JPS6067033A - アルミ系ポリゴンミラ−の製造法 - Google Patents
アルミ系ポリゴンミラ−の製造法Info
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- JPS6067033A JPS6067033A JP17101283A JP17101283A JPS6067033A JP S6067033 A JPS6067033 A JP S6067033A JP 17101283 A JP17101283 A JP 17101283A JP 17101283 A JP17101283 A JP 17101283A JP S6067033 A JPS6067033 A JP S6067033A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
- B23P15/00—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、高速レーザープリンク−や各種情報処理機器
に用いられるアルミ系ポリゴンミラー(多面鏡)の製造
法に関し、特にポリコンミラーのアルミ系素祠の切削お
上びその切削面の処理を改良した製造法に関す入 従来、ポリゴンミラーの4’、LA・4として、アルミ
ニラ11を主成分とする材料が用いられているが、この
ようなアルミ系祠料の表面には一般に水や油なとのif
j hを吸蔵した100〜+ooooA程度のlγさの
酸化変質層が(fイ14−るので、その表面に純アルミ
ニウムの膜のj[チ成を有なっても、剥離を起こしやす
く、また七記膜の均−f、表面が得らhながったり、上
記j漠にピンボールを生したりして、レーザー光なとの
反則に支障を慇た腰画質の低下を招くという問題点があ
る。
に用いられるアルミ系ポリゴンミラー(多面鏡)の製造
法に関し、特にポリコンミラーのアルミ系素祠の切削お
上びその切削面の処理を改良した製造法に関す入 従来、ポリゴンミラーの4’、LA・4として、アルミ
ニラ11を主成分とする材料が用いられているが、この
ようなアルミ系祠料の表面には一般に水や油なとのif
j hを吸蔵した100〜+ooooA程度のlγさの
酸化変質層が(fイ14−るので、その表面に純アルミ
ニウムの膜のj[チ成を有なっても、剥離を起こしやす
く、また七記膜の均−f、表面が得らhながったり、上
記j漠にピンボールを生したりして、レーザー光なとの
反則に支障を慇た腰画質の低下を招くという問題点があ
る。
そこで、」二記アルミ系材料のに而を切削する、二とが
考えられるか、単に工作機械で切削部1゛を行なうと、
活性の切削面が汚れた大気と直九に反応を起5−シtこ
り、切削油で汚れたりして、清浄な表面が11jらメし
ないという問題点がある8 本発明は、このような問題点の解決をはかろうと4−る
もので、母材としてのアルミ1?、素4・4の切削J9
よUその切削面の処理を適切に行なって、反則・1−1
能の向1をはがれるようにした、アルミ系ポリコンミラ
ーの製造法を提供することを目的とする。
考えられるか、単に工作機械で切削部1゛を行なうと、
活性の切削面が汚れた大気と直九に反応を起5−シtこ
り、切削油で汚れたりして、清浄な表面が11jらメし
ないという問題点がある8 本発明は、このような問題点の解決をはかろうと4−る
もので、母材としてのアルミ1?、素4・4の切削J9
よUその切削面の処理を適切に行なって、反則・1−1
能の向1をはがれるようにした、アルミ系ポリコンミラ
ーの製造法を提供することを目的とする。
このため本発明のアルミ系ポリコンミラーの製造法は、
不活性力スと酸素ガスとの雰囲気中で、アルミニウムを
主成分とする多角形状素材の周面におけるミラ一部分を
切削加工しながら、その切削部を上記ガスの吹1;Iげ
により冷却し、ついで上記素祠の(JJ削面に沿い放電
電極によるブラスマを生成して、同切削面にち密な酸化
アルミニウムの薄層を一旦形成してから、同薄層の除去
処理を行ない、その処理表面に、さらに鏡面4=4の膜
を形成することを特徴としている。
不活性力スと酸素ガスとの雰囲気中で、アルミニウムを
主成分とする多角形状素材の周面におけるミラ一部分を
切削加工しながら、その切削部を上記ガスの吹1;Iげ
により冷却し、ついで上記素祠の(JJ削面に沿い放電
電極によるブラスマを生成して、同切削面にち密な酸化
アルミニウムの薄層を一旦形成してから、同薄層の除去
処理を行ない、その処理表面に、さらに鏡面4=4の膜
を形成することを特徴としている。
以下、図面により本発明の一実施例としてのアルミ系ポ
リゴンミラーの製造法について説明すると、fIS1図
は本発明の製造法に用いられる装置の要部を示す斜視図
であり、!@2図はミラー11ff材の表面の切削加工
およびプラズマ処理の工程を力(す説明図である。
リゴンミラーの製造法について説明すると、fIS1図
は本発明の製造法に用いられる装置の要部を示す斜視図
であり、!@2図はミラー11ff材の表面の切削加工
およびプラズマ処理の工程を力(す説明図である。
グS1図に示すように、透明相な気密に嵌め込まれた窓
」Uを有する金属製容器1の内部で、アルミニウムを主
成分とする多角形状の素材(以下、ワークという。)W
の周面におけるミラ一部分の加工が行なわれるようにな
っており、この容器1は、工作機械の往復動軸2にお1
うるワーク収Cj部3を覆うととち:こ、ハイド′1の
取付部5を覆うように、1・1−1−作(1似戒の17
1小しない本体に装置′fされている。
」Uを有する金属製容器1の内部で、アルミニウムを主
成分とする多角形状の素材(以下、ワークという。)W
の周面におけるミラ一部分の加工が行なわれるようにな
っており、この容器1は、工作機械の往復動軸2にお1
うるワーク収Cj部3を覆うととち:こ、ハイド′1の
取付部5を覆うように、1・1−1−作(1似戒の17
1小しない本体に装置′fされている。
そして、容器1には、その内j”1jsを;1=lz1
.tg 4−るための真空ポンプ(3か、バルブ7を介
して4&島、さメしている。。
.tg 4−るための真空ポンプ(3か、バルブ7を介
して4&島、さメしている。。
往復動軸21土容器]の外部の図示しないモーターで駆
動され、この往筏動軸2が゛ぞト器1をL′1通4−ろ
rji’分(二は、気密シールを施された軸受2dか、
投げられている。
動され、この往筏動軸2が゛ぞト器1をL′1通4−ろ
rji’分(二は、気密シールを施された軸受2dか、
投げられている。
また容器]の内部にはワーク切削部冷ノ、(団1/、2
.4べ)か設けられ、この/スル8には、アノシ・コン
1°iの4・l占’l’l力゛スと酸素ガスとからなる
冷)、(団j力゛入を貯留した力゛入ボンベ!Jか、リ
ークバルフ10を介し′ζ接糺さ1シーCいる。
.4べ)か設けられ、この/スル8には、アノシ・コン
1°iの4・l占’l’l力゛スと酸素ガスとからなる
冷)、(団j力゛入を貯留した力゛入ボンベ!Jか、リ
ークバルフ10を介し′ζ接糺さ1シーCいる。
さらに1)−りWの切削面に沿いブラ入−1・を11.
成)−る放′市電極11が、ff器A内1こ配、設され
′〔、同″市(龜11に電源12がら高電圧が供給ざ・
れるよ−〕になっている、。
成)−る放′市電極11が、ff器A内1こ配、設され
′〔、同″市(龜11に電源12がら高電圧が供給ざ・
れるよ−〕になっている、。
なお、電源12から放電電極+1・・呂〕、る高)11
線)ニジが、容器1の金属製壁部を1”1通する部分を
口重、λf1.縁4・4からなる気密シールド1が施さ
れている。
線)ニジが、容器1の金属製壁部を1”1通する部分を
口重、λf1.縁4・4からなる気密シールド1が施さ
れている。
またワークWに、ワーク取イーj部3.往復動軸2.軸
受2dおよび容器1の金属製壁部を介して接続するり一
ド線15か設けられ、二のリート線は電源12のアース
線16に接続されてしする。
受2dおよび容器1の金属製壁部を介して接続するり一
ド線15か設けられ、二のリート線は電源12のアース
線16に接続されてしする。
上述の装置を用いて、本発明のアルミ系ポリゴンミラー
の製造法は、次のように行なわれる。
の製造法は、次のように行なわれる。
まず、容器1の内部が真空ポンプ6の作動により減圧さ
れる。
れる。
ついで、工作機械の往復動軸2を行程駆動しなが呟ハイ
14にj:リワークWのミラ一部分の切削ツノ1ぼ(研
削加工)が行なわれる。
14にj:リワークWのミラ一部分の切削ツノ1ぼ(研
削加工)が行なわれる。
その際、第]、2図に示すように、ノズル8からアルコ
ンガスと酸素ガスとの混合力又を/\イト4およびワー
クWの切削部に吹1;Iけて、冷却を行なうようにする
。したがって、ワークWの切削加工は、アルゴンが又と
酸素ガスとの雰囲気中でイjなわれる。
ンガスと酸素ガスとの混合力又を/\イト4およびワー
クWの切削部に吹1;Iけて、冷却を行なうようにする
。したがって、ワークWの切削加工は、アルゴンが又と
酸素ガスとの雰囲気中でイjなわれる。
このようにして、ワークWの切削面(」清浄に保たれ、
容器j内にはアルコンガスと酸素ガスとが存在するよう
になるので、ワークWの切削部を迫り・かけるようにし
て、その切削面に沿い放市′11L極11のアーク族’
fiLlこよるブラスマ]7を生成すると、アルミ系素
イ(とじてのワークWの切削面には、づファイアのこと
きちH+r;な酸化アルミニウムの薄層18か強制的に
形成されるのである。
容器j内にはアルコンガスと酸素ガスとが存在するよう
になるので、ワークWの切削部を迫り・かけるようにし
て、その切削面に沿い放市′11L極11のアーク族’
fiLlこよるブラスマ]7を生成すると、アルミ系素
イ(とじてのワークWの切削面には、づファイアのこと
きちH+r;な酸化アルミニウムの薄層18か強制的に
形成されるのである。
そして、この酸化アルミニラl、の+’efJM ]
Liは、次の工程でアルコンのボンハ’ l’メン1(
bo+nbu rdmclll、 ) ’:ンによる除
去処理を受け、その処理表向のLに、純アルミニウムの
ごと軽鏡面祠の膜か蒸X!またはイオンブレーティンク
により形成される。
Liは、次の工程でアルコンのボンハ’ l’メン1(
bo+nbu rdmclll、 ) ’:ンによる除
去処理を受け、その処理表向のLに、純アルミニウムの
ごと軽鏡面祠の膜か蒸X!またはイオンブレーティンク
により形成される。
その際、ワークWの表面に一佳形成ざ・れたII)、)
44 ] r+け極めて安定しており、大気中のガスや
水分、油分などと反応を起こしにくく、まtこそitら
の吸R′Iら隊めで保かとなるのであり、この薄R41
8の厚さは自然酸化層と合わせても30〜50八程度て
゛、前述f)一般的な汚れを吸蔵した100〜]、00
00A稈ノ臭のトノさの酸化変r1層と比べて著しくγ
のい。
44 ] r+け極めて安定しており、大気中のガスや
水分、油分などと反応を起こしにくく、まtこそitら
の吸R′Iら隊めで保かとなるのであり、この薄R41
8の厚さは自然酸化層と合わせても30〜50八程度て
゛、前述f)一般的な汚れを吸蔵した100〜]、00
00A稈ノ臭のトノさの酸化変r1層と比べて著しくγ
のい。
したか”って、この薄層18の除去処理は容易に行な4
+41+I++ト11−げ’l1ll)−−T−閉1−
Δl星シー1、ハI1、。
+41+I++ト11−げ’l1ll)−−T−閉1−
Δl星シー1、ハI1、。
ることはなく、その処理表面−にに形成される純アルミ
ニウムの膜は、極めて強固1こ保たれるようになって、
剥離を起こすことはない。
ニウムの膜は、極めて強固1こ保たれるようになって、
剥離を起こすことはない。
また上述の鏡面キイの11々は均一に形成され、ピンホ
ールを生しることもない。
ールを生しることもない。
このようにして本発明の製造法により40−られなポリ
ゴンミラーの反#J’−a能は著しく優れたものとなり
、レーザープリンターやjiii像172報ファイル装
置6笠における画質の向−1−に寄与しうるのである。
ゴンミラーの反#J’−a能は著しく優れたものとなり
、レーザープリンターやjiii像172報ファイル装
置6笠における画質の向−1−に寄与しうるのである。
なお、アルコンガスと酸素ガスとの混合ガスをワークW
の切IJt1部へ吹き(=Iけて冷却1を行なう際に、
容器lの内?ff15の4圧を防止するため、要すれば
真空ポンプ6による吸引が行なわれ、この吸引ガスは図
示しないコンプレフサ−に上り力゛スホンベ5〕・\戻
される。
の切IJt1部へ吹き(=Iけて冷却1を行なう際に、
容器lの内?ff15の4圧を防止するため、要すれば
真空ポンプ6による吸引が行なわれ、この吸引ガスは図
示しないコンプレフサ−に上り力゛スホンベ5〕・\戻
される。
また、容器1をワークWの加工作に沿い移動できるカバ
ー状のものとして、これをバイト4や7スル81放電電
極11などと一体に動かすJ:うにすれば、ワークWを
容器1内へ密封する操作が不要となって、量産に適した
生産態勢をとることができる。
ー状のものとして、これをバイト4や7スル81放電電
極11などと一体に動かすJ:うにすれば、ワークWを
容器1内へ密封する操作が不要となって、量産に適した
生産態勢をとることができる。
さらに′B器コを省略して、バイト1;こよる切削部に
多量の不活性ガスと酸素力′スとを吹付げながら、同左
゛スの雰囲気中で加工を施すようにしてもよい。
多量の不活性ガスと酸素力′スとを吹付げながら、同左
゛スの雰囲気中で加工を施すようにしてもよい。
以上詳述したように、本発明のアルミ系ポリゴンミラ〜
の製造法によれば、不活性ガスと酸素力スとの雰囲気中
で、アルミニウムを主I反分とする多角形形、素イ・イ
の周面におけるミラ一部分を切削加工しながら、その切
削部を」1記ガスの吹イ+jげにより冷却し、ついで−
1−記累月の切削面に沿い放電電極に、するプラズマを
生成して、同切削面にち密な酸化アルミニウムのイνl
)?ηを一’−’、!:j−形成してから、同薄ノ7り
の除去処理を1jない、その処理表面に、さらに鏡面材
の膜を形成するという極めて簡素な手段で、反則性能の
f憂れた表面をらつアルミ系ポリゴンミラーを、容易に
月4つ安イ11旧こイ:1られる。J、うになる効果が
ある。
の製造法によれば、不活性ガスと酸素力スとの雰囲気中
で、アルミニウムを主I反分とする多角形形、素イ・イ
の周面におけるミラ一部分を切削加工しながら、その切
削部を」1記ガスの吹イ+jげにより冷却し、ついで−
1−記累月の切削面に沿い放電電極に、するプラズマを
生成して、同切削面にち密な酸化アルミニウムのイνl
)?ηを一’−’、!:j−形成してから、同薄ノ7り
の除去処理を1jない、その処理表面に、さらに鏡面材
の膜を形成するという極めて簡素な手段で、反則性能の
f憂れた表面をらつアルミ系ポリゴンミラーを、容易に
月4つ安イ11旧こイ:1られる。J、うになる効果が
ある。
第1図は本発明の一実施例としてのアルく系ポリフンミ
ラーの製造法に用いられる装置の要部を示す斜視図であ
り、第2図は」1記材料の表面の切削加工および7リズ
マ処理の]ニ程を示す説明図である。 1・・容器、1a・・窓、2・・工作機械の往復動軸、
2u・・仙骨、3・・ワーク取(=1部、4・・バイト
、5−・バイト取(=1部、6・・真空ポンプ、7・・
バルブ、8・°/スズル9・・〃スボンベ、1o・・リ
ークバルフ、]1・・放゛712電極、12・・電源、
13・・高圧線、14・・気密シール、15・・リード
線、1G・・7−スil、17・・プラズマ、18・・
FjFN、W・・ワーク。 代理人 弁jtJj士 飯 沼 義 彦第 1 図
ラーの製造法に用いられる装置の要部を示す斜視図であ
り、第2図は」1記材料の表面の切削加工および7リズ
マ処理の]ニ程を示す説明図である。 1・・容器、1a・・窓、2・・工作機械の往復動軸、
2u・・仙骨、3・・ワーク取(=1部、4・・バイト
、5−・バイト取(=1部、6・・真空ポンプ、7・・
バルブ、8・°/スズル9・・〃スボンベ、1o・・リ
ークバルフ、]1・・放゛712電極、12・・電源、
13・・高圧線、14・・気密シール、15・・リード
線、1G・・7−スil、17・・プラズマ、18・・
FjFN、W・・ワーク。 代理人 弁jtJj士 飯 沼 義 彦第 1 図
Claims (1)
- 不活性ガスと酸素ガスとの雰囲気中で、アルミニウムを
主成分とする多角形状素材の周面におけるミラ一部分を
切削加工しながら、その切削部を上記ガスの吹411げ
により冷却し、ついで」二記素拐の切削面に沿い放電電
極によるプラズマを生成して、同切削面にち密な酸化ア
ルミニウムの薄層を一旦形成してから、同薄層の除去処
理を行ない、その処理表面に、さらに鏡面材の膜を形成
することを特徴とする、アルミ系ポリゴンミラ〜の製造
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17101283A JPS6067033A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | アルミ系ポリゴンミラ−の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17101283A JPS6067033A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | アルミ系ポリゴンミラ−の製造法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6067033A true JPS6067033A (ja) | 1985-04-17 |
Family
ID=15915457
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17101283A Pending JPS6067033A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | アルミ系ポリゴンミラ−の製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6067033A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1593751A1 (en) * | 2003-01-14 | 2005-11-09 | Tokyo Electron Limited | Member of apparatus for plasma treatment, member of treating apparatus, apparatus for plasma treatment, treating apparatus and method of plasma treatment |
KR100744195B1 (ko) * | 2005-12-20 | 2007-08-01 | 한국생산기술연구원 | 폴리곤 미러와 이의 가공방법 |
CN112846657A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-28 | 沈阳富创精密设备股份有限公司 | 一种半导体pecvd设备零部件分流盘加工工艺 |
-
1983
- 1983-09-16 JP JP17101283A patent/JPS6067033A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1593751A1 (en) * | 2003-01-14 | 2005-11-09 | Tokyo Electron Limited | Member of apparatus for plasma treatment, member of treating apparatus, apparatus for plasma treatment, treating apparatus and method of plasma treatment |
EP1593751A4 (en) * | 2003-01-14 | 2008-08-06 | Tokyo Electron Ltd | ELEMENT OF A PLASMA TREATMENT DEVICE, ELEMENT OF A TREATMENT DEVICE, PLASMA TREATMENT DEVICE, TREATMENT DEVICE AND METHOD OF PLASMA TREATMENT |
KR100744195B1 (ko) * | 2005-12-20 | 2007-08-01 | 한국생산기술연구원 | 폴리곤 미러와 이의 가공방법 |
CN112846657A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-28 | 沈阳富创精密设备股份有限公司 | 一种半导体pecvd设备零部件分流盘加工工艺 |
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