JPS60256010A - 光学的変位検出装置 - Google Patents
光学的変位検出装置Info
- Publication number
- JPS60256010A JPS60256010A JP11073984A JP11073984A JPS60256010A JP S60256010 A JPS60256010 A JP S60256010A JP 11073984 A JP11073984 A JP 11073984A JP 11073984 A JP11073984 A JP 11073984A JP S60256010 A JPS60256010 A JP S60256010A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- parallel
- light
- source
- slits
- scale
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 15
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 14
- 238000003475 lamination Methods 0.000 abstract 1
- 102100027340 Slit homolog 2 protein Human genes 0.000 description 5
- 101710133576 Slit homolog 2 protein Proteins 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/264—Mechanical constructional elements therefor ; Mechanical adjustment thereof
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は光学的変位検出装置に係り、特に直線的に移動
するキャリッジの位置検出や回転するアクチュエータの
位置検出に好適な光学的変位検出装置に関する。
するキャリッジの位置検出や回転するアクチュエータの
位置検出に好適な光学的変位検出装置に関する。
従来の平行スリットを用いた光学式の位置検出装置(リ
ニアエンコーダ、ロータエンコーダなど)は、光源から
の光が拡散光になっていたり、あるいはレンズで集光し
ていたため、光束は平行光束にはなっていなかった。そ
のため、もれ光の影響による検出精度の低下が問題であ
り、これを防止するために検出部の取付は位置の合わせ
精度をきびしくおさえなければならなかった。
ニアエンコーダ、ロータエンコーダなど)は、光源から
の光が拡散光になっていたり、あるいはレンズで集光し
ていたため、光束は平行光束にはなっていなかった。そ
のため、もれ光の影響による検出精度の低下が問題であ
り、これを防止するために検出部の取付は位置の合わせ
精度をきびしくおさえなければならなかった。
これにつき1図面を用いて説明する。第1図は従来の変
位検出装置の平面図である(例えば、特開昭57−18
1434号公報)、光源1.集光レンズ8゜可動リニア
スケール3.固定スケール4.受光素子5などからなる
。スケール3,4は等間隔の開口部がエツチングなどの
方法によって作られている0発光ダイオードなどによる
光源1から出た光は集光レンズ8.可動リニアスケール
3の開口部。
位検出装置の平面図である(例えば、特開昭57−18
1434号公報)、光源1.集光レンズ8゜可動リニア
スケール3.固定スケール4.受光素子5などからなる
。スケール3,4は等間隔の開口部がエツチングなどの
方法によって作られている0発光ダイオードなどによる
光源1から出た光は集光レンズ8.可動リニアスケール
3の開口部。
固定スケール4の開口部を通って受光素子5の受光面6
に到達する。この時可動リニアスケール3が動いていた
場合、固定スケール4との相対位置によって光が透過し
たり、さえぎられたりを繰り返し理想的には三角波状の
信号出力が受光素子5より検出される。この波形の1ピ
ツチは開口部の幅を対応しているため、これを数えるこ
とによって移動距離を知ることができる。しかし可動リ
ニアスケール3と固定スケール4の間は摩耗を防止する
ために50〜100μmの間隙を設けである。
に到達する。この時可動リニアスケール3が動いていた
場合、固定スケール4との相対位置によって光が透過し
たり、さえぎられたりを繰り返し理想的には三角波状の
信号出力が受光素子5より検出される。この波形の1ピ
ツチは開口部の幅を対応しているため、これを数えるこ
とによって移動距離を知ることができる。しかし可動リ
ニアスケール3と固定スケール4の間は摩耗を防止する
ために50〜100μmの間隙を設けである。
また固定スケール4とホトダイオードなどを用いる受光
素子5の受光面6は構造上密着させられないため間隙が
受じる。このため斜め入射光などがあると光のもれ込み
により、可動リニアスケール3を移動させても三角波の
出力とはならずSin波形に近い形となり、かつ変調度
も悪いものとなる。ところが光源に用いている発光ダイ
オードは点光源とは見なせず面光源の状態と考えられ、
可動リニアスケール3を通過する光束は完全ば平行光束
とはなっておらず、間隙からのもれ込みの影響を受けや
すかった。
素子5の受光面6は構造上密着させられないため間隙が
受じる。このため斜め入射光などがあると光のもれ込み
により、可動リニアスケール3を移動させても三角波の
出力とはならずSin波形に近い形となり、かつ変調度
も悪いものとなる。ところが光源に用いている発光ダイ
オードは点光源とは見なせず面光源の状態と考えられ、
可動リニアスケール3を通過する光束は完全ば平行光束
とはなっておらず、間隙からのもれ込みの影響を受けや
すかった。
従来、上記の問題点に対する解決方法としては光源を離
すことによってみがけ上平行光束が受光素子に入射する
ようにすることが行なわれてきたが、光量の低下、占有
面積の増大が生じ、かつ完全にもげ込みをなくすことは
できなかった。
すことによってみがけ上平行光束が受光素子に入射する
ようにすることが行なわれてきたが、光量の低下、占有
面積の増大が生じ、かつ完全にもげ込みをなくすことは
できなかった。
本発明の目的は、みかけ上の光源の性質を改善すること
によって組立てが容易でがっ検出信号の安定した光学的
変位検出装置を提供することにある。
によって組立てが容易でがっ検出信号の安定した光学的
変位検出装置を提供することにある。
かかる目的を達成するために本発明は、光源と可動スリ
ットの間に平行スリットを設け、光源から光のうち平行
光束及びそれに近い光束だけを通過させ、みかけ主光源
からの光束を平行光としたことを特徴とするものである
。
ットの間に平行スリットを設け、光源から光のうち平行
光束及びそれに近い光束だけを通過させ、みかけ主光源
からの光束を平行光としたことを特徴とするものである
。
以下、本発明を実施例により説明する。第2図は本発明
による変位検出装置の一実施例を示す平面図である。光
源1と可動リニアスケール3の間にはきわめて薄い板を
平行に並べることによって形成した平行スリット2が挿
入されている。固定スケール4には、可動リニアスケー
ル3の移動に伴い受光素子5の受光面6及び7に対応し
て、該受光面で検出される出力の位相が180°ずれる
ようにピッチをずらした開口部が設けられている。
による変位検出装置の一実施例を示す平面図である。光
源1と可動リニアスケール3の間にはきわめて薄い板を
平行に並べることによって形成した平行スリット2が挿
入されている。固定スケール4には、可動リニアスケー
ル3の移動に伴い受光素子5の受光面6及び7に対応し
て、該受光面で検出される出力の位相が180°ずれる
ようにピッチをずらした開口部が設けられている。
この開口部はエツチングなどの方法を泪いて作成できる
。光源1から出た光束は平行スリット2を通過して可動
リニアスケール3に入るため、その光束は平行スリット
2のスリット幅によって拘束され、光源の光の平行光束
及びそれに近い分だけを取り出すことができる0本実施
例によればスケール間及び固定スケール4.受光面6.
7に間隙があるにもかかわらず良好な変調度及び受光面
6゜7で検出される信号は相互に干渉することなく。
。光源1から出た光束は平行スリット2を通過して可動
リニアスケール3に入るため、その光束は平行スリット
2のスリット幅によって拘束され、光源の光の平行光束
及びそれに近い分だけを取り出すことができる0本実施
例によればスケール間及び固定スケール4.受光面6.
7に間隙があるにもかかわらず良好な変調度及び受光面
6゜7で検出される信号は相互に干渉することなく。
180mの位相ずれを正確に実現できる。このことから
検出各部の部品の組立精度を従来に比べてゆるやかにす
ることが可能であり組立調整時間を短縮し、かつ検出信
号の安定性を向上できるという効果がある。
検出各部の部品の組立精度を従来に比べてゆるやかにす
ることが可能であり組立調整時間を短縮し、かつ検出信
号の安定性を向上できるという効果がある。
第3図は他の平行スリット2を用いた本発明の他の実施
例を示すものである1本実施例の平行スリット2は、薄
い平板にエツチングなどの方法を用いて等間隔の開口部
を作り、それを何枚も重ね合わせることによって形成し
たものである。これによって前の実施例と同様な効果が
得られる。
例を示すものである1本実施例の平行スリット2は、薄
い平板にエツチングなどの方法を用いて等間隔の開口部
を作り、それを何枚も重ね合わせることによって形成し
たものである。これによって前の実施例と同様な効果が
得られる。
第4図は本発明の別の実施例を示し、移動物体が回転体
の場合で、その回転角検出に用いるためのものである6
本実施例によれば変調度の良好な回転角の信号が安定性
良く検出できる効果がある。
の場合で、その回転角検出に用いるためのものである6
本実施例によれば変調度の良好な回転角の信号が安定性
良く検出できる効果がある。
以上の如く本発明によれば、簡単な平行スリットを追加
するだけで光源をコヒーレンスの良いものにみかけ上変
えることができるので、検出部品相互の取付位置合わせ
精度をゆるやかにしても位置検出精度を低下させること
がなく1組立て精度をゆるやかにできる効果がある。
するだけで光源をコヒーレンスの良いものにみかけ上変
えることができるので、検出部品相互の取付位置合わせ
精度をゆるやかにしても位置検出精度を低下させること
がなく1組立て精度をゆるやかにできる効果がある。
第1図は従来例を示す平面図、第2図は本発明の一実施
例の平面図、第3図は他の実施例を示す平面図、第4図
はさらに他の実施例を示す斜視図である。
例の平面図、第3図は他の実施例を示す平面図、第4図
はさらに他の実施例を示す斜視図である。
Claims (1)
- 1、光源可動スケール、固定スケール及び受光素子より
なる光学的変位検出装置において、上記光源からの光の
うち平行光束及びそれに近い光束だけを通過させる平行
スリットを設けたことを特徴とする光学的変位検出装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11073984A JPS60256010A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 光学的変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11073984A JPS60256010A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 光学的変位検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60256010A true JPS60256010A (ja) | 1985-12-17 |
Family
ID=14543294
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11073984A Pending JPS60256010A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 光学的変位検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60256010A (ja) |
-
1984
- 1984-06-01 JP JP11073984A patent/JPS60256010A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4677293A (en) | Photoelectric measuring system | |
JPH09196705A (ja) | 変位測定装置 | |
US5448358A (en) | Optical apparatus and displacement-information measuring apparatus using the same | |
JP3196459B2 (ja) | ロータリーエンコーダ | |
US3708681A (en) | Position and velocity sensor | |
CA1163094A (en) | Interferometer | |
JPH06258102A (ja) | 測定装置 | |
JPH04157319A (ja) | 影絵パターンを利用するエンコーダ | |
EP1045227B2 (en) | Encoder | |
JPH0758206B2 (ja) | モワレ縞を用いた位置検出装置 | |
JPH11120724A (ja) | 光トラック検知装置 | |
US5930066A (en) | Information recording apparatus | |
JPS60256010A (ja) | 光学的変位検出装置 | |
JP4473975B2 (ja) | エンコーダ | |
JPH01291194A (ja) | X−yテーブル | |
JPS63153425A (ja) | 回転量検出装置 | |
JPS6020006Y2 (ja) | 光学式シヤフトエンコ−ダ | |
JPH0425616Y2 (ja) | ||
JPS6027926Y2 (ja) | 光学式位置検出器 | |
JPS59224513A (ja) | 光学式リニアエンコ−ダ | |
JPH0587590A (ja) | エンコーダ | |
JPH03152419A (ja) | 光学式エンコーダ | |
JP2715518B2 (ja) | 光電式位置検出器 | |
JPH05346330A (ja) | エンコーダ装置 | |
JPH10239109A (ja) | 変位検出装置 |