JPS6070960A - フイ−ドスル− - Google Patents
フイ−ドスル−Info
- Publication number
- JPS6070960A JPS6070960A JP17729683A JP17729683A JPS6070960A JP S6070960 A JPS6070960 A JP S6070960A JP 17729683 A JP17729683 A JP 17729683A JP 17729683 A JP17729683 A JP 17729683A JP S6070960 A JPS6070960 A JP S6070960A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- rotor
- side rotor
- feedthrough
- sensors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K49/00—Dynamo-electric clutches; Dynamo-electric brakes
- H02K49/06—Dynamo-electric clutches; Dynamo-electric brakes of the synchronous type
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Dynamo-Electric Clutches, Dynamo-Electric Brakes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、真空装置内の各種機構部、例えばシャッター
、回転テーブル、ボールスクリュー等による各種位置決
め機構を装置外部から同期駆動させるフィードスルーに
関するものである。
、回転テーブル、ボールスクリュー等による各種位置決
め機構を装置外部から同期駆動させるフィードスルーに
関するものである。
従来、一般に真空系内に外部から運動を伝える方法とし
て０リング等シールによるもの、ベローズの首振り運動
によるもの、磁気結合によるもの、磁性流体によるもの
等があり、現在各々利用されている。しかし、これらは
いずれも最適な方法とはいえずそれぞれ一長一短を含ん
でいる。例えば、０リング等シールによるものは容易に
使用でき一般的に広く使用されているが、使用条件によ
ってはゴム及び潤滑剤等による真空系内の汚染が問題に
なったり又、気密性や耐久性にもやや難がある。
て０リング等シールによるもの、ベローズの首振り運動
によるもの、磁気結合によるもの、磁性流体によるもの
等があり、現在各々利用されている。しかし、これらは
いずれも最適な方法とはいえずそれぞれ一長一短を含ん
でいる。例えば、０リング等シールによるものは容易に
使用でき一般的に広く使用されているが、使用条件によ
ってはゴム及び潤滑剤等による真空系内の汚染が問題に
なったり又、気密性や耐久性にもやや難がある。
ベローズによるものでは、気密性はかなり良いが、耐久
性及びトルクに関して問題が残る。又磁気結合によるも
のでは気密性、真空系内への汚染対策等は最もすぐれて
いるが、トルクに関して問題が残る。更に磁性流体によ
るものはトルクに関しては問題ないが、気密性及び磁性
流体の混入等について不安が残る。
性及びトルクに関して問題が残る。又磁気結合によるも
のでは気密性、真空系内への汚染対策等は最もすぐれて
いるが、トルクに関して問題が残る。更に磁性流体によ
るものはトルクに関しては問題ないが、気密性及び磁性
流体の混入等について不安が残る。
本発明は前記方法の内、特に磁気結合によるフィードス
ルーに関し、気密性、真空系内への影響、。
ルーに関し、気密性、真空系内への影響、。
耐久性、耐熱性等すぐれた特性を生かしたまま、その欠
点とされていたトルク不足に基づく不安を解消したもの
である。
点とされていたトルク不足に基づく不安を解消したもの
である。
次に、従来の磁気結合によるフィードスルーについて図
を用いて説明する。第１図は従来一般的な磁気結合によ
るフィードスルーの原理図である。
を用いて説明する。第１図は従来一般的な磁気結合によ
るフィードスルーの原理図である。
図において、１は真空装置外の大気側に設置された回転
子、２は大気側回転子１に取付けられた磁性体である。
子、２は大気側回転子１に取付けられた磁性体である。
また、３は真空装置内の真空側に設置された回転子（磁
性体製）、４はフランジである。
性体製）、４はフランジである。
真空系（図示せず）にフランジ４により取付けられたフ
ィードスルーは、大気側回転子１が何らかの駆動源によ
り回転力を与えられると、この大気側回転子１に取付け
られた磁性体２と真空側回転子３との磁気的結合により
回転運動がそのまま真空側回転子３に伝達されるもので
ある。この方法は、磁気結合により運動が伝達されるた
め、外部との真空封止は完全なものとなり、更に構造も
単純で高温ベークが可能であり、連続回転にも耐えられ
るという優れた特徴を備えている。しかし、伝達トルク
が構造上磁気結合による力でしか伝えられないため、使
用条件により磁気結合による伝達トルクを十分に把握し
て使用しなければならない。このような状況において、
真空装置に伝達トルク等を十分考慮してこのフィードス
ルーの使用を採用したとしても、何らかの原因による事
故、例えば真空内の回転機構部の故障により通常トルク
で回転できないような場合、伝達トルク不足から大気側
回転子は回転しているにもかかわらず、真空系内の回転
子は回転できず磁性体が互いにスリップ状態になること
がある。このような現象は普通大気側では検出が難しく
、はとんどの場合、真空装置内における各種作業、例え
ば基板に薄膜を形成させる作業、あるいは加工する作業
等が終了した後、そのワーク自体の異状を観察して発見
するというような最悪の事態になってしまうことがある
。以上従来の方式では大気側回転子と真空側回転子のス
リップ状態、あるいは突発的なトルク異常による回転位
置ずれ等の異常を検出できず、真空装置における重大な
欠点を与えてしまうという問題点をかかえている。
ィードスルーは、大気側回転子１が何らかの駆動源によ
り回転力を与えられると、この大気側回転子１に取付け
られた磁性体２と真空側回転子３との磁気的結合により
回転運動がそのまま真空側回転子３に伝達されるもので
ある。この方法は、磁気結合により運動が伝達されるた
め、外部との真空封止は完全なものとなり、更に構造も
単純で高温ベークが可能であり、連続回転にも耐えられ
るという優れた特徴を備えている。しかし、伝達トルク
が構造上磁気結合による力でしか伝えられないため、使
用条件により磁気結合による伝達トルクを十分に把握し
て使用しなければならない。このような状況において、
真空装置に伝達トルク等を十分考慮してこのフィードス
ルーの使用を採用したとしても、何らかの原因による事
故、例えば真空内の回転機構部の故障により通常トルク
で回転できないような場合、伝達トルク不足から大気側
回転子は回転しているにもかかわらず、真空系内の回転
子は回転できず磁性体が互いにスリップ状態になること
がある。このような現象は普通大気側では検出が難しく
、はとんどの場合、真空装置内における各種作業、例え
ば基板に薄膜を形成させる作業、あるいは加工する作業
等が終了した後、そのワーク自体の異状を観察して発見
するというような最悪の事態になってしまうことがある
。以上従来の方式では大気側回転子と真空側回転子のス
リップ状態、あるいは突発的なトルク異常による回転位
置ずれ等の異常を検出できず、真空装置における重大な
欠点を与えてしまうという問題点をかかえている。
本発明は以上の問題に対処してなされたもので、真空側
回転子と大気側回転子との同期回転状態を大気側で検出
するセンサーをフィードスルー自体に設けることにより
信頼性の優れたフィードスルーを提供するものである。
回転子と大気側回転子との同期回転状態を大気側で検出
するセンサーをフィードスルー自体に設けることにより
信頼性の優れたフィードスルーを提供するものである。
以下図面を参照して本発明の一実施例を詳細に説明する
。
。
第２図は本発明の一実施例を示す原理図であシ、第１図
と同一構成のものには同一符号を付して説明する。図に
おいて、５α１，５α２は真空側回転子３の回転状態を
検出するセンサーであり、５ｂｌ、５ｂ２は大気側の回
転子１の回転状態を検出するセンサーである。具体的に
は、大気側回転子１と真空側回転子３との回転軸の円周
上の任意の位置に回転センサー５＋ｚ＋、５ｂｔをそれ
ぞれ取付け、該回転センサー５αＢ５ｂ＋と向き合せて
ハウジング６に固定センサー５α２，５ｂ２を真空系外
即ち大気側に位置させて設置し、固定センサーと回転セ
ンサーとの相対回転により各回転子の回転状態を電気信
号に代えて大気側に出力させるセンサーである。このセ
ンサーは例えばマグネセンサー等、磁力によりその強弱
を電気信号に変換し出力する方式によ゛り実現できる。
と同一構成のものには同一符号を付して説明する。図に
おいて、５α１，５α２は真空側回転子３の回転状態を
検出するセンサーであり、５ｂｌ、５ｂ２は大気側の回
転子１の回転状態を検出するセンサーである。具体的に
は、大気側回転子１と真空側回転子３との回転軸の円周
上の任意の位置に回転センサー５＋ｚ＋、５ｂｔをそれ
ぞれ取付け、該回転センサー５αＢ５ｂ＋と向き合せて
ハウジング６に固定センサー５α２，５ｂ２を真空系外
即ち大気側に位置させて設置し、固定センサーと回転セ
ンサーとの相対回転により各回転子の回転状態を電気信
号に代えて大気側に出力させるセンサーである。このセ
ンサーは例えばマグネセンサー等、磁力によりその強弱
を電気信号に変換し出力する方式によ゛り実現できる。
次に動作について説明する。
先ず、ある真空系（図示せず）にフランジ４により取付
けられたフィードスルーは駆動伝達前においては各セン
サー５ａ＋、５α２．５ｂＢ５ｂ２は原点状態にある。
けられたフィードスルーは駆動伝達前においては各セン
サー５ａ＋、５α２．５ｂＢ５ｂ２は原点状態にある。
即ちセンサーの出力は各々同レベルを保っている。次に
大気側回転子１に何らかの駆動源により回転力が与えら
れると、この大気側回転子１に取付けられた磁性体２と
真空側回転子（磁性体製）３との磁気的結合により回転
運動がそのまま真空側回転子３に伝達される。この時各
回転子の円周上の任意の位置に設けられているそれぞれ
の回転センサー５ｃＬｘ、５ｂ１は固定センサー５ａ、
ｚ、５ｂ２に対する原点位置がはずれ、固定センサー５
α２゜５ｂ２の出力に変化を生じる。そして正常なフィ
ードスルーの動作においてはこの出力変化が真空側と大
気側とで常に同期して出力されていく。しかし、との時
何らかの原因により真空側と大気側との回転に異常を生
じズレ、スリップ等が発生すると、センサー５ＣＬ２，
５ｂ２の出力にタイミングのズレが生じる。そこで、制
御系によりこれを検出し何らかの方法で処置、例えば、
警報あるいはロータリーエンコーダ的処理によりフィー
ドバックさせ、回転子１，３の回転に補正等を行なわせ
るものである。
大気側回転子１に何らかの駆動源により回転力が与えら
れると、この大気側回転子１に取付けられた磁性体２と
真空側回転子（磁性体製）３との磁気的結合により回転
運動がそのまま真空側回転子３に伝達される。この時各
回転子の円周上の任意の位置に設けられているそれぞれ
の回転センサー５ｃＬｘ、５ｂ１は固定センサー５ａ、
ｚ、５ｂ２に対する原点位置がはずれ、固定センサー５
α２゜５ｂ２の出力に変化を生じる。そして正常なフィ
ードスルーの動作においてはこの出力変化が真空側と大
気側とで常に同期して出力されていく。しかし、との時
何らかの原因により真空側と大気側との回転に異常を生
じズレ、スリップ等が発生すると、センサー５ＣＬ２，
５ｂ２の出力にタイミングのズレが生じる。そこで、制
御系によりこれを検出し何らかの方法で処置、例えば、
警報あるいはロータリーエンコーダ的処理によりフィー
ドバックさせ、回転子１，３の回転に補正等を行なわせ
るものである。
以上のように本発明によれば、フィードスルーの真空側
回転子と大気側回転子との同期回転状態を大気側で検出
するセンサーを備えたことにより、伝達トルク不足によ
り大気側回転子が回転しているにもかかわらず、真空側
回転子に運動伝達ができないという状態を大気側で、し
かも真空装置で行なう各種作業前に検出でき、したがっ
て真空装置内の各種作業に与える悪影響を未然に防ぐこ
とができ、更にセンサーによる検出信号に基づき各種制
御方法により回転子の異常状態に対処する対策を施すこ
とができる効果を有するものである。
回転子と大気側回転子との同期回転状態を大気側で検出
するセンサーを備えたことにより、伝達トルク不足によ
り大気側回転子が回転しているにもかかわらず、真空側
回転子に運動伝達ができないという状態を大気側で、し
かも真空装置で行なう各種作業前に検出でき、したがっ
て真空装置内の各種作業に与える悪影響を未然に防ぐこ
とができ、更にセンサーによる検出信号に基づき各種制
御方法により回転子の異常状態に対処する対策を施すこ
とができる効果を有するものである。
第１図は従来のフィードスルーの原理図、第２図は本発
明による一実施例のフィードスルーの原理図である。 １・・・大気側回転子、２・・・回転子に取付けられた
磁性体、３・・・真空側回転子、４・・・フランジ、５
α＋、５α２・・・真空側回転子のセンサー、５ｂ＋、
５ｂｚ・・・大気側回転子のセンサー 特許出願人 日本電気株式会社
明による一実施例のフィードスルーの原理図である。 １・・・大気側回転子、２・・・回転子に取付けられた
磁性体、３・・・真空側回転子、４・・・フランジ、５
α＋、５α２・・・真空側回転子のセンサー、５ｂ＋、
５ｂｚ・・・大気側回転子のセンサー 特許出願人 日本電気株式会社
Claims (1)
- （１）真空装置内を真空封止した状態において該装置内
の回転子を外部の回転子で同期回転させるロータリー
フィードスルーにおいて、真空側回転子と大気側回転子
との回転状態を大気側で検出するセンサーを備えたこと
を特徴とするフィードスルー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17729683A JPS6070960A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | フイ−ドスル− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17729683A JPS6070960A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | フイ−ドスル− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6070960A true JPS6070960A (ja) | 1985-04-22 |
Family
ID=16028526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17729683A Pending JPS6070960A (ja) | 1983-09-26 | 1983-09-26 | フイ−ドスル− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6070960A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61205284U (ja) * | 1985-06-13 | 1986-12-24 | ||
| JPS62281755A (ja) * | 1986-05-29 | 1987-12-07 | Anelva Corp | 動力導入機 |
| JP2019082483A (ja) * | 2013-02-14 | 2019-05-30 | エレメンタル サイエンティフィック レーザーズ エルエルシー | 組成分析システムのためのレーザアブレーションセル及びトーチシステム |
-
1983
- 1983-09-26 JP JP17729683A patent/JPS6070960A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61205284U (ja) * | 1985-06-13 | 1986-12-24 | ||
| JPS62281755A (ja) * | 1986-05-29 | 1987-12-07 | Anelva Corp | 動力導入機 |
| JP2019082483A (ja) * | 2013-02-14 | 2019-05-30 | エレメンタル サイエンティフィック レーザーズ エルエルシー | 組成分析システムのためのレーザアブレーションセル及びトーチシステム |
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