JPS6038648A - 誘導性センサ装置および同装置使用のための測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は特許請求の範囲第１項に記載の上位概念に基づ
く誘導性センサ装置に関する。

記載方式の誘導性センサ装置は種々の実施態様で既知で
あり、たとえば欧州特許登録第７０６４号またはフラン
ス特許登録第２，３　９　４，７　８３号あるいはそれ
らの異議申立書に記載されている。これらのセンサ装置
はいすれも共通して、非磁性体または強磁性体材料−＼
の接近による振動回路の誘導が材料の磁性特性、減衰お
よび／または渦電流形成により変化し、この誘導はある
一定範囲内では対象物距離の関数であることを基礎とし
ている。

これらのセンサ装置は解像度に限界があり、とくにたと
えば裂は目、孔または***部のような対象物の不規則部
を高い精度で計測することには不適当である。これらは
むしろ距離計測に使用が限定される。本発明は高い解像
度と高い計測精度とを可能とし、また対象物の不規則な
表面形状においても使用ｏＪ能である誘導性センサ装置
を提供することの課題を基＋Ｗとしている。センサ装置
はさらに構面が簡雫で使用に際し頑丈であることが必要
である。

この課題は本発明により、まず発信コイルおよび／また
は受信コイルはメタル層として、平坦で非２！７電性コ
イル担持体の少くとも１方の表面に担持さｔｌているこ
とで達成される。たとえば厚層フィルム技術または薄層
フィルム技術による平坦ベース」−へのこのような導電
層の担持はコイルの形状形成において無限の可能性を許
容する。平坦ベースは他方最も簡単で最も有利に多層コ
イル装置への１積層コないしは組合わせを可能とし、ま
た適切材料の選択により変形とぐに彎曲を可能としこれ
により対象物の表面への適訃な可能とする。

本発明の構成によりまた１個のコイル担持体上しかもコ
イル担持体の両面に複数個のコイルの具備を可能とする
。したがって、たとえば最も簡単な方法としては受信コ
イルはコイル担持体の対象物に面する側にまた発信コイ
ルはコイル担持体の対象物とは反対の面に具備すること
を可能とする。

これにより、小なる構成高さ、小なるコイル寸法、した
がって高い解像度が確保されるばかりでなく受信コイル
相互間ならびに受信コイルと発信コイル間の構造上に起
因する距離変化は回避可能である。したかつて製作誤差
は最低に減小可能でたとえば使用中の４ｆｉ械的障害も
回避可能である。

本発明により複数個のコイルがコイル担持体上に対称（
軸対称または点対称）に配設されるセンサ装置が実現可
能であることはとくに有利である。

このような対ＦＩト配設は裂は目の追跡および／または
対象物不規則面上でのセンサのセンタリングに最適でと
くに有利である。

不規則な表面を有する対象物に適合させるために対象物
に対し２個またはそハ以上の相互に隣接して配設された
コイル担持体を具備可能であることは有利である。本発
明による手段、すなわち彎（１１巨ＪＪ’Ｍヒな平坦ベ
ースの挿入、および／または複数個のコイル担持体の相
伝重ね合わせによる積層、および／またはコイル担持体
の隣接するおよび／または相〃に角をな丁配設等の組合
せにより従来改成不１丁能であった方法で実際にこの簡
の誘導センサに課された課題が解決ｏＪ能である。

センサ装置は少くとも１個の受信コイルと発信コイルと
を具備し、ここで該発信コイルは発撮器、とくにＩＩＦ
発掘器に接続されまた受信コイルは対象物とセンサ装置
との相対位置変化に応じた位相変化および／または電圧
変化な剖１１１１１するための評価回路に接続されてい
るところのセンサ装置の相対位置計測のため４測装置へ
の本発明によるセンサ装置の使用はとくにきわめて有利
である。解１埃度の向上および／または特殊な測定要求
または特殊な対象物への適合のためにここで本発明によ
り、少くとも受信コイルおよび／または発信コイルは少
くとも２個の部分コイルに分割されていること、および
部分コイルの一方および／または他方を評価回路に選択
接続するための切換装置を具備していることが提案され
る。ここで該部分コイルが対象物に対し異なる作用をな
すコイル平面を提示′する場合、たとえば大なる１山獲
領域を確保するために犬なる表面を有するコイルが対象
物接近の間に評価回路と接続され、−万作用のより小な
るコイル表面を有するコイルは接近の終結後Ｊ′ｒ価回
路に接続することが可能であるが、これらは解鐵度およ
び操作精度の向上を確実に行なうためのものである。た
とえば一方では距離の計測をまた他方では対象物の不規
則部に対する相χＪ位置の開側を実行するという場合の
ように設定課題に応じてコイル表面が切換装置を介して
任意に直列またはその逆に切換えることもまた思考可能
である。

部分コイルの１り換えのための切換装置の使用（は、明
らかにそれ自体すでにこの独の計測装置の実質的な改良
へとつながっている。これにより必要なコイル数は減少
可能であると同時に場合によってはただ１個の評価回路
で距離の計１１１１１ならび対象物の不規則部に苅する
横方向相対位置の計測に交互てまたザイクリックに利用
可能であるという方法で評価回路は簡明化が可能である
。切換装置を有する開側装置と組み合わせて、本発明に
よる誘導性センナ装置を利用すれば、広範囲な利用可能
性、機械的安定性ならびに機械的影響に対する抵抗性を
基礎としてとくに顯著な結果を提供する。

以下図により本発明を実施例で詳細に説明する。

第１ａ図および第１ｂ図において、自動溶接装置で使用
されているような、ここで略図で示したイナートカス溶
接ノズルＳの周囲にリング状コイル担持体２が具備され
、該コイル担持体上に厚層フィルム技術でその上側に発
信コイル１がまたその下側に第１の受信部分コイル４ａ
および第２の受信部分コイル４ｂが配設されている。受
信部分コイル４ａおよび４ｂは軸対称に形成され切断で
分割された板７の両半分の上方に位置する。発信コイル
１により電磁界が励起され該電磁界は板７内に渦電流を
惹起し、該渦電流は一方部分コイル４ａおよび４ｂに影
響を及ぼす。両方の受（ｇコイル４ａおよび４ｂの対称
性の理由で、イナートガス溶接ノズルＳおよびそ八に伺
属の発信コイル１と受信部分コイル４ａならびに４ｂと
からなる装置が板７の切断面７ａ上の中央に存在する限
り、これら受信コイルは明らかに同一の影響を受ける。

しかしながら、ひとたび中心移動が発生すると部分コイ
ルは異なる影響を受け出力端４ａ−１，４ａ−２なし・
し４ｂ−１，４ｂ−２に位相および／または振幅の異な
る出力電圧が発生し、該出力電圧は既知の方法で評価さ
れ中心移動の量に比例する信号の提供に利用可能である
。

コイル担持体２を比較的薄いコイル積層を有するリング
板として形成することにより全体配設はきわめてコンパ
クトにして溶接部近傍に配設が可能でこれは高い計測精
度を確保する。この場合、セラミックベース上への厚層
技術または薄層フィルム技術が高温雰囲気をも可能とす
る。

第２図はコイル担持体２上に４個の受信部分コイル４ａ
１．４ａ２，４１Ｊ１，４１３２が配設されているセン
サ装置を示す。ここで部分コイル４ａ−１および４ａ−
２は部分コイル４ａ−２および４＆３−２と軸対称に配
設されている。部分コイル４ａ−２および４１）　−２
は対称軸からより犬なる距離にあるのでたとえば第１ａ
図の切断面７ａのような対象物の不規則部に接近した場
合、明らかにより大なるｌ−捕獲領域」かえられる。す
なわちセンサ装置が切断面７ａに（たとえば上方から）
接近した場合まず外側から位置する部分コイル４ａ−２
および４１１−２の評価により犬なる確実性をもって裂
げ１．、Ｊ　７　；ｌによって与えられる不規則部は発
信コイル１により馬えらｆ’Ｌる１１１”−磁界の影響
内にて１探知」可能である。センサ装置が切断部Ｚａ上
の近傍に配置されれば該対象物の不規則部の近傍て部分
コイルに配置されることとなる。この目的のためにこの
ときは内方に位置する部分コイル４ａ１および４ｂ１か
らえられる信号が評価可能で、これにより高度な追跡精
度が達成可能である。

第２ｂ図は第２ａ図に類似の実施例を示すがここでは部
分コイル４ａ−１，４ａ−２，４ｂ−１，４ｂ−２は長
方形に走行する軌道を有している。第２Ｃ図は計測装置
のブロック線図を示し、第２ａ図または第２ｂ図のセン
サ装置の信号は該計測装置内で評価可能である。ここで
発信コイル１はＩＩＦ−発振器ろで励起される。受信コ
イル４ａ−１および４ｂ−１は巻線方向が逆に接続され
第１の増幅器乙の入力端に接続されている。部分コイル
４ａ−１および４ｂ−１の逆方向接続により、部分コイ
ルが対象物に対し対称に影響を受ける限りその出力電圧
は相殺されてゼロとなる。しかしながら非ズ；１称が発
生してたとえば切断部７２１がもはやコイル装置の対称
軸と正確に一致しなくなった場合、両方の部分コイルは
切断部のために一方はより弱く他方はより強く影響を受
ける。増幅器６は振幅比較器および／または位相比較２
ルとして形成されＩ−Ｉ　Ｆ−発振器６から基準電圧を
受ける。部分コイル４ａ−１，４ｂ−１内の各々の非対
称は合成信号の振幅変動および／または位相移動となり
、したがって増幅器乙の出力端に信号が発生する。同様
に外方に位置−Ｔる受信部分コイル４ａ−２，４ｂ−２
も逆方向に接続されて増幅器６ａの入力端に接続され、
該増幅器も同様に位相比ｆ器として形成され基準入力な
介してＩＩ　Ｆ−発振器と結合されている。

両方の増幅器６および６ａは出力側が切換装置６と接続
されている。切換装置８が開であること、すなわち増幅
器乙の出力端のみが切換装置８を介して加算増幅器６１
）に接続さ肛た状態である限り、計測装置の出力；ｉｆ
、；、　９に達する信号はもっばら内方に位置する部分
コイル４ａ−１および４ｂ−１の測定信号から来るもの
である。これにより、対象物ｔ（作用するコイル平面が
小なることがら丁でにわずかに移動しても評価ｉＪ能な
対称関係変動とすることかり能である。一方切換装置８
が閉とされると、増幅器６ａの出力も加算増幅器６ｂの
入力端に伺カロされ、これにより外方に位置する部分コ
イル４ａ−２および４ｂ−２から送られる信号も出力端
９における加算信号に付加される。４ａ−１ないし４ｂ
−２の装置全体のすべての８１５分コイルからなるより
大なる作用コイル平面により、切換装置８のこの開閉状
態では測定装置の大なる捕獲領域が確保され、この捕獲
領域は対象物７から犬なる距離にあってもなお対象物の
不規則部を評価可能に「確認」しうる範囲内にある。こ
の場合複数個のこのような部分コイルが具備されている
とき、一種の「景観図」すなわちセンザ製置五ドの対象
物の図がえられることはきわめて有利である。

ここでコイル表面（は段階的に小または犬となすことが
可能である。切換がシーケンシャルな切換装置（走査装
置）で達成可能であることは有オ］」で、この場合側々
の切換段の計ｔｉｌｌ値はたとえばマイクロプロセッサ
で処理可能である。

第６図は第２ｃ図の装置に類似して構成されている計測
装置の実施例を示Ｊ−ｏ前述の装置との相違は切換装置
８が専ら受信部分コイル４ａ−１゜４ａ−２，４ｂ−１
，４ｂ−２の出力端と直接結合されていることであって
、したがって大なる１術獲頴域を有する一方の位置と犬
なる解像能力を有する第２の位置との間の切換は増幅器
６の１油で行われることである。ここで明らかなように
受信部分コイル４ａ−１ないし４ｂ−２から導入された
信号は直接相互に逆方向に接続され、第２Ｃ図の回路と
同様な結果をうる。

第４ａ図は円形形状の部分コイル４ａ−１，４ａ−２゜
４１）−１および４ｂ−２’に有する誘導性センサ装置
を示ｒ０発信コイル１はコイル担持体２の上面に配設さ
れている（第４１）図）。記述のセンサ装置は受信部分
コイル４ａ−１，４ａ−２＋４ｂ−１＋４ｂ−２からえ
もれた信号の評価ののち、裂は目７ａに対するコイル担
持体２の対称軸Ｘの相対位置に関する出力情報と同様に
点状の対象物の不規則部に対すイ）相司位置の決定も可
能とする。これは受信コイルの対角線に位置する対すな
わち４ａ−１，４ｂ−２および４ａ−２，４ｂ−１の出
力信号の比較で可能である。

第５図はコイル担持体２が彎曲しやすい材料から製作さ
れしたがって２個のメタル片７ｂおよび７Ｃの彎曲面に
適合可能な実施例を示す。

第６図は２個のメタル部分７ｂおよび７ｃの表面形状に
適合するように２個のコイル担持体２ａおよび２ｂが相
互に角をなして配設されている実施例を示す。これらの
実施例は本発明にょるセンサ装置の広範囲な利用可能性
を示す。図示の変更態様においては使用例および運転条
件等に応じて彎曲しや゛すい絶縁材料、セラミック、ガ
ラス等からなるコイル担持体が使用可能である。専門家
には適切な材料がよく知られている。

第７ａ図および第７１〕図は「積層」すなわち種々のコ
イル担持体の電像結合によりセンサ装置がさらにいか如
改善されるかを見や丁〈示している。

明確な記述を可能とするために第７ａ図においては２個
のコイル担持体２ａおよび２１〕は相互に肖゛う離して
記載さ九ている。最終の組立形状ＩＩ第７１）図で明瞭
なように両方のコイル担持体２ａおよ０・２ｂは相互に
糊着さｎ固く結合されている。両方のコイル担持体２ａ
および２ｂは受信部分コイル４ａ−ｉ、４ｂ−１、ない
しは４ａ−２，４ｂ−２を具イＩｉｆｉし、これらはコ
イル担持体２上に薄層フィルム技術でそれぞれほぼＤ形
状および軸対称に担持されている。ここで対称軸Ｘ１お
よびＸ２は相互に直交して二等分している。これにより
第７ｂ図の実施例のように受信部分コイルは発信コイル
１ないしは対象物（図示なし）の非対称により影響を受
ける。しかしながらこの場合コイル形状（Ｄ形状）によ
り、対称軸に平行に走行する巻線部分が比較的短かい１
個づつのコイルの配設の場合よりもより良好な解像度か
えられる。

第８ａ図および第８ｂ図は４個のコイル担持体２ａ、２
ｂ、２ｃおよび２ａを有するセンサ装置の変′咀１凛様
を示す。第７図の実施例と類似してコイル担持体２ａお
よび２ｂ上に発信コイル１ならびに受信部分コイル４ａ
−１，４ｂ−１，４ａ−２，および４１）　−２がＤ形
状に配設されている。第６のコイル担持体２Ｃ上にさら
にリング状の第６の受信部分コイル４Ｃが具備され、該
コイルはセンサ装置と対象物との間の距離の計測に利用
可能である。

さらに第４のコイル担持体２ａ上にコンデンサとして働
くさらに２個の円形導体１１．１２が配設され、該導体
は既知の方法で、センサ装置と対象物との間の静電容量
的距離計測のための装置に結合可能である。この静電容
量電極１１．１２は個々にセンサ装置の対象物７ｂ、７
ｃに対する距離を高精度に計測することを可能とする。

コンデンサ電極１１および１２は第８ｂ図から明らかな
ように最下層のコイル担持体２ａの背側に配設されした
がって保護されている。記述の複数個の部分コイルなら
びに最も簡単な方法で組込まれたコンデンサ電極からな
る総体装置はきわめてコンパクトで、操作が確実で高度
な解像度を有する広く適用可能なセンサ装置の製作を可
能とする。

第９図は本発明による計測装置の実施例を示゛ｒ０ここ
では発信装置１ならびに受信部分コイル４ａ。

４ｂおよび４ｃはコイル担持体上に平面に担持される層
としては表示されてないが、これは第９図の本発明によ
る計測装置は６次元に巻付けられたコイルにおいても使
用可能だからである。しかしながら計測装置はｕ■述例
のよ５なセンサ装置な用いて実施することがきわめて有
利である。

第９図において部分コイル４ａ、４ｂおよび４Ｃは出力
側で切換装置８に接続されている。切換装置８が作動し
て実線位置Ｉの状態では、両方の受信部分コイル４ｂお
よび４Ｃは前述の方法で発信コイル１の交流磁界で影響
される。これによりセンサ装置を介してメタル部分７ｂ
および７Ｃの間の切断部７ａは受信部分コイル４ｂおよ
び４Ｃに対しその相対位置内に探知ｎ］能である。した
がって切換装置８の位置ｌにおいて増幅器６の出力端９
ＶＣ信号が到達し、該信号はセンサ装置の切断部７ａに
灼する横方向移動を指示゛ｒる。これは第１０図の１の
略図内で明瞭である。これに対し、切換装置８が位置１
１に切換えられると、第１の受信部分コイル４ａと第２
の受信部分コイル４ｂとが相互に逆方向に接続さ扛る。

この両方の受信部分コイルの合成信号はしかしながら両
方の受信部分コイル４ａおよび４１）のメタル部分７か
らの垂直距離に依存するので、位置１■では増幅器乙の
出力端９にはセンサ装置のメタル部分７からの高さ丁な
わち垂直距離に比例した信号が到達する。切換装置８の
挿入によりただ１個の計画装置（増幅器６）の使用のも
とて明らかに距離に比例したまた対象物の不規則部に対
する横方向移動に比例した出力信号が出力端９に発生す
る。このきわめて経所的で簡単な機能はとくに、受信部
分４ａ、４ｂ、４ｃおよび発信コイル１を前述の方法で
狭い空間に好ましい変形態様で製作し［−積層」させる
ことで推進される。

【図面の簡単な説明】 第１ａ図は自動イナートガス溶接ノズルにおける誘導性
センサ装置の略側面図、 第１ｂ図は第１図のセンサ装置の底面図、第２ａ図は複
数個の部分コイルを有するｇ導性センサ装置、 第２ｂ図は第２ａ図に類似のセンサ装置であって他のコ
イル形状を有したもの、 第２Ｃ図は第２ｂ図のセンサ装置を使用した本発明の特
徴を有する計測装置、 第６図は切換装置と切換可能センサ装置とを有する計測
装置面の略図、 第４ａ図は点対称に配設された４個の部分コイルを有す
るリンク状センサ装置、 第４ｂ図は第４ａ図のセンサ装置の■す面図、第５図は
やｎ゛曲ココイル担持性有するセンサ装置の略図、 第６図は相互に角をなして配設された２個のコイル］Ｕ
］、冒４・を有するセンザ装はの略図、第７ａ図は２個
の積層コイル担持体を有するセンリ゛装置６の略図、 第７１〕図は第７ａ図のセンサ装置の略側面図でコイル
担持体を接合したもの、 第８；１図は複数個の部分コイルならびに２個の静？Ｆ
、容考１袖助電１喫を有する七ンリー装置の略平面図、
第８１）図は第８ａ図の線Ａ−八による断面図、第９図
は切換装置と切換１′３Ｊ能な部分コイルとを有゛ノー
る訓１１（１０ム置、 第１０図ｖ１第９図の位置１および１１における各々の
作動で鵬ｆｕＪして接続された部分コイルの図である。 １：発信コイル ２：コイル担持体 ６：発　振　器 ４ａ　、４ｂ　、４ｃ　、４ｄ　：受信部分コイル６．
６ａ、６ｂ　：増　幅　器 ７：メ　タ　ル板 ７ａ：切　断　部 ８：切換装置 ９：出　力　端 Ｆｉｇ、　２０ Ｆｉｇ、　４ａ Ｆｉｇ、４ｂ ４ｂ１，４ｏ１　４ｂ２，４ａ２

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）発振器から交流電圧を給電さ九る少くとも１個の
   発信コイル、および 金属対象物の裂は目またに隅のような表面不規則部に対
   しそれとの距離および／または相対位置を計測するため
   の少とも１個の受信コイル、を有する誘導性センサ装置
   であって、 ここで該発信コイルにより対象物とセンサ装置とのその
   ときの相対位置に応じた位相および／または振幅を有す
   る交流が該受信コイル内に誘導されるところの誘導性セ
   ンサ装置において、該発信コイルおよび／または受信コ
   イルはメタル層として平坦なコイル担持体の少くとも１
   方の表面上に担持されていることを特徴とする誘導性セ
   ンサ装置。 （２）該コイル担持体はその上面およびその下面に受信
   コイルおよび／または発信コイルが被覆加工されている
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の誘導性セ
   ンサ装置。 （３）受信コイルおよび／または発信コイルを被覆加工
   された少くとも２個のコイル担持体が相互に積層され、
   ここで該コイルは相互に絶縁されていることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１項また　□は第２項記載の誘導性
   センサ装置。 （４）複数個のコイルを具備し、該コイルはコイル担持
   体上で少くとも１個の対称軸および／または対称点に関
   し軸対称ないしは点対称に配設されていることを特徴と
   する特許 ずれかの項に記載の誘導性センサ装置。 （５）　コイル本体は加工可能でとくに彎曲可能な材料
   からなることを特徴とする前記特許請求の範囲のいすれ
   かの項に記載の誘導１生センサ装埴。 （６）対象物に対し少くとも２個の相互に隣接して配設
   されたコイル担持体を具備することを特徴とする前記特
   許請求の範囲のいずれかに記載の誘導性センサ装置。 （力　該コイル担持体が相互に角をなして配設されてい
   ることを特徴とする特許 いすれかの項に記載の誘導性センサ装置。 （８）コイル担持体は非導電性材料からなる円板である
   ことを特徴とする前記特許請求の範囲のいずれかの項に
   記載の誘導性センサ装置。 （９）　コイルは厚層フィルム技術で担持されているこ
   とを特徴とする前記特許請求の範囲のいずれかの項に記
   載の誘導性センサ装置。 （１０）　コイルは薄層フィルム技術で担持されている
   ことを特徴とする前記特許請求の範囲のいすれかの頃に
   記載の誘導性センサ装置。 １　１）　ｌｌ’ｌｌｌ　ｉＪ称に配設された部分コイ
   ルを有する少くとも２個のコイル担持体はその対称軸が
   交差すて》ように配設され−（いることを特徴とする」
   も１１請、トリ範囲第４　ノＪ１ないし第１０項のいず
   れかに記載の誘導性センサ装置。 （１２ｌ　該対称軸（ｄ相互に直角であることを特徴と
   する特許請求の範囲第１１項に記載の誘導性センサ装置
   。 （ｌ３）部分コイルはときに対称軸に対しほぼ平行に走
   行する少くとも１個の巻線部分を具備し、また十字に交
   差する対称軸により平面図内でコイル担持体上に少くと
   も部分的にほぼ同一形状の対をなす巻線部分が形成され
   ていることを特徴とする特許請求の範囲第１１項または
   第１２項に記載の誘導性センサ装置。 ■　コイル担持体にさらに静電容量式距離計測用電極を
   形成すべく平面に形成されたメタル導体が配設されてい
   ることを特徴とする前記特許請求の範囲のいすれかの項
   に記載の誘導性センサ装置。 （１５）センサ装置、とくに前記特許請求の範囲のいず
   れかに記載のセンサ装置の対象物て対する相対位置を計
   測するための計測装置であって、ここで該センサ装置は
   少くとも１個の受信コイルと１個の発信コイルとを具備
   し、ここで該Ｒ　イｒＫコイルはＨＦ発振器に接続され
   また受１６コイルは対象物とセンサ装置との相対位置変
   化に応じた位相変化および／または電圧変化な謝側・Ｔ
   るための評価回路に接続されている計測装置において、
   少くとも受信コイルおよび／または発信コイルは少くと
   も２個の部分コイルに分割されていること、および部分
   コイルの一方および／または他方を評価回路に選択接続
   するための切換装置を具備していることを特徴とする計
   測装置。 （ｌｌｉｌ　部分コイルは対象物に対し異なる作用をな
   すコイル平面を提示ｒることを特徴とする特許請求の範
   囲第１５項に記載の計測装置。 ｛１７｝受信コイルは少くとも１対の部分コイルを具備
   し該部分コイルは相ｑに間隔をなして対称に配設されて
   いること、 該受１言コイルは少くとも１個の補助コイルを具備し該
   補助コイルは対象物に対し部分コイルとは異なる距離に
   配設されていること、そして、切換装置は、一方では横
   方向の相対位＋ｔｉ剖測のために部分コイルにより直接
   また間接に受信さｆ’Ｌた信号が相−仏に切換えられて
   評価装置の入口にイ；」加さＪ’Ｌ、他方では距離泪測
   のために少くとも１個の部分コイルによりまたは直接な
   いしは間接に両方の部分コイルにより受信された信号を
   直列に、しかし補助コイルで受信された信号とは逆向き
   に評価回路の入口に付加されるように２つの異なる計測
   位置に切換え可能であること、 これらを特徴と丁るセンサ装置と対象物平面との距離の
   計測ならびにセンサ装置と対象物の不規則部との横方向
   相対位置の計測のための特許請求の範囲第１５項または
   第１６項に記載のａ１測装ｆｉｆ。 α８）複数個の部分コイルを具備していること、および
   切換装置として自動作動可能でとくにシーケン７ャル　
   な切換装置（走査装置）を具備していることを特徴とす
   る特許請求の範囲第１５項または第１６項に記載の計測
   装置。