JPS61103748A - 微動回転機構 - Google Patents

微動回転機構

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JPS61103748A
JPS61103748A JP59225164A JP22516484A JPS61103748A JP S61103748 A JPS61103748 A JP S61103748A JP 59225164 A JP59225164 A JP 59225164A JP 22516484 A JP22516484 A JP 22516484A JP S61103748 A JPS61103748 A JP S61103748A
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JP
Japan
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nut
disc
engaging pin
lever
rotary movement
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Application number
JP59225164A
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English (en)
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Takeshi Yamanaka
猛 山中
Toshio Sasaoka
笹岡　俊雄
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Omron Corp
Original Assignee
Omron Tateisi Electronics Co
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）発明の分野 この発明は、例えばＬＳＩの検査・製造を始め　　　・
とする測定機器、工作機械、自動化機械等に対する超精
密な回転位置決め手段として用いられるような微動回転
機構に関する。
（ロ）発明の背景 従来、この種の微動回転機構としては、例えば公知技術
分献の日経メカニカル（１９８４年２月２７日号、第８
６頁、図１）に記載の機構が知られている。
この微動回転機構は、第５図〜第６図に示すごとく、パ
ルスモータ５１の回転軸５２と、ネジ捧５３とをカップ
リング５４で連結すると共に、前述のネジ棒５３にナツ
ト５５を螺合し、このナツト５５に一体形成しＩ〔ガイ
ドビン５６をプツトガイド５７の凹状のｉＭ　５７　ａ
　＋、＝　［？ｈ自在に挿入して、前述のナツト５５の
回転を防止りる一方、このナツト５５に突設したリンク
５８を円板５９（いわゆる回転ステージ）の一部に当接
し、該円板５９と前述のパルスモータ５１との間にスプ
リング６０を張架して、円板５９の一部を常に前述のリ
ンク５８先端に圧接すべく形成し、ざらに、前述の円ｆ
ｆ１５９の外周部三個所にＶＭベアリング６１・・・を
配設して、同円板５９の回転を支持するように形成した
ものである。
このように構成した微動回転機構は、パルスモータ５１
を回転することにより、その回転力がカップリング５４
を介してネジ捧５３に伝達され、このネジ棒５３の回転
によって、ナツト５５は第５図の矢印方向へ直進する。
そして、前述の円板５９はスプリング６０に：よって常
にリンク５８に圧ｌ狡しているので、前述のナツト５５
の直進変位（６）に相当する分だけ、前述の円板５９は
その中心５９ａを基点に同図の矢印方向へ回転する。
しかしながら、前述の円板５９０回転角度の分解能を向
上させるためには、ネジ棒５３のネジのピッチを細かく
するか、あるいはステップ角度を小さく設定したパルス
モータを必要とりる。
しかし、前者の場合には加工上において限界があり、ま
た後者の場合にはパルスモータの重量、形状共に大とな
り、コンパクト性に欠ける問題点を有していた。
（ハ）発明の目的 そこでこの発明は、ネジ棒のネジのピッチが大きくても
、またモータの１ステツプ角が大ぎくても高精度・高分
解能の微動回転を１ｑることができ、しかもコンパクト
で、低コスト化することができる微動回転ｍ構の提供を
目的どする。
（ニ）発明の要約 この発明は、直進移動するナツトと回転移動する円板と
の対向部間にかけて配設された傾動片が、ナツト側では
大きく変位し、円板側では小さく変位する縮小変換機能
で６つて微動回転する微動回転機構であることを特徴と
する。
（ホ）発明の効果 この発明によれば、モータを介したナツトの直進移動に
連動しで傾動される傾動片が、基端側の弾性変形許容部
を支点に回転方向に傾動するため、この傾動片の基端側
は半径方向の中心位置に近い状態で傾動し、自由端側の
傾動ｆｆ１よりも、縮小変換されて微６・傾動する。
したがって、傾動片の基端側に係合される円板はこの縮
小変換作用を受けて、高精度・高分解能の微動回転が可
能となり、特にこの傾動片は弾性変形作用を利用して傾
動するため、ガタ句ぎ等の発生がなく、なめらかで回転
位置決め機構としての微動回転に適している。
このため、現状のようにネジ棒のネジのビッヂを細かく
したり、モータのステップ角を小さくすることがなく、
低コストで小型のモータを用いることができ、機構全体
の小型化および低」スト化を図ることができる。
くべ）発明の実施例 この発明の一実論例を以下図面に基づいて詳述する。
図面は微動回転機構を示し、第１図において、１１はパ
ルスモータで、このパルスモータ１１の主軸１２にネジ
棒１３を一体的に連結し、ネジ棒１３の両端軸部はベア
リング１４．１４によって回転自在に軸支されている。
さらに、上述のネジ棒１３にはナツト１５を螺合し、こ
のナツト１５に突設したガイドビン１６を、ナツトガイ
ド１７の凹状の案内溝１８に１習動自在に挿入して、ナ
ラ１〜１５の回動を防止するように形成している。
また、ナツト１５は、該ナツト１５の進退方向に対し直
角に駆動用の送りレバー１９を突設し、このレバー１９
の対向側には回転許容された円板（回転ステージ）２０
の外周面側が対向して配設され、これらナツト１５と円
板２０との対向部間に対しては彎述する傾動片が配設さ
れる。
上述の傾動片２１は、Ｌ形状に設【ノられ、その一方の
垂直片２２が前述の円板２００Ｆ面側に位置して、その
中心軸部近傍位置に垂直に固定されて片持ら支持され、
これより他方の水平ハ２３の自由端側が前述の送りレバ
ー１９の下面側に延出される。
そして、この水平片２３の基端側中央部には該基端側を
支点に水平片２３を円板２０の回転方向に変位許容させ
る弾性変形許容部としての薄肉部２４が形成され、この
薄肉部２４を回転中心部と　。
して水平片２３は首撮り傾動自在に設けられる。
また、薄肉部２４より若干自由端側に位置する水平片２
３の基端側上面には駆動係合部としての駆動係合ピン２
５が植立される。一方、自由端側の水平片２３の上面に
は前述の送りレバー１９に対するレバー係合部としての
レバー係合ビン２６と予圧板バネ２７とが植立され、こ
れらの対向面間に送りレバー１９が介在されて、ナツト
１５が移動した場合はこのナツト１５の移動力に連動し
て水平片２３が傾動される。
また、上述の駆動係合ピン２５に対しては、前述の円板
２０の外周面に形成された従動係合部としての切欠き段
部２８と予圧板バネ２９との対向面間に該駆動係合ピン
２５が介在されて、水平片２３側の傾動力が円板２０側
に伝動される。
ざらに、第３図に示すように、上述のｔット１５には＠
ｈ向に割溝３０を入れ、この割溝３０の面間隔を調？！
づる調整ネジ３１によって、ネジ棒１３とナツト１５と
の締付【ツカを調整し、これによりバックラッシを除去
するように形成している。
さらに、第４図に示すように、円板２０の回転軸３２に
対するガタ（Ｎｊき吸収手段としては、Ｖ形状の軸受番
）部ｊ、１３３に回転軸３２を介在さゼた状態でその開
放面側Ｊ、す（ｌＬ面板３４を付勢対接させて支持する
ことにＪ、リガタ付きのない軸受【）構造に設けている
。
このように構成された微動回転機構は、パルスモータ１
１を回転さけることにより、その回転力がネジ棒１３に
伝達され、このネジ棒１３の回転によりナツト１５はネ
ジ棒１３に沿って一方向へ直進する。
そして、ナツト１５が第１図の想像線位置に移動すると
、ナツト１５の送りレバー１つを介してレバー係合ピン
２６が１１１１動され、同様に駆動係合　　　　　Ｊピ
ン２５も同方向に傾動する。この場合、水平片２３は薄
肉部２４を支点として傾動り−るため、レバー係合ビン
２６側の傾初蚤よりも、駆動係合ビ・ン２５側の傾動値
の方が小ざく傾動する、いわゆる縮小変換作用に基づい
て、円板２０はその中心点３５を基点に縮小変換された
変位量だけ反時計方向へ微動回転する。
なお、傾動時における各係合ビン２５．２６の接触対応
時は各々の予圧板バネ２７．２９によつ−で、定圧接触
するため、ガタ付き等の心配は一切ない。
また、前述の縮小変位量は、薄肉部２４の弾性変形度合
と、ナツト１５の移！ｉｔとによって決まるものである
から、薄肉部２４の数を増やして設定すれば、縮小変位
量は極めて小さくなり、超高分解能の微動回転を得るこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
図面はこの発明の一実施例を示し、 第１図は微動回転機構の平面図、 第２図は微動回転機構の側面図、 第３図は微動回転機構の一部拡大縦断面図、第４図は微
動回転機構の一部拡大横断面図、第５図は従来例の微Ｏ
」回転機構を示１平面図、第６図は従来例の微動回転ｔ
ａ構を示づ一部側面図である。 １１・・・パルレス七−夕　　１３・・・ネジ棒１５・
・・ナツト　　　　　１９・・・送りレバー２０・・・
円板　　　　　　２１・・・傾動片２４・・・薄肉部　
　　　　２５・・・駆動係合ピン２６・・・レバー係合
ピン　２７・・・予圧板バネ２９・・・予圧板バネ 第１図 ａ動部にハＪ＃ｔ、羊ω図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、モータの出力に連動して回転するネジ棒にナットを
    螺合し、このナットの移動によっ て円板を微動回転させる微動回転機構であ って、 前記ナットと円板との対向部間に、円板側 近傍位置で片持ち支持され、自由端側をナ ット側に延出した傾動片を配設し、 該傾動片は基端側を支点に自由端側を円板 の回転方向に変位許容させる弾性変形許容 部と、駆動係合部とを該傾動片の基端側に 形成し、自由端側にはレバー係合部を形成 し、 前記ナットには前記レバー係合部に係合す る送りレバーを突設し、 前記円板には前記駆動係合部に係合する従 動係合部を備えた 微動回転機構。
JP59225164A 1984-10-25 1984-10-25 微動回転機構 Pending JPS61103748A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59225164A JPS61103748A (ja) 1984-10-25 1984-10-25 微動回転機構
US07/027,058 US4825714A (en) 1984-10-25 1987-03-23 Pivotal micromotion device

Applications Claiming Priority (1)

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JP59225164A JPS61103748A (ja) 1984-10-25 1984-10-25 微動回転機構

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JPS61103748A true JPS61103748A (ja) 1986-05-22

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ID=16824940

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JP59225164A Pending JPS61103748A (ja) 1984-10-25 1984-10-25 微動回転機構

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JP (1) JPS61103748A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7191302B2 (en) 2002-03-27 2007-03-13 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Memory control device for controlling transmission of data signals

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5079964A (en) * 1989-05-25 1992-01-14 Mitsui Kinzoku Kogyo Kabushiki Kaisha Actuator for door locking apparatus for vehicle
US4949536A (en) * 1989-07-06 1990-08-21 George Neufeld Lawn and garden trimmer apparatus
US5353902A (en) * 1992-06-16 1994-10-11 Dana Corporation Electric actuator assembly for clutch
US5966987A (en) * 1997-05-28 1999-10-19 Samsung Electronics Co., Ltd. Controlling device of tunable filter
GB0220460D0 (en) * 2002-09-03 2002-10-09 Acrobot Company The Ltd Robot head
US10435923B2 (en) 2013-11-15 2019-10-08 Taiger International Corp. Swing type power door lock actuator
US20150135867A1 (en) * 2013-11-15 2015-05-21 Taiger International Corp. Swing type power door lock motor
US10133186B2 (en) * 2016-10-20 2018-11-20 Mapper Lithography Ip B.V. Method and apparatus for aligning substrates on a substrate support unit
CN112736020B (zh) * 2020-12-31 2024-06-07 拓荆科技股份有限公司 晶圆支撑销升降装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3147766A (en) * 1953-09-11 1964-09-08 Rockwell Mfg Co Rotary plug valve and operator therefor
US3407018A (en) * 1964-01-30 1968-10-22 Electro Optical Systems Inc Two-axis angular positioning apparatus for adjusting the position of an optical element
US3613465A (en) * 1969-12-09 1971-10-19 Pyles Ind Inc Ratio linkage assembly
JPS55142154A (en) * 1979-04-24 1980-11-06 Nippon Kokan Kk <Nkk> Mechanism of amplifying angular displacement
DE3216459A1 (de) * 1982-05-03 1983-11-03 Hoechst Ag, 6230 Frankfurt Stufenloses getriebe

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7191302B2 (en) 2002-03-27 2007-03-13 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Memory control device for controlling transmission of data signals

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US4825714A (en) 1989-05-02

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