JPS60250642A - 保護フイルムの剥離方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）産業上の利用分野 この発明は例えば集積回路などの製造に用いるシリコン
ウェハのような薄板状物品の上面に貼付した粘着フィル
ムからなる保護フィルムの剥蜂方法に関するものである
。

（２）従来の技術 上記のようなシリコンウェハの場合、表面に保護フィル
ムを貼１付して保護したのち、フィルムを貼付していな
い側を水流を併用して研磨するなどの作業を行ない、そ
の後不用になった保護フィルムを剥離しなければならな
い。

（３）　発明が解決しようとする問題点従来は上記のよ
うな保護フィルムの剥離作業を手作業で行なっていたの
できわめて手数がかかり非能率なものであった。

（４）　問題点を解決するための手段 上記の問題点を解決するために、この発明は薄板状物品
の表面に貼付した粘着性の保護フィルムの表面に粘着テ
ープを圧着し、この粘着テープを前記物品の上面とほぼ
平行に移動する剥離手段により前記保護フィルムととも
に薄板状物品から剥離するに際し、剥離手段の剥離時に
おける戻り開始からフィルム巻上げ開始までに時間差を
設けて、巻上げのスタートを遅らせることにより薄板状
物品に機械的な影響を与えずに保護フィルムを引きはが
すものである。

（５）　作用 この発明は上記の通りであり、まず薄板状物品の表面に
貼付した粘着性の保護フィルムの表面に粘着テープを圧
着する。

つぎに、前記の粘着テープを前記物品の上面とほぼ平行
に移動する剥離手段により前記保護フィルムとともに薄
板状物品から剥離するが、その際剥離手段の戻り開始か
らフィルム巻上げ開始までに時間差を設けて巻上げのス
タートを遅らせる。

（６）　実施例 第１図はこの発明方法を実施する装置の一例である。１
は機台であって、その上部後寄りに多数のシリコンウェ
ハのような薄板状物品２を一定の間隔で積上げたマガジ
ン３を設けるか、このマガジン内の物品２の上面には粘
着フィルムからなる保護フィルム４か貼着しである。

５は無端搬送ベルト６を有する取出し手段、ｒはベルト
６の駆動プーリであり、図１示省略しであるモータによ
り駆動される。

８はマガジンの受台で適宜の昇降機構９により一定ピッ
チにてＦ降し、っぎの物品２をベルト６上に載せる作用
を行なう。１０は機台１上の側方に設けた機箱で、その
側面には一対の巻軸１１゜１２を設ける。

巻軸１１には粘着テープ１４を巻き、巻軸１２は物品２
から剥離した保護フィルム４を併設した粘着テープ１４
を巻き取るものであり、巻軸１１には制動装置、巻軸１
２には駆動装置を設ける。

１５は機箱１０に設けた上下一対の圧着ローラであり、
保護フィルム４を上面に貼着した物品２と、巻軸１１か
ら引出された粘着テープ１４がこのローラ１５間を通る
と粘着テープ１４の下面の。

粘着面が保護フィルム４に圧着される。

圧着ローラ１５の前方には真空吸引台１６がある。この
吸引台１６は第６図のように上面に無数の吸引孔を有す
る中空体であり、真空吸引装置に弁を介して連通してい
る′。

この吸引台１６の前方には剥離手段Ａがある。

この剥離手段は前後一対のピーリングローラ１７と、そ
の下部のテープ受片２３を移動台１９に取付けたもので
ある。この移動台１９は機箱１０に設けたガイドレール
２０に摺動自在に取付けられ、動力駆動の送りネジある
いはエアシリンダなどにより移動する。

前記の無端搬送ベルト６により圧着ローラ１５間に送り
込まれ、上面の保護フィルム４上に粘着テープ１４の粘
着面を圧着さ杆た物品２がテープ１４とともに吸引台１
６上にくると、巻軸１１゜１２および圧着ローラ１５は
−たん停止する。このとき、第６図のように物品２七に
粘着層１３を介して貼着しである保護フィルム４上にテ
ープ１４か粘着層２１を介して圧着している。

ついで、吸引台１６の真空吸引が始まり、物品２を台１
６上に固定したのち、移動台１９が４３図の矢印方向へ
戻り始める。このとき、巻軸１１．１２は停止している
から、ローラ１５．１７間のテープ１４が第４図のよう
に弛む。

上記のように移動台１９が戻り始めたときから若干の時
間差をおいて、巻軸１２が第１図の矢印方向へ回転を始
めて保護フィルム４の巻上げを開始するが巻軸１１は制
動装置の働きにより回転を阻止されている。

従って粘着テープ１４は第５図のように弛んだまま接着
した保護フィルム４をテープ１４の引４才がし力のみで
はがしていき、薄板状物品２Ｇこ応力を与えない。（粘
着テープ１４の接着力は保護フィルム４の接着力より強
いものを用いる。）こうして、保護フィルム４が物品２
から殆んど剥離した段階で巻軸１１の制動および吸引台
１６の真空吸引を解除し、さらに巻軸１２を駆動してテ
ープ１４を巻取りながら移動台１９を前方に移動させる
と、粘着テープ１４の粘着力で、物品２上から大部分剥
離された保護フィルム４とともに物品２も同方向に移動
し、物品２はつぎの無端搬送ベルト２２上へ載り、保護
フィルム４は物品２から完全に剥がれてテープ１４とと
もに巻軸１２に巻取られる。

また、°第８図、第９図に示すように、吸引台１６を複
数に分割してベルト２２の後部が吸引台１６間に組み込
まわるようにしてテープ剥離の終了した物品２をベルト
２２により送り出すようにする場合かある。このさい、
吸引台１６を上Ｆするようにして、物品２かベルト２２
上にきたとき吸引台を■げると物品２はベルト２２に確
実に乗り移ることができる。

また、粘着テープ１４は第７図に示すように物品２の１
〕に出校して狭いものでもよい。

上記のように保護フィルム４か剥がされてベルト２２上
に載った物品２はつきのマガジン２６内に送り込まれる
。

このマガジン２６も前記マガジン：うとほぼ類似するも
ので、適宜の昇降機構２４により昇降される受台２５上
に載り、物品２かマガジン２６内に１枚挿入される毎に
受台２５が１ピツチ上昇するものである。

上記の作用において、ピーリングローラ１７をローラ１
５間に送り込まれてくる。

なお、実施例は物品の供給およびフィルム剥離後の物品
の送り出しをベルトコンベヤにて行なっているか、物品
を吸着器により枦送する方式あるいはブツシャ−を用い
てもよい。

（７）効果 この発明はＬ記の通りであるから薄板状物品の上面に貼
付した保護フィルムの上面に貼付した粘着テープを引張
ること゛により簡単に剥離できる。

また、剥離にさいしては粘着テープの引きはかし力のみ
で保護フィルムをはかすので、物品か圧迫されたり、持
ち上げられたりして破損するようなおそれか会くないと
いう特有の効果かある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の剥離方法を実施する装置の一例を示
す一部縦断正面図、第２図は同上の平面図、第３図、第
４図、第５図は同上要部の作用を示す一部切欠拡大正面
図、第６図は粘着状態の拡大縦断面図、第７図は真空吸
引台の平面図、第８図は真空吸引台附近の他の例の縦断
側面図、第９図は同上の正面図である。 ２・・・薄板状物品、４・・・保護フィルム、１１゜１
２・・・巻軸、１４・・・粘着テープ、１６・・・真空
吸引台、１７・・・ピーリングローラ、Ａ・・・剥離手
段。 特許出願人　日東電気工業株式会社 同　代理人　鎌　１）　文　二

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ｆｌ）　薄板状物品の表面に貼付した粘着性の保護フィ
   ルムの表面に粘着テープを圧着し、この粘着テープを前
   記物品の上面とほぼ平行に移動する剥離手段により前記
   保護フィルムとともに薄板状物品から剥離するに際し、
   剥離手段の剥離時における戻り開始からフィルム巻上げ
   開始までに時間差を設けて、巻上げのスタートを遅らせ
   ることにより薄板状物品に機械的な影響を与えずに保護
   フィルムを引きはがすことを特徴とする保護フィルムの
   剥離方法。