JPS59169811A - 粘着フイルム貼付方法 - Google Patents
粘着フイルム貼付方法Info
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- JPS59169811A JPS59169811A JP4535283A JP4535283A JPS59169811A JP S59169811 A JPS59169811 A JP S59169811A JP 4535283 A JP4535283 A JP 4535283A JP 4535283 A JP4535283 A JP 4535283A JP S59169811 A JPS59169811 A JP S59169811A
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- JP
- Japan
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- film
- article
- strip
- adhesive film
- onto
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65C—LABELLING OR TAGGING MACHINES, APPARATUS, OR PROCESSES
- B65C9/00—Details of labelling machines or apparatus
- B65C9/08—Label feeding
- B65C9/18—Label feeding from strips, e.g. from rolls
- B65C9/1865—Label feeding from strips, e.g. from rolls the labels adhering on a backing strip
- B65C9/1876—Label feeding from strips, e.g. from rolls the labels adhering on a backing strip and being transferred by suction means
- B65C9/1884—Label feeding from strips, e.g. from rolls the labels adhering on a backing strip and being transferred by suction means the suction means being a movable vacuum arm or pad
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65C—LABELLING OR TAGGING MACHINES, APPARATUS, OR PROCESSES
- B65C1/00—Labelling flat essentially-rigid surfaces
- B65C1/02—Affixing labels to one flat surface of articles, e.g. of packages, of flat bands
- B65C1/021—Affixing labels to one flat surface of articles, e.g. of packages, of flat bands the label being applied by movement of the labelling head towards the article
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65C—LABELLING OR TAGGING MACHINES, APPARATUS, OR PROCESSES
- B65C9/00—Details of labelling machines or apparatus
- B65C9/02—Devices for moving articles, e.g. containers, past labelling station
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は例えば集積回路の基鈑になるシリコンウェハ
のような割れ易い円形その他の任意形状の薄板状の被貼
付物品の表面に粘着テープを貼付する方法に関するもの
である。
のような割れ易い円形その他の任意形状の薄板状の被貼
付物品の表面に粘着テープを貼付する方法に関するもの
である。
第8図は被貼付物品の一例としてのシリコンウェハ1上
に粘着フィルム2を貼付したものの平面図であり、第9
図のようにフィルム2の下面ノ粘着層3によりウェハ1
に貼付されている。この図のようにシリコンウェハは正
円の一部をカットした形状であるが、その他に3角、4
角その他の多角形のものもある。
に粘着フィルム2を貼付したものの平面図であり、第9
図のようにフィルム2の下面ノ粘着層3によりウェハ1
に貼付されている。この図のようにシリコンウェハは正
円の一部をカットした形状であるが、その他に3角、4
角その他の多角形のものもある。
従来では、シリコンウェハのような被貼付物品に粘着フ
ィルムを貼付する場合、まず、広巾の粘着テープを被貼
付物品上に貼付し、その後被貼付物品の外周に刃物を当
てがって粘着テープを物品の外周に沿って切断する方法
がとられている。
ィルムを貼付する場合、まず、広巾の粘着テープを被貼
付物品上に貼付し、その後被貼付物品の外周に刃物を当
てがって粘着テープを物品の外周に沿って切断する方法
がとられている。
このような従来方法の場合、物品が正円の場合は刃物を
物品の中心と同心の円周で一周させればよいので自動化
も容易であるが第8図のように正円の一部に切欠部があ
る場合や3角、4角などの多角形の場合は自動化が困難
である。
物品の中心と同心の円周で一周させればよいので自動化
も容易であるが第8図のように正円の一部に切欠部があ
る場合や3角、4角などの多角形の場合は自動化が困難
である。
また、シリコンウェハの場合はフィルムを貼付したのち
裏面を研磨する場合があるが、この研磨のさい、水流を
伴なう。
裏面を研磨する場合があるが、この研磨のさい、水流を
伴なう。
このため、フィルムの縁がウェハの周縁より突出してい
ると水流によりフィルムの周縁がまくれ]二って研磨の
邪魔になる。また、フィルムがウェハより小さくて、フ
ィルムの周縁よりウェハが引込んでいるときは水流によ
りウェハが持ち上げられるため、研磨による厚みの精度
が出なくなるという問題が生じる。
ると水流によりフィルムの周縁がまくれ]二って研磨の
邪魔になる。また、フィルムがウェハより小さくて、フ
ィルムの周縁よりウェハが引込んでいるときは水流によ
りウェハが持ち上げられるため、研磨による厚みの精度
が出なくなるという問題が生じる。
この発明の目的は上記のような問題を解決するため、被
貼付物品の周縁とフィルムの周縁とが殆んど一致するよ
うにフィルムを貼付することができる貼付方法を提供す
ることである。
貼付物品の周縁とフィルムの周縁とが殆んど一致するよ
うにフィルムを貼付することができる貼付方法を提供す
ることである。
すなわち、この発明は薄物状の被貼付物品の表面に粘着
テープを貼着するに当り、所定形状に形成した粘着フィ
ルムを貼着した離型性帯状体を用い、この帯状体から前
記粘着フィルムを剥離し、この粘着フィルムを被貼付物
品の表面に圧着せしめて接着することを特徴とするもの
である。
テープを貼着するに当り、所定形状に形成した粘着フィ
ルムを貼着した離型性帯状体を用い、この帯状体から前
記粘着フィルムを剥離し、この粘着フィルムを被貼付物
品の表面に圧着せしめて接着することを特徴とするもの
である。
この発明方法は上記の通りであるから、あらかじめ正確
な形状に切断した粘着フィルムを離形剤を塗布した台紙
からなる帯状体に一定間隔で貼付したものを用い、この
帯状体から帯状体の屈曲あるいは真空吸引などの適宜の
手段により剥離したフィルムをその粘着層を利用して被
貼着物品の上面に圧着せしめて貼付するものであるから
、貼付後にフィルムを切断する必要がない。従ってフィ
ルムの切断形状と、フィルムと被貼着物体の接着のさい
の位置決めさえ正確に行なえればフィルムの周縁と被貼
着物体の周縁とが正確に一致し研磨時においても前記の
ような不都合が起らないという効果が得られる。
な形状に切断した粘着フィルムを離形剤を塗布した台紙
からなる帯状体に一定間隔で貼付したものを用い、この
帯状体から帯状体の屈曲あるいは真空吸引などの適宜の
手段により剥離したフィルムをその粘着層を利用して被
貼着物品の上面に圧着せしめて貼付するものであるから
、貼付後にフィルムを切断する必要がない。従ってフィ
ルムの切断形状と、フィルムと被貼着物体の接着のさい
の位置決めさえ正確に行なえればフィルムの周縁と被貼
着物体の周縁とが正確に一致し研磨時においても前記の
ような不都合が起らないという効果が得られる。
以下にこの発明方法の一実施例を添付図面に基づいて説
明する。
明する。
第1図において、11は離型剤を上面に塗布した台紙か
らなる帯状体で、その上面に粘着フィルム12が一定の
間隔で貼着しである。又帯状体11には位置決め用の穴
を打抜加工するものもある。
らなる帯状体で、その上面に粘着フィルム12が一定の
間隔で貼着しである。又帯状体11には位置決め用の穴
を打抜加工するものもある。
粘着フィルム12は事前の工程により片面に粘着層を設
けたものを正確な形状に切断したもので、粘着層を利用
して帯状体11上に貼着する。その他に、シーリング加
工により帯状体11と粘着フィルム12の連続体から必
要部のみを残し、不要部を取り除くなどの作業により帯
状体11に粘着フィルム12を設ける場合もある。
けたものを正確な形状に切断したもので、粘着層を利用
して帯状体11上に貼着する。その他に、シーリング加
工により帯状体11と粘着フィルム12の連続体から必
要部のみを残し、不要部を取り除くなどの作業により帯
状体11に粘着フィルム12を設ける場合もある。
第2図、第3図はこの発明方法を実施する装置の一例で
ある。15は機台であって、その上部後寄すに多数のシ
リコンウェハのような被貼着物品16を一定の間隔で積
上げたマガジン17を設ける。
ある。15は機台であって、その上部後寄すに多数のシ
リコンウェハのような被貼着物品16を一定の間隔で積
上げたマガジン17を設ける。
19は無端搬送ベルト18を有する取出し手段20はベ
ルト18の駆動プーリであり、図示省略しであるモータ
により駆動される。21はマガジンの受台で適宜の昇降
機構22により一定ピッチにて下降し、つぎの物品16
をベルト18」−に載せる作用を行なう。25は機台1
5上の側方に設けた機箱で、その側面には一対の巻軸2
6.27を設ける。
ルト18の駆動プーリであり、図示省略しであるモータ
により駆動される。21はマガジンの受台で適宜の昇降
機構22により一定ピッチにて下降し、つぎの物品16
をベルト18」−に載せる作用を行なう。25は機台1
5上の側方に設けた機箱で、その側面には一対の巻軸2
6.27を設ける。
巻軸26には前記粘着フィルム12を持った帯状体11
を巻き、巻軸27はフィルム12を剥離したのちの帯状
体11を巻きとるものである。
を巻き、巻軸27はフィルム12を剥離したのちの帯状
体11を巻きとるものである。
28は機箱25に設けたガイドローラで、その下方にガ
イド部材29を設け、巻軸26から引出された帯状体1
1はガイドローラ2日を経てガイド部材29のナイフェ
ツジ状の先端部30により急角度に曲げられ、一対の引
取りローラ31間を経て巻軸27により巻取られるよう
に構成する。
イド部材29を設け、巻軸26から引出された帯状体1
1はガイドローラ2日を経てガイド部材29のナイフェ
ツジ状の先端部30により急角度に曲げられ、一対の引
取りローラ31間を経て巻軸27により巻取られるよう
に構成する。
また、図示省略しであるが、物品16に方向決定用の切
欠14がある場合、マガジンの前方に複数の縦の回転棒
などからなる位置決め手段を設け、この位置決め手段に
より切欠14を前向きなどの一定の向きに揃え、位置の
修正等を行なう。
欠14がある場合、マガジンの前方に複数の縦の回転棒
などからなる位置決め手段を設け、この位置決め手段に
より切欠14を前向きなどの一定の向きに揃え、位置の
修正等を行なう。
32はガイド部材29の下方の真空吸引台で上面に無数
の吸引孔を有する中空体であり、」一部開放の枠50で
囲まれ、真空吸引装置に弁を介して連通したものである
。
の吸引孔を有する中空体であり、」一部開放の枠50で
囲まれ、真空吸引装置に弁を介して連通したものである
。
また、吸引台32の前方に(4エアシリンダ、電磁石な
どで昇降するストッパ33を設け、ストッパ33が上昇
している条件でベルト18を駆動して1枚の物品16を
吸引台32上に供給して物品16の切欠14がストッパ
33に当った条件でベルト18を止め、吸引台32の真
空吸引を開始し、物品16を台32上に固定する。また
、ベルト18を曳くシストツバの手前にて位置決めを行
ない吸引台32は省略することもある。
どで昇降するストッパ33を設け、ストッパ33が上昇
している条件でベルト18を駆動して1枚の物品16を
吸引台32上に供給して物品16の切欠14がストッパ
33に当った条件でベルト18を止め、吸引台32の真
空吸引を開始し、物品16を台32上に固定する。また
、ベルト18を曳くシストツバの手前にて位置決めを行
ない吸引台32は省略することもある。
一方、巻軸27および引取ローラ31を駆動して帯状体
11を引張ることにより急角度に屈曲した帯状体11か
らフィルム12が剥、離し、その切欠13がストッパ3
3に当り、かつ物品16の先端上に接触する。
11を引張ることにより急角度に屈曲した帯状体11か
らフィルム12が剥、離し、その切欠13がストッパ3
3に当り、かつ物品16の先端上に接触する。
この条件でストッパ33が下り、真空吸引は止められる
。帯状体11は引き続いて引張られているから、フィル
ム12は物品16とともに前進し、上下の引取りローラ
35間に先端が入れはその後は物品16とフィルム12
が上下のローラ35により圧着されつつ移動し、フィル
ム12は物品16上に正確に貼付され、ベルトコンベヤ
36を経てマガジン37内に送り込まれる。
。帯状体11は引き続いて引張られているから、フィル
ム12は物品16とともに前進し、上下の引取りローラ
35間に先端が入れはその後は物品16とフィルム12
が上下のローラ35により圧着されつつ移動し、フィル
ム12は物品16上に正確に貼付され、ベルトコンベヤ
36を経てマガジン37内に送り込まれる。
このマガジン37も前記マガジン17とほぼ類似するも
ので、適宜の昇降機構38により昇降される受台39上
に載り、フィルム12を貼付した物品16がマガジン3
7内に1枚挿入される毎に受台39が1ピツチ上昇する
ものである。
ので、適宜の昇降機構38により昇降される受台39上
に載り、フィルム12を貼付した物品16がマガジン3
7内に1枚挿入される毎に受台39が1ピツチ上昇する
ものである。
第6図、第7図は他の実施例を示すものである。
この実施例の場合、ガイド部材29の上面を水平にして
真空吸引パッド40によりフィルム12を吸着して剥離
する。このパッド40は前記枠50に対応する下部開放
の枠51で囲まれている。
真空吸引パッド40によりフィルム12を吸着して剥離
する。このパッド40は前記枠50に対応する下部開放
の枠51で囲まれている。
パッド40は移動台41の下イ則に取付けたエアシリン
ダまたは電磁石などの昇降機構42により昇降し、移動
台41もエアシリンダあるいは送りネジなどでガイドレ
ール43に沿って進退する。
ダまたは電磁石などの昇降機構42により昇降し、移動
台41もエアシリンダあるいは送りネジなどでガイドレ
ール43に沿って進退する。
パッド40は中空で下面に多数の吸引孔を有し、真空吸
引装置に弁を介して連通したものである。
引装置に弁を介して連通したものである。
この例の場合、ガイド部材29 J:の帯状体11に貼
着されているフィルム12上に下降したパッド40の下
面にフィルム12を吸着せしめ、帯状体11の移動とと
もに移動台41が矢印方向に移動してフィルム12はパ
ッド40に吸着された才ま移動し、帯状体11は巻軸に
巻取られて矢印方向に移動する。
着されているフィルム12上に下降したパッド40の下
面にフィルム12を吸着せしめ、帯状体11の移動とと
もに移動台41が矢印方向に移動してフィルム12はパ
ッド40に吸着された才ま移動し、帯状体11は巻軸に
巻取られて矢印方向に移動する。
こうして、帯状体11から剥、離したフィルム12を吸
着(7たパッド40が吸引台32上にくると移動台41
は−たん停止する。一方、無端搬送ベルト18により送
られてきた被貼着物品16が吸引台32−1−、に載っ
て真空吸引により一定の位置に固定されているから、前
記のように移動台41が停止したのち、パッド40が第
6図鎖線のように下降すると、バンド40の下面のフィ
ルム12が粘着層により物品16上に粘着される。この
とき、」二下の枠50.51で囲まれた内部を真空状態
にして貼付を行なうと気泡、はこり等の入るのをより確
実に防ぐことができる。
着(7たパッド40が吸引台32上にくると移動台41
は−たん停止する。一方、無端搬送ベルト18により送
られてきた被貼着物品16が吸引台32−1−、に載っ
て真空吸引により一定の位置に固定されているから、前
記のように移動台41が停止したのち、パッド40が第
6図鎖線のように下降すると、バンド40の下面のフィ
ルム12が粘着層により物品16上に粘着される。この
とき、」二下の枠50.51で囲まれた内部を真空状態
にして貼付を行なうと気泡、はこり等の入るのをより確
実に防ぐことができる。
ついで、」−下の枠50.51の真空を解き吸引台32
の吸引を解き、パッド40にフィルム12を介して物品
16を吸着したままパッド4.0を若干上昇させて移動
台41をコンベヤ36上まで移動させたのち、パッド4
0を下げて物品16をコンベヤ36上に載せ、ついでパ
ッド40による真空吸引を解いて物品16をコンベヤ3
6上に残し、パッド40は上昇し、移動台4,1ととも
に元の位置に戻る。
の吸引を解き、パッド40にフィルム12を介して物品
16を吸着したままパッド4.0を若干上昇させて移動
台41をコンベヤ36上まで移動させたのち、パッド4
0を下げて物品16をコンベヤ36上に載せ、ついでパ
ッド40による真空吸引を解いて物品16をコンベヤ3
6上に残し、パッド40は上昇し、移動台4,1ととも
に元の位置に戻る。
第6図、第7図に示した部分以外は第1の実施例と同様
である。また、図示例ではシリコンウェハに対してフィ
ルムが小さく画いであるが、実際の寸法はシリコンウェ
ハとフィルムの外周がほぼ一致する程度の大きさにする
とよい。
である。また、図示例ではシリコンウェハに対してフィ
ルムが小さく画いであるが、実際の寸法はシリコンウェ
ハとフィルムの外周がほぼ一致する程度の大きさにする
とよい。
第1図はこの発明の貼付方法により貼付するフィルムを
貼着した帯状体の一部切欠斜視図、第2図はこの発明の
貼付方法を実施する装置の一例を示す一部縦断正面図、
第3図は同上の平面図、第4図、第5図は同」二要部の
作用を示す一部切欠拡大正面図、第6図は他の実施例の
要部を示す拡大正面図、第7図は同上要部の一部縦断拡
大側面図、第8図はフィルムを貼付した物品の一例を示
す平面図、第9図は同」二の一部の拡大縦断面図である
。 11・・・帯状体、12・・・粘着フィルム、16・・
・被貼付物品、29・・・ガイド部材、40・・・真空
吸引パッド。
貼着した帯状体の一部切欠斜視図、第2図はこの発明の
貼付方法を実施する装置の一例を示す一部縦断正面図、
第3図は同上の平面図、第4図、第5図は同」二要部の
作用を示す一部切欠拡大正面図、第6図は他の実施例の
要部を示す拡大正面図、第7図は同上要部の一部縦断拡
大側面図、第8図はフィルムを貼付した物品の一例を示
す平面図、第9図は同」二の一部の拡大縦断面図である
。 11・・・帯状体、12・・・粘着フィルム、16・・
・被貼付物品、29・・・ガイド部材、40・・・真空
吸引パッド。
Claims (3)
- (1) 薄板状の被貼付物品の表面に粘着フィルムを
貼着するに当り、所定形状に形成した粘着フィルムを貼
着した離型性帯状体を用い、この帯状体から前記粘着フ
ィルムを剥離し、この粘着フィルムを被貼付物品の表面
に圧着せしめて接着することを特徴とする粘着フィルム
貼付方法。 - (2)粘着フィルムを貼付した離型性帯状体を被貼付物
品の上部において急角度に屈曲しつつ移動させることに
より粘着フィルムを帯状体から剥離し、被貼付物品の表
面に粘着フィルムを貼付しつつ被貼付物品と粘着フィル
ムを移動させ、フィルムを剥離したのちの帯状体は反対
方向に移動させることを特徴とする特許請求の範囲第1
項記載の粘着フィルム貼付方法。 - (3) 離型性帯状体に貼着した粘着フィルムを真空
吸引により剥離したのち、被貼付物品の表面に粘着フィ
ルムを圧着せしめて接着することを特徴とする特許請求
の範囲第1項記載の粘着フィルム貼付方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4535283A JPS59169811A (ja) | 1983-03-16 | 1983-03-16 | 粘着フイルム貼付方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4535283A JPS59169811A (ja) | 1983-03-16 | 1983-03-16 | 粘着フイルム貼付方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59169811A true JPS59169811A (ja) | 1984-09-25 |
JPS644904B2 JPS644904B2 (ja) | 1989-01-27 |
Family
ID=12716880
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4535283A Granted JPS59169811A (ja) | 1983-03-16 | 1983-03-16 | 粘着フイルム貼付方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59169811A (ja) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2014116422A (ja) * | 2012-12-07 | 2014-06-26 | Lintec Corp | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
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-
1983
- 1983-03-16 JP JP4535283A patent/JPS59169811A/ja active Granted
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