JPS6046888B2 - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents
圧電振動子の製造方法Info
- Publication number
- JPS6046888B2 JPS6046888B2 JP55111098A JP11109880A JPS6046888B2 JP S6046888 B2 JPS6046888 B2 JP S6046888B2 JP 55111098 A JP55111098 A JP 55111098A JP 11109880 A JP11109880 A JP 11109880A JP S6046888 B2 JPS6046888 B2 JP S6046888B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- groove
- conductive paste
- electrodes
- green sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はセラミック容器を用いた圧電振動子の製造方
法に関する。
法に関する。
従来より各種フィルタとして搬送装置、民生機器等に
使用されている圧電振動子は、水晶、ニオブ酸リチウム
（ＬｉＮｂＯ３）等の圧電性のある材料を基板としてそ
の両面に電極を設け、この電極に交流の電界を印加して
基板を励振し、その厚みすべり振動の共振を利用してい
るものである。
使用されている圧電振動子は、水晶、ニオブ酸リチウム
（ＬｉＮｂＯ３）等の圧電性のある材料を基板としてそ
の両面に電極を設け、この電極に交流の電界を印加して
基板を励振し、その厚みすべり振動の共振を利用してい
るものである。
この圧電振動子は通常第１図に示す如く圧電基板１の表
裏両面にそれぞれ引出し電極２、２’を有する対向電極
３、３’を設けた素子１を、電気的接続と機械的保持を
兼ねてステム４のリード線４ａ、４をに取着し、さらに
ケース５に封入して用いられている。このような実装構
造の圧電振動子は素子１の大きさに比してケース５の大
きさが大となりプリント板への高密度実装が困難である
。そのため高密度実装が可能な小型化された圧電振動子
の開発が要請されている。本発明はこの要請に基づいて
案出されたものである。 このため本発明の圧電振動子
の製造方法においては、第１のセラミックグリーンシー
トに所定の間隔にて複数条の電極を導電性ペーストにて
印刷し、次いで該グリーンシートの上に振動素子を挿入
する空間を所定の間隔で複数個形成した第２のセラミッ
クグリーンシートを重ねたのち、第１、第２のグリーン
シートに前記電極の中心を通る溝を形成し、該溝に導電
性ペーストを充填すると共に第１のグリーンシートの溝
の左右に導電性ペーストを印刷し、次いでこれを焼成し
たのち、導電性ペーストを充填した溝の中心より切断し
、さらに溝と直角に所定の間隔で切断してセラミック容
器を形成し、該容器に振動素子を装入し、該素子の電極
と容器の電極とを導電性接着剤にて接続したのち、該容
器の開口部を封止板にて封止する諸工程よりなることを
特徴とするものである。
裏両面にそれぞれ引出し電極２、２’を有する対向電極
３、３’を設けた素子１を、電気的接続と機械的保持を
兼ねてステム４のリード線４ａ、４をに取着し、さらに
ケース５に封入して用いられている。このような実装構
造の圧電振動子は素子１の大きさに比してケース５の大
きさが大となりプリント板への高密度実装が困難である
。そのため高密度実装が可能な小型化された圧電振動子
の開発が要請されている。本発明はこの要請に基づいて
案出されたものである。 このため本発明の圧電振動子
の製造方法においては、第１のセラミックグリーンシー
トに所定の間隔にて複数条の電極を導電性ペーストにて
印刷し、次いで該グリーンシートの上に振動素子を挿入
する空間を所定の間隔で複数個形成した第２のセラミッ
クグリーンシートを重ねたのち、第１、第２のグリーン
シートに前記電極の中心を通る溝を形成し、該溝に導電
性ペーストを充填すると共に第１のグリーンシートの溝
の左右に導電性ペーストを印刷し、次いでこれを焼成し
たのち、導電性ペーストを充填した溝の中心より切断し
、さらに溝と直角に所定の間隔で切断してセラミック容
器を形成し、該容器に振動素子を装入し、該素子の電極
と容器の電極とを導電性接着剤にて接続したのち、該容
器の開口部を封止板にて封止する諸工程よりなることを
特徴とするものである。
以下、添付図面に基づいて本発明の製造方法を詳細に説
明する。第２図乃至第９図に製造工程の説明図を示す。
明する。第２図乃至第９図に製造工程の説明図を示す。
図により本発明法を説明すると、先ず第２図に示す如く
、所定の間隔で並ふ複数条の電極６を導電性ペーストに
て印刷した第１のセラミックグリーンシート７の上に、
所定の間隔で複数個の窓８を形成した第２のセラミック
グリーンシート９を載せ、第３図の断面図に示す如く窓
８に電極６が覗くように重ねる。次に第４図の如く第１
のグリーンシート７を上にして電極６の中心線に沿つて
ダイシングソー等を用いて第１、第２のグリーンシート
７および９に溝１０を形成する。
、所定の間隔で並ふ複数条の電極６を導電性ペーストに
て印刷した第１のセラミックグリーンシート７の上に、
所定の間隔で複数個の窓８を形成した第２のセラミック
グリーンシート９を載せ、第３図の断面図に示す如く窓
８に電極６が覗くように重ねる。次に第４図の如く第１
のグリーンシート７を上にして電極６の中心線に沿つて
ダイシングソー等を用いて第１、第２のグリーンシート
７および９に溝１０を形成する。
次に第５図の如く溝１０に導電性ペースト１１を充填し
、さらにその左右のグリーンシート７上に導電性ペース
トにより電極１２を印刷したのち全体を焼成する。次に
第６図の如く溝に充填した導電性ペースト１１の中心線
１「より切断し、さらにその直角一方向にも所定の間隔
て切断して第７図に示す如き容器１３を形成する。
、さらにその左右のグリーンシート７上に導電性ペース
トにより電極１２を印刷したのち全体を焼成する。次に
第６図の如く溝に充填した導電性ペースト１１の中心線
１「より切断し、さらにその直角一方向にも所定の間隔
て切断して第７図に示す如き容器１３を形成する。
次に第８図の如く容器１３の中に振動素子１４を装入し
、容器の電極６に導電性接着剤１５を用いて接着する。
これにより素子１４の機械的保持と、その対向電極と容
器の電極６との電気的接続が行なわれる。最後に第９図
の如く容器１３の開口部をセラミック又はガラス等で形
成した封止板１６により封止して完成する。
、容器の電極６に導電性接着剤１５を用いて接着する。
これにより素子１４の機械的保持と、その対向電極と容
器の電極６との電気的接続が行なわれる。最後に第９図
の如く容器１３の開口部をセラミック又はガラス等で形
成した封止板１６により封止して完成する。
以上説明した本発明方法は小型の圧電振動子が得られる
と共に、バッチ処理が可能であり、従つて量産性に優れ
ている。
と共に、バッチ処理が可能であり、従つて量産性に優れ
ている。
第１図は従来の圧電振動子の実装構造の１例の斜視図、
第２図乃至第９図は本発明にかかる圧電振動子の製造方
法の工程説明図である。 ６，１２・・・・・・電極、７・・・・・・第１のセラ
ミックグリーンシート、８・・・・・・窓、９・・・・
・・第２のセラミックグリーンシート、１０・・・・・
・溝、１１・・・・・・導電性ペースト、１３・・・・
・・容器、１４・・・・・・振動素子、１５・・・・・
・導電性接着剤、１６・・・・・・封止板。
第２図乃至第９図は本発明にかかる圧電振動子の製造方
法の工程説明図である。 ６，１２・・・・・・電極、７・・・・・・第１のセラ
ミックグリーンシート、８・・・・・・窓、９・・・・
・・第２のセラミックグリーンシート、１０・・・・・
・溝、１１・・・・・・導電性ペースト、１３・・・・
・・容器、１４・・・・・・振動素子、１５・・・・・
・導電性接着剤、１６・・・・・・封止板。
Claims (1)
- １ 第１のセラミックグリーンシートに所定の間隔にて
複数条の電極を導電性ペーストにて印刷し、次いで該グ
リーンシートの上に振動素子を挿入する空間を所定の間
隔で複数個形成した第２のセラミックグリーンシートを
重ねたのち、第１、第２のグリーンシートに前記電極の
中心を通る溝を形成し、該溝に導電性ペーストを充填す
ると共に第１のグリーンシートの溝の左右に導電性ペー
ストを印刷し、次いでこれを焼成したのち、導電性ペー
ストを充填した溝の中心より切断し、さらに溝と直角に
所定の間隔で切断してセラミック容器を形成し、該容器
に振動素子を装入し、該素子の電極と容器の電極とを導
電性接着剤にて接続したのち、該容器の開口部を封止板
にて封止する諸工程よりなる圧電振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55111098A JPS6046888B2 (ja) | 1980-08-14 | 1980-08-14 | 圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55111098A JPS6046888B2 (ja) | 1980-08-14 | 1980-08-14 | 圧電振動子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5738000A JPS5738000A (en) | 1982-03-02 |
| JPS6046888B2 true JPS6046888B2 (ja) | 1985-10-18 |
Family
ID=14552330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55111098A Expired JPS6046888B2 (ja) | 1980-08-14 | 1980-08-14 | 圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6046888B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5910015A (ja) * | 1982-07-07 | 1984-01-19 | Fujitsu Ltd | 圧電振動子の製造方法 |
-
1980
- 1980-08-14 JP JP55111098A patent/JPS6046888B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5738000A (en) | 1982-03-02 |
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