断面図、第２図から第４図は何れも同実施例の熱
処理装置によつて行われる作業を順を追つて説明
する断面図である。第５図は従来の熱処理装置の
断面図である。 １……半導体ウエハ、３……熱処理用ボート、
１１……炉体、２０……炉芯管、２１……ボート
操作棒、２１ａ……突出部、２２……ガス出口、
２３……内蓋、２４……突起。
断面図、第２図から第４図は何れも同実施例の熱
処理装置によつて行われる作業を順を追つて説明
する断面図である。第５図は従来の熱処理装置の
断面図である。 １……半導体ウエハ、３……熱処理用ボート、
１１……炉体、２０……炉芯管、２１……ボート
操作棒、２１ａ……突出部、２２……ガス出口、
２３……内蓋、２４……突起。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 炉体内に横向きに収容した炉芯管のガス出口か
ら半導体ウエハを載置した熱処理用ボートをボー
ト操作棒によつて出し入れし、熱処理時に前記熱
処理用ボートとガス出口間を内蓋で仕切る熱処理
装置において、 上記ボート操作棒を内蓋に遊嵌し、ボート操作
棒の熱処理用ボート側に前記内蓋に引つかかる突
出部を形成すると共に、上記炉芯管のガス出口近
傍の内側面に上記内蓋を外方に係止する突起を突
設したことを特徴とする熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10245389U JPH0341927U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10245389U JPH0341927U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0341927U true JPH0341927U (ja) | 1991-04-22 |
Family
ID=31651349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10245389U Pending JPH0341927U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0341927U (ja) |
-
1989
- 1989-08-31 JP JP10245389U patent/JPH0341927U/ja active Pending