JPH03192005A - クリーンルーム内の荷保管設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、クリーンルーム内に設置され、例えば半導体
のような塵埃とか温度変化を極端にきらう物品（荷）の
保管に使用されるクリーンルーム内の荷保管設備に関す
るものである。

一般的に荷保管設備は、たとえば特開昭５７−１５６９
０３号公報に見られるように、上下方向ならびに横方向
に複数の区画収納空間を有する保管棚と、その前面に設
けられたドアと、これら保管棚とドアの間に配置され、
保管棚に沿った一定経路上を走行自在で且つ昇降ならび
に横方向出退自在なハンドラを有する搬送手段とから構
成される。そして保管棚では、その背面にフィルタを取
付けると共に、このフィルタを通して清浄空気を保管棚
に供給するためダクトが、空気を下吹きする状態で配設
されている。

この従来形式によると、ダクト内を下吹きされる空気が
フィルターを通ることで清浄空気になり、そして清浄空
気が保管棚の背面側から搬送手段の走行領域に向けて供
給されることで、製品を、異物が付着することなく保管
などし得るとされている。

しかし、この従来形式の荷保管設備では、保管棚の背面
側から搬送手段の走行領域の方向へ供給された清浄空気
は本体の前面に設けられたドアに衝突しうす巻き状態と
なる。このため、保管棚とドアの間に配置されている搬
送手段から発生ずる粉塵や搬送手段に付着している粉塵
が舞い上がり、保管棚に収納している製品に付着すると
いった事態が生じ、製品が半導体の場合その特性が損な
われる。

更に、保管棚の背面側から搬送手段の走行領域の方向へ
流出する清浄空気は製品荷受部の開口部から排出される
と考えられるが、その場合は、搬送手段から発生する粉
塵が途中の床面に落ちてたまる。このたまった粉塵がう
す巻き状態となった空気や搬送手段の走行により舞い上
がって保管棚の製品に付着したり、又、空気流が開口部
に向って流れるため、開口部近傍の保管棚部分に粉塵が
付着しなりして、荷受部近傍に保管される製品に粉塵が
付着する恐れがある。

また、特開昭５７−１５６９０３号公報明細書には明示
されていないが、仮に保管棚から排出されたエアーが再
びエアー供給装置へ入るならば、エアーは循環状態にな
りエアーの温度は上昇する。

また、エアー供給用ダクトが棚上部に配置されているの
で、上昇温度によりエアーは棚上部に滞留し、そのため
、クリーンルーム全体の温度が次第に上昇する。

ここで棚に保管されている製品がウェハなどの半導体で
ある場合は、微細な温度変化に対して敏感であり、歩留
りに非常に悪影響を及ぼすことになる。

このように従来形式の荷保管設備ではエアーの温度上昇
に対する配慮がなされていない。

本発明の目的とするところは、棚の各区画収納空間にお
いて、その後面側から搬入上装置に対向する前面側に向
けてクリーンエアー流を生ぜしめて、この搬入出装置部
分で発生した塵埃が棚側に移行することを防止し得、し
かも使用しているクリーンエアーの少なくとも一部を欄
外の空気と置換し得るクリーンルーム内の荷保管設備を
提供する点にある。

上記目的を達成するために本発明におけるクリーンルー
ム内の荷保管設備は、クリーンルーム内に上下方向なら
びに横方向に複数の区画収納空間を有する棚と、この棚
に沿った一定経路上を走行自在で、荷出し入れｍ構を昇
降させて前記上下方向ならびに横方向に複数の区画収納
空間に対し荷を入出庫する荷出し入れ機構を有する搬入
上装置を設け、前記棚は、前記搬入上装置に対向する前
面を開放し、後面側の全面にフィルターを配設すると共
に、クリーンルーム内の空気を本体内に吸引して前記フ
ィルターの後面側からフィルターを通して各区画収納空
間に対し、搬入上装置に対向する前面側に向けてクリー
ンエアーを流出させるエアー供給装置を棚下古都に設け
ると共に、各区画収納空間から流出したエアーの少なく
とも一部は本体外の下方に排出されるように構成してい
る。

かかる本発明の構成によると、エアー供給装置の作動に
よって、棚の前面側に出てきた微細に温度上昇したクリ
ーンエアーの少なくとも一部を欄外に排出することから
、装置全体の温度上昇を抑えることができる。そしてフ
ィルターを通して生ぜしめたクリーンエアーを、棚の各
区画収納空間において、その後面側から搬入上装置に対
向する前面側に向けて流出させ、したがって搬入出装置
部分で発生した塵埃が棚側に移行することを防止し得る
。これによりクリーンルーム内での荷保管の機械化、自
動化が可能となる。

以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。１
はクリーンルームで、天井２側からフィルター３を通し
てクリーンエアー４を下吹きし、下降するエアーをメツ
シュ形式の床５を通して該床下に吸引するように構成し
である。６は棚で所定の通路７を置いて並設しである。

これら棚６は、前面の中間部から上部に亘っな部分が開
放する箱状の本体８と、開放部において横方向に多数並
設された縦仕切板９、ならびに上下方向に多数並設され
た横仕切板１０とからなり、両仕切板９．１０によって
上下方向ならびに横方向に夫々複数の区画収納空間１１
を形成する。各区画収納空間１１には夫々左右一対の腕
木１２が配設され、これら腕木１２によって半導体など
からなる荷１３を支持する。１４は通路７内に配設した
搬人出装置で、前記棚６に沿った一定経路１５上を走行
自在である。

すなわち通路７の下部には機枠１６を介して一対のレー
ル１７が配設され、搬入出装置１４の本体１８は複数個
の車輪１９を介してレール１７上に載置しである。そし
て本体１８には車輪１９に連動する走行駆動装置２０が
設けられ、この走行駆動装置２０は、衝撃の発生し難い
ＤＣサーボモータなどから構成すると共に、最下段の区
画収納空間１１よりも下方に位置すべく配設している。

前記本体１８の中央部からは四角状の角筒体２１が立設
され、この角筒体２１の上端は天板２２により閉塞され
ると共に、下端は下端開放部２３に形成され、また前面
の中央には上下方向のスリット２４が形成されている。

前記本体１８には下端開放部２３に連通ずる上下方向の
貫通部２５が形成され、また貫通部２５に下方から対向
する吸気ファンなどの吸引装置２６が配設されている。

２７は前記スリット２４を通って角筒体２１の内外に亘
って位置する可動体で、この角筒体２１に沿って昇降自
在に配設しである。すなわち角筒体２１内にはＬＭガイ
ド形式の昇降案内装置２８が配設され、この昇降案内装
置２８は、角筒体２１の後部内面に上下方向に取付けた
ガイドレール２９と、亡のガイドレール２９に案内され
且つ可動体２７の後部に取付けた被ガイド体３０とから
構成される。さらに角筒体２１内には昇降駆動装置３１
が配設される。すなわち昇降駆動装置３１は、天板２２
の近くに配設した上位輸体３２と、下端開放部２３の近
くに配設した下位輪体３３と、両輪体３２．３３間に掛
張され且つ可動体２７に固着された索体３４と、前記下
位輪体３３に連動し且つ本体１８上に搭載したインバー
タ制御モータ３５とから構成されている。前記索体３４
の後部側経路は角筒体２１の後外面側に取付けた保護体
３６内に位置し、この保護体３６も下端のみ開放してい
る。なおインバータ制御モータ３５や走行駆動装置２０
の上方には保護カバー３７が設けられる。前記角筒体２
１内の上端と下端には、夫々ばねなどにより巻取り付勢
されなドラム３８．３９が配設してあり、これらドラム
３８．３９に巻取られるシート幕（ナイロン製など）４
０、４１の下端ならびに上端が前記可動体２７に固着し
である。前記可動体２７の前部には昇降台４２が一体化
され、この昇降台４２の上部には横方向出退自在な荷出
入れ機構の一例であるフォーク４３が配設される。なお
昇降台４２には、インバータ制御モータなどからなる荷
出入れａ相駆動装置４４が設けられる。

前記棚６の本体８内において、全区画収納空間１１の後
面側にフィルター（ケミカルフィルター）４５を配設し
、そしてフィルター４５の後面側に下方からエアーを供
給するファンなどからなるエアー供給装置４６を該本体
８内の棚下古都に配設している。４７は漏電ブレーカ−
を示す。

以下に作用を説明する。搬入出装置１４を使用しての、
棚６の目的とする区画収納空間１１に対する荷１３の出
し入れは、この搬入出装置１４の一定経路１５上での走
行動作と、昇降台４２の昇降動作と、フオーク４３の横
方向出退動作との組合わせ動作により行なえる。その際
に腕木１２に支持させた荷１３や、この荷１３の出し入
れを行なうフォーク４３などから塵埃が発生して落下し
たとき、この塵埃はその下方に位置している横仕切板１
０で受止められることになり、したがって下段区画収納
空間１１で保管している荷１３上に落下堆積することは
防止される。

このような作業中において、クリーンルーム１内では、
フィルター３を通って下吹きされるクリーンエアー４が
下降し、そして下降するエアーを床５下に吸引すること
から、そのクリーン度は確保されている。またフォーク
４３などを支持する可動体４２の昇降時においては、シ
ート幕４０．４１のうちの一方が自動的に繰出され、ま
た他方が巻取られることから、この可動体２７が通るス
リット２４は常に内側からシールされた状態にある。し
たがって角筒体２１内に配設した昇降案内装置２８や昇
降駆動装置３１から発生した塵埃は該角筒体２１内にと
どまって棚６側に移行するのを防止し得る。その際に作
動されている吸引装置２６によって下端開放部０ ２３に吸引力が作用していることから、前述したように
角筒体２１内にとどまっている塵埃は吸引流に乗って下
端開放部２３から貫通部２５を通って床５に向けて排出
され、全て床５下に吸引除去されることになる。また、
このような作用中において角筒体２１内が負圧化されよ
うとするが、これはスリット２４を通ってのクリーンエ
アー４の流入によって解消できる。さらに外から内への
クリーンエアー４の流入により、スリット２４を通って
の塵埃の流出を確実に防止し得る。その際にクリーンエ
アー１４の流入は、シート幕４０．４１による規制でス
リット２４の長さ方向においてほぼ均一に行なわれるこ
とから、角筒体２１内の上下方向のどの位置で発生した
塵埃でも確実に除去し得る。

前記棚６においては、エアー供給装置４６の作動によっ
て、クリーンルーム１内の空気を本体８内に吸引すると
共に、フィルター４５に対して後面側から供給する。こ
れにより空気はフィルター４５を通ってクリーンエアー
４８となり、そして各区画収納空間１１において、その
後面側から搬入出装置１４１ に対向する前面側に向けて流出させ得る。

上記クリーンルーム１の空気を本体８内に吸引する場合
、例えばその吸入口を棚６の前面下部に設けた場合は、
区画収納空間１１から流出したクリーンエアー４８は通
路７間を下方に流れて棚前面下部の吸入口へ吸収される
ので、通路７間を下降するエアーはみだれることなく強
力なダウンフローとなる。しかし、棚６の前面下部に設
けた吸入口から吸引された空気はエアー供給装置４６で
あるファンにより再び棚へ送り出されるため、ファンを
通る空気は循環状態となり、ファンの発熱を除去する配
慮がない場合は空気の温度が次第に上昇することになる
。このため、棚６に保管されている荷１３が半導体の場
合、微細な温度変化に対して非常に敏感であることから
、この温度上昇により歩どまりに多大な影響を及ぼす。

また、ファンの吸入口を棚前面下部と棚後面下部に設け
た場合、区画収納空間１１から流出したクリーンエアー
４８の一部は棚前面下部の吸入口へ、残りは棚後面下部
の吸入口へ吸引されることにな２ る、このため、通路７を下降し棚前面下部の吸入口へ吸
引される一部のエアーはみだれることなく、ダウンフロ
ーとなるが、ファンにより再び棚６へ送り出されるので
ファンを通る空気は循環状態になり、ファンの発熱によ
り空気の温度が次第に上昇する。

一方、棚後面下部の吸入口へ吸引される残りのエアーも
循環エアーとなるためファンを通る空気の温度は次第に
上昇する。それゆえ、棚６に保管される半導体の歩どま
りに多大な影響を及ぼす。

また、ファンの吸入口を棚６の後面下部に設けた場合で
も区画収納空間１１から流出したクリーンエアー４８は
棚後面下部の吸入口へ吸引され、循環エアーとなるため
、ファンを通る空気の温度は次第に上昇する。それゆえ
、この場合においても、棚６に保管される半導体の歩ど
まりに多大な影響を及ぼす。

上記した本発明の構成によると次のような効果を期待で
きる。すなわちエアー供給装置の作動により棚の前面側
に出てきた微細に温度上昇したり３ リーンエアーの少なくとも一部を欄外に排出するから装
置全体の温度上昇を抑えることができる。

また、各区画収納空間から流出したエアーを下方に吸引
させるように構成したので、各区画収納空間から流出し
たエアーが通路でうす巻き状態になることがなく、搬入
出装置から発生する粉塵が舞い上がり、保管棚に収納さ
れている製品に粉塵が付着するといったことがない、更
に、通路床面に粉塵がたまることがないので各区画収納
空間がら流出するエアーにより床面から粉塵が舞い上が
り、保管棚に収納されている製品に粉塵が付着するとい
った事態は生じない。

従って、本発明の荷保管設備は半導体のように温度変化
や粉塵を極端にきらう物品に悪影響を及ぼすことを防止
し、歩どまりに好適な荷保管を行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示し、第１図は側面図、第２
図は平面図、第３図は一部切欠正面図、第４図は搬入出
装置の一部切欠側面図、第５図は４ 同一部切欠平面図、第６図は棚の側面図である。 １・・・クリーンルーム、２・・・天井、３・・・フィ
ルター、４・・・クリーンエアー、５・・・床、６・・
・棚、８・・・本体、９・・・縦仕切板、１０・・・横
仕切板、月・・・区画収納空間、１２・・・腕木、１３
・・・荷、１４・・・搬入出装置、１５・・・一定経路
、４３・・・フォーク（荷出入れ機構の一例）、４５・
・・フィルター、４６・・・エアー供給装置、４８・・
・クリーンエアー

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、クリーンルーム内に上下方向ならびに横方向に複数
   の区画収納空間を有する棚と、この棚に沿った一定経路
   上を走行自在で、荷出し入れ機構を昇降させて前記上下
   方向ならびに横方向に複数の区画収納空間に対し荷を入
   出庫する荷出し入れ機構を有する搬入出装置を設け、前
   記棚は、前記搬入出装置に対向する前面を開放し、後面
   側の全面にフィルターを配設すると共に、クリーンルー
   ム内の空気を本体内に吸引して前記フィルターの後面側
   からフィルターを通して各区画収納空間に対し、搬入出
   装置に対向する前面側に向けてクリーンエアーを流出さ
   せるエアー供給装置を棚下方部に設けると共に、各区画
   収容空間から流出したエアーの少なくとも一部は本体外
   の下方に排出されるようにしたことを特徴とするクリー
   ンルーム内の荷保管設備。