JPS6076025A - 磁気記録媒体の製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は真空蒸着法による磁気記録媒体の製造法に関
する。

従来、ポリエステルフィルムなどの基体上に強磁性金属
またはその合金からなる蒸発源を真空蒸着させて磁気テ
ープなどの磁気記録媒体を製造する方法においては、一
般に蒸発源を基体表面に対して斜方向から真空蒸着させ
ることにより、蒸着膜の保磁力を増大させ電磁変換特性
に好結果を得ている。

ところが、上記の斜方向蒸着により形成される蒸着膜は
耐食性に劣り、飽和磁束密度が経口的に低下しやすいと
いう問題があった。このため、斜方向蒸着膜の上にさら
に他種の金属または合金あるいは酸化物などの薄膜を通
常の真空蒸着やスパッタリングなどによって形成して、
上記耐食性の向上を図っている。しかるに、かかる方法
では２種の蒸発源が必要でしかも操作上面倒となるなど
工業的に必ずしも望ましい方法とはいえなかった。

この発明者らは、上記観点から、１種の蒸発源から電磁
変換特性と耐食性とに共にすぐれる蒸着膜を作業容易に
形成しうる方法を探究するべく鋭意検討した結果、この
発明を完成するに至った。

すなわち、この発明は、基体上に強磁性金属またはその
合金からなる蒸発源を基体表面に対して斜方向から真空
蒸着させたのち、この蒸着膜」二にさらに上記蒸着時の
基体表面に対する入射角度より小さな入射角度で上記蒸
発源を連続して真空蒸着させることを特徴とする磁気記
録媒体の製造法に係るものである。

以下、この発明の磁気記録媒体の製造法につき図面を参
考にして説明する。

第１図および第２図において、１はポリエステルフィル
ムなどの基体２の供給ロール、３は円筒状の冷却回転キ
ャン、４は巻取りロール、５は強磁性金属またはその合
金からなる蒸発源、６は蒸発源５の基体表面に対する蒸
着方向を規制するための制御板、７は上記各要素１〜６
が配設された内部を真空ポンプ８により所定の真空度に
排気してなる真空槽である。

この装置において、まず蒸発源５を電子ビームの如き加
熱源（図示せず）によって蒸発させ、これを供給ロール
１から供給されて冷却回転キャン３に沿って所定速度で
一走行する基体２上に真空蒸着させる。この真空蒸着は
蒸着方向が基体２表面に対して斜方向とされた第１段目
の蒸着とこれに引き続（第２段目の蒸着とから構成され
、それぞれの蒸着は制御板６の開口部６ａ　、６ｂを介
して行われるようになっている。

すなわち、第１段目では、開口部６ａを介した蒸着方向
線５Ｘが冷却回転キャンに沿って走行する基体２と交わ
る点における法線９Ｘと上記蒸着方向線５ｘとのなす角
つまり入射角度θが通常３０〜９０度、好適には４５〜
９０度となるように、基板２表面に対して蒸発源５を斜
方向から真空蒸着させ、一方策２段目では、上記蒸着後
の基板２の走行方向前方側において、開口＝Ｂ６ｂを介
した蒸着方向線５ｙと前記同様の法線９ｙとのなす角で
表わされる入射角度ｌが通常３０度未満、好適には２０
〜０度となるように、つまり入射角度θ′が第１段目の
入射角度θより小さくなるように、第１段目の蒸着膜上
にさらに蒸発源５を連続して真空蒸着させる。

このようにして基体２上に蒸着膜１０を形成してなる磁
気記録媒体１１は、ついで冷却回転キャン３上を走行し
ながら巻取りロール４に巻取られ、その後裁断工程など
の所要の工程を経て製品とされる。

上記の説明によって明らかなように、この発明では、基
体２上に同一の蒸発源５を異なる入射角度θ、θ′で真
空蒸着させるようにして０る力）ら、入射角度の大きな
第１段目の斜方向蒸着によって蒸着膜１０の電磁変換特
性に好結果を得ること力５できるとともに、入射角度の
小さな第２段目の真空蒸着によって膜表面部を緻密化し
こ泪こより蒸着膜１０の耐食性を大巾に改善することが
できる。

また、この方法では、蒸発源５がひとつで足り、しかも
制御板６の所定位置にふたつの開口部６ａ。

６ｂを設ける以外は通常の蒸着手段をそのまま採用でき
るため、前記従来の他種金属の薄膜を形成する方法に比
し経済性および製造作業性の面できわめて有利となる。

この発明において蒸発源５として用し）られる強磁性金
属またはその合金としては、Ｆｅ　、Ｃｏ　、　Ｎｉも
しくはこれらの合金、またはこれらとＣｕ、Ｚｎ。

Ｍｎ、Ｃｒ、ｋｌなどの他の金属との合金、あるし）番
マＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉの窒化物、酸化物、ホウ化物なと力
（挙げられる。これら蒸発源５を第１段目および第２段
目の真空蒸着によって基体２上に蒸着させたときの蒸着
膜１０の厚みとしては、５００〜５，０ＯＯＡ程度であ
る。基体２の走行速度や蒸発源５の蒸発速度などは、上
記蒸着１漠１０の厚みに応じて適宜設定される。

第１段目の入射角度θと第２段目の入射角度θ′との差
は大きいほど好ましい。しかし、一般には１０度以上、
特に好適には３０度以上の差とされておればよ（、これ
によって電磁変換特性良好にして耐食性の向上を図りう
る。

以下に、この発明の実施例を記載してより具体的に説明
する。

実施例 基体として２０．”Ｉ厚のポリエステルフィルムを使用
し、これを第１図で示される真空槽内にセットし、これ
に蒸発源としてのＣＯ金金属ふたつの開口部を設けた制
御板を介して入射角度４０〜９０度の範囲の第１段目の
蒸着とこれに引き続く入射角度５〜１０度の範囲の第２
段目の蒸着とによって真空蒸着して、厚さ２，０００λ
で保磁力８００エルステツド、飽和磁束密度８．０００
ガウスの蒸着膜を形成した。蒸着条件の詳細は、下記の
とおりである。

円筒状の冷却回転キャン；直径３００ｍｍ加熱諒　；電
子ビームガン 蒸発源から基体までの最短距離；２５０τｍ雰　囲気　
；酸素／アルゴン＝１／１０真空度；　５　Ｘ　１０−
５Ｔｏｒｒ 基体の走行速度；０．５ｔｎ１分 上記真空蒸着後、所定幅に裁断して、この発明の磁気テ
ープを得た。

比較例 第１図で示されるふたつの開口部を持った制御板の代り
にひとつの開口部のみを有する制御板を用いて、入射角
度４０°〜９♂の範囲の第１段目の蒸着だけを行い、第
２段目の蒸着を行わなかった以外は、実施例と全く同様
にして厚さ１，５ｏｏＸで保磁力８５０エルステツド、
飽和磁束密度７，０００ガウスの蒸着膜を有する従来の
磁気テープを作製した。

上記実施例および比較例の電磁変換特性および耐食性を
調べた結果は、次の表に示されるとおりであった。なお
、電磁変換特性は記録波長ＩＰでの再生出力を測定し、
比較例を基準（０）としてその相対値で表わした。また
、耐食性は６０℃、９０％ＲＨの雰囲気中に１週間放置
したときの飽和磁束密度を測定し、初期値に対する減少
率（イ）で表わした。

上表から明らかなように、この発明法によって得られた
磁気テープは、従来のテープに比し遜色のない電磁変換
特性を有しているとともに、耐食性が高度に改善されて
いることが判る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の方法を実施するための真空蒸着装置
の一例を示す概略図、第２図はこの発明の方法の要部を
説明するための；概略図である。 ２　基体、５・・・蒸発源、θ・・・斜方向蒸着時の入
射角度、θ′・・・上記角度より小さな入射角度。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）基体上に強磁性金属またはその合金からなる蒸発
   源を基体表面に対して斜方向から真空蒸着させたのち、
   この蒸着膜上にさらに上記蒸着時の基体表面に対する入
   射角度より小さな入射角度で上記蒸発源を連続して真空
   蒸着させることを特徴とする磁気記録媒体の製造法。