JPS6067033A - アルミ系ポリゴンミラ−の製造法 - Google Patents
アルミ系ポリゴンミラ−の製造法Info
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- JPS6067033A JPS6067033A JP17101283A JP17101283A JPS6067033A JP S6067033 A JPS6067033 A JP S6067033A JP 17101283 A JP17101283 A JP 17101283A JP 17101283 A JP17101283 A JP 17101283A JP S6067033 A JPS6067033 A JP S6067033A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
- B23P15/00—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass
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- Organic Chemistry (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、高速レーザープリンク−や各種情報処理機器
に用いられるアルミ系ポリゴンミラー（多面鏡）の製造
法に関し、特にポリコンミラーのアルミ系素祠の切削お
上びその切削面の処理を改良した製造法に関す入 従来、ポリゴンミラーの４’、ＬＡ・４として、アルミ
ニラ１１を主成分とする材料が用いられているが、この
ようなアルミ系祠料の表面には一般に水や油なとのｉｆ
ｊ ｈを吸蔵した１００〜＋ｏｏｏｏＡ程度のｌγさの
酸化変質層が（ｆイ１４−るので、その表面に純アルミ
ニウムの膜のｊ［チ成を有なっても、剥離を起こしやす
く、また七記膜の均−ｆ、表面が得らｈながったり、上
記ｊ漠にピンボールを生したりして、レーザー光なとの
反則に支障を慇た腰画質の低下を招くという問題点があ
る。
に用いられるアルミ系ポリゴンミラー（多面鏡）の製造
法に関し、特にポリコンミラーのアルミ系素祠の切削お
上びその切削面の処理を改良した製造法に関す入 従来、ポリゴンミラーの４’、ＬＡ・４として、アルミ
ニラ１１を主成分とする材料が用いられているが、この
ようなアルミ系祠料の表面には一般に水や油なとのｉｆ
ｊ ｈを吸蔵した１００〜＋ｏｏｏｏＡ程度のｌγさの
酸化変質層が（ｆイ１４−るので、その表面に純アルミ
ニウムの膜のｊ［チ成を有なっても、剥離を起こしやす
く、また七記膜の均−ｆ、表面が得らｈながったり、上
記ｊ漠にピンボールを生したりして、レーザー光なとの
反則に支障を慇た腰画質の低下を招くという問題点があ
る。
そこで、」二記アルミ系材料のに而を切削する、二とが
考えられるか、単に工作機械で切削部１゛を行なうと、
活性の切削面が汚れた大気と直九に反応を起５−シｔこ
り、切削油で汚れたりして、清浄な表面が１１ｊらメし
ないという問題点がある８ 本発明は、このような問題点の解決をはかろうと４−る
もので、母材としてのアルミ１？、素４・４の切削Ｊ９
よＵその切削面の処理を適切に行なって、反則・１−１
能の向１をはがれるようにした、アルミ系ポリコンミラ
ーの製造法を提供することを目的とする。
考えられるか、単に工作機械で切削部１゛を行なうと、
活性の切削面が汚れた大気と直九に反応を起５−シｔこ
り、切削油で汚れたりして、清浄な表面が１１ｊらメし
ないという問題点がある８ 本発明は、このような問題点の解決をはかろうと４−る
もので、母材としてのアルミ１？、素４・４の切削Ｊ９
よＵその切削面の処理を適切に行なって、反則・１−１
能の向１をはがれるようにした、アルミ系ポリコンミラ
ーの製造法を提供することを目的とする。
このため本発明のアルミ系ポリコンミラーの製造法は、
不活性力スと酸素ガスとの雰囲気中で、アルミニウムを
主成分とする多角形状素材の周面におけるミラ一部分を
切削加工しながら、その切削部を上記ガスの吹１；Ｉげ
により冷却し、ついで上記素祠の（ＪＪ削面に沿い放電
電極によるブラスマを生成して、同切削面にち密な酸化
アルミニウムの薄層を一旦形成してから、同薄層の除去
処理を行ない、その処理表面に、さらに鏡面４＝４の膜
を形成することを特徴としている。
不活性力スと酸素ガスとの雰囲気中で、アルミニウムを
主成分とする多角形状素材の周面におけるミラ一部分を
切削加工しながら、その切削部を上記ガスの吹１；Ｉげ
により冷却し、ついで上記素祠の（ＪＪ削面に沿い放電
電極によるブラスマを生成して、同切削面にち密な酸化
アルミニウムの薄層を一旦形成してから、同薄層の除去
処理を行ない、その処理表面に、さらに鏡面４＝４の膜
を形成することを特徴としている。
以下、図面により本発明の一実施例としてのアルミ系ポ
リゴンミラーの製造法について説明すると、ｆＩＳ１図
は本発明の製造法に用いられる装置の要部を示す斜視図
であり、！＠２図はミラー１１ｆｆ材の表面の切削加工
およびプラズマ処理の工程を力（す説明図である。
リゴンミラーの製造法について説明すると、ｆＩＳ１図
は本発明の製造法に用いられる装置の要部を示す斜視図
であり、！＠２図はミラー１１ｆｆ材の表面の切削加工
およびプラズマ処理の工程を力（す説明図である。
グＳ１図に示すように、透明相な気密に嵌め込まれた窓
」Ｕを有する金属製容器１の内部で、アルミニウムを主
成分とする多角形状の素材（以下、ワークという。）Ｗ
の周面におけるミラ一部分の加工が行なわれるようにな
っており、この容器１は、工作機械の往復動軸２にお１
うるワーク収Ｃｊ部３を覆うととち：こ、ハイド′１の
取付部５を覆うように、１・１−１−作（１似戒の１７
１小しない本体に装置′ｆされている。
」Ｕを有する金属製容器１の内部で、アルミニウムを主
成分とする多角形状の素材（以下、ワークという。）Ｗ
の周面におけるミラ一部分の加工が行なわれるようにな
っており、この容器１は、工作機械の往復動軸２にお１
うるワーク収Ｃｊ部３を覆うととち：こ、ハイド′１の
取付部５を覆うように、１・１−１−作（１似戒の１７
１小しない本体に装置′ｆされている。
そして、容器１には、その内ｊ”１ｊｓを；１＝ｌｚ１
．ｔｇ ４−るための真空ポンプ（３か、バルブ７を介
して４＆島、さメしている。。
．ｔｇ ４−るための真空ポンプ（３か、バルブ７を介
して４＆島、さメしている。。
往復動軸２１土容器］の外部の図示しないモーターで駆
動され、この往筏動軸２が゛ぞト器１をＬ′１通４−ろ
ｒｊｉ’分（二は、気密シールを施された軸受２ｄか、
投げられている。
動され、この往筏動軸２が゛ぞト器１をＬ′１通４−ろ
ｒｊｉ’分（二は、気密シールを施された軸受２ｄか、
投げられている。
また容器］の内部にはワーク切削部冷ノ、（団１／、２
．４べ）か設けられ、この／スル８には、アノシ・コン
１°ｉの４・ｌ占’ｌ’ｌ力゛スと酸素ガスとからなる
冷）、（団ｊ力゛入を貯留した力゛入ボンベ！Ｊか、リ
ークバルフ１０を介し′ζ接糺さ１シーＣいる。
．４べ）か設けられ、この／スル８には、アノシ・コン
１°ｉの４・ｌ占’ｌ’ｌ力゛スと酸素ガスとからなる
冷）、（団ｊ力゛入を貯留した力゛入ボンベ！Ｊか、リ
ークバルフ１０を介し′ζ接糺さ１シーＣいる。
さらに１）−りＷの切削面に沿いブラ入−１・を１１．
成）−る放′市電極１１が、ｆｆ器Ａ内１こ配、設され
′〔、同″市（龜１１に電源１２がら高電圧が供給ざ・
れるよ−〕になっている、。
成）−る放′市電極１１が、ｆｆ器Ａ内１こ配、設され
′〔、同″市（龜１１に電源１２がら高電圧が供給ざ・
れるよ−〕になっている、。
なお、電源１２から放電電極＋１・・呂〕、る高）１１
線）ニジが、容器１の金属製壁部を１”１通する部分を
口重、λｆ１．縁４・４からなる気密シールド１が施さ
れている。
線）ニジが、容器１の金属製壁部を１”１通する部分を
口重、λｆ１．縁４・４からなる気密シールド１が施さ
れている。
またワークＷに、ワーク取イーｊ部３．往復動軸２．軸
受２ｄおよび容器１の金属製壁部を介して接続するり一
ド線１５か設けられ、二のリート線は電源１２のアース
線１６に接続されてしする。
受２ｄおよび容器１の金属製壁部を介して接続するり一
ド線１５か設けられ、二のリート線は電源１２のアース
線１６に接続されてしする。
上述の装置を用いて、本発明のアルミ系ポリゴンミラー
の製造法は、次のように行なわれる。
の製造法は、次のように行なわれる。
まず、容器１の内部が真空ポンプ６の作動により減圧さ
れる。
れる。
ついで、工作機械の往復動軸２を行程駆動しなが呟ハイ
１４にｊ：リワークＷのミラ一部分の切削ツノ１ぼ（研
削加工）が行なわれる。
１４にｊ：リワークＷのミラ一部分の切削ツノ１ぼ（研
削加工）が行なわれる。
その際、第］、２図に示すように、ノズル８からアルコ
ンガスと酸素ガスとの混合力又を／＼イト４およびワー
クＷの切削部に吹１；Ｉけて、冷却を行なうようにする
。したがって、ワークＷの切削加工は、アルゴンが又と
酸素ガスとの雰囲気中でイｊなわれる。
ンガスと酸素ガスとの混合力又を／＼イト４およびワー
クＷの切削部に吹１；Ｉけて、冷却を行なうようにする
。したがって、ワークＷの切削加工は、アルゴンが又と
酸素ガスとの雰囲気中でイｊなわれる。
このようにして、ワークＷの切削面（」清浄に保たれ、
容器ｊ内にはアルコンガスと酸素ガスとが存在するよう
になるので、ワークＷの切削部を迫り・かけるようにし
て、その切削面に沿い放市′１１Ｌ極１１のアーク族’
ｆｉＬｌこよるブラスマ］７を生成すると、アルミ系素
イ（とじてのワークＷの切削面には、づファイアのこと
きちＨ＋ｒ；な酸化アルミニウムの薄層１８か強制的に
形成されるのである。
容器ｊ内にはアルコンガスと酸素ガスとが存在するよう
になるので、ワークＷの切削部を迫り・かけるようにし
て、その切削面に沿い放市′１１Ｌ極１１のアーク族’
ｆｉＬｌこよるブラスマ］７を生成すると、アルミ系素
イ（とじてのワークＷの切削面には、づファイアのこと
きちＨ＋ｒ；な酸化アルミニウムの薄層１８か強制的に
形成されるのである。
そして、この酸化アルミニラｌ、の＋’ｅｆＪＭ ］
Ｌｉは、次の工程でアルコンのボンハ’ ｌ’メン１（
ｂｏ＋ｎｂｕ ｒｄｍｃｌｌｌ、 ） ’：ンによる除
去処理を受け、その処理表向のＬに、純アルミニウムの
ごと軽鏡面祠の膜か蒸Ｘ！またはイオンブレーティンク
により形成される。
Ｌｉは、次の工程でアルコンのボンハ’ ｌ’メン１（
ｂｏ＋ｎｂｕ ｒｄｍｃｌｌｌ、 ） ’：ンによる除
去処理を受け、その処理表向のＬに、純アルミニウムの
ごと軽鏡面祠の膜か蒸Ｘ！またはイオンブレーティンク
により形成される。
その際、ワークＷの表面に一佳形成ざ・れたＩＩ）、）
４４ ］ ｒ＋け極めて安定しており、大気中のガスや
水分、油分などと反応を起こしにくく、まｔこそｉｔら
の吸Ｒ′Ｉら隊めで保かとなるのであり、この薄Ｒ４１
８の厚さは自然酸化層と合わせても３０〜５０八程度て
゛、前述ｆ）一般的な汚れを吸蔵した１００〜］、００
００Ａ稈ノ臭のトノさの酸化変ｒ１層と比べて著しくγ
のい。
４４ ］ ｒ＋け極めて安定しており、大気中のガスや
水分、油分などと反応を起こしにくく、まｔこそｉｔら
の吸Ｒ′Ｉら隊めで保かとなるのであり、この薄Ｒ４１
８の厚さは自然酸化層と合わせても３０〜５０八程度て
゛、前述ｆ）一般的な汚れを吸蔵した１００〜］、００
００Ａ稈ノ臭のトノさの酸化変ｒ１層と比べて著しくγ
のい。
したか”って、この薄層１８の除去処理は容易に行な４
＋４１＋Ｉ＋＋ト１１−げ’ｌ１ｌｌ）−−Ｔ−閉１−
Δｌ星シー１、ハＩ１、。
＋４１＋Ｉ＋＋ト１１−げ’ｌ１ｌｌ）−−Ｔ−閉１−
Δｌ星シー１、ハＩ１、。
ることはなく、その処理表面−にに形成される純アルミ
ニウムの膜は、極めて強固１こ保たれるようになって、
剥離を起こすことはない。
ニウムの膜は、極めて強固１こ保たれるようになって、
剥離を起こすことはない。
また上述の鏡面キイの１１々は均一に形成され、ピンホ
ールを生しることもない。
ールを生しることもない。
このようにして本発明の製造法により４０−られなポリ
ゴンミラーの反＃Ｊ’−ａ能は著しく優れたものとなり
、レーザープリンターやｊｉｉｉ像１７２報ファイル装
置６笠における画質の向−１−に寄与しうるのである。
ゴンミラーの反＃Ｊ’−ａ能は著しく優れたものとなり
、レーザープリンターやｊｉｉｉ像１７２報ファイル装
置６笠における画質の向−１−に寄与しうるのである。
なお、アルコンガスと酸素ガスとの混合ガスをワークＷ
の切ＩＪｔ１部へ吹き（＝Ｉけて冷却１を行なう際に、
容器ｌの内？ｆｆ１５の４圧を防止するため、要すれば
真空ポンプ６による吸引が行なわれ、この吸引ガスは図
示しないコンプレフサ−に上り力゛スホンベ５〕・＼戻
される。
の切ＩＪｔ１部へ吹き（＝Ｉけて冷却１を行なう際に、
容器ｌの内？ｆｆ１５の４圧を防止するため、要すれば
真空ポンプ６による吸引が行なわれ、この吸引ガスは図
示しないコンプレフサ−に上り力゛スホンベ５〕・＼戻
される。
また、容器１をワークＷの加工作に沿い移動できるカバ
ー状のものとして、これをバイト４や７スル８１放電電
極１１などと一体に動かすＪ：うにすれば、ワークＷを
容器１内へ密封する操作が不要となって、量産に適した
生産態勢をとることができる。
ー状のものとして、これをバイト４や７スル８１放電電
極１１などと一体に動かすＪ：うにすれば、ワークＷを
容器１内へ密封する操作が不要となって、量産に適した
生産態勢をとることができる。
さらに′Ｂ器コを省略して、バイト１；こよる切削部に
多量の不活性ガスと酸素力′スとを吹付げながら、同左
゛スの雰囲気中で加工を施すようにしてもよい。
多量の不活性ガスと酸素力′スとを吹付げながら、同左
゛スの雰囲気中で加工を施すようにしてもよい。
以上詳述したように、本発明のアルミ系ポリゴンミラ〜
の製造法によれば、不活性ガスと酸素力スとの雰囲気中
で、アルミニウムを主Ｉ反分とする多角形形、素イ・イ
の周面におけるミラ一部分を切削加工しながら、その切
削部を」１記ガスの吹イ＋ｊげにより冷却し、ついで−
１−記累月の切削面に沿い放電電極に、するプラズマを
生成して、同切削面にち密な酸化アルミニウムのイνｌ
）？ηを一’−’、！：ｊ−形成してから、同薄ノ７り
の除去処理を１ｊない、その処理表面に、さらに鏡面材
の膜を形成するという極めて簡素な手段で、反則性能の
ｆ憂れた表面をらつアルミ系ポリゴンミラーを、容易に
月４つ安イ１１旧こイ：１られる。Ｊ、うになる効果が
ある。
の製造法によれば、不活性ガスと酸素力スとの雰囲気中
で、アルミニウムを主Ｉ反分とする多角形形、素イ・イ
の周面におけるミラ一部分を切削加工しながら、その切
削部を」１記ガスの吹イ＋ｊげにより冷却し、ついで−
１−記累月の切削面に沿い放電電極に、するプラズマを
生成して、同切削面にち密な酸化アルミニウムのイνｌ
）？ηを一’−’、！：ｊ−形成してから、同薄ノ７り
の除去処理を１ｊない、その処理表面に、さらに鏡面材
の膜を形成するという極めて簡素な手段で、反則性能の
ｆ憂れた表面をらつアルミ系ポリゴンミラーを、容易に
月４つ安イ１１旧こイ：１られる。Ｊ、うになる効果が
ある。
第１図は本発明の一実施例としてのアルく系ポリフンミ
ラーの製造法に用いられる装置の要部を示す斜視図であ
り、第２図は」１記材料の表面の切削加工および７リズ
マ処理の］ニ程を示す説明図である。 １・・容器、１ａ・・窓、２・・工作機械の往復動軸、
２ｕ・・仙骨、３・・ワーク取（＝１部、４・・バイト
、５−・バイト取（＝１部、６・・真空ポンプ、７・・
バルブ、８・°／スズル９・・〃スボンベ、１ｏ・・リ
ークバルフ、］１・・放゛７１２電極、１２・・電源、
１３・・高圧線、１４・・気密シール、１５・・リード
線、１Ｇ・・７−スｉｌ、１７・・プラズマ、１８・・
ＦｊＦＮ、Ｗ・・ワーク。 代理人 弁ｊｔＪｊ士 飯 沼 義 彦第 １ 図
ラーの製造法に用いられる装置の要部を示す斜視図であ
り、第２図は」１記材料の表面の切削加工および７リズ
マ処理の］ニ程を示す説明図である。 １・・容器、１ａ・・窓、２・・工作機械の往復動軸、
２ｕ・・仙骨、３・・ワーク取（＝１部、４・・バイト
、５−・バイト取（＝１部、６・・真空ポンプ、７・・
バルブ、８・°／スズル９・・〃スボンベ、１ｏ・・リ
ークバルフ、］１・・放゛７１２電極、１２・・電源、
１３・・高圧線、１４・・気密シール、１５・・リード
線、１Ｇ・・７−スｉｌ、１７・・プラズマ、１８・・
ＦｊＦＮ、Ｗ・・ワーク。 代理人 弁ｊｔＪｊ士 飯 沼 義 彦第 １ 図
Claims (1)
- 不活性ガスと酸素ガスとの雰囲気中で、アルミニウムを
主成分とする多角形状素材の周面におけるミラ一部分を
切削加工しながら、その切削部を上記ガスの吹４１１げ
により冷却し、ついで」二記素拐の切削面に沿い放電電
極によるプラズマを生成して、同切削面にち密な酸化ア
ルミニウムの薄層を一旦形成してから、同薄層の除去処
理を行ない、その処理表面に、さらに鏡面材の膜を形成
することを特徴とする、アルミ系ポリゴンミラ〜の製造
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17101283A JPS6067033A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | アルミ系ポリゴンミラ−の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17101283A JPS6067033A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | アルミ系ポリゴンミラ−の製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6067033A true JPS6067033A (ja) | 1985-04-17 |
Family
ID=15915457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17101283A Pending JPS6067033A (ja) | 1983-09-16 | 1983-09-16 | アルミ系ポリゴンミラ−の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6067033A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1593751A1 (en) * | 2003-01-14 | 2005-11-09 | Tokyo Electron Limited | Member of apparatus for plasma treatment, member of treating apparatus, apparatus for plasma treatment, treating apparatus and method of plasma treatment |
| KR100744195B1 (ko) * | 2005-12-20 | 2007-08-01 | 한국생산기술연구원 | 폴리곤 미러와 이의 가공방법 |
| CN112846657A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-28 | 沈阳富创精密设备股份有限公司 | 一种半导体pecvd设备零部件分流盘加工工艺 |
-
1983
- 1983-09-16 JP JP17101283A patent/JPS6067033A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1593751A1 (en) * | 2003-01-14 | 2005-11-09 | Tokyo Electron Limited | Member of apparatus for plasma treatment, member of treating apparatus, apparatus for plasma treatment, treating apparatus and method of plasma treatment |
| EP1593751A4 (en) * | 2003-01-14 | 2008-08-06 | Tokyo Electron Ltd | ELEMENT OF A PLASMA TREATMENT DEVICE, ELEMENT OF A TREATMENT DEVICE, PLASMA TREATMENT DEVICE, TREATMENT DEVICE AND METHOD OF PLASMA TREATMENT |
| KR100744195B1 (ko) * | 2005-12-20 | 2007-08-01 | 한국생산기술연구원 | 폴리곤 미러와 이의 가공방법 |
| CN112846657A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-28 | 沈阳富创精密设备股份有限公司 | 一种半导体pecvd设备零部件分流盘加工工艺 |
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