JPS60257418A - 光ビ−ム走査装置 - Google Patents
光ビ−ム走査装置Info
- Publication number
- JPS60257418A JPS60257418A JP59114047A JP11404784A JPS60257418A JP S60257418 A JPS60257418 A JP S60257418A JP 59114047 A JP59114047 A JP 59114047A JP 11404784 A JP11404784 A JP 11404784A JP S60257418 A JPS60257418 A JP S60257418A
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- JP
- Japan
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- concave mirror
- mirror
- light beam
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発り旧まレーザプリンタ等に用いられる光ビーム走査
装置に関する。
装置に関する。
第１図はレーザプリンタ等における従来の光ビーム走を
装置の構成例を示す斜視図であり光ビーム発生器１、コ
リメータレンズ２、ポリゴンスキャナ３、凹面鏡４、感
光体５を具備している。第１図に於いて光ビーム発生器
１は半導体レーザ等を光源に持ち画情報に応じて発振さ
れた光ビームＬｂを射出する。該光ビーム発生器１から
射出された光ビームＬｂはコリメータレンズ２によって
平行光束化されポリゴンスキャナ３の多数の偏向面を有
する多面走査鏡の回転に応じ、当該各偏向回毎に等角速
度的に偏向される。該偏向された光ビームＬｂは次に凹
面鏡４に入射し当該凹面鏡４をこより感光体５上に集束
結像されるとともに該感光体５」：を前記各偏向回毎の
偏向に応じ一定方向に繰り返し走査される。係る光ビー
ムＬｂの走査によって前記感光体５上には上記画情報の
光学的な静電潜像が形成されこわが所定トナーによる現
像を経て上述した画情報の記録か行われる。周知の如く
この凹面鏡４は上述した記録画像の印字品質を高めるう
えで上記走査中に前記光ビームＬｂを感光体５上で非点
収差なく像面湾曲の小さい光点として結像させ得る特性
と前記ポリゴンスキャナ３による等角速度的な偏向に応
じて尚該光点を前記感光体５上で等速度で移動させ得る
いわゆるｆ・０特性とを合せ持つように形成することが
必要であった。しかしながらこの場合の凹面鏡４は上述
した像面湾曲を小さくするとｆ−ｏ％性が悪くなりまた
当該ｆ−ｏ特性を良好にすると像面湾曲が大きくなると
いう特性上相反する性質を持ぢこのため従来のように単
一の凹面’ｃｌ １１のみを用いて構成した光ビーム走
査装置ではこれらの特性を同時に満たずのは困難であり
印字品質の低下を免かれなかった。
装置の構成例を示す斜視図であり光ビーム発生器１、コ
リメータレンズ２、ポリゴンスキャナ３、凹面鏡４、感
光体５を具備している。第１図に於いて光ビーム発生器
１は半導体レーザ等を光源に持ち画情報に応じて発振さ
れた光ビームＬｂを射出する。該光ビーム発生器１から
射出された光ビームＬｂはコリメータレンズ２によって
平行光束化されポリゴンスキャナ３の多数の偏向面を有
する多面走査鏡の回転に応じ、当該各偏向回毎に等角速
度的に偏向される。該偏向された光ビームＬｂは次に凹
面鏡４に入射し当該凹面鏡４をこより感光体５上に集束
結像されるとともに該感光体５」：を前記各偏向回毎の
偏向に応じ一定方向に繰り返し走査される。係る光ビー
ムＬｂの走査によって前記感光体５上には上記画情報の
光学的な静電潜像が形成されこわが所定トナーによる現
像を経て上述した画情報の記録か行われる。周知の如く
この凹面鏡４は上述した記録画像の印字品質を高めるう
えで上記走査中に前記光ビームＬｂを感光体５上で非点
収差なく像面湾曲の小さい光点として結像させ得る特性
と前記ポリゴンスキャナ３による等角速度的な偏向に応
じて尚該光点を前記感光体５上で等速度で移動させ得る
いわゆるｆ・０特性とを合せ持つように形成することが
必要であった。しかしながらこの場合の凹面鏡４は上述
した像面湾曲を小さくするとｆ−ｏ％性が悪くなりまた
当該ｆ−ｏ特性を良好にすると像面湾曲が大きくなると
いう特性上相反する性質を持ぢこのため従来のように単
一の凹面’ｃｌ １１のみを用いて構成した光ビーム走
査装置ではこれらの特性を同時に満たずのは困難であり
印字品質の低下を免かれなかった。
またこれに加え前記ポリコンスキャナ３の回転″′ｉ
軸に対する各偏向面の平行度のバラツキによっては前記
感光体５上における光ビームＬｂの走査が非走査方向に
ズレるため更に印字品質の低下を助長するという問題も
あった。
軸に対する各偏向面の平行度のバラツキによっては前記
感光体５上における光ビームＬｂの走査が非走査方向に
ズレるため更に印字品質の低下を助長するという問題も
あった。
（発明０目的〕
本発明は上記実状に鑑みてなされたものでありｆ・０竹
性、像面湾曲特性ともに良好でありしかも非走３針方向
にズレのない走査によって高品質の記録画像を得ること
のできる光ビーム走査装置を部品点数の増大を抑えコン
パクトかつ組立て容易に構成］「ることを目的とする。
性、像面湾曲特性ともに良好でありしかも非走３針方向
にズレのない走査によって高品質の記録画像を得ること
のできる光ビーム走査装置を部品点数の増大を抑えコン
パクトかつ組立て容易に構成］「ることを目的とする。
そこで本発明では前記凹面鏡の両特性のうちｆ・０特性
が良好となるように当該凹面鏡と前記ポリゴンスキャナ
間の距離を設定するとともに当該設定に相反して増大す
る像面湾曲のうち特に非走査方向の正の像面湾曲と、前
記ポリゴンスキャナの回転軸に対する各偏向面の平行度
のバラツキに起因する非走査方向への走査ズレとは前記
ポリゴンスキャナと感光体間のこわら両者が共役なる関
係となる位置に設けた非走査方向にパワーを有する円筒
鏡により補正することによってｆ・０特性、像面湾曲特
性ともに良好で非走査方向にズレのない高品質の記録画
像を得るとともに、前記凹面鏡と円筒鏡を一体構造さす
ることによって部品点数の増大を抑えたままで装置のコ
ンパクト化および組立て容易化をも同時に達成している
。
が良好となるように当該凹面鏡と前記ポリゴンスキャナ
間の距離を設定するとともに当該設定に相反して増大す
る像面湾曲のうち特に非走査方向の正の像面湾曲と、前
記ポリゴンスキャナの回転軸に対する各偏向面の平行度
のバラツキに起因する非走査方向への走査ズレとは前記
ポリゴンスキャナと感光体間のこわら両者が共役なる関
係となる位置に設けた非走査方向にパワーを有する円筒
鏡により補正することによってｆ・０特性、像面湾曲特
性ともに良好で非走査方向にズレのない高品質の記録画
像を得るとともに、前記凹面鏡と円筒鏡を一体構造さす
ることによって部品点数の増大を抑えたままで装置のコ
ンパクト化および組立て容易化をも同時に達成している
。
［、実施例〕
以下本発明の実施例を添伺図面にもとづいて詳細に説明
する。第２図は本発明の一実施例を示す光ビーム走査装
置の斜視図であり第１図に示した従来装置と同様の機能
を果すものには同一の符号を符している。第２図におい
てコリメークレンズ２とポリコンスキャナ３との間には
当該コリメークレンズ２により平行光束化された光ビー
ムＬｂの非走査方向へのズレ補正精度を高めるために当
該非走査方向にパワーを有する円筒レンズ６が設けられ
ている。才だ感光体５は凹面鏡４から当該凹面鏡４の焦
点距離ｆにほぼ等しい距離を１１１間して配置される。
する。第２図は本発明の一実施例を示す光ビーム走査装
置の斜視図であり第１図に示した従来装置と同様の機能
を果すものには同一の符号を符している。第２図におい
てコリメークレンズ２とポリコンスキャナ３との間には
当該コリメークレンズ２により平行光束化された光ビー
ムＬｂの非走査方向へのズレ補正精度を高めるために当
該非走査方向にパワーを有する円筒レンズ６が設けられ
ている。才だ感光体５は凹面鏡４から当該凹面鏡４の焦
点距離ｆにほぼ等しい距離を１１１間して配置される。
更に当該感光体５と前記凹面鏡４間には当該感光体５と
前記ポリゴンスキャナ３の偏向面とが側面光路的に観て
前記凹面鏡４を挟んで互いに共役となるような位置を選
んでやはり非走査方向にパワーを有する円筒鏡７が配設
されしかも当該円筒鏡７と前記凹面鏡４とは連結固定部
材８の両端にそれぞれ固定されて一体構造を形成してい
る。尚、前記凹面鏡４と円筒鏡７とを一体構造とするに
は当該両者を上述した連結固定部材８に固定する方法の
他にもこれら凹面鏡４および円筒鏡７に対応する配置と
形駄の凹状面および円筒面を有する部材を例えばアクリ
ル樹脂等を用いて一体成形するとともに該凹状面および
円筒面にそれぞれ反射性のコーティングを施こしこれを
鏡面化することによっても形成でき、係る方法の場合に
は部品点数も増やさずコンパクト化できその組立て容易
性も更に改善される。係る構成において光ビーム発生器
１から射出される光ビームＬ＋）は前記コリメータレン
ズ２により平行光束化され更に前記円筒レンズ６により
非走査方向へのズレ補正がなされてポリゴンスキャナ３
の１偏向面に入射する。このポリゴンスキャナ３では図
示しないモータ等による多面走査鏡の回転に応じ各偏向
回毎に前記光ビームＬｂを等角速度的に偏向しこれを凹
面鏡４に入射させる。ここで当該凹面鏡４はこの入射し
た光ビームＬｂを前記円筒鏡７を介して感光体５上に光
点として集束させるとともに上述したｆ・０特性により
前記ポリゴンスキャナ３による等角速度的な偏向に応じ
当該光点が前記感光体５上を等速度で移動するように走
査する。
前記ポリゴンスキャナ３の偏向面とが側面光路的に観て
前記凹面鏡４を挟んで互いに共役となるような位置を選
んでやはり非走査方向にパワーを有する円筒鏡７が配設
されしかも当該円筒鏡７と前記凹面鏡４とは連結固定部
材８の両端にそれぞれ固定されて一体構造を形成してい
る。尚、前記凹面鏡４と円筒鏡７とを一体構造とするに
は当該両者を上述した連結固定部材８に固定する方法の
他にもこれら凹面鏡４および円筒鏡７に対応する配置と
形駄の凹状面および円筒面を有する部材を例えばアクリ
ル樹脂等を用いて一体成形するとともに該凹状面および
円筒面にそれぞれ反射性のコーティングを施こしこれを
鏡面化することによっても形成でき、係る方法の場合に
は部品点数も増やさずコンパクト化できその組立て容易
性も更に改善される。係る構成において光ビーム発生器
１から射出される光ビームＬ＋）は前記コリメータレン
ズ２により平行光束化され更に前記円筒レンズ６により
非走査方向へのズレ補正がなされてポリゴンスキャナ３
の１偏向面に入射する。このポリゴンスキャナ３では図
示しないモータ等による多面走査鏡の回転に応じ各偏向
回毎に前記光ビームＬｂを等角速度的に偏向しこれを凹
面鏡４に入射させる。ここで当該凹面鏡４はこの入射し
た光ビームＬｂを前記円筒鏡７を介して感光体５上に光
点として集束させるとともに上述したｆ・０特性により
前記ポリゴンスキャナ３による等角速度的な偏向に応じ
当該光点が前記感光体５上を等速度で移動するように走
査する。
一般に前記凹面鏡４に最良のｆ・０特性を与えるために
は当該凹面鏡４の焦点距ｍｆに対し前記ポリゴンスキャ
ナ３の偏向面が当該凹面鏡４から０．５ｆだけ離間され
るように配設すれば良く本発明では係る条件により前記
ポリゴンスキャナ３を配置した。
は当該凹面鏡４の焦点距ｍｆに対し前記ポリゴンスキャ
ナ３の偏向面が当該凹面鏡４から０．５ｆだけ離間され
るように配設すれば良く本発明では係る条件により前記
ポリゴンスキャナ３を配置した。
このとき前記光ビームＬｂは上述したｆ・０特性の最良
設定に相反して前記感光体５上で非点収差を持ち走査方
向の像面湾曲は負、非走査方向の像面湾曲は正となる。
設定に相反して前記感光体５上で非点収差を持ち走査方
向の像面湾曲は負、非走査方向の像面湾曲は正となる。
このうち上記非走査方向の正の像面湾曲は前記凹面鏡４
と感光体５間の光路中′ に設けた非走査方向にパワー
を持つ円筒鏡７により補正されて当該感光体５上に結像
される。またこの円筒鏡７は上述の説明と第３図（ａ）
および（ｂ）に概念的；こ示す当該光ビーム走査装置の
側面展開図および平面展開図からも明らかであるように
前記ポリゴンスキャナ３の偏向面と感光体５間に当該両
者が共役関係を有するべく配設されており、」二連した
一１日＜当該ポリゴンスキャナ３の回転軸に対する偏向
面の平行度のバラツキによって非走査方向へのズレが生
じた光ビームＬｂｌおよびＬｂ２ともに同図（１））に
示す如くその非走査方向へのズレが補正されそれぞれ実
線光路および点線光路を通り前記感光体５上の同一走査
線上ｌこ集束される。
と感光体５間の光路中′ に設けた非走査方向にパワー
を持つ円筒鏡７により補正されて当該感光体５上に結像
される。またこの円筒鏡７は上述の説明と第３図（ａ）
および（ｂ）に概念的；こ示す当該光ビーム走査装置の
側面展開図および平面展開図からも明らかであるように
前記ポリゴンスキャナ３の偏向面と感光体５間に当該両
者が共役関係を有するべく配設されており、」二連した
一１日＜当該ポリゴンスキャナ３の回転軸に対する偏向
面の平行度のバラツキによって非走査方向へのズレが生
じた光ビームＬｂｌおよびＬｂ２ともに同図（１））に
示す如くその非走査方向へのズレが補正されそれぞれ実
線光路および点線光路を通り前記感光体５上の同一走査
線上ｌこ集束される。
一方、このような構成によっても前記凹面鏡４のｆ−ｏ
特性を最良にしたときに生ずる走査方向における負の像
面湾曲は残されるが、これは前記光ヒーノ・発生器１と
コリメータレンズ２間の距離およびｒｂ該コリメータレ
ンズ２とポリゴンスキャナ３間の距離を微調整し焦点位
置を適宜ｔこ移動するこ♂Ｒ二より印字品質に支障のな
いような極小状態にまで補正することができる。
特性を最良にしたときに生ずる走査方向における負の像
面湾曲は残されるが、これは前記光ヒーノ・発生器１と
コリメータレンズ２間の距離およびｒｂ該コリメータレ
ンズ２とポリゴンスキャナ３間の距離を微調整し焦点位
置を適宜ｔこ移動するこ♂Ｒ二より印字品質に支障のな
いような極小状態にまで補正することができる。
また第４図（ａ）およびΦノはそれぞれ本発明の他の実
施例を示す概念図であり、上述した凹面鏡４および円筒
鏡７に対応する凹状面／ＩＯおよび円筒面７０が互いに
近設されて機能している。同図（ａ）はミラータイプの
光学部材９を用いた：Ｉ烏合の例であり上述した凹状面
４０および円筒面７０にはそれぞれ鏡面が用いられしか
も一体構造を形成している。一方、同図（１））はプリ
ズムタイプの光学部材１０を用いた場合の例であり同図
（ａ）同様一体構造に形成された凹状面４０および円筒
面７０の全反射を用いて感光体５上に結像させている。
施例を示す概念図であり、上述した凹面鏡４および円筒
鏡７に対応する凹状面／ＩＯおよび円筒面７０が互いに
近設されて機能している。同図（ａ）はミラータイプの
光学部材９を用いた：Ｉ烏合の例であり上述した凹状面
４０および円筒面７０にはそれぞれ鏡面が用いられしか
も一体構造を形成している。一方、同図（１））はプリ
ズムタイプの光学部材１０を用いた場合の例であり同図
（ａ）同様一体構造に形成された凹状面４０および円筒
面７０の全反射を用いて感光体５上に結像させている。
ここで上記凹状面／ＩＯおよび円筒面７０を一体構造と
するには、当該両者を一体成形しても良いしあるいは別
々に形成したうえて接着剤等により一体化してもよい。
するには、当該両者を一体成形しても良いしあるいは別
々に形成したうえて接着剤等により一体化してもよい。
尚、本実施例においてはポリコンスキャナ３をその偏向
面が凹面鏡４あるいは凹状面４０から０．５ｆの離間距
離となるように配置しｆ−ｏ％性を最良に設定した時に
印字品質が向上される様子を説明し、だが、更に本発明
の種々の実験結果によって前記ポリゴンスキャナ３の偏
向面の前記凹面鏡４あるいは凹状面４０からの離間距離
を０．２５ｆ〜０．７ｆ内に保つようにすイ９ば必ずし
もｆ・０％性が最良でなくとも実用に充分な印字品質を
確保できることを確認した。また第２図、第４図Ｃ２）
および（ｂ）において前記ポリゴンスキャナ３の偏向面
と感光体５との共役関係が維持てき、当該ポリゴンスキ
ャナ３と凹面鏡４あるいは凹状面４０間の距離を上述し
た０、２５ｆ〜０．７５ｆの離間距離内に保つことがで
きれば前記凹面鏡４と円筒鏡７あるいは凹状面４０、！
：、円笥面７０とを入換配置しても上記同様の効果か期
待できる。
面が凹面鏡４あるいは凹状面４０から０．５ｆの離間距
離となるように配置しｆ−ｏ％性を最良に設定した時に
印字品質が向上される様子を説明し、だが、更に本発明
の種々の実験結果によって前記ポリゴンスキャナ３の偏
向面の前記凹面鏡４あるいは凹状面４０からの離間距離
を０．２５ｆ〜０．７ｆ内に保つようにすイ９ば必ずし
もｆ・０％性が最良でなくとも実用に充分な印字品質を
確保できることを確認した。また第２図、第４図Ｃ２）
および（ｂ）において前記ポリゴンスキャナ３の偏向面
と感光体５との共役関係が維持てき、当該ポリゴンスキ
ャナ３と凹面鏡４あるいは凹状面４０間の距離を上述し
た０、２５ｆ〜０．７５ｆの離間距離内に保つことがで
きれば前記凹面鏡４と円筒鏡７あるいは凹状面４０、！
：、円笥面７０とを入換配置しても上記同様の効果か期
待できる。
［発明の効果〕
以上説明したように本発明の光ビーム走査装置によれ；
ず凹面鏡のｆ−ｏ％性を良好に保ったうえでポリゴンス
キャナと感光体間に当該両者が共役関係となるように設
けた非走査方向にパワーを持つ円筒鏡により非走査方向
の正の像面湾曲および走査ズレを補正する古ともに前記
凹面鏡と円筒鏡を一体構造としたため、ｆ−０特性、像
面湾曲特性とも）こ優れしかも非走査方向にズレのない
高品質の記録画像を得ることができると同時に当該装置
のコンパクト化、組立容易化にも寄与できるという優れ
た効果を奏する。
ず凹面鏡のｆ−ｏ％性を良好に保ったうえでポリゴンス
キャナと感光体間に当該両者が共役関係となるように設
けた非走査方向にパワーを持つ円筒鏡により非走査方向
の正の像面湾曲および走査ズレを補正する古ともに前記
凹面鏡と円筒鏡を一体構造としたため、ｆ−０特性、像
面湾曲特性とも）こ優れしかも非走査方向にズレのない
高品質の記録画像を得ることができると同時に当該装置
のコンパクト化、組立容易化にも寄与できるという優れ
た効果を奏する。
第１図は従来の光ビーム走査装置の構成を示す斜視図、
第２図は本発明の光ビーム走査装置の一実施例を示す斜
視図、第３図（ａ）および（ｂ）はそれぞれ本発明の光
ヒーム走査装置の側面展開図および平面展開図、第４図
（ａ）および（ｂ）はそれぞＩ′１本発明の他の実施例
を示す概念図である。 １ 光ビーム発生器、２ コリメータレンズ、３、ポリ
ゴンスキャナ、４ 凹面鏡、５−感光体、６・円筒レン
ズ、７ 円筒鏡、８ 連結固定部材、９．１０ 光学部
材、４〇−凹状面、７０・円筒面、Ｌｂ。 Ｌｔ）＋ ＋ Ｌｂ２・光ビーム 第１図 ７４ 第２図 第３図
第２図は本発明の光ビーム走査装置の一実施例を示す斜
視図、第３図（ａ）および（ｂ）はそれぞれ本発明の光
ヒーム走査装置の側面展開図および平面展開図、第４図
（ａ）および（ｂ）はそれぞＩ′１本発明の他の実施例
を示す概念図である。 １ 光ビーム発生器、２ コリメータレンズ、３、ポリ
ゴンスキャナ、４ 凹面鏡、５−感光体、６・円筒レン
ズ、７ 円筒鏡、８ 連結固定部材、９．１０ 光学部
材、４〇−凹状面、７０・円筒面、Ｌｂ。 Ｌｔ）＋ ＋ Ｌｂ２・光ビーム 第１図 ７４ 第２図 第３図
Claims (2)
- （１）光ビームを偏向する手段と該偏向された光ビーム
を走査面上に集束するきともに前記偏向に応じて当該走
査面上を等速度で走査する凹面鏡とを少なくとも具えた
光ビーム走査装置において、前記偏向手段と前記走査面
間の当該両者が互いに共役関係を有する位置に非走査方
向にパワーを有する円筒鏡を配設するとともに当該円筒
鏡と前記凹面鏡とを一体構造としたことを特徴とする光
ビーム走査装置。 - （２）前記偏向手段は前記凹面鏡の焦点距離をｆ、とす
るとき当該凹面鏡から０．２５ｆ〜０．７ｆの離間距離
内に配設されることを特徴とする特許請求の範囲第（１
）項記載の光ビーム走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59114047A JPS60257418A (ja) | 1984-06-04 | 1984-06-04 | 光ビ−ム走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59114047A JPS60257418A (ja) | 1984-06-04 | 1984-06-04 | 光ビ−ム走査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60257418A true JPS60257418A (ja) | 1985-12-19 |
| JPH0560086B2 JPH0560086B2 (ja) | 1993-09-01 |
Family
ID=14627700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59114047A Granted JPS60257418A (ja) | 1984-06-04 | 1984-06-04 | 光ビ−ム走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60257418A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62218919A (ja) * | 1986-03-19 | 1987-09-26 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 走査光学系 |
| US5751464A (en) * | 1995-02-20 | 1998-05-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical scanner, image forming apparatus and image reading apparatus |
| US6504639B1 (en) | 1999-09-29 | 2003-01-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical scanner |
| JP2013116488A (ja) * | 2011-12-04 | 2013-06-13 | Kiyoyuki Kondo | ビーム加工装置及びそれを用いた基板の加工方法 |
-
1984
- 1984-06-04 JP JP59114047A patent/JPS60257418A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62218919A (ja) * | 1986-03-19 | 1987-09-26 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 走査光学系 |
| US5751464A (en) * | 1995-02-20 | 1998-05-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical scanner, image forming apparatus and image reading apparatus |
| US5801869A (en) * | 1995-02-20 | 1998-09-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical scanner, image forming apparatus and image reading apparatus |
| US6504639B1 (en) | 1999-09-29 | 2003-01-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical scanner |
| JP2013116488A (ja) * | 2011-12-04 | 2013-06-13 | Kiyoyuki Kondo | ビーム加工装置及びそれを用いた基板の加工方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0560086B2 (ja) | 1993-09-01 |
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