JPS6114148A - 石英ガラスの成型方法 - Google Patents

石英ガラスの成型方法

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JPS6114148A
JPS6114148A JP13446484A JP13446484A JPS6114148A JP S6114148 A JPS6114148 A JP S6114148A JP 13446484 A JP13446484 A JP 13446484A JP 13446484 A JP13446484 A JP 13446484A JP S6114148 A JPS6114148 A JP S6114148A
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JP
Japan
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quartz glass
carbon mold
carbon
mold
glass plate
Prior art date
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Granted
Application number
JP13446484A
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English (en)
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JPS6359974B2 (ja
Inventor
Hiroyuki Watabe
弘行 渡部
古市　克郎
茂 安部
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Coorstek KK
Original Assignee
Toshiba Ceramics Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS6359974B2 publication Critical patent/JPS6359974B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B40/00—Preventing adhesion between glass and glass or between glass and the means used to shape it, hold it or support it
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B23/00—Re-forming shaped glass
    • C03B23/02—Re-forming glass sheets
    • C03B23/023—Re-forming glass sheets by bending
    • C03B23/025—Re-forming glass sheets by bending by gravity
    • C03B23/0252—Re-forming glass sheets by bending by gravity by gravity only, e.g. sagging

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は石英ガラスを所足の形状に成型する方法に関す
るものである。
〔従来の技術〕
石英ガラス０１７００Ｃ以上の高融点材料であり、その
成型が困難な材料の一つである。従来の成型方法は酸水
素焔によって加熱するものが多いが、バーナーＸ７ｈら
の焔の加熱面積倉大自くすることが困難で、そのためそ
の周辺部との間に熱歪を残しやすい０従って例えは＃！
接した場合扛周辺全体も含めてアニール処理したり、研
磨等の工程が必要となる。又、小型の成型品１作ること
も難ρ為しく、加工部において肉厚が変化しやすい等の
欠点があった。
〔発明が解決しようとする問題点及び手段〕本発明はカ
ーボン製管用いて石英ガラス會軟化変形させる際、カー
ボン型と石英ガラスとの反応によって生ずるガス？自然
排気させることによって石英ガラス會汐−ざン屋に密゛
Ｍさせるようにしたものである。
石英ガラスは高温でカーボンと接触するとＳｉＯ等のガ
ス會発生するため、型として使用した場合、カーボン型
と石英ガラスとの間にガスが溜りやすく、型としての役
割がはたせない０この場合カーボン型に多数の貫通孔？
設けることによって、石英ガラス管カーボン型に密着さ
せることができるようになった。発生するガスは強制的
に排気さｎるようにしてもよいが、単に貫通孔を設ける
ことによって圧力差により自然に拡散する０従りて石英
ガラスはカーボン型の形状に応じて無荷重でも任意の形
に成型することができる。
〔実施例〕
以下に本発明の一実施例を図によって説明する０ 第１図において、カーボンは上部カーボン倉型１と下部
カーボン型２とρ為らなりている。上部カーボン型１に
は多数の貫通孔３が設けらｎている。このカーボン型の
上に成型すべき石英ガラス板４を載置し、図示しない非
酸化性雰囲気炉内で１７００Ｃ以上に加熱する。
第２図は石英ガラス藁が軟化変形した状態する０ カーボン型１と石英ガラ；誇−との接触面は加熱処理温
度においてＳｉＯガスを発生させるがカーボン型に設け
ら１ている貫通孔３を通り、上部カーボン型１と下部カ
ーボンＡｉ２との間の透き間刀為ら脱気さする。
成型終了後冷却さ！″Ｌｋ時、熱膨張の大きいカーボン
型は容易に脱型できる。
又、カーボン型の形状は、成型すべき石英ガ□ラスの形
状に応じて任意に定めることができ、例えば深底の容器
状のものの場合は大十字形の石英ガラス板゛倉角形のカ
ーボン型を使用して成型する。そして角形のカーボン型
脱型後成型石英ガラスの四隅？溶接することによって製
造することができる。
又、発生するＳＩＯガスの排気は減圧下で処理す１ば容
易であるが、石英ガラス板が軟化しカーボン型に密着す
るためＳ１０ガスは貫通孔に圧入さｊ、常圧のもとでも
不都合はない。又排気？容易にするために下部カーボン
型に溝を設けてもよい。なお、実施例においては上部及
び下部の二つのカーボン型を用いたが、　ｃｒｔは成型
する石英ガラスの形状によりて任意に選択すｎば良い。
〔発明の効果〕
本発明の成型方法によ１．ば、！＃に５襲以上の　　　
　　５肉厚の石英ガラスの成型には好適で１寸法精度の
高いことを求めらｎるような製品、例えば半導体処理用
ボート等に利用し得る。
【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は本発明の、実施例゛を示す概略正面
図である。 １・・・上部カーボン型　　２・・・下部カーボン型３
・・・貫通孔　　４・・・石英ガラス板発明者　　　渡
部弘行 発明者　　古市克部 発明者　　　安部　　茂 出　願人　東芝セラミックス株式会社 −五 第１図 ム 第２ｍ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 多数の貫通孔を有するカーボン製型板上に石英ガラスを
    載置し、非酸化性雰囲気炉内で加熱軟化させ無荷重でカ
    ーボン製型板に密着せしめることを特徴とする石英ガラ
    スの成型方法。
JP13446484A 1984-06-29 1984-06-29 石英ガラスの成型方法 Granted JPS6114148A (ja)

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JPS6114148A true JPS6114148A (ja) 1986-01-22
JPS6359974B2 JPS6359974B2 (ja) 1988-11-22

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JPS6359974B2 (ja) 1988-11-22

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