JPS6044404A - クリ−ンル−ム内の荷保管設備 - Google Patents
クリ−ンル−ム内の荷保管設備Info
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- JPS6044404A JPS6044404A JP15067383A JP15067383A JPS6044404A JP S6044404 A JPS6044404 A JP S6044404A JP 15067383 A JP15067383 A JP 15067383A JP 15067383 A JP15067383 A JP 15067383A JP S6044404 A JPS6044404 A JP S6044404A
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- shelves
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- shelf
- clean air
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- 238000009434 installation Methods 0.000 title abstract description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 16
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000001012 protector Effects 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 241000219094 Vitaceae Species 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 235000021021 grapes Nutrition 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、天井側からクリーンエアーを下吹きし、下降
するエアーを床下に吸引するクリーンルーム内に設置さ
れ、例えば半導体のような塵埃を極端にきらう物品(荷
)の保管に使用されるクリーンルーム内の前体官設やt
tiに闇するものである。
するエアーを床下に吸引するクリーンルーム内に設置さ
れ、例えば半導体のような塵埃を極端にきらう物品(荷
)の保管に使用されるクリーンルーム内の前体官設やt
tiに闇するものである。
一般的に荷保管設備は、上−ド方向ならびに横方向に複
数の区画収納駅間ケ有する棚と、この棚に沿った一定経
路上を走行自在で且つ昇降ならびに横方向出退・自在な
フA−りを有する搬人出装置とから構成される。このよ
うな荷保管設備においては、特にフォークを昇降させる
昇降案内装(Uや昇降駆動装置の部分に摩損などにょシ
多くの塵埃が発生し、しかも発生箇所が棚の近くである
ことがら、発生した塵埃は原画に吸引除去されることな
く棚に保管している前側に移行することになる。
数の区画収納駅間ケ有する棚と、この棚に沿った一定経
路上を走行自在で且つ昇降ならびに横方向出退・自在な
フA−りを有する搬人出装置とから構成される。このよ
うな荷保管設備においては、特にフォークを昇降させる
昇降案内装(Uや昇降駆動装置の部分に摩損などにょシ
多くの塵埃が発生し、しかも発生箇所が棚の近くである
ことがら、発生した塵埃は原画に吸引除去されることな
く棚に保管している前側に移行することになる。
これらのことがら、クリーンル−ム内での前体管の機械
化、自動化、すなわち前体管設置1iの採用は不可能で
あった。
化、自動化、すなわち前体管設置1iの採用は不可能で
あった。
本:fと明のH的とするところは、棚の各区画収納空間
において、その後面側から搬人出装置に対向する前面側
に向けてクリーンエアー流全生せしめて、この搬入小装
置のフォークを昇1峰びせる部分で発生した塵埃が棚側
に移行することを防止し得るクリーンルーム内の荷保管
設備をJli供する点にめる。
において、その後面側から搬人出装置に対向する前面側
に向けてクリーンエアー流全生せしめて、この搬入小装
置のフォークを昇1峰びせる部分で発生した塵埃が棚側
に移行することを防止し得るクリーンルーム内の荷保管
設備をJli供する点にめる。
上記目的を達成するために本発明におけるクリーンルー
ム内の荷保管設備は、天井側からクリーンエアーを下吹
きし、下降するエアーを床下に吸引するクリーンルーム
内に、上下方向ならびに横方向に複数の区画収納空間を
有する棚と、この棚に沿った一定経路上を走行自在で且
つ昇降ならびに横方向出退自在なフォークを有する搬入
吊装置を設け、前記棚は、前記搬入吊装置に対向する前
面を開放すると共に、後面側にフィルターを配設し、こ
のフィルターを通して各区画収納空間内にクリーンエア
ーを供給するエアー供給装置を設けて構成している。
ム内の荷保管設備は、天井側からクリーンエアーを下吹
きし、下降するエアーを床下に吸引するクリーンルーム
内に、上下方向ならびに横方向に複数の区画収納空間を
有する棚と、この棚に沿った一定経路上を走行自在で且
つ昇降ならびに横方向出退自在なフォークを有する搬入
吊装置を設け、前記棚は、前記搬入吊装置に対向する前
面を開放すると共に、後面側にフィルターを配設し、こ
のフィルターを通して各区画収納空間内にクリーンエア
ーを供給するエアー供給装置を設けて構成している。
かかる本発明構成によると、次のような効果を期待でき
る。すなわちエアー供給装置の作動によって、クリーン
ル−ム内の空気を吸引し、そしてフィルターを通して生
せしめたクリーンエアーを、棚の各区画収納空間におい
て、その後面側から搬人出装置に対向する前面側に向け
て流出させることができ、したがって搬入吊装置のフ]
−りを昇降させる部分で発生した最埃が棚側に移行する
ことを防止することができる。これによシフリーンルー
ム内での前体管の機械化、自動代金可能にできる。
る。すなわちエアー供給装置の作動によって、クリーン
ル−ム内の空気を吸引し、そしてフィルターを通して生
せしめたクリーンエアーを、棚の各区画収納空間におい
て、その後面側から搬人出装置に対向する前面側に向け
て流出させることができ、したがって搬入吊装置のフ]
−りを昇降させる部分で発生した最埃が棚側に移行する
ことを防止することができる。これによシフリーンルー
ム内での前体管の機械化、自動代金可能にできる。
以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。(
1)はクリーンルームで、天井(2)側からフィルター
(3) f:通してクリーンエアー(4ンを下吹きし、
下降するエアーをメツシュ形式の床(5)を通して該床
下に吸引するように構成しである。(6)は棚で所定の
通路(7)を置いて並設しである。これら棚(6)は、
前面の中間部から上部に亘った部分が開放する箱状の本
体(8)と、開放部において横方向に多数並設された縦
仕切板(9)、ならびに上下方向に多数並設された横仕
切板叫とからなり、内仕切板(9)四によって上下方向
ならびに横方向に夫々少数の区画収納空間aυを形成す
る。各区画収納空間αυには夫々左右一対の腕木口が配
設され、これら腕木偏によって半導体などからなる荷時
を支持する。0ψは通路(7)内に配設した搬人出装置
で、前記棚(6)に沿った一定経路0う上を走行自在で
ある。すなわち通路(7)の下部には機枠Qf9を介し
て一対のレー)V IJ:θが配設され、搬入吊装置a
<の本体Q匂は複数個の車輪Q呻を介してレー/L’α
η上に載置しである。そして本俸a樟には車輪り9に連
動する走行駆動装置(4)が設けられ、この走行駆動装
置に)は、衝撃の発生し難いDCサーボモータなどから
構成すると共に、最下段の区画収納空間Uよりも下方に
位置すべく配設している。前記本体(ト)の中央部から
は四角状の角筒体Qυが立設され、との角筒体Qυの上
端は天板(2)によシ閉塞されると共に、下端は下端開
放部−に形成され、また前面の中央には上下方向のスリ
ット(ハ)が形成されている。前記本体(へ)には下端
開放部翰に連通する上下方向の貫通部に)が形成され、
まだ貫通部に)に下方から対向する吸気ファンなどの吸
引装置(イ)が配設されている。(イ)はnif記ヌリ
ソト弼を通って角筒体eυの内外に亘って位置する可動
体で、この角筒体eυに沿って昇降自在に配設しである
。すなわち角筒体(2η内にはLMガイド形式の昇降案
内装置(ハ)が配設され、この昇降案内装置@は、角筒
体elυの後部内面に上下方向に取付け/こガイトレー
)V(イ)と、このガイドレール四に案内きれ且つ可動
体(ロ)の後部に取付けた被ガイド体(7)とから構成
される。さらに角筒体&IJ内には昇降駆fL!l装置
l、(〃が配設される。すなわち昇降駆動装置1イ6υ
は、天板(2)の近くに−#+3設しノこ上位輪体−4
と、下端開放部脅の近くに配設した下位幅1体得と、両
輪体6す■間に掛張され且つ可動体(ハ)に固着された
索体■と、前記下位輪体QK連動し且つ本体(ト)上に
搭載したインバータ制御モーターとから構成されている
。
1)はクリーンルームで、天井(2)側からフィルター
(3) f:通してクリーンエアー(4ンを下吹きし、
下降するエアーをメツシュ形式の床(5)を通して該床
下に吸引するように構成しである。(6)は棚で所定の
通路(7)を置いて並設しである。これら棚(6)は、
前面の中間部から上部に亘った部分が開放する箱状の本
体(8)と、開放部において横方向に多数並設された縦
仕切板(9)、ならびに上下方向に多数並設された横仕
切板叫とからなり、内仕切板(9)四によって上下方向
ならびに横方向に夫々少数の区画収納空間aυを形成す
る。各区画収納空間αυには夫々左右一対の腕木口が配
設され、これら腕木偏によって半導体などからなる荷時
を支持する。0ψは通路(7)内に配設した搬人出装置
で、前記棚(6)に沿った一定経路0う上を走行自在で
ある。すなわち通路(7)の下部には機枠Qf9を介し
て一対のレー)V IJ:θが配設され、搬入吊装置a
<の本体Q匂は複数個の車輪Q呻を介してレー/L’α
η上に載置しである。そして本俸a樟には車輪り9に連
動する走行駆動装置(4)が設けられ、この走行駆動装
置に)は、衝撃の発生し難いDCサーボモータなどから
構成すると共に、最下段の区画収納空間Uよりも下方に
位置すべく配設している。前記本体(ト)の中央部から
は四角状の角筒体Qυが立設され、との角筒体Qυの上
端は天板(2)によシ閉塞されると共に、下端は下端開
放部−に形成され、また前面の中央には上下方向のスリ
ット(ハ)が形成されている。前記本体(へ)には下端
開放部翰に連通する上下方向の貫通部に)が形成され、
まだ貫通部に)に下方から対向する吸気ファンなどの吸
引装置(イ)が配設されている。(イ)はnif記ヌリ
ソト弼を通って角筒体eυの内外に亘って位置する可動
体で、この角筒体eυに沿って昇降自在に配設しである
。すなわち角筒体(2η内にはLMガイド形式の昇降案
内装置(ハ)が配設され、この昇降案内装置@は、角筒
体elυの後部内面に上下方向に取付け/こガイトレー
)V(イ)と、このガイドレール四に案内きれ且つ可動
体(ロ)の後部に取付けた被ガイド体(7)とから構成
される。さらに角筒体&IJ内には昇降駆fL!l装置
l、(〃が配設される。すなわち昇降駆動装置1イ6υ
は、天板(2)の近くに−#+3設しノこ上位輪体−4
と、下端開放部脅の近くに配設した下位幅1体得と、両
輪体6す■間に掛張され且つ可動体(ハ)に固着された
索体■と、前記下位輪体QK連動し且つ本体(ト)上に
搭載したインバータ制御モーターとから構成されている
。
前記索体■の後部側経路は角筒体■υの後外面側に取付
けた保護体に)内に位置し、この保護体(埒も下端のみ
開放している。なおインバータ制御モータに)や走行駆
動装置−の上方には保護カバー9切が設けられる。前記
角筒体θυ内の上端とI:端には、夫々ばねなどによシ
巻取シ(=j勢きれたドラム弼−が配設してあり、これ
らドラムM81に巻取られるシート幕(ナイロン製など
)す* vivのI’ Vi!Jならびに上端がbiJ
記可動体竪力に固着しである。目1j記可動体(イ)の
前部には昇降台−が一体化され、このケを降台0匂の上
部には横方向出退自在なフォーク卿が配設ざれる。なお
昇降台(6)には、インバータ制御モータなどからなる
フォーク駆動装置−が設けられる。
けた保護体に)内に位置し、この保護体(埒も下端のみ
開放している。なおインバータ制御モータに)や走行駆
動装置−の上方には保護カバー9切が設けられる。前記
角筒体θυ内の上端とI:端には、夫々ばねなどによシ
巻取シ(=j勢きれたドラム弼−が配設してあり、これ
らドラムM81に巻取られるシート幕(ナイロン製など
)す* vivのI’ Vi!Jならびに上端がbiJ
記可動体竪力に固着しである。目1j記可動体(イ)の
前部には昇降台−が一体化され、このケを降台0匂の上
部には横方向出退自在なフォーク卿が配設ざれる。なお
昇降台(6)には、インバータ制御モータなどからなる
フォーク駆動装置−が設けられる。
前記棚(6)の本体(8)内において、全区画収納空間
θ1)の後面側にフィルター(ケミカルフィルター)(
ハ)を配設し、そしてフィルター(ハ)の後面側にエア
ーを供給するファンなどからなるエアー供給装置00を
該本体(8)内の下部に配設している。θηは?1i’
?Lブレーカーを示す。
θ1)の後面側にフィルター(ケミカルフィルター)(
ハ)を配設し、そしてフィルター(ハ)の後面側にエア
ーを供給するファンなどからなるエアー供給装置00を
該本体(8)内の下部に配設している。θηは?1i’
?Lブレーカーを示す。
以下に作用を説明する。搬入吊装置u4)を使用しての
、棚(6)の目的とする区画収納空間ell)に対する
荷α免の出し入れは、この搬入吊装置04)の一定経路
Q51上での走行動作と、昇降台θ埠の昇降動作と、フ
ォーク輪の横方向出退動作との組合わせ動作によ9行な
える。その際に腕木θ4に支持させ/こ#Iα4や、こ
の荷時の出し入れを行なうフォークθ榎などから塵埃が
発生して落下(〜だとき、この塵埃はその下方に位置し
ている横仕切板α0で受止められることになり、したが
って下段区画収納駅間uvで保管している葡04上に落
下堆積することは防止される。
、棚(6)の目的とする区画収納空間ell)に対する
荷α免の出し入れは、この搬入吊装置04)の一定経路
Q51上での走行動作と、昇降台θ埠の昇降動作と、フ
ォーク輪の横方向出退動作との組合わせ動作によ9行な
える。その際に腕木θ4に支持させ/こ#Iα4や、こ
の荷時の出し入れを行なうフォークθ榎などから塵埃が
発生して落下(〜だとき、この塵埃はその下方に位置し
ている横仕切板α0で受止められることになり、したが
って下段区画収納駅間uvで保管している葡04上に落
下堆積することは防止される。
このような作条中において、クリーンルーム(1)内で
は、フィルクー(3)を通って下吹きされるクリーンエ
アー(4)が下降し、そして下降するエアーを床(5)
下に吸引することから、そのクリーン度は確保されてい
る。またフォーク(ハ)などを支持する可動体(6)の
昇降時においては、シート幕に)Oυのうちの一方が自
動的に繰出され、1だ他方が巻取られることから、この
βI動体(イ)が通るスリット(ハ)は常に内側からシ
ーlvされた状態にある。したがって角筒体のυ内に配
設した昇降駆動装置次(ハ)や昇降駆動装置6〃から発
生した塵埃は該角筒体Qv内にとどまって棚(6)側に
移行するのを防止し得る。その際に作動されている吸引
装置(イ)によって下端開放部脅に吸引力が作用してい
ることから、前述したように角筒体ψυ内にとどまって
いる塵埃は吸引流に乗って下端囲敷部四から貫通部四を
辿って床(5ンに向けて排出され、全て床(5)下に1
吸引除去きれることになる。また、このような作用中に
おいて角筒体(jl)内が負圧化されようとするが、こ
れはヌリット曽を通ってのクリーンエアー(4)の流入
によって解消できる。さらに外から内へのクリーンエア
ー(4)の流入により、スリットψaを通っての塵埃の
流出をR実に防止し得る。その際にクリーンエアー94
)の流入は、シート幕顛II)による規制でスリン1−
(至)の長さ方向においてほぼ均一に行なわれることか
ら、角筒体■υ内の上下方向のとの位置で発生した塵埃
でも確史に除去し得る。前記棚(6)においては、エア
ー供給装置16)の作動によって、クリーンル−ム(1
)内の空気を本体(8)内に吸引すると共に、フ−(/
L/グー岬に対して後面側から供給する。これにより壁
気はフィルター00を通ってクリ−シェアー(ハ)とな
9、そして各区画収納駅間(1υにおいて、その後面側
から搬入吊装置α4NC,苅回するr4i1而側に向け
て流出させ得る。したがってクリーンエアーに)の流れ
により、横仕切板OQ上に堆積されようとする塵埃全吹
出し除去し得、さらに搬入吊装置α勇側から入っ−Cと
ようとする塵埃をμ11止し得る。
は、フィルクー(3)を通って下吹きされるクリーンエ
アー(4)が下降し、そして下降するエアーを床(5)
下に吸引することから、そのクリーン度は確保されてい
る。またフォーク(ハ)などを支持する可動体(6)の
昇降時においては、シート幕に)Oυのうちの一方が自
動的に繰出され、1だ他方が巻取られることから、この
βI動体(イ)が通るスリット(ハ)は常に内側からシ
ーlvされた状態にある。したがって角筒体のυ内に配
設した昇降駆動装置次(ハ)や昇降駆動装置6〃から発
生した塵埃は該角筒体Qv内にとどまって棚(6)側に
移行するのを防止し得る。その際に作動されている吸引
装置(イ)によって下端開放部脅に吸引力が作用してい
ることから、前述したように角筒体ψυ内にとどまって
いる塵埃は吸引流に乗って下端囲敷部四から貫通部四を
辿って床(5ンに向けて排出され、全て床(5)下に1
吸引除去きれることになる。また、このような作用中に
おいて角筒体(jl)内が負圧化されようとするが、こ
れはヌリット曽を通ってのクリーンエアー(4)の流入
によって解消できる。さらに外から内へのクリーンエア
ー(4)の流入により、スリットψaを通っての塵埃の
流出をR実に防止し得る。その際にクリーンエアー94
)の流入は、シート幕顛II)による規制でスリン1−
(至)の長さ方向においてほぼ均一に行なわれることか
ら、角筒体■υ内の上下方向のとの位置で発生した塵埃
でも確史に除去し得る。前記棚(6)においては、エア
ー供給装置16)の作動によって、クリーンル−ム(1
)内の空気を本体(8)内に吸引すると共に、フ−(/
L/グー岬に対して後面側から供給する。これにより壁
気はフィルター00を通ってクリ−シェアー(ハ)とな
9、そして各区画収納駅間(1υにおいて、その後面側
から搬入吊装置α4NC,苅回するr4i1而側に向け
て流出させ得る。したがってクリーンエアーに)の流れ
により、横仕切板OQ上に堆積されようとする塵埃全吹
出し除去し得、さらに搬入吊装置α勇側から入っ−Cと
ようとする塵埃をμ11止し得る。
上記実施例においては、搬人出装置1“40勺として1
汲引装呟四を採用した塵埃除去形式を示したが、捌(6
)がクリーンエアーO→を吹出す形式であるので、該搬
入吊装置a<は通常形式のもの全採用してもよい。
汲引装呟四を採用した塵埃除去形式を示したが、捌(6
)がクリーンエアーO→を吹出す形式であるので、該搬
入吊装置a<は通常形式のもの全採用してもよい。
図面は本発明の一実施例を示し、第1図は側面図、第2
図は平面図、第3図は一部り大正面図、第4図は搬入出
装隨の一部切欠側面図、第5図は同一部切欠平面図、第
6図は棚の側面図である。 (1)・・・クリーンルーム、(2)・・・天井、(3
) 山フィルター、(4)・・・クリーンエアー、(5
)・・・床、(6)・・・(朋、(8)・・・、本体、
(9)・・・−縦仕切板、叫・・・横仕切板、αυ・・
・区画収納空間、(6)・・・腕木、(Lつ・・・荷、
(14+・・・搬入吊装置、(15・・・一定経路、卿
・・・フォーク、卿・・・フィルター、0縣l・・・エ
アー供給装置、(ハ)・・・クリーンエアー代理人 森
本 義 弘 手続補正書(1幻 昭和59年1月ら日 昭和 58 短詩 許 願第 150673 号2、発
明の名称 クリーンルーム内の荷保管設備 3補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 (364)大福機工株式会社 4、代 理 人 氏名 (680B)弁理出前 本 義 弘5、 の日付
(発送日) 昭和 年 月 日 6補正により増加する発明の数 7、補正の対象 O明細書の発明の詳細な説明の欄 0第10頁第1行日 「い。」の後に次の文を挿入する。 「第7図は別の実施例を示す。すなわち第7図の左半図
においては棚(6)の後面側下部にフィルターに)を配
設しており、また右半図においては棚(6)の後面側上
部にフィルター(ハ)を配設している。このような別の
実施例によると、前実施例のように棚(6)の背面全、
I#:をフィルター−で使う必要がないので経済的であ
る。」0明細書の図面の簡単な説明の欄 0第10頁第6行目 「側面図である。」とある全「側面図、第7図は別の実
施例を示す一部切欠正面図である。」と訂正する。 0図面の一部 図面に第7図を追加する。
図は平面図、第3図は一部り大正面図、第4図は搬入出
装隨の一部切欠側面図、第5図は同一部切欠平面図、第
6図は棚の側面図である。 (1)・・・クリーンルーム、(2)・・・天井、(3
) 山フィルター、(4)・・・クリーンエアー、(5
)・・・床、(6)・・・(朋、(8)・・・、本体、
(9)・・・−縦仕切板、叫・・・横仕切板、αυ・・
・区画収納空間、(6)・・・腕木、(Lつ・・・荷、
(14+・・・搬入吊装置、(15・・・一定経路、卿
・・・フォーク、卿・・・フィルター、0縣l・・・エ
アー供給装置、(ハ)・・・クリーンエアー代理人 森
本 義 弘 手続補正書(1幻 昭和59年1月ら日 昭和 58 短詩 許 願第 150673 号2、発
明の名称 クリーンルーム内の荷保管設備 3補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 (364)大福機工株式会社 4、代 理 人 氏名 (680B)弁理出前 本 義 弘5、 の日付
(発送日) 昭和 年 月 日 6補正により増加する発明の数 7、補正の対象 O明細書の発明の詳細な説明の欄 0第10頁第1行日 「い。」の後に次の文を挿入する。 「第7図は別の実施例を示す。すなわち第7図の左半図
においては棚(6)の後面側下部にフィルターに)を配
設しており、また右半図においては棚(6)の後面側上
部にフィルター(ハ)を配設している。このような別の
実施例によると、前実施例のように棚(6)の背面全、
I#:をフィルター−で使う必要がないので経済的であ
る。」0明細書の図面の簡単な説明の欄 0第10頁第6行目 「側面図である。」とある全「側面図、第7図は別の実
施例を示す一部切欠正面図である。」と訂正する。 0図面の一部 図面に第7図を追加する。
Claims (1)
- 工 天井側からクリーンエア〜を下吹きし、下降するエ
アーを床下に吸引するクリーンルーム内に、上下方向な
らびに横方向に複数の区画収納空間を有する棚と、この
棚に沿った一定経路上を走行自在で且つ昇降ならびに横
方向出退自在なフォークを有する搬人出装置を設け、前
記棚は、前記搬入小装置に対向する前面を開放すると共
、に、後面側にフィルターを配設し、このフィルターを
通して各区画収納空間内にクリーンエアーを供給するエ
アー供給装置を設けたことを特徴とするクリーンル−ム
内の荷保管設備。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15067383A JPS6044404A (ja) | 1983-08-17 | 1983-08-17 | クリ−ンル−ム内の荷保管設備 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15067383A JPS6044404A (ja) | 1983-08-17 | 1983-08-17 | クリ−ンル−ム内の荷保管設備 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2340767A Division JPH0649523B2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | クリ−ンル−ム内の荷保管設備 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6044404A true JPS6044404A (ja) | 1985-03-09 |
JPH0141561B2 JPH0141561B2 (ja) | 1989-09-06 |
Family
ID=15501968
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15067383A Granted JPS6044404A (ja) | 1983-08-17 | 1983-08-17 | クリ−ンル−ム内の荷保管設備 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6044404A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61263502A (ja) * | 1985-05-16 | 1986-11-21 | Tokyo Electron Ltd | 清浄化装置 |
JPS61263503A (ja) * | 1985-05-16 | 1986-11-21 | Tokyo Electron Ltd | 清浄化装置 |
JPS6240432U (ja) * | 1985-08-30 | 1987-03-11 | ||
JPS62121102A (ja) * | 1985-11-20 | 1987-06-02 | Teru Saamuko Kk | 炉処理装置 |
JPS63116406U (ja) * | 1987-01-20 | 1988-07-27 | ||
JPH03249006A (ja) * | 1990-02-27 | 1991-11-07 | Daifuku Co Ltd | 除電装置付きの荷保管装置 |
EP0497281A2 (en) * | 1991-01-29 | 1992-08-05 | Shinko Electric Co. Ltd. | wafer airtight keeping unit and keeping facility thereof |
JPH05132110A (ja) * | 1991-11-07 | 1993-05-28 | Daifuku Co Ltd | 除電装置付き荷捌装置 |
JP2013216482A (ja) * | 2012-04-12 | 2013-10-24 | Murata Machinery Ltd | 保管庫 |
WO2014067164A1 (zh) * | 2012-10-29 | 2014-05-08 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种堆垛机及静电消除装置 |
-
1983
- 1983-08-17 JP JP15067383A patent/JPS6044404A/ja active Granted
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPS61263503A (ja) * | 1985-05-16 | 1986-11-21 | Tokyo Electron Ltd | 清浄化装置 |
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JPH032484Y2 (ja) * | 1985-08-30 | 1991-01-23 | ||
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JPH0427121B2 (ja) * | 1985-11-20 | 1992-05-11 | Tel Sagami Ltd | |
JPS63116406U (ja) * | 1987-01-20 | 1988-07-27 | ||
JPH03249006A (ja) * | 1990-02-27 | 1991-11-07 | Daifuku Co Ltd | 除電装置付きの荷保管装置 |
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WO2014067164A1 (zh) * | 2012-10-29 | 2014-05-08 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种堆垛机及静电消除装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0141561B2 (ja) | 1989-09-06 |
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