JPS61117728A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS61117728A JPS61117728A JP23901684A JP23901684A JPS61117728A JP S61117728 A JPS61117728 A JP S61117728A JP 23901684 A JP23901684 A JP 23901684A JP 23901684 A JP23901684 A JP 23901684A JP S61117728 A JPS61117728 A JP S61117728A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- layer
- recording medium
- thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は金属薄膜型磁気記録媒体、特に耐磨耗性にすぐ
れた磁気記録媒体弁秦醤寺鍮に関するものである。
れた磁気記録媒体弁秦醤寺鍮に関するものである。
（従来技術とその問題点）
近年、情報処理分野で記録媒体の高記録密度化が要求さ
れており、高密度磁気記録媒体として、メッキ、真空蒸
着法、スパッタ法等により製造される、磁性層ｊ１４ま
たは合金薄膜が有望視されているＯ 金属薄膜としては、Ｆｅ ＋ Ｎｔ Ｉ ｃｏの合金、
これらとＣｒ等の合金など、種々の合金組成のものが提
案されている。特にスパッタ法により製造したＣｏ−Ｃ
「合金薄膜は、膜面に対して垂直方向に強い磁気異方性
を持つことから、原理的に減磁界による記録密度の制限
のない画期的な磁気記録方式である垂直磁気記録に用い
る媒体として注目されている。
れており、高密度磁気記録媒体として、メッキ、真空蒸
着法、スパッタ法等により製造される、磁性層ｊ１４ま
たは合金薄膜が有望視されているＯ 金属薄膜としては、Ｆｅ ＋ Ｎｔ Ｉ ｃｏの合金、
これらとＣｒ等の合金など、種々の合金組成のものが提
案されている。特にスパッタ法により製造したＣｏ−Ｃ
「合金薄膜は、膜面に対して垂直方向に強い磁気異方性
を持つことから、原理的に減磁界による記録密度の制限
のない画期的な磁気記録方式である垂直磁気記録に用い
る媒体として注目されている。
しかしながら、金属薄膜Ｗ＠気に碌媒体は、記録再生に
用いる磁気ヘッドを接触させて相対的にラド及び金属薄
膜の間の摩擦による磨耗によってその両者に望ましくな
い破壊が惹起される。
用いる磁気ヘッドを接触させて相対的にラド及び金属薄
膜の間の摩擦による磨耗によってその両者に望ましくな
い破壊が惹起される。
非接触方式の場合、通常磁気へラドは薄い空気の層によ
り支持され、磁気媒体の数ミクロン上をすれすれに通る
が、低速通過時には磁気ヘッド。
り支持され、磁気媒体の数ミクロン上をすれすれに通る
が、低速通過時には磁気ヘッド。
媒体間で摺動による損傷の恐れがあり、高速通過時にお
いてもしばしば沈降して磁気媒体と高速で衝突し、磁性
金属部分の腑耗若しくは損傷を引き起こす。この様な衝
突は接触走行方式でも、磁気ヘッドが接触している磁気
媒体から税金された後、磁性金属と再接触する際にも見
られるものである。
いてもしばしば沈降して磁気媒体と高速で衝突し、磁性
金属部分の腑耗若しくは損傷を引き起こす。この様な衝
突は接触走行方式でも、磁気ヘッドが接触している磁気
媒体から税金された後、磁性金属と再接触する際にも見
られるものである。
したがって金属薄膜型磁気記録媒体には、磁気ヘッドと
媒体との衝突時に磁性金属部分が損傷を受けることを防
ぐ様な保護膜と、磁気ヘッドと媒体間の接触走行時の摩
擦を低減し、磨耗による媒体及び磁気ヘッドの破壊を防
ぐ為の潤滑層とを設ける必要がある。
媒体との衝突時に磁性金属部分が損傷を受けることを防
ぐ様な保護膜と、磁気ヘッドと媒体間の接触走行時の摩
擦を低減し、磨耗による媒体及び磁気ヘッドの破壊を防
ぐ為の潤滑層とを設ける必要がある。
金属薄膜型磁気記録媒体上に５ｉＣｈ 、 ＡｂＯｓ
、 ＳｉＣなどの非磁性絶縁物の薄膜を保護膜として形
成させると製置性（こついてはかなり改善する。上記の
様な保護膜と潤滑剤を組み合わせると、耐磨耗性が向上
し、一層の耐久性向上がはかられる。しかしながらここ
で一般に用いられているバー７０ロアルキルボリエーテ
ル等のフッ素系潤滑剤は、磁性層、保護層との親和性か
あ・まり良くないので、これを使用した磁気記録ディス
クを、近年開発されている磁気記録ディスクの表面の汚
れ防止用ジャケットに挿入した状態で１ｌＪｉＮ生装置
に装填して弁生ずる場合には、ジャケット内面の多孔性
シートに上記潤滑剤が容易に吸収されて保護層から脱離
し、耐磨耗性を維持できなくなる場合がある〇この不具
合を回避して保護膜として炭素の薄膜を形成させること
が考えられる。炭素薄膜によっても、その潤滑性のため
摩擦による媒体や磁気ヘッドの腑耗は低減できるはずで
ある。しかしこの場合は炭素薄膜の媒体磁性層に・対す
る密着性が低い為、竪固性に欠け、実験によっても、期
待されるｔｌど媒体の耐磨耗性も向上しないことが明ら
かとなっている。
、 ＳｉＣなどの非磁性絶縁物の薄膜を保護膜として形
成させると製置性（こついてはかなり改善する。上記の
様な保護膜と潤滑剤を組み合わせると、耐磨耗性が向上
し、一層の耐久性向上がはかられる。しかしながらここ
で一般に用いられているバー７０ロアルキルボリエーテ
ル等のフッ素系潤滑剤は、磁性層、保護層との親和性か
あ・まり良くないので、これを使用した磁気記録ディス
クを、近年開発されている磁気記録ディスクの表面の汚
れ防止用ジャケットに挿入した状態で１ｌＪｉＮ生装置
に装填して弁生ずる場合には、ジャケット内面の多孔性
シートに上記潤滑剤が容易に吸収されて保護層から脱離
し、耐磨耗性を維持できなくなる場合がある〇この不具
合を回避して保護膜として炭素の薄膜を形成させること
が考えられる。炭素薄膜によっても、その潤滑性のため
摩擦による媒体や磁気ヘッドの腑耗は低減できるはずで
ある。しかしこの場合は炭素薄膜の媒体磁性層に・対す
る密着性が低い為、竪固性に欠け、実験によっても、期
待されるｔｌど媒体の耐磨耗性も向上しないことが明ら
かとなっている。
（発明の目的）
本発明は、上記の問題点を克服し、金属薄膜型磁気記録
媒体の竪固性、耐磨耗性を向上させることを目的とする
。
媒体の竪固性、耐磨耗性を向上させることを目的とする
。
（発明の構成）
本発明は、金属薄膜型磁気記録媒体上にその磁性層の構
成原子を構成原子とする非磁性酸化物層を形成し、更に
この酸化物層上にスパッタリング法により炭素薄膜を形
成することにより酸化物層と炭素層の２層からなる保＆
膜を設けこれによって前記目的を達成するものである。
成原子を構成原子とする非磁性酸化物層を形成し、更に
この酸化物層上にスパッタリング法により炭素薄膜を形
成することにより酸化物層と炭素層の２層からなる保＆
膜を設けこれによって前記目的を達成するものである。
（実施例）
以下実施例によって本発明の詳細な説明する。
比較例１
厚さ７５μのポリエステル基体フィルムに高周波マグネ
トロンスパッタ装置を用いて厚さ０．５μのＣｏ Ｃ
ｒ薄膜を作成した。組成は、Ｃｒを１７ｗｔ％とし、残
余の８３ｗｔ％がＣｏで構成されるものとした。上記の
ＣｏＣｒ１Ｍ上に、同様に高周波マグネトロンスパッタ
装置を用いて厚さ３００人の８１０！薄膜を形成し、円
板状に打ち抜いて磁気記録ディスクとした。
トロンスパッタ装置を用いて厚さ０．５μのＣｏ Ｃ
ｒ薄膜を作成した。組成は、Ｃｒを１７ｗｔ％とし、残
余の８３ｗｔ％がＣｏで構成されるものとした。上記の
ＣｏＣｒ１Ｍ上に、同様に高周波マグネトロンスパッタ
装置を用いて厚さ３００人の８１０！薄膜を形成し、円
板状に打ち抜いて磁気記録ディスクとした。
比較例２
比較例１のディスクをバー７０口アルキルポリエーテル
１部とトリクロロトリフロロエタン１０００部からなる
潤滑剤浴液中に浸漬し、引き上げ後放置自然乾燥した。
１部とトリクロロトリフロロエタン１０００部からなる
潤滑剤浴液中に浸漬し、引き上げ後放置自然乾燥した。
比較例３
比較例１と同様にして作成したポリエステルフィルム基
体Ｃｏ−Ｃｒ薄膜上に高周波スパッタ装置を用いて厚さ
１５０又の炭素薄膜を形成し、４（′ 円板よに打ち抜いて磁気記録ディスクとした。
体Ｃｏ−Ｃｒ薄膜上に高周波スパッタ装置を用いて厚さ
１５０又の炭素薄膜を形成し、４（′ 円板よに打ち抜いて磁気記録ディスクとした。
実施例１
比較例１と同様にして作成したポリエステルフィルム基
体Ｃｏ −ｃｒ薄編上に酸素を導入しつつ反応性スパッ
タリングを行い、厚さ５０λのＣｒＯ薄膜を作成した。
体Ｃｏ −ｃｒ薄編上に酸素を導入しつつ反応性スパッ
タリングを行い、厚さ５０λのＣｒＯ薄膜を作成した。
次に上記のＣｒＯ薄膜上に、高周波スパッタ装置を用い
て厚さ１００人の炭素薄膜を形成し、円板状に打ち抜い
て磁気ディスクとした。
て厚さ１００人の炭素薄膜を形成し、円板状に打ち抜い
て磁気ディスクとした。
実施例２
実施例１のディスク上に比較例２と同様にして潤？Ｉ＃
膜を形成した。
膜を形成した。
上記比較例１．２．３及び実施例１，２の磁気ディスク
を、いずれも市販の磁気記録ディスク汚れ防止用ジャケ
ットに挿入し、記録再生装置に装填し、毎分３００回転
でヘッドに接触させて走行させ、出力が初期の８割に達
ｒるまでの総回転数と限界記録密度を測定した。又、Ａ
ｈＯｓ焼結体のタミーヘッドを接触させて走行させ２０
０万回媒体を回転させたときのヘンド損湯状態を評価し
た。
を、いずれも市販の磁気記録ディスク汚れ防止用ジャケ
ットに挿入し、記録再生装置に装填し、毎分３００回転
でヘッドに接触させて走行させ、出力が初期の８割に達
ｒるまでの総回転数と限界記録密度を測定した。又、Ａ
ｈＯｓ焼結体のタミーヘッドを接触させて走行させ２０
０万回媒体を回転させたときのヘンド損湯状態を評価し
た。
得られた結果を表１に示す。
表１
上表中比較例２から明らかな様に保ａ農と潤滑剤を組み
合わせることで耐久性はかなり向上する。
合わせることで耐久性はかなり向上する。
また比較例３によれば、炭素を単独で保護膜として付け
た場合はその密着性が悪いため、その潤滑性能の良さに
もかかわらず耐久性は向上しない。
た場合はその密着性が悪いため、その潤滑性能の良さに
もかかわらず耐久性は向上しない。
これに対し、実施例１では炭素薄膜層の密着性向上によ
り比較例３に比べ、耐久性を飛躍的に向上させることが
できる。さらｌζ炭素薄膜層の＋ｌｌｔ性の為媒体ヘッ
ド間の摩擦による磨耗も低減され、ヘッド損傷も比較例
１．２より軽減されて総合的に耐久性は向上する。また
これらの利点に加え、実施例１，２と比較例１，２との
比較で明らかな様に、保護膜として炭素の膜を密着性良
く付けることができさえすれば、保掻・潤滑膜の厚さは
少なくても十分な保護、潤滑性能が得られるので、媒体
と磁気ヘッド間のスペーシングを小さくスルことが可能
となって、耐久性を飛躍的に向上させられるのみならず
、媒体の高記録密度性を減じる割合も少なくてすむこと
が分る。
り比較例３に比べ、耐久性を飛躍的に向上させることが
できる。さらｌζ炭素薄膜層の＋ｌｌｔ性の為媒体ヘッ
ド間の摩擦による磨耗も低減され、ヘッド損傷も比較例
１．２より軽減されて総合的に耐久性は向上する。また
これらの利点に加え、実施例１，２と比較例１，２との
比較で明らかな様に、保護膜として炭素の膜を密着性良
く付けることができさえすれば、保掻・潤滑膜の厚さは
少なくても十分な保護、潤滑性能が得られるので、媒体
と磁気ヘッド間のスペーシングを小さくスルことが可能
となって、耐久性を飛躍的に向上させられるのみならず
、媒体の高記録密度性を減じる割合も少なくてすむこと
が分る。
さらにまた上述のテストには表われないが、実施例１，
２の保護膜は吸湿性も低く媒体の耐環境性も向上すると
いう長所を有する。
２の保護膜は吸湿性も低く媒体の耐環境性も向上すると
いう長所を有する。
Claims (2)
- （１）薄膜磁気記録媒体上にその磁性層の構成原子を構
成原子とする非磁性酸化物薄膜を形成し、更にこの酸化
物薄膜上にスパッタリング法により炭素薄膜を形成する
ことにより非磁性酸化物層と炭素層の２層からなる保護
膜を設けたことを特徴とする磁気記録媒体。 - （２）前に磁気記録媒体の磁性層がＣｏ−Ｃｒ垂直磁化
膜を含み、前記非磁性酸化物層が、酸素を導入しながら
Ｃｒを反応性スパッタリングすることにより形成された
、ＣｒＯ、Ｃｒ＿２Ｏ＿３のどちらか一方あるいは両方
を成分として含む薄膜で構成されることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23901684A JPS61117728A (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23901684A JPS61117728A (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61117728A true JPS61117728A (ja) | 1986-06-05 |
Family
ID=17038636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23901684A Pending JPS61117728A (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61117728A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62175925A (ja) * | 1986-01-24 | 1987-08-01 | Fuji Photo Film Co Ltd | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
| JPH01105318A (ja) * | 1987-10-16 | 1989-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPH0235620A (ja) * | 1988-04-11 | 1990-02-06 | Sanyo Electric Co Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53106101A (en) * | 1977-02-28 | 1978-09-14 | Nec Corp | Magnetic memory body |
| JPS59213030A (ja) * | 1983-05-17 | 1984-12-01 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 磁気記録媒体及びその製法 |
-
1984
- 1984-11-13 JP JP23901684A patent/JPS61117728A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53106101A (en) * | 1977-02-28 | 1978-09-14 | Nec Corp | Magnetic memory body |
| JPS59213030A (ja) * | 1983-05-17 | 1984-12-01 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 磁気記録媒体及びその製法 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62175925A (ja) * | 1986-01-24 | 1987-08-01 | Fuji Photo Film Co Ltd | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
| JPH01105318A (ja) * | 1987-10-16 | 1989-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPH0235620A (ja) * | 1988-04-11 | 1990-02-06 | Sanyo Electric Co Ltd | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
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