JPS62281755A - 動力導入機 - Google Patents
動力導入機Info
- Publication number
- JPS62281755A JPS62281755A JP12397386A JP12397386A JPS62281755A JP S62281755 A JPS62281755 A JP S62281755A JP 12397386 A JP12397386 A JP 12397386A JP 12397386 A JP12397386 A JP 12397386A JP S62281755 A JPS62281755 A JP S62281755A
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- JP
- Japan
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- magnet
- driven
- vacuum chamber
- follower
- driving body
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000411 inducer Substances 0.000 title 1
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 5
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 abstract description 2
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 abstract 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
3発明の詳細な説明
(産業上の利用分野)
この発明は、例えば、真空室のように密閉した室内に、
外部の動力を導入する動力導入機に関する。
外部の動力を導入する動力導入機に関する。
(従来の技術)
従来から知られている動力導入機は、第3図に示すよう
に、真空室1に連通させた非磁性材料よりなる案内筒2
内に従動磁石体3を摺動自在に収納し、さらにこの従動
磁石体3に連動棒4を取り付け、この連動棒4を真空室
1内に臨ませている。また、この案内筒2の外周に、環
状の駆動体5を摺動自在にがん合し、駆動体5と従動磁
石体3とを磁気的に結合させている。
に、真空室1に連通させた非磁性材料よりなる案内筒2
内に従動磁石体3を摺動自在に収納し、さらにこの従動
磁石体3に連動棒4を取り付け、この連動棒4を真空室
1内に臨ませている。また、この案内筒2の外周に、環
状の駆動体5を摺動自在にがん合し、駆動体5と従動磁
石体3とを磁気的に結合させている。
したがって、駆動体5を矢印6の方向に移動させると、
従動磁石体3が磁気力によって駆動体5の移動に追従し
て移動する。そして、従動磁石体3の移動によって連動
棒4が移動するので、駆動体5の運動が連動棒4を介し
て真空室1内に導入されることになる。
従動磁石体3が磁気力によって駆動体5の移動に追従し
て移動する。そして、従動磁石体3の移動によって連動
棒4が移動するので、駆動体5の運動が連動棒4を介し
て真空室1内に導入されることになる。
このようにした動力導入機は、例えば、ウェハーに薄膜
を形成する真空処理装置において、当該ウェハーを移送
する移送機構に、真空室外の動力を伝達する場合等に利
用される。
を形成する真空処理装置において、当該ウェハーを移送
する移送機構に、真空室外の動力を伝達する場合等に利
用される。
(本発明が解決しようとする問題点)
上記のようにして動力導入機を駆動しているとき、上記
連動棒4に作用する負荷が、従動磁石体3と駆動体5と
の磁気結合力よりも大きいと、第4図に示すように、従
動磁石体3が停止したまま駆動体5のみが移動してしま
う、しかし、従来の装置では、従動磁石体3が停止して
いるかどうかを外部から判断する手段が−切なかった。
連動棒4に作用する負荷が、従動磁石体3と駆動体5と
の磁気結合力よりも大きいと、第4図に示すように、従
動磁石体3が停止したまま駆動体5のみが移動してしま
う、しかし、従来の装置では、従動磁石体3が停止して
いるかどうかを外部から判断する手段が−切なかった。
そのために、従動磁石体3が停止して、駆動体5のみが
移動しても、それに気が付かずに放置することが多かっ
たが、この場合には、次のような問題が発生した。
移動しても、それに気が付かずに放置することが多かっ
たが、この場合には、次のような問題が発生した。
例えば、ウェハーを真空室1内の所定箇所に移送してス
パッタリングを行なう場合に、駆動体5のみが移動して
従動磁石体3が移動しないと、当該移送機構がウェハー
を駆動しなくなる。そのために、当該ウェハーが一所に
留まったり、あるいはそのウェハーが目的の箇所に移送
されなかったりする。ウェハーが一所に留まったままだ
と、当該ウェハーが必要以上にスパッタリングされ、ま
た、ウェハーが目的の箇所に移送されないと、真空室1
の壁面等がスパッタリングされてしまうので、その壁面
が汚れるという問題があった。
パッタリングを行なう場合に、駆動体5のみが移動して
従動磁石体3が移動しないと、当該移送機構がウェハー
を駆動しなくなる。そのために、当該ウェハーが一所に
留まったり、あるいはそのウェハーが目的の箇所に移送
されなかったりする。ウェハーが一所に留まったままだ
と、当該ウェハーが必要以上にスパッタリングされ、ま
た、ウェハーが目的の箇所に移送されないと、真空室1
の壁面等がスパッタリングされてしまうので、その壁面
が汚れるという問題があった。
また、上記のように連動w54が動かないと、例えば、
当該ウェハーの移送途中にバルブが設けられている場合
に、原位置に復帰しない連動棒4が上記バルブに引っ掛
かってしまい、そのバルブが閉まらなくなるという問題
もあった。
当該ウェハーの移送途中にバルブが設けられている場合
に、原位置に復帰しない連動棒4が上記バルブに引っ掛
かってしまい、そのバルブが閉まらなくなるという問題
もあった。
さらに、この従来の装置で、駆動体5を磁石で構成した
場合に、その駆動体5と従動磁石体3との対向5位置が
、第4図に示すようにずれてしまうと、それら両磁石の
同極が対向して両者が反発し合うので、障害の原因とな
っていた過大の負荷が取り除かれても両者が正規に対向
位置に復帰しなくなるという問題があった。
場合に、その駆動体5と従動磁石体3との対向5位置が
、第4図に示すようにずれてしまうと、それら両磁石の
同極が対向して両者が反発し合うので、障害の原因とな
っていた過大の負荷が取り除かれても両者が正規に対向
位置に復帰しなくなるという問題があった。
近年真空装置の無人運転が工業的に実用化されるに従い
、上記の動力導入機も自動装置に組込まれる傾向にある
。この場合、真空外部で駆動体の移動量を検知し、これ
を使って内部の移動を制御することが一般的であり、そ
のときは上記の欠点が真空装置の性能にかかわる重大な
欠点になることが予想される。
、上記の動力導入機も自動装置に組込まれる傾向にある
。この場合、真空外部で駆動体の移動量を検知し、これ
を使って内部の移動を制御することが一般的であり、そ
のときは上記の欠点が真空装置の性能にかかわる重大な
欠点になることが予想される。
この発明の目的は、従動磁石体と駆動体とが正規の対向
位置からずれてしまったときに、それを外部から確認で
きるようにして、上記した問題を未然に防止できるよう
にすることである。
位置からずれてしまったときに、それを外部から確認で
きるようにして、上記した問題を未然に防止できるよう
にすることである。
(問題を解決するための手段)
この発明は、真空室の所要箇所に当該真空室と連通ずる
非磁性材料よりなる案内筒を設け、この案内筒の内と外
とに、磁性材料からなる従動体と駆動体とを嵌合すると
ともに、これら従動体と駆動体のうち少なくともいずれ
か一方を磁石とし、かつ、両者を対向させて磁気的に結
合せしめ、案内筒の外側に嵌合した駆動体を移動させる
ことによって、案内筒の内側に嵌合した従動体を移動さ
せる構成にした動力導入機において、上記駆動体に上記
対向位置のずれを磁気的に検出する磁気検出手段を設け
ることによって、前記目的を達成したものである。
非磁性材料よりなる案内筒を設け、この案内筒の内と外
とに、磁性材料からなる従動体と駆動体とを嵌合すると
ともに、これら従動体と駆動体のうち少なくともいずれ
か一方を磁石とし、かつ、両者を対向させて磁気的に結
合せしめ、案内筒の外側に嵌合した駆動体を移動させる
ことによって、案内筒の内側に嵌合した従動体を移動さ
せる構成にした動力導入機において、上記駆動体に上記
対向位置のずれを磁気的に検出する磁気検出手段を設け
ることによって、前記目的を達成したものである。
なお、上記従動体や駆動体に用いる磁石は、永久磁石あ
るいは電磁石のいずれであってもよい。
るいは電磁石のいずれであってもよい。
(本発明の作用)
駆動体と従動磁石体とが正常な対向位置にある状態から
、その相対位置がずれると、磁気検出手段で磁力線の変
化が検出され、この変化を駆動体と従動体との相対位置
の位置ずれ信号として把握する。
、その相対位置がずれると、磁気検出手段で磁力線の変
化が検出され、この変化を駆動体と従動体との相対位置
の位置ずれ信号として把握する。
(本発明の効果)
従動体が駆動体と対向する位置がずれたときは、磁気検
出手段の出力信号によって、その位置ずれを外部から確
認できる。したがって、駆動体のみ移動して従動体が停
止しているとき、換言すれば、当該動力が伝達されてい
ないときには、それを即座に確認でき、その動力が伝達
されないことによるいろいろな問題を未然に防止する処
置をとることができる。
出手段の出力信号によって、その位置ずれを外部から確
認できる。したがって、駆動体のみ移動して従動体が停
止しているとき、換言すれば、当該動力が伝達されてい
ないときには、それを即座に確認でき、その動力が伝達
されないことによるいろいろな問題を未然に防止する処
置をとることができる。
(本発明の実施例〕
第1図に示したこの発明の実施例では、ウェハーに薄膜
を形成する真空処理装置の真空室11に、それに連通す
る非磁性材料の案内筒12を設けている。この案内筒1
2内には、磁石からなる従動体13を摺動自在に内装し
、この従動体13に一端を固定した連動棒14を上記真
空室11内に臨ませている。
を形成する真空処理装置の真空室11に、それに連通す
る非磁性材料の案内筒12を設けている。この案内筒1
2内には、磁石からなる従動体13を摺動自在に内装し
、この従動体13に一端を固定した連動棒14を上記真
空室11内に臨ませている。
一方、案内筒12の外周に、やはり磁石からなる環状の
駆動体15を、摺動自在にかん合するとともに、この駆
動体15を上記従動体13に対向させている。そして、
従動体13および駆動体15は、磁石の両端の極性を相
違させて、正規の対向位置ではそれらが互いに引き合う
ようにしている。
駆動体15を、摺動自在にかん合するとともに、この駆
動体15を上記従動体13に対向させている。そして、
従動体13および駆動体15は、磁石の両端の極性を相
違させて、正規の対向位置ではそれらが互いに引き合う
ようにしている。
上記のようにした駆動体15には、案内筒12の軸線方
向に延出させた支持部材17.18を取り付けるととも
に、この支持部材17.18の先端に磁気検出手段21
.22を取り付けている。
向に延出させた支持部材17.18を取り付けるととも
に、この支持部材17.18の先端に磁気検出手段21
.22を取り付けている。
この磁気検出手段21.22は、第2図に示すように、
その位置に従動体13が対向したとき、磁石からなる従
動体13の磁気を検知して、検知信号を出力する。そし
て、この種の磁気検出手段としては、例えば、磁石の接
近により電気接点が閉じて所定信号を出力するリードパ
ルススイッチ(和泉電気株式会社の商品名、例えばJS
12e型)等の諸種の磁気センサーが用いられる。
その位置に従動体13が対向したとき、磁石からなる従
動体13の磁気を検知して、検知信号を出力する。そし
て、この種の磁気検出手段としては、例えば、磁石の接
近により電気接点が閉じて所定信号を出力するリードパ
ルススイッチ(和泉電気株式会社の商品名、例えばJS
12e型)等の諸種の磁気センサーが用いられる。
いま、駆動体15を移動すると、それに追従して従動体
13が移動する。そして、従動体13とともに連動棒1
4が移動するので、真空室11外で発生させた動力が、
この連動棒14を介して当該真空室ll内に導かれる。
13が移動する。そして、従動体13とともに連動棒1
4が移動するので、真空室11外で発生させた動力が、
この連動棒14を介して当該真空室ll内に導かれる。
このとき連動棒14に過負荷が生じて、第2図に示すよ
うに、従動体13が駆動体15に正規に対向する位置か
ら所定距離だけずれると、磁気検出手段22が磁気の変
動を検知して検知信号を出力する。
うに、従動体13が駆動体15に正規に対向する位置か
ら所定距離だけずれると、磁気検出手段22が磁気の変
動を検知して検知信号を出力する。
この検知信号によって、従動体13が駆動体15に対向
する位置からずれたことを判別でき、必要な処置をとる
ことができる。
する位置からずれたことを判別でき、必要な処置をとる
ことができる。
したがって、従来のように、ウェハーを所定位置に移送
しないまま、薄膜形成等の真空処理を行なってしまうこ
とや、さらにバルブが連動棒4を挟んでしまうという問
題の発生は未然に防止される。
しないまま、薄膜形成等の真空処理を行なってしまうこ
とや、さらにバルブが連動棒4を挟んでしまうという問
題の発生は未然に防止される。
なお、上記実施例では、駆動体15と従動体13をとも
に永久磁石で構成しているが、永久磁石は電磁石に着換
可能であるし、またその一方を強磁性体で構成してもよ
い。さらに磁石の着磁の方向も半径方向であってもよい
。
に永久磁石で構成しているが、永久磁石は電磁石に着換
可能であるし、またその一方を強磁性体で構成してもよ
い。さらに磁石の着磁の方向も半径方向であってもよい
。
駆動体、従動体の形状も環状や円柱体形状に限定される
ものではなく、央部を有する環形や歯車形状であって、
回転動力を伝達できるものであってもよい。
ものではなく、央部を有する環形や歯車形状であって、
回転動力を伝達できるものであってもよい。
また駆動体に対して磁気検出手段の設置される場所も、
実施例は軸方向の前と後との二ケ所に、駆動体から離し
て設けたが、これは1前後側れか一方で足りることもあ
る。駆動体の央部、例えば欠環部や歯車の溝内に設けて
もよい。
実施例は軸方向の前と後との二ケ所に、駆動体から離し
て設けたが、これは1前後側れか一方で足りることもあ
る。駆動体の央部、例えば欠環部や歯車の溝内に設けて
もよい。
また、この動力導入機の使用態様は、ウェハーの真空処
理装置に限定されるものではない。
理装置に限定されるものではない。
第1.2図は実施例の概略断面図、第3.4図は従来の
動力導入機の概略断面図である。 11・・・真空室、13・・・従動体、15・・・駆動
体 21.22・・・磁気検出手段。
動力導入機の概略断面図である。 11・・・真空室、13・・・従動体、15・・・駆動
体 21.22・・・磁気検出手段。
Claims (1)
- 真空室の所要箇所に当該真空室と連通する非磁性材料よ
りなる案内筒を設け、この案内筒の内と外とに、磁性材
料からなる従動体と駆動体とを嵌合するとともに、これ
ら従動体と駆動体のうち少なくともいずれか一方を磁石
とし、かつ、両者を対向させて磁気的に結合せしめ、案
内筒の外側に嵌合した駆動体を移動させることによって
、案内筒の内側に嵌合した従動体を移動させる構成にし
た動力導入機において、上記駆動体に上記対向位置のず
れを磁気的に検出する磁気検出手段を設けたことを特徴
とする動力導入機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12397386A JPS62281755A (ja) | 1986-05-29 | 1986-05-29 | 動力導入機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12397386A JPS62281755A (ja) | 1986-05-29 | 1986-05-29 | 動力導入機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62281755A true JPS62281755A (ja) | 1987-12-07 |
Family
ID=14873890
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12397386A Pending JPS62281755A (ja) | 1986-05-29 | 1986-05-29 | 動力導入機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62281755A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019082483A (ja) * | 2013-02-14 | 2019-05-30 | エレメンタル サイエンティフィック レーザーズ エルエルシー | 組成分析システムのためのレーザアブレーションセル及びトーチシステム |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5112122A (ja) * | 1974-07-16 | 1976-01-30 | Chungu Ryu Shui | Kasetsutoteepusochi |
JPS5385249A (en) * | 1977-01-07 | 1978-07-27 | Hitachi Metals Ltd | Magnetic coupling |
JPS6070960A (ja) * | 1983-09-26 | 1985-04-22 | Nec Corp | フイ−ドスル− |
JPS60116960A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-24 | Hitachi Ltd | 運動導入装置 |
-
1986
- 1986-05-29 JP JP12397386A patent/JPS62281755A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5112122A (ja) * | 1974-07-16 | 1976-01-30 | Chungu Ryu Shui | Kasetsutoteepusochi |
JPS5385249A (en) * | 1977-01-07 | 1978-07-27 | Hitachi Metals Ltd | Magnetic coupling |
JPS6070960A (ja) * | 1983-09-26 | 1985-04-22 | Nec Corp | フイ−ドスル− |
JPS60116960A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-24 | Hitachi Ltd | 運動導入装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019082483A (ja) * | 2013-02-14 | 2019-05-30 | エレメンタル サイエンティフィック レーザーズ エルエルシー | 組成分析システムのためのレーザアブレーションセル及びトーチシステム |
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