JPS6115017A - 燃焼制御装置における水量デ−タ及び風量デ−タ取込方法 - Google Patents

燃焼制御装置における水量デ−タ及び風量デ−タ取込方法

Info

Publication number
JPS6115017A
JPS6115017A JP13519784A JP13519784A JPS6115017A JP S6115017 A JPS6115017 A JP S6115017A JP 13519784 A JP13519784 A JP 13519784A JP 13519784 A JP13519784 A JP 13519784A JP S6115017 A JPS6115017 A JP S6115017A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
water
pulse
air volume
data
water rate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP13519784A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0158413B2 (ja
Inventor
Takeshi Sakata
武司 坂田
Noriya Shirohige
白髭 憲也
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hanshin Electric Co Ltd
Original Assignee
Hanshin Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hanshin Electric Co Ltd filed Critical Hanshin Electric Co Ltd
Priority to JP13519784A priority Critical patent/JPS6115017A/ja
Publication of JPS6115017A publication Critical patent/JPS6115017A/ja
Publication of JPH0158413B2 publication Critical patent/JPH0158413B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23NREGULATING OR CONTROLLING COMBUSTION
    • F23N5/00Systems for controlling combustion
    • F23N5/18Systems for controlling combustion using detectors sensitive to rate of flow of air or fuel
    • F23N5/184Systems for controlling combustion using detectors sensitive to rate of flow of air or fuel using electronic means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Regulation And Control Of Combustion (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Il、産業上の利用分野] 本発明は、給湯機用燃焼制御装置において、水量センサ
及び風量センサから発せられる信号パルス列に“基き、
燃焼の制御に必要な水量データ、風量データを当該制御
装置に取込むための取込方法に関する。
[11,従来の技術] 各種給湯機器にあっても、昨今、設定温度と出湯温度の
差と水量とにより、その時々の燃焼量を決定すると共に
、ファン・モータを制御して、上記決定した燃焼量に応
じた量の空気をバーナ乃至燃焼部へ供給する制御回路を
持った型のものが増えてきている。
従って勿論、こうしたものでは、供給乃至出湯される水
量やファン・モータの送り出す風量を常に監視しなけれ
ばならない。
一般にこのために使用される水量、風量センサは回転量
対周波数変換型のもの、換言すれば単位時間当たりの回
転量対出力パルス数変換型のものが普通である。即ち、
水乃至空気の流量に応じて出力パルス周波数を変化させ
るか、或いは単位時間当たりの出力パルス数を変化させ
るのである。
実際にも水量センサとしては流路内に回転型アクチュエ
ータを臨ませる等して水の流れに応じ出力パルス数乃至
周波数を変えるものが、風量センサとしてはファン・モ
ータに取付けられて当該ファン・モータの回転数をパル
ス数乃至パルス周期として検出するものが多く用いられ
る。
このような水量センサ及び風量センサから出力されるパ
ルス列に基き、燃焼量決定のために所用の水量データを
、そして決定した燃焼量に対応した空気量が正しく送給
されているか否かの監視のために風量データを各取出す
方法は、従来、代表的に次の二通りに分けられた。
第一の方法は、水量センサ、風量センサの各市カパルス
ー周期乃至パルス幅(半周期)の中に、別途設けである
基本クロック発振器からのクロックをそれぞれ幾つカウ
ントするかによって水量データ、風量データを取込む方
法である。
即ちこの方法は、水量及び風量の変化を、共に基本クロ
ックの数の変化に化体し、水量及び風量センサの出力パ
ルス周期乃至パルス幅の変化として捕える方法であり、
言わば被測定パルスの波長第二の方法は、予め定めた一
定時間内に水量センサ及び風量センサからの出力パルス
をそれぞれ幾つカウントできるかで水量データ、風量デ
ータを各取込む方法である。従ってこの方法は、水量及
び風量の変化を共に単位時間当たりのセンサ出力パルス
の数の変化として捕える方法であるから、被測定パルス
の波数乃至周波数検出方法と言える。
[10発明が解決しようとする問題点]しかして上記の
ような従来法を採用した場合、第一、第二のいづれの方
法によるにしても、問題となるのは水量センサと風量セ
ンサの実動状態における周波数帯域の相違である。
実際に用いられる水量センサと風量センサとは一般にそ
の実動状態における周波数帯域が大きく異なる0例えば
水量センサはその時々の水量に応じ、2〜3Hzからせ
いぜい80Hz程度の比較的低周波撒帯域にてのみ、水
量に応じてその出力パルス周波数を変えるのに対し、フ
ァン・モータに取付けられる等した風量センサの方はそ
の時々のファン・モータ回転数に応じて400Hzから
IK)lz程度の相対的に高周波数帯域内でその出力パ
ルス周波数を変えるようになる。
従って、このように実動周波数帯域に一桁から三桁もの
相違があるセンサに対して共に波侵検出モードを適用す
る上記第一の方法を採用した場合、基本クロック−発会
のカウント誤差は水量データと風量データとでそれらに
全く異なった影響を与えることになる。水量センサの発
する相対的に低周波数帯域でのパルス−周期内の基本ク
ロックのカウント誤差は水量データにそれ程重大な影響
を与えないが、風量センサの発する出力パルス−周期内
の基本タロツクのカウント誤差は大きなデータ誤差を生
む。
つまり、上記第一の従来法では風量データの取込みに難
があり、ファン・モータの最適制御に問題を生じたり燃
焼効率を低下させ、不完全燃焼の危険さえ生ずる場合が
あったのである。
一方、上記第二の従来法では、風量データのみならず、
相対的に低周波数で長波長な水量センサからの水量パル
スをも風量パルスと同程度の分解能及びダイナミック・
レンジで測定しようとすれば、そのための単位の測定時
間を長く採らねばならず、結局は測定から制御回路によ
る相応の処理にまで及ぶ全制御時間を長くする不利を生
む。
こうしたことを考えると分かるように、上記従来法のよ
うに単に簡単であるという理由だけで両センサの使用帯
域を考慮に入れず、両センサ共に同様の検出モード下に
置くということは、一方の測定分解能を低下させるか、
及び或いは流量測定範囲、即ちダイナミック・レンジを
狭める要因となる。
[17,問題点解決手段] 本発明はこの点に鑑みて為されたもので、水量センサと
風量センサとの一方にのみ都合の良い検出モードを採用
するを止め、両者共に同程度の分解能、ダイナミック・
レンジを得ることができる水量及び風量データ取込方法
を提供せんとするものである。
本発明ではこの目的の達成のため、次のような構成乃至
問題点解決手段を提案する。
基本クロックC1の発振器20・を設け;水量センサか
らの出力パルス、即ち水量パルスPIの一周期またはパ
ルス幅中、上記基本クロックC1をカウントし、該カウ
ント値NcまたはNc/2によって該水量パルスの一周
期またはパルス幅を計測し、これを水量データS1とす
る一方;風量測定単位時間T2を経時的に指定する第二
のクロックを発振する手段21を設け; 該各風量測定単位時間丁2中、風量センサからの風量パ
ルスP2をカウントし、該カウント値NpまたはMP/
2を風量データS2として出力する。
[V、作用] 以上のようにすると、水量センサの発する水量パルスに
よる水量情報と風量センサの発する風量パルスによる風
量情報とは結局は数値に変換されたデータとなる点では
共通するも゛のの、そうしたデータを何を媒体として得
たか、即ち適用された検出モードは夫々に適した異なる
ものとする4と即ち、一般に低周波数帯域で−の変動を
示す水量パルス列に就いては、通常の周波数範囲での基
本クロックを当該水量パルスの一周期またはパルス幅内
に幾つカウントするかによって水量データとする。従っ
てこの水量パルスに関しては、その−周期乃至パルス幅
の時間的な長さを検出する波長検出モードが採用される
そのため、水量が最大となって水量パルス周波数も最高
(水量パルス幅最短)となった場合でも、十分な分解能
を保証することは極めて容易になる。
一方、通常の周波数範囲にある基本クロックでも尚且つ
分解能が心配される相対的に高周波数な風量パルスに対
しては、当該基本クロックで風量パルス幅を計測するの
ではなく、逆に単位の測定時間当たりの風量パルス数を
カウントする。つまり、この風量パルスに関しては周波
数検出モード乃至波数検出モードが採用される。
そのため、風量最低で風量パルスが最低周波数にある時
、つまり最長パルス幅にある時でも、当該風量パルスを
十分な個数、カウントできるように当該測定単位時間を
設計的に定めるだけで水量データに影響を及ぼすことな
く十分な分解能をもって風量データを得ることができる
上述した作用は、後に詳しく説明するが、第2図に示さ
れている。
[Vl、実施例] 第1図は本発明の方法を実現するための装置の一構成例
を示しており、第2図はその要部の信号波形を示してい
る。
基本クロック発振器20は第2図示のように適当な周期
〒1のクロックCIを発振し、このクロックC1は第一
アンド・ゲート31の一人力に与えられている。アンド
・ゲート31の低入力には図示してい敬い水量センサか
らの水量パルスPiが印加され、従ってアンド・ゲート
31の出力にはその時の水量パルスのパルス幅〒(Pi
) /2の期間に亘って基本クロックCIが来る度に論
理“H”が現れる。
この−発当たりの水量パルスのパルス幅内における基本
クロックC1のカウント値Me/2は第一カウンタ11
を経て第一ラッチ回路15に格納される。
そして、経時的に見て水量パルス−発当たりのパルス幅
中の基本タロツクカウント値を更新するため、水量パル
スP1は第一タイミング制御回路13にも入力されてお
り、当該第一タイミング制御回路13ではクリア信号P
3とラッチ・パルスP5を出力する。
これらのタイミングは、水量パルスPiが立ち下がった
時にラッチ・パルスP5を出力してその時のカウンタ1
1の内容を第一ラッチ回路15に記憶させ、当該ラッチ
動作が終了したら力ヴンタ11をクリア信号P3でクリ
アできるように選ぶ。
このようにして、上記した動作が水量パルスP1が来る
度に行なわれれば、その時々の第一ラッチ回路15の出
力はその時々の最新の水量データSlを表すことになる
から、主制御回路10では常に更新を続ける最新の水量
データを取込むことができる。勿論、基本クロックCI
の周期T1は、水量パルスのパルス幅を測定するのに必
要にして十分な分解能な得られる周期とする。
また、図示の場合は水量パルス半周期内の基本クロック
CIの数Me/2をカウントしていたが、公知既存の回
路技術の援用により、水量パルスPIの一周期T(Pi
)内の基本タロツクC1のカウント値Ncを水量データ
Slとして用いても良い。
尚、予め述べて置けば、主制御回路lOの形態乃至構成
は本発明がこれを直接に規定するものではなく、既存の
ものであって良い、但し昨今においては、一般にマイク
ロ・コンピュータがこの種燃焼機器の主制御回路lOと
して用いられることが多い。
一方、風量データ取込みのためには単位の測定時間T2
または丁2/2を指定する第二のパルス列が必要とされ
る。この実施例においては基本クロックC1を分周器2
1にて1/nに分周することにより基本クロック周期の
n倍の周期〒2(Pn・丁1)の第二クロックC2とし
てこれを得ている。
この第二クロックC2と風量パルスP2は第二アンド・
ゲート32の各入力に加えられ、従って当該アンド・ゲ
ート32の出力を受ける第二カウンタ12では、第二ク
ロックC2が論理“H″を保っている時間範囲、即ち単
位の測定時間としての第二クロック・パルス幅T2/2
内において、入力してくる風量パルスP2の数Np/2
をカウントするようになる。
第二クロックC2は第二タイミング制御回路14にも加
えられ、第二タイミング制御回路14では第二クロック
C2が立ち下がる度にラッチ・パルスPθを発してその
時の第二カウンタ12の内容Np/2を第二ラッチ回路
18に転送させる一方で、当該第二ラッチ回路IBへの
転送、記憶が完了したら第二カウンタ12をクリアする
クリア信号P4を発する。
従って、第二ラッチ回路1Bの出力は、各単位の測定時
間T2/2を渡過する毎に更新される最新の風量データ
S2となり、これを主制御回路10に取込むことができ
る。
勿論、この風量データの取込みに関しても、第二クロッ
クC2のパルス幅T2/2は風量センサからの風量パル
ス数Np12が風量データとして十分な分解能を持った
値となるように設定する。また、これも水量データに関
してと同様、第二クロックC2の一周期T2内における
風量パルスの数Npの測定に変えても良い。
第2図の場合、水量パルスの周期T(Pi)も風量パル
スの周期T(P2)も、共に一定の形で描かれている。
これは水量及び風量に有意の変化が生じていないことを
表している。水量乃至風量に変化が生じれば、それは第
一、第二カウンタ11.12における各カウント値の羨
となって現れることは上記説明からして明白である。
尚、本発明の要旨に加える望ましい実施例的な配慮とし
ては、水量“0”を検出できるようにするのが良い。
そのためには、例えば第二クロックC2のパルス幅T2
/:2内において水量パルスP1が一発も検出され。
なければ水量“0”、つまり水が流れていない状態とし
て検出することができる。
従って図示の°場合は、第二クロックC2と水量パルス
P1とを水量“0”検出回路40に入力させ、上記検出
を行なわせて、いる、具体的な回路構成は限定されない
が、図示のような場合には単なるアンド・ゲートと適邑
なるレジスタ等により組むことができる。
このようにすれば主制御回路10では水量“0″が検出
されたらその時の水量データS1は取込まないようにす
ることができる。
逆に水量が“0″でないことが確認された時に始めて水
量データS1を第一ラッチ回路15から取込むようにす
れば、流水量が極端に少なくなったり、或いは流れてい
ない時に水量データを更新できないという理由で制御の
信頼性を低下させる虞れは回避することができる。
ところで、先に゛も述べたように、一般に昨今のこの種
燃焼機器では主制御回路としてマイクロ・コンピュータ
が採用される傾向にある。従って、そうしたものにおい
ては、第1図中、仮想線10′で囲って示す回路部分は
当該マイクロ・コンピュータ10に含めて考えることが
できる。
そこで1次にこうした場合のマイクロ・コンピュータ1
0に施す流れ工程に就き考えてみる。
第3図はその一例のフロー・チャートを示している。
通常、マイクロ・コンピュータはメイン・ルーチン(M
AIN)のフローに従って走っているが、風量パルス及
び水量パルスのエッヂを検出した時、及び時間T8毎に
タイム・アップ信号を出す内部タイマの当該タイム・ア
ップ信号を検出した時には、メイン・ルーチンを一旦そ
こで停止させ、検出したものに応じたルーチンに飛んで
対応する処理を施した後、再びメイン・ルーチンに戻る
ようにする。尚、上記の時間子Sは先に述べた第二クロ
ックC2に関する一周期〒2またはパルス幅T2/2に
対応する。
先づ風量エッヂを検出した際には、記述の第二カウンタ
14の機能に相当するラベル(FMCNTR)で丞した
ファン・モータ・カウンタの内容を“l”だけインクリ
メントし、このルーチンを終える。
次に水量パルスのエッヂを検出した際には、ラベル(S
urOIT)で示した水量カウンタの内容を同様に“+
1”し、マイクロ・コンピュータ内で発振器出力を分周
したマスター・クロックで走っているフリー・ラニング
・カウンタの内容(FRCNTR)をレジスタ(NOI
IIDAT) ニ転送L ?、 上−1’ コ(7) 
(NOVDAT)カら(PREDAT)を減算し、ラベ
ル(SUIDA?)で示すようにその結果を水量データ
S1とした後、(PREDAT)をこの(NOvDAT
)に更新する。
以上のことは、水量パルスのエッヂを検出した時のフリ
ー・ラニング・カウンタの値を(NOVDAT)として
記憶し、その前の水量パルスのエッヂ検出の時のフリー
・ラニング・カウンタの値(PREDAT)との減算を
行い、もって水量パルスエッヂ間隔、即ち先に述べた水
量パルス−周期T(Pi)間のクロックCIの数Ncを
測定することになり、従ってその結果を水量データとし
て利用できるのである。
次にフリー・ラニング・カウンタを利用して時間Ts毎
に出力されるようにした内部タイマのカウント・アップ
信号が検出された際には、その時の(FMCMTR)の
内容を風量データとして(FANRPII)に記憶させ
ると共に、次回のタイム・アップに際しては新たな風量
データを得るため、(FMCNTR)の内容を帰零する
同時に、時間Ts内の水量パルスの検出回数を記憶して
いるレジスタ(SUICNT)の内容が0”である場合
には、水量“θ″検知レジスタ(SUIRYO)をO”
にした上で(SDICNT)も“0″にし、一方、(S
DICNT)の内容が“0”でない場合には、当該水量
“0”検知レジスタ(SUIRYO)に“1”を入れた
上テ(SUICM?)を0”にし、このルーチンを終え
る。
以上のことは、第2図における単位測定時間T2または
T2/2に対応する時間Ts内において取込む風量パル
ス乃至ファン・モータ回転パルスの数を風量データとし
て利用できると共に、水量パルスの検出回数をチェック
することにより水量″0”をも検出できることを意味し
ている。
このようにして取込んだ水量データ、風量データをどの
ように制御に使うかはマイクロ・コンピュータ10にお
ける既存の制御モードに従って良く、本発明がこれを直
接規定するものではない。
例えば燃焼量の算出においては先づ水量“0″検知レジ
ズタ(SIUIiYO)の内容をチェックし、′O”の
際には燃焼量を0″とし、“0”でない時には得られた
水量データ(SUID^丁)と、別途束められる設定温
度と出湯温度の偏差とによって燃焼量を決定する。
そしてこの決定した燃焼量に応じ、ファン・モータの所
用回転数を算出し、(FANRPN)との比較を行なっ
てファン・モータ駆動制御回路へ帰還情報を与える。
[■9発明の効果] 本発明によれば、一般に低周波数帯域での変動を示す水
量パルス列に就いては、通常の周波数範囲での基本クロ
ックを当該水量パルスの一周期またはパルス幅内に幾つ
カウントするかによって水量データとする波長検出モー
ドが採用されているため、水量が最大となって水量パル
ス周波数も最高(水量パルス幅最短)となった場合でも
、十分な分解能を保証することが極めて容易である。
また一方、通常の周波数範囲にある基本クロッりでも尚
且つ分解能が心配される相対的に高周波数な風量パルス
に対しては、風量最低でそれが最低周波数にある時、つ
ま゛り最長パルス幅にある時でも、測定単位時間の設定
の如何により十分な個数をカウントできる周波数検出モ
ード乃至波数検出モードが採用されているため、同様に
この風量データに関しても高い分解能を保証することが
できる。
しかも、風量パルスに関しての測定単位時間を上記要件
を満たすため、当該風量パルスの周期に比せば十分長く
設定しても、水量パルスを同様のメカニズムで計測する
場合に比せば十分短い時間に収めることができ、結局、
両データ取込みに伴う制御系の応答を速めることができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明方法を実現する装置の基本的な一例の概
略構成図、第2図は第1図示実施例における要部信号波
形図、第3図は主制御回路にマイクロ・コンピュータを
用いる際のフロー・チャート、である。 図中、lOは主制御回路、11は第一カウンタ、12は
第二カウンタ、13は第一タイミング制御回路、14は
第二タイミング制御回路、 15は第一ラッチ回路、1
8は第二ラッチ回路、20は基本クロック発振器、21
は第二クロック発振器としての分周器、31は第一アン
ド・ゲート、32は第一アンド・ゲート、40は水量“
0”検出回路、Plは水量パルス、P2は風量パルス、
 C1は第一クロック、 C2は第二クロック、である

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 所定周期の基本クロック発振器を設け; 水量センサからの水量パルスの一周期またはパルス幅中
    、上記基本クロックをカウントし、該カウント値を水量
    データとする一方; 風量測定単位時間を経時的に指定する第二のクロックの
    発振手段を設け; 該各風量測定単位時間中、風量センサからの風量パルス
    をカウントし、該カウント値を風量データとして出力す
    る; ことを特徴とする燃焼制御装置における水量データ及び
    風量データ取込方法。
JP13519784A 1984-07-02 1984-07-02 燃焼制御装置における水量デ−タ及び風量デ−タ取込方法 Granted JPS6115017A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13519784A JPS6115017A (ja) 1984-07-02 1984-07-02 燃焼制御装置における水量デ−タ及び風量デ−タ取込方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13519784A JPS6115017A (ja) 1984-07-02 1984-07-02 燃焼制御装置における水量デ−タ及び風量デ−タ取込方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6115017A true JPS6115017A (ja) 1986-01-23
JPH0158413B2 JPH0158413B2 (ja) 1989-12-12

Family

ID=15146113

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13519784A Granted JPS6115017A (ja) 1984-07-02 1984-07-02 燃焼制御装置における水量デ−タ及び風量デ−タ取込方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6115017A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008036579A (ja) * 2006-08-09 2008-02-21 Air Water Emoto Kk サイクロン分離装置およびそれを用いた住宅換気用給気フード
DE112006004001T5 (de) 2006-10-24 2009-06-18 Mitsubishi Electric Corporation Elektrische Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008036579A (ja) * 2006-08-09 2008-02-21 Air Water Emoto Kk サイクロン分離装置およびそれを用いた住宅換気用給気フード
DE112006004001T5 (de) 2006-10-24 2009-06-18 Mitsubishi Electric Corporation Elektrische Drahterodier-Bearbeitungsvorrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0158413B2 (ja) 1989-12-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100217352B1 (ko) 수량계의 스피너와 같은 회전소자의 회전을 검출하는 장치
US4093871A (en) Correction circuit
JPS6115017A (ja) 燃焼制御装置における水量デ−タ及び風量デ−タ取込方法
JP2001013179A (ja) リングオシレータクロック周波数測定方法、リングオシレータクロック周波数測定回路、およびマイクロコンピュータ
JPH10193423A (ja) アクチュエータの位置と速度の検出装置
JPH1030947A (ja) 超音波計測装置およびこれを含む流れ計測装置
JPS61207973A (ja) 相関式時間差計
KR19990060348A (ko) 자체클럭을 이용한 클럭 감시회로
JPS60143709A (ja) 流体流量測定装置
JPH01114728A (ja) 温度監視装置
JPS5837795A (ja) 測定装置
GB2123557A (en) Flow meter measurement techniques
JPH02110379A (ja) モータの速度検出装置
SU737322A1 (ru) Устройство дл контрол пробуксовки ленточного конвейера
JPH01212368A (ja) パルス幅計測回路
JPH0327787A (ja) パルス周波数測定装置
SU1238194A1 (ru) Умножитель частоты
JPS6287753A (ja) 流量数検出装置
JPS60143710A (ja) 流体流量測定装置
SU1510000A1 (ru) Устройство дл измерени колебаний скорости перемещени магнитной ленты
JPH06350444A (ja) Pll回路のドリフト警報装置
RU1792642C (ru) Устройство дл измерени объема газового потока
SU1250981A1 (ru) Цифровой фазометр
JP2003315115A (ja) 流量計測装置
SU1700405A1 (ru) Способ измерени вакуума и устройство дл его осуществлени