JPS61124915A - 微小ステ−ジ駆動位置決め装置 - Google Patents
微小ステ−ジ駆動位置決め装置Info
- Publication number
- JPS61124915A JPS61124915A JP24654784A JP24654784A JPS61124915A JP S61124915 A JPS61124915 A JP S61124915A JP 24654784 A JP24654784 A JP 24654784A JP 24654784 A JP24654784 A JP 24654784A JP S61124915 A JPS61124915 A JP S61124915A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- current
- extremely small
- microstage
- driving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は顕微鏡等に用いられるステージ、特に微小ステ
ージの駆動位置決め装置に関する。
ージの駆動位置決め装置に関する。
（ロ）従来技術
顕微鏡等に使われるノーマルな大きさのステージは、ス
テップモータによって駆動され、パルス数または位置決
めフィードバックによる位置決めが行われている。しか
し、ステージが小さく、ミクロンオーダ或いはサブミク
ロンオーダの位置決め精度と動きの滑らかさが必要な場
合には、このような駆動源を用いてステージの駆動を行
うことは １）駆動系の大きさがステージの大きさに比べて大きす
ぎる。
テップモータによって駆動され、パルス数または位置決
めフィードバックによる位置決めが行われている。しか
し、ステージが小さく、ミクロンオーダ或いはサブミク
ロンオーダの位置決め精度と動きの滑らかさが必要な場
合には、このような駆動源を用いてステージの駆動を行
うことは １）駆動系の大きさがステージの大きさに比べて大きす
ぎる。
２）ステージの動きに清らかさが得られにくい。
ステップモータを用いる場合は特に送りムラが大きくな
る。
る。
３）微小振動が生じる。
等の欠点があった。
（ハ）目的
本発明は上記従来技術の欠点を解消し、微小ステージの
駆動源が場所をとらず、消費電流が小さく、清らかな動
きが得られ、不要な振動を起こさずに正確な位置決めが
行える微小ステージ駆動位置決め装置の提供を目的とす
る。
駆動源が場所をとらず、消費電流が小さく、清らかな動
きが得られ、不要な振動を起こさずに正確な位置決めが
行える微小ステージ駆動位置決め装置の提供を目的とす
る。
（ニ）構成
本発明はコイルと磁気回路の一方を微小ステージ側に他
方をベース側に取付け、７コイルと磁気回路により生じ
る電磁力によって前記微小ステージを駆動すると共に、
微小ステージの一部に取付けたポジションセンサにより
微小ステージの位置情報を駆動回路にフィードバックし
て該駆動回路で前記コイルに流れる電流の方向及び電流
値を制御するよう構成したことを特徴とする微小ステー
ジ駆動位置決め装置である。
方をベース側に取付け、７コイルと磁気回路により生じ
る電磁力によって前記微小ステージを駆動すると共に、
微小ステージの一部に取付けたポジションセンサにより
微小ステージの位置情報を駆動回路にフィードバックし
て該駆動回路で前記コイルに流れる電流の方向及び電流
値を制御するよう構成したことを特徴とする微小ステー
ジ駆動位置決め装置である。
（ホ）実施例
第１図は本発明の実施例の正面図、第２図は実施例の平
面図である。
面図である。
ヨーク３に磁石２が取付けられて磁気回路を形成し、全
体としてベース８に設置されている。またコイル１は微
小ステージ４に取付けられている。
体としてベース８に設置されている。またコイル１は微
小ステージ４に取付けられている。
勿論、ベース８倒にコイル１を、微小ステージ４側に磁
石２をそれぞれ取付けてもよい。コイル■と磁石２との
位置関係は、２個の磁石２．２ではさまれた間にコイル
１が通るように互に配置する。
石２をそれぞれ取付けてもよい。コイル■と磁石２との
位置関係は、２個の磁石２．２ではさまれた間にコイル
１が通るように互に配置する。
今、コイル１の巻数をＮ、コイル１に流す電流値を６、
磁気回路中にあるコイル１の長さく１本あたり）を２、
磁気回路によって発生する磁束密度をＢとすると、フレ
ミングの法則により、力Ｆは、−ＢＩＮＡ となり、この方Ｆが磁束及び電流のいずれにも垂直な方
向に作用する。すなわち力Ｆが微小ステージ４の駆動源
であり、微小ステージ４の移動方向は電流の向きによっ
て決定される。５は微小ステージ４の移動を案内するレ
ールである。６は微小ステージ４の一部に取付けられた
ポジションセンサで、７はコイル１への電流を制御する
駆動回路である。すなわち、ポジションセンサ６により
微小ステージ４の位置情報を駆動回路７に常にフィード
バックするようにし、駆動回路７は微小ステージ４の位
置情報により、さらに必要な力Ｆを発生させる電流の電
流値り及び電流の向きを制御して供給する。なお微小ス
テージ４の刻々の駆動に必要な力は微小ステージ４にか
かる負荷、ステージ４とレール５の摩擦力等も考慮して
、電流値りが定められる。ポジションセンサ６と駆動回
路７とによるフィードバック方式により、微小ステージ
４の移動にヒステリシスがなくなるだけでなく、ミクロ
ン或いはザブミクロンオーダの精度でステージの位置決
めが可能となる。駆動回路７にはステージ駆動に際して
の応答速度の改善及びハンチング防止のための手段を付
加している。この駆動回路７は微小ステージ４等から十
分に離れた所に配置することができるので、ステージ４
の駆動系を小さくすることができる。
磁気回路中にあるコイル１の長さく１本あたり）を２、
磁気回路によって発生する磁束密度をＢとすると、フレ
ミングの法則により、力Ｆは、−ＢＩＮＡ となり、この方Ｆが磁束及び電流のいずれにも垂直な方
向に作用する。すなわち力Ｆが微小ステージ４の駆動源
であり、微小ステージ４の移動方向は電流の向きによっ
て決定される。５は微小ステージ４の移動を案内するレ
ールである。６は微小ステージ４の一部に取付けられた
ポジションセンサで、７はコイル１への電流を制御する
駆動回路である。すなわち、ポジションセンサ６により
微小ステージ４の位置情報を駆動回路７に常にフィード
バックするようにし、駆動回路７は微小ステージ４の位
置情報により、さらに必要な力Ｆを発生させる電流の電
流値り及び電流の向きを制御して供給する。なお微小ス
テージ４の刻々の駆動に必要な力は微小ステージ４にか
かる負荷、ステージ４とレール５の摩擦力等も考慮して
、電流値りが定められる。ポジションセンサ６と駆動回
路７とによるフィードバック方式により、微小ステージ
４の移動にヒステリシスがなくなるだけでなく、ミクロ
ン或いはザブミクロンオーダの精度でステージの位置決
めが可能となる。駆動回路７にはステージ駆動に際して
の応答速度の改善及びハンチング防止のための手段を付
加している。この駆動回路７は微小ステージ４等から十
分に離れた所に配置することができるので、ステージ４
の駆動系を小さくすることができる。
第３図はポジションセンサを用いない場合の例を示す装
置の正面図を示す。この例はポジションセンサの代わり
にバネ６０等の弾性体を用いる例である。すなわち、ス
テージ駆動のヒステリシスがあまり問題とならず、精密
な位置決めが必要でない場合等において、電磁力とバネ
６０等による復元力とを釣り合わせることにより微小ス
テージ４の駆動位置決めを行うものである。この例の場
合は、ポジションセンサが不要となり構成は簡単になる
が、電磁力とバネ力とを釣り合わせるために常にコイル
に電流を流す必要のあること、精密な位置決めが困難で
あること、及びヒステリシスが生じる点が既述の実施例
と異なる。
置の正面図を示す。この例はポジションセンサの代わり
にバネ６０等の弾性体を用いる例である。すなわち、ス
テージ駆動のヒステリシスがあまり問題とならず、精密
な位置決めが必要でない場合等において、電磁力とバネ
６０等による復元力とを釣り合わせることにより微小ス
テージ４の駆動位置決めを行うものである。この例の場
合は、ポジションセンサが不要となり構成は簡単になる
が、電磁力とバネ力とを釣り合わせるために常にコイル
に電流を流す必要のあること、精密な位置決めが困難で
あること、及びヒステリシスが生じる点が既述の実施例
と異なる。
（へ）効果
本発明は以上の構成よりなり、ミリメートルオーダから
ミクロンオーダのスパンをもつ微小ステージの駆動源が
コンパクトにかつ簡単に構成できる。ポジションセンサ
によりミクロン或いはサブミクロンオーダの位置決め精
度が得られる。微小ステージの動きが滑らかになり、微
小振動等を起こさない、また移動速度は可変である。位
置決め設定位置まで微小ステージが移動するとコイルに
は電流がほとんど流れないために消費電力が少ない。
ミクロンオーダのスパンをもつ微小ステージの駆動源が
コンパクトにかつ簡単に構成できる。ポジションセンサ
によりミクロン或いはサブミクロンオーダの位置決め精
度が得られる。微小ステージの動きが滑らかになり、微
小振動等を起こさない、また移動速度は可変である。位
置決め設定位置まで微小ステージが移動するとコイルに
は電流がほとんど流れないために消費電力が少ない。
第１図は本発明の実施例の正面図、第２図は実施例の平
面図、第３図はポジションセンサを用いない場合の例を
示す装置の正面図である。 １−コイル ２−磁石 ３・−ヨーク ４−微小ステージ ５−一一一・レール ６・−・ポジシランセンサ ７−・・駆動回路 ８−・ベース ６０−・バネ
面図、第３図はポジションセンサを用いない場合の例を
示す装置の正面図である。 １−コイル ２−磁石 ３・−ヨーク ４−微小ステージ ５−一一一・レール ６・−・ポジシランセンサ ７−・・駆動回路 ８−・ベース ６０−・バネ
Claims (1)
- コイルと磁気回路の一方を微小ステージ側に他方をベー
ス側に取付け、該コイルと磁気回路により生じる電磁力
によって前記微小ステージを駆動すると共に、微小ステ
ージの一部に取付けたポジションセンサにより微小ステ
ージの位置情報を駆動回路にフィードバックして該駆動
回路で前記コイルに流れる電流の方向及び電流値を制御
するよう構成したことを特徴とする微小ステージ駆動位
置決め装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24654784A JPS61124915A (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 | 微小ステ−ジ駆動位置決め装置 |
| CN85108845.7A CN1005792B (zh) | 1984-11-21 | 1985-11-20 | 确定微型载物台位置的驱动装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24654784A JPS61124915A (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 | 微小ステ−ジ駆動位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61124915A true JPS61124915A (ja) | 1986-06-12 |
Family
ID=17150032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24654784A Pending JPS61124915A (ja) | 1984-11-21 | 1984-11-21 | 微小ステ−ジ駆動位置決め装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61124915A (ja) |
| CN (1) | CN1005792B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015143783A (ja) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | 埼玉県 | 位置決め機構 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20170108685A1 (en) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | Mikroscan Technologies, Inc. | Systems, media, methods, and apparatus for enhanced digital microscopy |
| CN116609332B (zh) * | 2023-07-20 | 2023-10-13 | 佳木斯大学 | 新型组织胚胎病理切片全景扫描*** |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5254459A (en) * | 1975-10-29 | 1977-05-02 | Hitachi Ltd | Precisely and finely movable pedestal |
-
1984
- 1984-11-21 JP JP24654784A patent/JPS61124915A/ja active Pending
-
1985
- 1985-11-20 CN CN85108845.7A patent/CN1005792B/zh not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5254459A (en) * | 1975-10-29 | 1977-05-02 | Hitachi Ltd | Precisely and finely movable pedestal |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015143783A (ja) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | 埼玉県 | 位置決め機構 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1005792B (zh) | 1989-11-15 |
| CN85108845A (zh) | 1986-11-05 |
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