JPS6044404A - クリ−ンル−ム内の荷保管設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、天井側からクリーンエアーを下吹きし、下降
するエアーを床下に吸引するクリーンルーム内に設置さ
れ、例えば半導体のような塵埃を極端にきらう物品（荷
）の保管に使用されるクリーンルーム内の前体官設やｔ
ｔｉに闇するものである。

一般的に荷保管設備は、上−ド方向ならびに横方向に複
数の区画収納駅間ケ有する棚と、この棚に沿った一定経
路上を走行自在で且つ昇降ならびに横方向出退・自在な
フＡ−りを有する搬人出装置とから構成される。このよ
うな荷保管設備においては、特にフォークを昇降させる
昇降案内装（Ｕや昇降駆動装置の部分に摩損などにょシ
多くの塵埃が発生し、しかも発生箇所が棚の近くである
ことがら、発生した塵埃は原画に吸引除去されることな
く棚に保管している前側に移行することになる。

これらのことがら、クリーンル−ム内での前体管の機械
化、自動化、すなわち前体管設置１ｉの採用は不可能で
あった。

本：ｆと明のＨ的とするところは、棚の各区画収納空間
において、その後面側から搬人出装置に対向する前面側
に向けてクリーンエアー流全生せしめて、この搬入小装
置のフォークを昇１峰びせる部分で発生した塵埃が棚側
に移行することを防止し得るクリーンルーム内の荷保管
設備をＪｌｉ供する点にめる。

上記目的を達成するために本発明におけるクリーンルー
ム内の荷保管設備は、天井側からクリーンエアーを下吹
きし、下降するエアーを床下に吸引するクリーンルーム
内に、上下方向ならびに横方向に複数の区画収納空間を
有する棚と、この棚に沿った一定経路上を走行自在で且
つ昇降ならびに横方向出退自在なフォークを有する搬入
吊装置を設け、前記棚は、前記搬入吊装置に対向する前
面を開放すると共に、後面側にフィルターを配設し、こ
のフィルターを通して各区画収納空間内にクリーンエア
ーを供給するエアー供給装置を設けて構成している。

かかる本発明構成によると、次のような効果を期待でき
る。すなわちエアー供給装置の作動によって、クリーン
ル−ム内の空気を吸引し、そしてフィルターを通して生
せしめたクリーンエアーを、棚の各区画収納空間におい
て、その後面側から搬人出装置に対向する前面側に向け
て流出させることができ、したがって搬入吊装置のフ］
−りを昇降させる部分で発生した最埃が棚側に移行する
ことを防止することができる。これによシフリーンルー
ム内での前体管の機械化、自動代金可能にできる。

以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。（
１）はクリーンルームで、天井（２）側からフィルター
（３）　ｆ：通してクリーンエアー（４ンを下吹きし、
下降するエアーをメツシュ形式の床（５）を通して該床
下に吸引するように構成しである。（６）は棚で所定の
通路（７）を置いて並設しである。これら棚（６）は、
前面の中間部から上部に亘った部分が開放する箱状の本
体（８）と、開放部において横方向に多数並設された縦
仕切板（９）、ならびに上下方向に多数並設された横仕
切板叫とからなり、内仕切板（９）四によって上下方向
ならびに横方向に夫々少数の区画収納空間ａυを形成す
る。各区画収納空間αυには夫々左右一対の腕木口が配
設され、これら腕木偏によって半導体などからなる荷時
を支持する。０ψは通路（７）内に配設した搬人出装置
で、前記棚（６）に沿った一定経路０う上を走行自在で
ある。すなわち通路（７）の下部には機枠Ｑｆ９を介し
て一対のレー）Ｖ　ＩＪ：θが配設され、搬入吊装置ａ
＜の本体Ｑ匂は複数個の車輪Ｑ呻を介してレー／Ｌ’α
η上に載置しである。そして本俸ａ樟には車輪り９に連
動する走行駆動装置（４）が設けられ、この走行駆動装
置に）は、衝撃の発生し難いＤＣサーボモータなどから
構成すると共に、最下段の区画収納空間Ｕよりも下方に
位置すべく配設している。前記本体（ト）の中央部から
は四角状の角筒体Ｑυが立設され、との角筒体Ｑυの上
端は天板（２）によシ閉塞されると共に、下端は下端開
放部−に形成され、また前面の中央には上下方向のスリ
ット（ハ）が形成されている。前記本体（へ）には下端
開放部翰に連通する上下方向の貫通部に）が形成され、
まだ貫通部に）に下方から対向する吸気ファンなどの吸
引装置（イ）が配設されている。（イ）はｎｉｆ記ヌリ
ソト弼を通って角筒体ｅυの内外に亘って位置する可動
体で、この角筒体ｅυに沿って昇降自在に配設しである
。すなわち角筒体（２η内にはＬＭガイド形式の昇降案
内装置（ハ）が配設され、この昇降案内装置＠は、角筒
体ｅｌυの後部内面に上下方向に取付け／こガイトレー
）Ｖ（イ）と、このガイドレール四に案内きれ且つ可動
体（ロ）の後部に取付けた被ガイド体（７）とから構成
される。さらに角筒体＆ＩＪ内には昇降駆ｆＬ！ｌ装置
ｌ、（〃が配設される。すなわち昇降駆動装置１イ６υ
は、天板（２）の近くに−＃＋３設しノこ上位輪体−４
と、下端開放部脅の近くに配設した下位幅１体得と、両
輪体６す■間に掛張され且つ可動体（ハ）に固着された
索体■と、前記下位輪体ＱＫ連動し且つ本体（ト）上に
搭載したインバータ制御モーターとから構成されている
。

前記索体■の後部側経路は角筒体■υの後外面側に取付
けた保護体に）内に位置し、この保護体（埒も下端のみ
開放している。なおインバータ制御モータに）や走行駆
動装置−の上方には保護カバー９切が設けられる。前記
角筒体θυ内の上端とＩ：端には、夫々ばねなどによシ
巻取シ（＝ｊ勢きれたドラム弼−が配設してあり、これ
らドラムＭ８１に巻取られるシート幕（ナイロン製など
）す＊　ｖｉｖのＩ’　Ｖｉ！Ｊならびに上端がｂｉＪ
記可動体竪力に固着しである。目１ｊ記可動体（イ）の
前部には昇降台−が一体化され、このケを降台０匂の上
部には横方向出退自在なフォーク卿が配設ざれる。なお
昇降台（６）には、インバータ制御モータなどからなる
フォーク駆動装置−が設けられる。

前記棚（６）の本体（８）内において、全区画収納空間
θ１）の後面側にフィルター（ケミカルフィルター）（
ハ）を配設し、そしてフィルター（ハ）の後面側にエア
ーを供給するファンなどからなるエアー供給装置００を
該本体（８）内の下部に配設している。θηは？１ｉ’
？Ｌブレーカーを示す。

以下に作用を説明する。搬入吊装置ｕ４）を使用しての
、棚（６）の目的とする区画収納空間ｅｌｌ）に対する
荷α免の出し入れは、この搬入吊装置０４）の一定経路
Ｑ５１上での走行動作と、昇降台θ埠の昇降動作と、フ
ォーク輪の横方向出退動作との組合わせ動作によ９行な
える。その際に腕木θ４に支持させ／こ＃Ｉα４や、こ
の荷時の出し入れを行なうフォークθ榎などから塵埃が
発生して落下（〜だとき、この塵埃はその下方に位置し
ている横仕切板α０で受止められることになり、したが
って下段区画収納駅間ｕｖで保管している葡０４上に落
下堆積することは防止される。

このような作条中において、クリーンルーム（１）内で
は、フィルクー（３）を通って下吹きされるクリーンエ
アー（４）が下降し、そして下降するエアーを床（５）
下に吸引することから、そのクリーン度は確保されてい
る。またフォーク（ハ）などを支持する可動体（６）の
昇降時においては、シート幕に）Ｏυのうちの一方が自
動的に繰出され、１だ他方が巻取られることから、この
βＩ動体（イ）が通るスリット（ハ）は常に内側からシ
ーｌｖされた状態にある。したがって角筒体のυ内に配
設した昇降駆動装置次（ハ）や昇降駆動装置６〃から発
生した塵埃は該角筒体Ｑｖ内にとどまって棚（６）側に
移行するのを防止し得る。その際に作動されている吸引
装置（イ）によって下端開放部脅に吸引力が作用してい
ることから、前述したように角筒体ψυ内にとどまって
いる塵埃は吸引流に乗って下端囲敷部四から貫通部四を
辿って床（５ンに向けて排出され、全て床（５）下に１
吸引除去きれることになる。また、このような作用中に
おいて角筒体（ｊｌ）内が負圧化されようとするが、こ
れはヌリット曽を通ってのクリーンエアー（４）の流入
によって解消できる。さらに外から内へのクリーンエア
ー（４）の流入により、スリットψａを通っての塵埃の
流出をＲ実に防止し得る。その際にクリーンエアー９４
）の流入は、シート幕顛ＩＩ）による規制でスリン１−
（至）の長さ方向においてほぼ均一に行なわれることか
ら、角筒体■υ内の上下方向のとの位置で発生した塵埃
でも確史に除去し得る。前記棚（６）においては、エア
ー供給装置１６）の作動によって、クリーンル−ム（１
）内の空気を本体（８）内に吸引すると共に、フ−（／
Ｌ／グー岬に対して後面側から供給する。これにより壁
気はフィルター００を通ってクリ−シェアー（ハ）とな
９、そして各区画収納駅間（１υにおいて、その後面側
から搬入吊装置α４ＮＣ，苅回するｒ４ｉ１而側に向け
て流出させ得る。したがってクリーンエアーに）の流れ
により、横仕切板ＯＱ上に堆積されようとする塵埃全吹
出し除去し得、さらに搬入吊装置α勇側から入っ−Ｃと
ようとする塵埃をμ１１止し得る。

上記実施例においては、搬人出装置１“４０勺として１
汲引装呟四を採用した塵埃除去形式を示したが、捌（６
）がクリーンエアーＯ→を吹出す形式であるので、該搬
入吊装置ａ＜は通常形式のもの全採用してもよい。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図は側面図、第２
図は平面図、第３図は一部り大正面図、第４図は搬入出
装隨の一部切欠側面図、第５図は同一部切欠平面図、第
６図は棚の側面図である。 （１）・・・クリーンルーム、（２）・・・天井、（３
）　山フィルター、（４）・・・クリーンエアー、（５
）・・・床、（６）・・・（朋、（８）・・・、本体、
（９）・・・−縦仕切板、叫・・・横仕切板、αυ・・
・区画収納空間、（６）・・・腕木、（Ｌつ・・・荷、
（１４＋・・・搬入吊装置、（１５・・・一定経路、卿
・・・フォーク、卿・・・フィルター、０縣ｌ・・・エ
アー供給装置、（ハ）・・・クリーンエアー代理人　森
　本　義　弘 手続補正書（１幻 昭和５９年１月ら日 昭和　５８　短詩　許　願第　１５０６７３　号２、発
明の名称 クリーンルーム内の荷保管設備 ３補正をする者 事件との関係　特許出願人 名称　（３６４）大福機工株式会社 ４、代　理　人 氏名　（６８０Ｂ）弁理出前　本　義　弘５、　の日付
（発送日） 昭和　年　月　日 ６補正により増加する発明の数 ７、補正の対象 Ｏ明細書の発明の詳細な説明の欄 ０第１０頁第１行日 「い。」の後に次の文を挿入する。 「第７図は別の実施例を示す。すなわち第７図の左半図
においては棚（６）の後面側下部にフィルターに）を配
設しており、また右半図においては棚（６）の後面側上
部にフィルター（ハ）を配設している。このような別の
実施例によると、前実施例のように棚（６）の背面全、
Ｉ＃：をフィルター−で使う必要がないので経済的であ
る。」０明細書の図面の簡単な説明の欄 ０第１０頁第６行目 「側面図である。」とある全「側面図、第７図は別の実
施例を示す一部切欠正面図である。」と訂正する。 ０図面の一部 図面に第７図を追加する。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 工　天井側からクリーンエア〜を下吹きし、下降するエ
   アーを床下に吸引するクリーンルーム内に、上下方向な
   らびに横方向に複数の区画収納空間を有する棚と、この
   棚に沿った一定経路上を走行自在で且つ昇降ならびに横
   方向出退自在なフォークを有する搬人出装置を設け、前
   記棚は、前記搬入小装置に対向する前面を開放すると共
   、に、後面側にフィルターを配設し、このフィルターを
   通して各区画収納空間内にクリーンエアーを供給するエ
   アー供給装置を設けたことを特徴とするクリーンル−ム
   内の荷保管設備。