JPS6076015A - 磁気記録媒体とその製造法 - Google Patents
磁気記録媒体とその製造法Info
- Publication number
- JPS6076015A JPS6076015A JP18370083A JP18370083A JPS6076015A JP S6076015 A JPS6076015 A JP S6076015A JP 18370083 A JP18370083 A JP 18370083A JP 18370083 A JP18370083 A JP 18370083A JP S6076015 A JPS6076015 A JP S6076015A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide
- metal
- alloy
- vacuum
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は磁気テープその他の磁気記録媒体とその製造
法に関する。
法に関する。
基体上にＣ’ｏまたはＣｏ合金からなる磁性膜を形成し
てなる磁気記録媒体は、上記金属以外の強磁性金属を用
いたものに較べると耐食性にすくれているものの、実用
的にはなお満足できるものとはいえず、経口的な飽和磁
化量の低下など磁気特性の経時劣化を免れなかった。
てなる磁気記録媒体は、上記金属以外の強磁性金属を用
いたものに較べると耐食性にすくれているものの、実用
的にはなお満足できるものとはいえず、経口的な飽和磁
化量の低下など磁気特性の経時劣化を免れなかった。
上記問題を回避するために、ＣｏまたはＣｏ合金からな
る磁性膜の膜表面に金属酸化物からなる保護層を形成す
ることが提案されている。しかるに、かかる保護層によ
って耐食性を向上させるためには保護層の厚みを５００
Ｘ以上、通常１，０００〜２，０ＯＯＡ程度とする必要
があり、この場合周波数特性に悪影響を与えまたノイズ
を増加させるなどの弊害があった。
る磁性膜の膜表面に金属酸化物からなる保護層を形成す
ることが提案されている。しかるに、かかる保護層によ
って耐食性を向上させるためには保護層の厚みを５００
Ｘ以上、通常１，０００〜２，０ＯＯＡ程度とする必要
があり、この場合周波数特性に悪影響を与えまたノイズ
を増加させるなどの弊害があった。
この発明者らは、上記観点から鋭意検討した結果、ＣＯ
またはＣｏ合金を真空蒸着させる際に蒸発源として酸化
けい素などの酸化物を併用して、この酸化物をＣｏまた
はＣｏ合金からなる磁性膜の内部に所定量含ませるよう
にすると、周波数特性やノイズなどに問題をきたすこと
なく磁性膜の耐食性を高度に向上させうろことを知り、
この発明を完成するに至った。
またはＣｏ合金を真空蒸着させる際に蒸発源として酸化
けい素などの酸化物を併用して、この酸化物をＣｏまた
はＣｏ合金からなる磁性膜の内部に所定量含ませるよう
にすると、周波数特性やノイズなどに問題をきたすこと
なく磁性膜の耐食性を高度に向上させうろことを知り、
この発明を完成するに至った。
すなわち、この発明は、基体上に形成されたＣ０または
Ｃｏ合金からなる磁性膜の内部にＣｏ金属以外の金属な
いし非金属の酸化物を含むことを特徴とする磁気記録媒
体と、この媒体を工業的有利に製造するための方法とに
係るものである。
Ｃｏ合金からなる磁性膜の内部にＣｏ金属以外の金属な
いし非金属の酸化物を含むことを特徴とする磁気記録媒
体と、この媒体を工業的有利に製造するための方法とに
係るものである。
この発明においてＣｏまたはＣｏ合金からなる磁性膜の
内部に含ませるＣｏ金属以外の金属ないし非金属の酸化
物としては、酸化けい素、酸化チタン、酸化アルミニウ
ムおよび酸化亜鉛などが挙げられる。これらは磁性膜の
内部に一種含ませても二種以上含ませても差し支えない
。含有量としては、ＣｏまたＩ＃： Ｃｏ合金との合計
量中１〜３０ｆｉ量％、好適には５〜２５重匿％となる
割合とするのがよく、あまり多く含ませずきると磁気特
性を損なうおそれがあるから好ましくない。
内部に含ませるＣｏ金属以外の金属ないし非金属の酸化
物としては、酸化けい素、酸化チタン、酸化アルミニウ
ムおよび酸化亜鉛などが挙げられる。これらは磁性膜の
内部に一種含ませても二種以上含ませても差し支えない
。含有量としては、ＣｏまたＩ＃： Ｃｏ合金との合計
量中１〜３０ｆｉ量％、好適には５〜２５重匿％となる
割合とするのがよく、あまり多く含ませずきると磁気特
性を損なうおそれがあるから好ましくない。
上記割合の酸化物を磁性膜内部に含ませたときに磁性膜
の耐食性が高度に向上する理由については今のところ必
ずしも明らかではない。推測では、゛上記酸化物は磁性
膜の形成過程でＣｏまたはＣ。
の耐食性が高度に向上する理由については今のところ必
ずしも明らかではない。推測では、゛上記酸化物は磁性
膜の形成過程でＣｏまたはＣ。
合金からなる磁性粒子と均一に混合せずに、基体表面に
結晶成長する上記磁性粒子をあたかも包み込むような状
態で磁性膜内部に取り込まれるためと思われる。そして
、かかる膜構造をとるために、磁気特性に及はす影響も
少なくなるものと推測される。
結晶成長する上記磁性粒子をあたかも包み込むような状
態で磁性膜内部に取り込まれるためと思われる。そして
、かかる膜構造をとるために、磁気特性に及はす影響も
少なくなるものと推測される。
この発明の上記磁気記録媒体は以下に述へるふたつの真
空蒸着法によって工業的有利に製造することができる。
空蒸着法によって工業的有利に製造することができる。
そのひとつは、ＣｏまたはＣｏ合金の真空蒸着時に蒸発
源として＋？ｉＪ記金属ないし非金属の酸化物を併用す
る方法である。この方法は、たとえば所定の真空度に排
気してなる真空槽内で、供給ロールから供給されるポリ
エステルフィルムなどの基体を冷却回転キャン上を走行
させながら、これにＣｏまたはＣｏ合金と前記金属ない
し非金属の酸化物を同時に真空蒸着させることにより、
実施できる。ふたつの蒸発源は、一般には、それぞれ別
の容器にセットされて電子ビームガンの如き加熱源によ
って溶融蒸発（酸化物は昇華）されるが、場合によりひ
とつの容器に混合してセットしてこれを上記同様に蒸発
させるようにしても差し支えない。
源として＋？ｉＪ記金属ないし非金属の酸化物を併用す
る方法である。この方法は、たとえば所定の真空度に排
気してなる真空槽内で、供給ロールから供給されるポリ
エステルフィルムなどの基体を冷却回転キャン上を走行
させながら、これにＣｏまたはＣｏ合金と前記金属ない
し非金属の酸化物を同時に真空蒸着させることにより、
実施できる。ふたつの蒸発源は、一般には、それぞれ別
の容器にセットされて電子ビームガンの如き加熱源によ
って溶融蒸発（酸化物は昇華）されるが、場合によりひ
とつの容器に混合してセットしてこれを上記同様に蒸発
させるようにしても差し支えない。
他のひとつは、ＣｏまたはＣｏ合金の真空蒸着＋＋ｖ７
に蒸発源として前記金属ないし非金属の酸化物を構成す
る金属ないし非金属そのもの（合金であってもよい）を
併用しかつ真空系内に上記金属ないし非金属を酸化物に
変換しうる量の酸素ガスを導入する方法である。すなわ
ち、この方法では、たとえば所定の真空度でかつ所要の
酸素ガスを導入してなる真空槽内で、供給ロールから供
給されるポリエステルフィルムなどの基体を冷却回転キ
ャン上を走行させながら、これにＣｏまたはＣｏ合金と
前記金属ないし非金属とを同時に真空蒸着させればよい
。ｒｑｉｌ記金属ないし非金属は酸素ガスを選択的に吸
収して酸化物となり、ＣＯまたはＣｏ合金はほとんど酸
化されない。ふたつの蒸発源は、それぞれ別の容器にセ
ットしてもよいしひとつの容器に混合してセットしても
よく、また予め両者つまりＣｏまたはＣｏ合金と前記金
属ないし非金属とを合金化しておきこれをひとつの容器
にセットしてもよい。
に蒸発源として前記金属ないし非金属の酸化物を構成す
る金属ないし非金属そのもの（合金であってもよい）を
併用しかつ真空系内に上記金属ないし非金属を酸化物に
変換しうる量の酸素ガスを導入する方法である。すなわ
ち、この方法では、たとえば所定の真空度でかつ所要の
酸素ガスを導入してなる真空槽内で、供給ロールから供
給されるポリエステルフィルムなどの基体を冷却回転キ
ャン上を走行させながら、これにＣｏまたはＣｏ合金と
前記金属ないし非金属とを同時に真空蒸着させればよい
。ｒｑｉｌ記金属ないし非金属は酸素ガスを選択的に吸
収して酸化物となり、ＣＯまたはＣｏ合金はほとんど酸
化されない。ふたつの蒸発源は、それぞれ別の容器にセ
ットしてもよいしひとつの容器に混合してセットしても
よく、また予め両者つまりＣｏまたはＣｏ合金と前記金
属ないし非金属とを合金化しておきこれをひとつの容器
にセットしてもよい。
なお、この発明においては、蒸発源として他の強磁性金
属またに合金に較べて耐食性の良好なＣ（］またはＣＯ
合金を用いるが、Ｃｏ合金としてはＣｏとＦｅ、Ｍｎ、
Ｎｉ 、Ｃｒ、Ａｊ’、Ｓｉ 、Ｐｄなどの金属との合
金が挙げられる。
属またに合金に較べて耐食性の良好なＣ（］またはＣＯ
合金を用いるが、Ｃｏ合金としてはＣｏとＦｅ、Ｍｎ、
Ｎｉ 、Ｃｒ、Ａｊ’、Ｓｉ 、Ｐｄなどの金属との合
金が挙げられる。
このようにしてつくられるこの発明の磁気記録媒体は磁
性膜の耐食性が非常に良好であるため飽和磁化量の経時
劣化が少ないなど磁気特性の経時的安定性にすくれてお
り、また１川記提案の如き磁性膜の表面に厚手の保護層
を設りるものではないから周波数特性やノイズの面でも
好結果が寄られ、さらに磁性膜の摩擦係数が前記酸化物
の導入によって低下して走行安定性や耐久性にも好結果
を得ることができる。
性膜の耐食性が非常に良好であるため飽和磁化量の経時
劣化が少ないなど磁気特性の経時的安定性にすくれてお
り、また１川記提案の如き磁性膜の表面に厚手の保護層
を設りるものではないから周波数特性やノイズの面でも
好結果が寄られ、さらに磁性膜の摩擦係数が前記酸化物
の導入によって低下して走行安定性や耐久性にも好結果
を得ることができる。
以下に、この発明の実施例を記載してより具体的に説明
する。
する。
実施例１
第１図に示されるように、真空ポンプ１によって所定の
真空度に排気した真空槽２内に、供給ロール３から供給
されて冷却回転キャン４上を一定速度で走行する基体５
の表面に蒸発容器６（６，ａ。
真空度に排気した真空槽２内に、供給ロール３から供給
されて冷却回転キャン４上を一定速度で走行する基体５
の表面に蒸発容器６（６，ａ。
６ｂ）にセットされた蒸発源を加熱蒸発させて真空蒸着
させ、その後巻取りロール７に巻取るような機構を備え
た真空蒸着装置を用いて、以下の如くこの発明の磁気テ
ープを製造した。
させ、その後巻取りロール７に巻取るような機構を備え
た真空蒸着装置を用いて、以下の如くこの発明の磁気テ
ープを製造した。
すなわち、基体２として１０／”厚のポリエチレンテレ
フタレートフィルムを使用し、このテープを供給ロール
３から１０〜５０ｍ１分の速度で冷却回転キャン４上を
走行させ、これに蒸発容器６ａにセットされたＣｏ金属
と蒸発容器６ｂにセットされた酸化けい素（Ｓｉｎ）と
を同時に加熱蒸発させて真空蒸着させた。なお、この蒸
着に当たり、蒸着膜中のＣｏ金属と酸化けい素との重量
比率が９５：５となるように加熱条件を制御した。また
、真空蒸着条件の詳細は下記のとおりである。
フタレートフィルムを使用し、このテープを供給ロール
３から１０〜５０ｍ１分の速度で冷却回転キャン４上を
走行させ、これに蒸発容器６ａにセットされたＣｏ金属
と蒸発容器６ｂにセットされた酸化けい素（Ｓｉｎ）と
を同時に加熱蒸発させて真空蒸着させた。なお、この蒸
着に当たり、蒸着膜中のＣｏ金属と酸化けい素との重量
比率が９５：５となるように加熱条件を制御した。また
、真空蒸着条件の詳細は下記のとおりである。
円筒状の冷却回転キャン；直径６００ｙｉｍ加熱源；電
子ビーム加熱 蒸発源から基体までの最短距離；３０（Ｌ＋ｍ雰囲気；
酸素ガス 真空度； １．ＯＸ １０ Ｔｏｒｒ 蒸着膜厚； ０．１２）Ｗ＋ 上記蒸着後巻取りロール７に巻取り、その後これを真空
槽内から取り出し、所定の幅に裁断してこの発明の磁気
テープを得た。このテープの保磁力は１，０５０エルス
テツドであった。
子ビーム加熱 蒸発源から基体までの最短距離；３０（Ｌ＋ｍ雰囲気；
酸素ガス 真空度； １．ＯＸ １０ Ｔｏｒｒ 蒸着膜厚； ０．１２）Ｗ＋ 上記蒸着後巻取りロール７に巻取り、その後これを真空
槽内から取り出し、所定の幅に裁断してこの発明の磁気
テープを得た。このテープの保磁力は１，０５０エルス
テツドであった。
実施例２
蒸発源のうちの酸化けい素の代りに酸化チタン（Ｔｉｅ
）を使用し、蒸着膜中のＣｏ金属と酸化チタンとの重量
比率が９０：１０となるようにした以外は、実施例１と
同じ操作および条件にて、この発明の１磁気テープを得
た。このテープの保磁力は９８０エルステツドであった
。
）を使用し、蒸着膜中のＣｏ金属と酸化チタンとの重量
比率が９０：１０となるようにした以外は、実施例１と
同じ操作および条件にて、この発明の１磁気テープを得
た。このテープの保磁力は９８０エルステツドであった
。
実施例３
蒸発源のうちの酸化けい素の代りに非金属けい素を使用
し、かつ真空槽内の算囲気を酸素ガス／アルゴンガス＝
４／１、真空度を２×１０″Ｔｏｒｒとして、蒸着膜中
のＣｏ金属と酸化けい素との重量比率が７５：２５とな
るように制御した以外は、実施例１と同じ操作および条
件にて、この発明に係る磁気テープを得た。このテープ
の保磁力は］、、 ０３０エルステツドであった。
し、かつ真空槽内の算囲気を酸素ガス／アルゴンガス＝
４／１、真空度を２×１０″Ｔｏｒｒとして、蒸着膜中
のＣｏ金属と酸化けい素との重量比率が７５：２５とな
るように制御した以外は、実施例１と同じ操作および条
件にて、この発明に係る磁気テープを得た。このテープ
の保磁力は］、、 ０３０エルステツドであった。
上記実施例１，２．３の各磁気テープを６０ °Ｃ。
９０％ＲＨの雰囲気中に１週間保存したときの飽和磁化
−■の劣化率を次式にしたがって測定した結果は、下記
の表に示されるとおりであった。なお、表中の比較例と
は、蒸発源としてＣｏ金属だけを使用しその他の操作お
よび条件は実施例１と同様にして作製した従来の磁気テ
ープに関する測定結果である。
−■の劣化率を次式にしたがって測定した結果は、下記
の表に示されるとおりであった。なお、表中の比較例と
は、蒸発源としてＣｏ金属だけを使用しその他の操作お
よび条件は実施例１と同様にして作製した従来の磁気テ
ープに関する測定結果である。
（至） σＯ
σ０ ； 初期の飽和磁化量
σｔ ； 保存後の飽和磁化量
また、上記実施例１と比較例との磁気テープにつき、上
記劣化率の経口変化を調べた結果は、第２図の曲線−ａ
およびｂにて示されるとおりてあった。曲線−ａは実施
例１の結果、曲線−ｂは比較例の結果である。なお、保
存条件は前記と同じ６０°Ｃ２９０％ＲＨである。
記劣化率の経口変化を調べた結果は、第２図の曲線−ａ
およびｂにて示されるとおりてあった。曲線−ａは実施
例１の結果、曲線−ｂは比較例の結果である。なお、保
存条件は前記と同じ６０°Ｃ２９０％ＲＨである。
上記の表および第２図の結果から明らかなように、この
発明の磁気テープは耐食性に非常にすぐれており、これ
より周波数特性やノイズの低下をきたしやすし桶ＩＪ記
保護層形成法によることなく耐食性を大幅に向上できる
ものであることがわかる。
発明の磁気テープは耐食性に非常にすぐれており、これ
より周波数特性やノイズの低下をきたしやすし桶ＩＪ記
保護層形成法によることなく耐食性を大幅に向上できる
ものであることがわかる。
第１図はこの発明の磁気記録媒体の製造に用いる真空蒸
着装置の一例を示す概略図、第２図はこの発明の磁気記
録媒体の耐食性を比較例のものと対比して示した特性図
である。 特許出願人 日立マクセル株式会社
着装置の一例を示す概略図、第２図はこの発明の磁気記
録媒体の耐食性を比較例のものと対比して示した特性図
である。 特許出願人 日立マクセル株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ＋１１基体上に形成されたＣｏまたはＣｏ合金からなる
磁性膜の内部にＣｏ金属以外の金属ないし非金属の酸化
物を含むことを特徴とする磁気記録媒体。 （２１Ｃｏ金属以外の金属ないし非金属の酸化物が酸化
けい素、酸化チタン、酸化アルミニウムおよび酸化亜鉛
の中から選ばれた少なくとも１種である特許請求の範囲
第（１）項記載の磁気記録媒体。 （３）基体上にＣＯまたはＣｏ合金からなる磁性膜を真
空蒸着法によって形成するに当たり、蒸発源としてＣｏ
またはＣｏ合金とともにＣｏ金属以外の金属ないし非金
属の酸化物を併用して、形成される磁性膜の内部に上記
の酸化物を含ませることを特徴とする磁気記録媒体の製
造法。 （４）基体上にＣＯまたはＣｏ合金からなる磁性膜を真
空蒸着法によって形成するに当たり、蒸発源としてＣｏ
またはＣｏ合金とともにＣｏ金属以外の金属ないし非金
属を併用しかつ真空系内に酸素ガスを導入して、形成さ
れる磁性膜の内部に上記金属ないし非金属の酸化物を含
ませることを特徴とする磁気記録媒体の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18370083A JPS6076015A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 磁気記録媒体とその製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18370083A JPS6076015A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 磁気記録媒体とその製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6076015A true JPS6076015A (ja) | 1985-04-30 |
Family
ID=16140411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18370083A Pending JPS6076015A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 磁気記録媒体とその製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6076015A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6544672B1 (en) | 1994-11-11 | 2003-04-08 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic storage |
-
1983
- 1983-09-30 JP JP18370083A patent/JPS6076015A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6544672B1 (en) | 1994-11-11 | 2003-04-08 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic storage |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6076015A (ja) | 磁気記録媒体とその製造法 | |
| JPH07252639A (ja) | 金属薄膜体の製造方法 | |
| JPH0896339A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS60179925A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPH09153219A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS5816512A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0636281A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH09153220A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及びこれによって製造された磁気記録媒体 | |
| JPH103639A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH06111266A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH07192245A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH07182644A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0836750A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH07235032A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS62298017A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造法 | |
| JPH09293226A (ja) | 磁気記録媒体とその製造方法 | |
| JPH09143601A (ja) | 金属磁性材およびこれを用いた磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH08180359A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH06112043A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPS6154024A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0636272A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPS6190321A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS58108030A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH04248126A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH064863A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 |