JPS6076015A - 磁気記録媒体とその製造法 - Google Patents
磁気記録媒体とその製造法Info
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- JPS6076015A JPS6076015A JP18370083A JP18370083A JPS6076015A JP S6076015 A JPS6076015 A JP S6076015A JP 18370083 A JP18370083 A JP 18370083A JP 18370083 A JP18370083 A JP 18370083A JP S6076015 A JPS6076015 A JP S6076015A
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- oxide
- metal
- alloy
- vacuum
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は磁気テープその他の磁気記録媒体とその製造
法に関する。
法に関する。
基体上にC’oまたはCo合金からなる磁性膜を形成し
てなる磁気記録媒体は、上記金属以外の強磁性金属を用
いたものに較べると耐食性にすくれているものの、実用
的にはなお満足できるものとはいえず、経口的な飽和磁
化量の低下など磁気特性の経時劣化を免れなかった。
てなる磁気記録媒体は、上記金属以外の強磁性金属を用
いたものに較べると耐食性にすくれているものの、実用
的にはなお満足できるものとはいえず、経口的な飽和磁
化量の低下など磁気特性の経時劣化を免れなかった。
上記問題を回避するために、CoまたはCo合金からな
る磁性膜の膜表面に金属酸化物からなる保護層を形成す
ることが提案されている。しかるに、かかる保護層によ
って耐食性を向上させるためには保護層の厚みを500
X以上、通常1,000〜2,0OOA程度とする必要
があり、この場合周波数特性に悪影響を与えまたノイズ
を増加させるなどの弊害があった。
る磁性膜の膜表面に金属酸化物からなる保護層を形成す
ることが提案されている。しかるに、かかる保護層によ
って耐食性を向上させるためには保護層の厚みを500
X以上、通常1,000〜2,0OOA程度とする必要
があり、この場合周波数特性に悪影響を与えまたノイズ
を増加させるなどの弊害があった。
この発明者らは、上記観点から鋭意検討した結果、CO
またはCo合金を真空蒸着させる際に蒸発源として酸化
けい素などの酸化物を併用して、この酸化物をCoまた
はCo合金からなる磁性膜の内部に所定量含ませるよう
にすると、周波数特性やノイズなどに問題をきたすこと
なく磁性膜の耐食性を高度に向上させうろことを知り、
この発明を完成するに至った。
またはCo合金を真空蒸着させる際に蒸発源として酸化
けい素などの酸化物を併用して、この酸化物をCoまた
はCo合金からなる磁性膜の内部に所定量含ませるよう
にすると、周波数特性やノイズなどに問題をきたすこと
なく磁性膜の耐食性を高度に向上させうろことを知り、
この発明を完成するに至った。
すなわち、この発明は、基体上に形成されたC0または
Co合金からなる磁性膜の内部にCo金属以外の金属な
いし非金属の酸化物を含むことを特徴とする磁気記録媒
体と、この媒体を工業的有利に製造するための方法とに
係るものである。
Co合金からなる磁性膜の内部にCo金属以外の金属な
いし非金属の酸化物を含むことを特徴とする磁気記録媒
体と、この媒体を工業的有利に製造するための方法とに
係るものである。
この発明においてCoまたはCo合金からなる磁性膜の
内部に含ませるCo金属以外の金属ないし非金属の酸化
物としては、酸化けい素、酸化チタン、酸化アルミニウ
ムおよび酸化亜鉛などが挙げられる。これらは磁性膜の
内部に一種含ませても二種以上含ませても差し支えない
。含有量としては、CoまたI#: Co合金との合計
量中1〜30fi量%、好適には5〜25重匿%となる
割合とするのがよく、あまり多く含ませずきると磁気特
性を損なうおそれがあるから好ましくない。
内部に含ませるCo金属以外の金属ないし非金属の酸化
物としては、酸化けい素、酸化チタン、酸化アルミニウ
ムおよび酸化亜鉛などが挙げられる。これらは磁性膜の
内部に一種含ませても二種以上含ませても差し支えない
。含有量としては、CoまたI#: Co合金との合計
量中1〜30fi量%、好適には5〜25重匿%となる
割合とするのがよく、あまり多く含ませずきると磁気特
性を損なうおそれがあるから好ましくない。
上記割合の酸化物を磁性膜内部に含ませたときに磁性膜
の耐食性が高度に向上する理由については今のところ必
ずしも明らかではない。推測では、゛上記酸化物は磁性
膜の形成過程でCoまたはC。
の耐食性が高度に向上する理由については今のところ必
ずしも明らかではない。推測では、゛上記酸化物は磁性
膜の形成過程でCoまたはC。
合金からなる磁性粒子と均一に混合せずに、基体表面に
結晶成長する上記磁性粒子をあたかも包み込むような状
態で磁性膜内部に取り込まれるためと思われる。そして
、かかる膜構造をとるために、磁気特性に及はす影響も
少なくなるものと推測される。
結晶成長する上記磁性粒子をあたかも包み込むような状
態で磁性膜内部に取り込まれるためと思われる。そして
、かかる膜構造をとるために、磁気特性に及はす影響も
少なくなるものと推測される。
この発明の上記磁気記録媒体は以下に述へるふたつの真
空蒸着法によって工業的有利に製造することができる。
空蒸着法によって工業的有利に製造することができる。
そのひとつは、CoまたはCo合金の真空蒸着時に蒸発
源として+?iJ記金属ないし非金属の酸化物を併用す
る方法である。この方法は、たとえば所定の真空度に排
気してなる真空槽内で、供給ロールから供給されるポリ
エステルフィルムなどの基体を冷却回転キャン上を走行
させながら、これにCoまたはCo合金と前記金属ない
し非金属の酸化物を同時に真空蒸着させることにより、
実施できる。ふたつの蒸発源は、一般には、それぞれ別
の容器にセットされて電子ビームガンの如き加熱源によ
って溶融蒸発(酸化物は昇華)されるが、場合によりひ
とつの容器に混合してセットしてこれを上記同様に蒸発
させるようにしても差し支えない。
源として+?iJ記金属ないし非金属の酸化物を併用す
る方法である。この方法は、たとえば所定の真空度に排
気してなる真空槽内で、供給ロールから供給されるポリ
エステルフィルムなどの基体を冷却回転キャン上を走行
させながら、これにCoまたはCo合金と前記金属ない
し非金属の酸化物を同時に真空蒸着させることにより、
実施できる。ふたつの蒸発源は、一般には、それぞれ別
の容器にセットされて電子ビームガンの如き加熱源によ
って溶融蒸発(酸化物は昇華)されるが、場合によりひ
とつの容器に混合してセットしてこれを上記同様に蒸発
させるようにしても差し支えない。
他のひとつは、CoまたはCo合金の真空蒸着++v7
に蒸発源として前記金属ないし非金属の酸化物を構成す
る金属ないし非金属そのもの(合金であってもよい)を
併用しかつ真空系内に上記金属ないし非金属を酸化物に
変換しうる量の酸素ガスを導入する方法である。すなわ
ち、この方法では、たとえば所定の真空度でかつ所要の
酸素ガスを導入してなる真空槽内で、供給ロールから供
給されるポリエステルフィルムなどの基体を冷却回転キ
ャン上を走行させながら、これにCoまたはCo合金と
前記金属ないし非金属とを同時に真空蒸着させればよい
。rqil記金属ないし非金属は酸素ガスを選択的に吸
収して酸化物となり、COまたはCo合金はほとんど酸
化されない。ふたつの蒸発源は、それぞれ別の容器にセ
ットしてもよいしひとつの容器に混合してセットしても
よく、また予め両者つまりCoまたはCo合金と前記金
属ないし非金属とを合金化しておきこれをひとつの容器
にセットしてもよい。
に蒸発源として前記金属ないし非金属の酸化物を構成す
る金属ないし非金属そのもの(合金であってもよい)を
併用しかつ真空系内に上記金属ないし非金属を酸化物に
変換しうる量の酸素ガスを導入する方法である。すなわ
ち、この方法では、たとえば所定の真空度でかつ所要の
酸素ガスを導入してなる真空槽内で、供給ロールから供
給されるポリエステルフィルムなどの基体を冷却回転キ
ャン上を走行させながら、これにCoまたはCo合金と
前記金属ないし非金属とを同時に真空蒸着させればよい
。rqil記金属ないし非金属は酸素ガスを選択的に吸
収して酸化物となり、COまたはCo合金はほとんど酸
化されない。ふたつの蒸発源は、それぞれ別の容器にセ
ットしてもよいしひとつの容器に混合してセットしても
よく、また予め両者つまりCoまたはCo合金と前記金
属ないし非金属とを合金化しておきこれをひとつの容器
にセットしてもよい。
なお、この発明においては、蒸発源として他の強磁性金
属またに合金に較べて耐食性の良好なC(]またはCO
合金を用いるが、Co合金としてはCoとFe、Mn、
Ni 、Cr、Aj’、Si 、Pdなどの金属との合
金が挙げられる。
属またに合金に較べて耐食性の良好なC(]またはCO
合金を用いるが、Co合金としてはCoとFe、Mn、
Ni 、Cr、Aj’、Si 、Pdなどの金属との合
金が挙げられる。
このようにしてつくられるこの発明の磁気記録媒体は磁
性膜の耐食性が非常に良好であるため飽和磁化量の経時
劣化が少ないなど磁気特性の経時的安定性にすくれてお
り、また1川記提案の如き磁性膜の表面に厚手の保護層
を設りるものではないから周波数特性やノイズの面でも
好結果が寄られ、さらに磁性膜の摩擦係数が前記酸化物
の導入によって低下して走行安定性や耐久性にも好結果
を得ることができる。
性膜の耐食性が非常に良好であるため飽和磁化量の経時
劣化が少ないなど磁気特性の経時的安定性にすくれてお
り、また1川記提案の如き磁性膜の表面に厚手の保護層
を設りるものではないから周波数特性やノイズの面でも
好結果が寄られ、さらに磁性膜の摩擦係数が前記酸化物
の導入によって低下して走行安定性や耐久性にも好結果
を得ることができる。
以下に、この発明の実施例を記載してより具体的に説明
する。
する。
実施例1
第1図に示されるように、真空ポンプ1によって所定の
真空度に排気した真空槽2内に、供給ロール3から供給
されて冷却回転キャン4上を一定速度で走行する基体5
の表面に蒸発容器6(6,a。
真空度に排気した真空槽2内に、供給ロール3から供給
されて冷却回転キャン4上を一定速度で走行する基体5
の表面に蒸発容器6(6,a。
6b)にセットされた蒸発源を加熱蒸発させて真空蒸着
させ、その後巻取りロール7に巻取るような機構を備え
た真空蒸着装置を用いて、以下の如くこの発明の磁気テ
ープを製造した。
させ、その後巻取りロール7に巻取るような機構を備え
た真空蒸着装置を用いて、以下の如くこの発明の磁気テ
ープを製造した。
すなわち、基体2として10/”厚のポリエチレンテレ
フタレートフィルムを使用し、このテープを供給ロール
3から10〜50m1分の速度で冷却回転キャン4上を
走行させ、これに蒸発容器6aにセットされたCo金属
と蒸発容器6bにセットされた酸化けい素(Sin)と
を同時に加熱蒸発させて真空蒸着させた。なお、この蒸
着に当たり、蒸着膜中のCo金属と酸化けい素との重量
比率が95:5となるように加熱条件を制御した。また
、真空蒸着条件の詳細は下記のとおりである。
フタレートフィルムを使用し、このテープを供給ロール
3から10〜50m1分の速度で冷却回転キャン4上を
走行させ、これに蒸発容器6aにセットされたCo金属
と蒸発容器6bにセットされた酸化けい素(Sin)と
を同時に加熱蒸発させて真空蒸着させた。なお、この蒸
着に当たり、蒸着膜中のCo金属と酸化けい素との重量
比率が95:5となるように加熱条件を制御した。また
、真空蒸着条件の詳細は下記のとおりである。
円筒状の冷却回転キャン;直径600yim加熱源;電
子ビーム加熱 蒸発源から基体までの最短距離;30(L+m雰囲気;
酸素ガス 真空度; 1.OX 10 Torr 蒸着膜厚; 0.12)W+ 上記蒸着後巻取りロール7に巻取り、その後これを真空
槽内から取り出し、所定の幅に裁断してこの発明の磁気
テープを得た。このテープの保磁力は1,050エルス
テツドであった。
子ビーム加熱 蒸発源から基体までの最短距離;30(L+m雰囲気;
酸素ガス 真空度; 1.OX 10 Torr 蒸着膜厚; 0.12)W+ 上記蒸着後巻取りロール7に巻取り、その後これを真空
槽内から取り出し、所定の幅に裁断してこの発明の磁気
テープを得た。このテープの保磁力は1,050エルス
テツドであった。
実施例2
蒸発源のうちの酸化けい素の代りに酸化チタン(Tie
)を使用し、蒸着膜中のCo金属と酸化チタンとの重量
比率が90:10となるようにした以外は、実施例1と
同じ操作および条件にて、この発明の1磁気テープを得
た。このテープの保磁力は980エルステツドであった
。
)を使用し、蒸着膜中のCo金属と酸化チタンとの重量
比率が90:10となるようにした以外は、実施例1と
同じ操作および条件にて、この発明の1磁気テープを得
た。このテープの保磁力は980エルステツドであった
。
実施例3
蒸発源のうちの酸化けい素の代りに非金属けい素を使用
し、かつ真空槽内の算囲気を酸素ガス/アルゴンガス=
4/1、真空度を2×10″Torrとして、蒸着膜中
のCo金属と酸化けい素との重量比率が75:25とな
るように制御した以外は、実施例1と同じ操作および条
件にて、この発明に係る磁気テープを得た。このテープ
の保磁力は]、、 030エルステツドであった。
し、かつ真空槽内の算囲気を酸素ガス/アルゴンガス=
4/1、真空度を2×10″Torrとして、蒸着膜中
のCo金属と酸化けい素との重量比率が75:25とな
るように制御した以外は、実施例1と同じ操作および条
件にて、この発明に係る磁気テープを得た。このテープ
の保磁力は]、、 030エルステツドであった。
上記実施例1,2.3の各磁気テープを60 °C。
90%RHの雰囲気中に1週間保存したときの飽和磁化
−■の劣化率を次式にしたがって測定した結果は、下記
の表に示されるとおりであった。なお、表中の比較例と
は、蒸発源としてCo金属だけを使用しその他の操作お
よび条件は実施例1と同様にして作製した従来の磁気テ
ープに関する測定結果である。
−■の劣化率を次式にしたがって測定した結果は、下記
の表に示されるとおりであった。なお、表中の比較例と
は、蒸発源としてCo金属だけを使用しその他の操作お
よび条件は実施例1と同様にして作製した従来の磁気テ
ープに関する測定結果である。
(至) σO
σ0 ; 初期の飽和磁化量
σt ; 保存後の飽和磁化量
また、上記実施例1と比較例との磁気テープにつき、上
記劣化率の経口変化を調べた結果は、第2図の曲線−a
およびbにて示されるとおりてあった。曲線−aは実施
例1の結果、曲線−bは比較例の結果である。なお、保
存条件は前記と同じ60°C290%RHである。
記劣化率の経口変化を調べた結果は、第2図の曲線−a
およびbにて示されるとおりてあった。曲線−aは実施
例1の結果、曲線−bは比較例の結果である。なお、保
存条件は前記と同じ60°C290%RHである。
上記の表および第2図の結果から明らかなように、この
発明の磁気テープは耐食性に非常にすぐれており、これ
より周波数特性やノイズの低下をきたしやすし桶IJ記
保護層形成法によることなく耐食性を大幅に向上できる
ものであることがわかる。
発明の磁気テープは耐食性に非常にすぐれており、これ
より周波数特性やノイズの低下をきたしやすし桶IJ記
保護層形成法によることなく耐食性を大幅に向上できる
ものであることがわかる。
第1図はこの発明の磁気記録媒体の製造に用いる真空蒸
着装置の一例を示す概略図、第2図はこの発明の磁気記
録媒体の耐食性を比較例のものと対比して示した特性図
である。 特許出願人 日立マクセル株式会社
着装置の一例を示す概略図、第2図はこの発明の磁気記
録媒体の耐食性を比較例のものと対比して示した特性図
である。 特許出願人 日立マクセル株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 +11基体上に形成されたCoまたはCo合金からなる
磁性膜の内部にCo金属以外の金属ないし非金属の酸化
物を含むことを特徴とする磁気記録媒体。 (21Co金属以外の金属ないし非金属の酸化物が酸化
けい素、酸化チタン、酸化アルミニウムおよび酸化亜鉛
の中から選ばれた少なくとも1種である特許請求の範囲
第(1)項記載の磁気記録媒体。 (3)基体上にCOまたはCo合金からなる磁性膜を真
空蒸着法によって形成するに当たり、蒸発源としてCo
またはCo合金とともにCo金属以外の金属ないし非金
属の酸化物を併用して、形成される磁性膜の内部に上記
の酸化物を含ませることを特徴とする磁気記録媒体の製
造法。 (4)基体上にCOまたはCo合金からなる磁性膜を真
空蒸着法によって形成するに当たり、蒸発源としてCo
またはCo合金とともにCo金属以外の金属ないし非金
属を併用しかつ真空系内に酸素ガスを導入して、形成さ
れる磁性膜の内部に上記金属ないし非金属の酸化物を含
ませることを特徴とする磁気記録媒体の製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18370083A JPS6076015A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 磁気記録媒体とその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18370083A JPS6076015A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 磁気記録媒体とその製造法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6076015A true JPS6076015A (ja) | 1985-04-30 |
Family
ID=16140411
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18370083A Pending JPS6076015A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 磁気記録媒体とその製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6076015A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6544672B1 (en) | 1994-11-11 | 2003-04-08 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic storage |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP18370083A patent/JPS6076015A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6544672B1 (en) | 1994-11-11 | 2003-04-08 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic storage |
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