JPS62281755A

JPS62281755A - 動力導入機

Info

Publication number: JPS62281755A
Application number: JP12397386A
Authority: JP
Inventors: Sumio Sakai; 酒井　純朗; Mitsuyoshi Nakatsuka; 中塚　三善
Original assignee: Anelva Corp
Current assignee: Canon Anelva Corp
Priority date: 1986-05-29
Filing date: 1986-05-29
Publication date: 1987-12-07

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】３発明の詳細な説明（産業上の利用分野）この発明は、例えば、真空室のように密閉した室内に、
外部の動力を導入する動力導入機に関する。

（従来の技術）従来から知られている動力導入機は、第３図に示すよう
に、真空室１に連通させた非磁性材料よりなる案内筒２
内に従動磁石体３を摺動自在に収納し、さらにこの従動
磁石体３に連動棒４を取り付け、この連動棒４を真空室
１内に臨ませている。また、この案内筒２の外周に、環
状の駆動体５を摺動自在にがん合し、駆動体５と従動磁
石体３とを磁気的に結合させている。

したがって、駆動体５を矢印６の方向に移動させると、
従動磁石体３が磁気力によって駆動体５の移動に追従し
て移動する。そして、従動磁石体３の移動によって連動
棒４が移動するので、駆動体５の運動が連動棒４を介し
て真空室１内に導入されることになる。

このようにした動力導入機は、例えば、ウェハーに薄膜
を形成する真空処理装置において、当該ウェハーを移送
する移送機構に、真空室外の動力を伝達する場合等に利
用される。

（本発明が解決しようとする問題点）上記のようにして動力導入機を駆動しているとき、上記
連動棒４に作用する負荷が、従動磁石体３と駆動体５と
の磁気結合力よりも大きいと、第４図に示すように、従
動磁石体３が停止したまま駆動体５のみが移動してしま
う、しかし、従来の装置では、従動磁石体３が停止して
いるかどうかを外部から判断する手段が−切なかった。

そのために、従動磁石体３が停止して、駆動体５のみが
移動しても、それに気が付かずに放置することが多かっ
たが、この場合には、次のような問題が発生した。

例えば、ウェハーを真空室１内の所定箇所に移送してス
パッタリングを行なう場合に、駆動体５のみが移動して
従動磁石体３が移動しないと、当該移送機構がウェハー
を駆動しなくなる。そのために、当該ウェハーが一所に
留まったり、あるいはそのウェハーが目的の箇所に移送
されなかったりする。ウェハーが一所に留まったままだ
と、当該ウェハーが必要以上にスパッタリングされ、ま
た、ウェハーが目的の箇所に移送されないと、真空室１
の壁面等がスパッタリングされてしまうので、その壁面
が汚れるという問題があった。

また、上記のように連動ｗ５４が動かないと、例えば、
当該ウェハーの移送途中にバルブが設けられている場合
に、原位置に復帰しない連動棒４が上記バルブに引っ掛
かってしまい、そのバルブが閉まらなくなるという問題
もあった。

さらに、この従来の装置で、駆動体５を磁石で構成した
場合に、その駆動体５と従動磁石体３との対向５位置が
、第４図に示すようにずれてしまうと、それら両磁石の
同極が対向して両者が反発し合うので、障害の原因とな
っていた過大の負荷が取り除かれても両者が正規に対向
位置に復帰しなくなるという問題があった。

近年真空装置の無人運転が工業的に実用化されるに従い
、上記の動力導入機も自動装置に組込まれる傾向にある
。この場合、真空外部で駆動体の移動量を検知し、これ
を使って内部の移動を制御することが一般的であり、そ
のときは上記の欠点が真空装置の性能にかかわる重大な
欠点になることが予想される。

この発明の目的は、従動磁石体と駆動体とが正規の対向
位置からずれてしまったときに、それを外部から確認で
きるようにして、上記した問題を未然に防止できるよう
にすることである。

（問題を解決するための手段）この発明は、真空室の所要箇所に当該真空室と連通ずる
非磁性材料よりなる案内筒を設け、この案内筒の内と外
とに、磁性材料からなる従動体と駆動体とを嵌合すると
ともに、これら従動体と駆動体のうち少なくともいずれ
か一方を磁石とし、かつ、両者を対向させて磁気的に結
合せしめ、案内筒の外側に嵌合した駆動体を移動させる
ことによって、案内筒の内側に嵌合した従動体を移動さ
せる構成にした動力導入機において、上記駆動体に上記
対向位置のずれを磁気的に検出する磁気検出手段を設け
ることによって、前記目的を達成したものである。

なお、上記従動体や駆動体に用いる磁石は、永久磁石あ
るいは電磁石のいずれであってもよい。

（本発明の作用）駆動体と従動磁石体とが正常な対向位置にある状態から
、その相対位置がずれると、磁気検出手段で磁力線の変
化が検出され、この変化を駆動体と従動体との相対位置
の位置ずれ信号として把握する。

（本発明の効果）従動体が駆動体と対向する位置がずれたときは、磁気検
出手段の出力信号によって、その位置ずれを外部から確
認できる。したがって、駆動体のみ移動して従動体が停
止しているとき、換言すれば、当該動力が伝達されてい
ないときには、それを即座に確認でき、その動力が伝達
されないことによるいろいろな問題を未然に防止する処
置をとることができる。

（本発明の実施例〕第１図に示したこの発明の実施例では、ウェハーに薄膜
を形成する真空処理装置の真空室１１に、それに連通す
る非磁性材料の案内筒１２を設けている。この案内筒１
２内には、磁石からなる従動体１３を摺動自在に内装し
、この従動体１３に一端を固定した連動棒１４を上記真
空室１１内に臨ませている。

一方、案内筒１２の外周に、やはり磁石からなる環状の
駆動体１５を、摺動自在にかん合するとともに、この駆
動体１５を上記従動体１３に対向させている。そして、
従動体１３および駆動体１５は、磁石の両端の極性を相
違させて、正規の対向位置ではそれらが互いに引き合う
ようにしている。

上記のようにした駆動体１５には、案内筒１２の軸線方
向に延出させた支持部材１７．１８を取り付けるととも
に、この支持部材１７．１８の先端に磁気検出手段２１
．２２を取り付けている。

この磁気検出手段２１．２２は、第２図に示すように、
その位置に従動体１３が対向したとき、磁石からなる従
動体１３の磁気を検知して、検知信号を出力する。そし
て、この種の磁気検出手段としては、例えば、磁石の接
近により電気接点が閉じて所定信号を出力するリードパ
ルススイッチ（和泉電気株式会社の商品名、例えばＪＳ
１２ｅ型）等の諸種の磁気センサーが用いられる。

いま、駆動体１５を移動すると、それに追従して従動体
１３が移動する。そして、従動体１３とともに連動棒１
４が移動するので、真空室１１外で発生させた動力が、
この連動棒１４を介して当該真空室ｌｌ内に導かれる。

このとき連動棒１４に過負荷が生じて、第２図に示すよ
うに、従動体１３が駆動体１５に正規に対向する位置か
ら所定距離だけずれると、磁気検出手段２２が磁気の変
動を検知して検知信号を出力する。

この検知信号によって、従動体１３が駆動体１５に対向
する位置からずれたことを判別でき、必要な処置をとる
ことができる。

したがって、従来のように、ウェハーを所定位置に移送
しないまま、薄膜形成等の真空処理を行なってしまうこ
とや、さらにバルブが連動棒４を挟んでしまうという問
題の発生は未然に防止される。

なお、上記実施例では、駆動体１５と従動体１３をとも
に永久磁石で構成しているが、永久磁石は電磁石に着換
可能であるし、またその一方を強磁性体で構成してもよ
い。さらに磁石の着磁の方向も半径方向であってもよい
。

駆動体、従動体の形状も環状や円柱体形状に限定される
ものではなく、央部を有する環形や歯車形状であって、
回転動力を伝達できるものであってもよい。

また駆動体に対して磁気検出手段の設置される場所も、
実施例は軸方向の前と後との二ケ所に、駆動体から離し
て設けたが、これは１前後側れか一方で足りることもあ
る。駆動体の央部、例えば欠環部や歯車の溝内に設けて
もよい。

また、この動力導入機の使用態様は、ウェハーの真空処
理装置に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

第１．２図は実施例の概略断面図、第３．４図は従来の
動力導入機の概略断面図である。１１・・・真空室、１３・・・従動体、１５・・・駆動
体　　２１．２２・・・磁気検出手段。

Claims

【特許請求の範囲】

真空室の所要箇所に当該真空室と連通する非磁性材料よ
りなる案内筒を設け、この案内筒の内と外とに、磁性材
料からなる従動体と駆動体とを嵌合するとともに、これ
ら従動体と駆動体のうち少なくともいずれか一方を磁石
とし、かつ、両者を対向させて磁気的に結合せしめ、案
内筒の外側に嵌合した駆動体を移動させることによって
、案内筒の内側に嵌合した従動体を移動させる構成にし
た動力導入機において、上記駆動体に上記対向位置のず
れを磁気的に検出する磁気検出手段を設けたことを特徴
とする動力導入機。