JPS59169811A - 粘着フイルム貼付方法 - Google Patents
粘着フイルム貼付方法Info
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- JPS59169811A JPS59169811A JP4535283A JP4535283A JPS59169811A JP S59169811 A JPS59169811 A JP S59169811A JP 4535283 A JP4535283 A JP 4535283A JP 4535283 A JP4535283 A JP 4535283A JP S59169811 A JPS59169811 A JP S59169811A
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- JP
- Japan
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- film
- article
- strip
- adhesive film
- onto
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- Granted
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65C—LABELLING OR TAGGING MACHINES, APPARATUS, OR PROCESSES
- B65C9/00—Details of labelling machines or apparatus
- B65C9/08—Label feeding
- B65C9/18—Label feeding from strips, e.g. from rolls
- B65C9/1865—Label feeding from strips, e.g. from rolls the labels adhering on a backing strip
- B65C9/1876—Label feeding from strips, e.g. from rolls the labels adhering on a backing strip and being transferred by suction means
- B65C9/1884—Label feeding from strips, e.g. from rolls the labels adhering on a backing strip and being transferred by suction means the suction means being a movable vacuum arm or pad
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65C—LABELLING OR TAGGING MACHINES, APPARATUS, OR PROCESSES
- B65C1/00—Labelling flat essentially-rigid surfaces
- B65C1/02—Affixing labels to one flat surface of articles, e.g. of packages, of flat bands
- B65C1/021—Affixing labels to one flat surface of articles, e.g. of packages, of flat bands the label being applied by movement of the labelling head towards the article
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65C—LABELLING OR TAGGING MACHINES, APPARATUS, OR PROCESSES
- B65C9/00—Details of labelling machines or apparatus
- B65C9/02—Devices for moving articles, e.g. containers, past labelling station
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は例えば集積回路の基鈑になるシリコンウェハ
のような割れ易い円形その他の任意形状の薄板状の被貼
付物品の表面に粘着テープを貼付する方法に関するもの
である。
のような割れ易い円形その他の任意形状の薄板状の被貼
付物品の表面に粘着テープを貼付する方法に関するもの
である。
第８図は被貼付物品の一例としてのシリコンウェハ１上
に粘着フィルム２を貼付したものの平面図であり、第９
図のようにフィルム２の下面ノ粘着層３によりウェハ１
に貼付されている。この図のようにシリコンウェハは正
円の一部をカットした形状であるが、その他に３角、４
角その他の多角形のものもある。
に粘着フィルム２を貼付したものの平面図であり、第９
図のようにフィルム２の下面ノ粘着層３によりウェハ１
に貼付されている。この図のようにシリコンウェハは正
円の一部をカットした形状であるが、その他に３角、４
角その他の多角形のものもある。
従来では、シリコンウェハのような被貼付物品に粘着フ
ィルムを貼付する場合、まず、広巾の粘着テープを被貼
付物品上に貼付し、その後被貼付物品の外周に刃物を当
てがって粘着テープを物品の外周に沿って切断する方法
がとられている。
ィルムを貼付する場合、まず、広巾の粘着テープを被貼
付物品上に貼付し、その後被貼付物品の外周に刃物を当
てがって粘着テープを物品の外周に沿って切断する方法
がとられている。
このような従来方法の場合、物品が正円の場合は刃物を
物品の中心と同心の円周で一周させればよいので自動化
も容易であるが第８図のように正円の一部に切欠部があ
る場合や３角、４角などの多角形の場合は自動化が困難
である。
物品の中心と同心の円周で一周させればよいので自動化
も容易であるが第８図のように正円の一部に切欠部があ
る場合や３角、４角などの多角形の場合は自動化が困難
である。
また、シリコンウェハの場合はフィルムを貼付したのち
裏面を研磨する場合があるが、この研磨のさい、水流を
伴なう。
裏面を研磨する場合があるが、この研磨のさい、水流を
伴なう。
このため、フィルムの縁がウェハの周縁より突出してい
ると水流によりフィルムの周縁がまくれ］二って研磨の
邪魔になる。また、フィルムがウェハより小さくて、フ
ィルムの周縁よりウェハが引込んでいるときは水流によ
りウェハが持ち上げられるため、研磨による厚みの精度
が出なくなるという問題が生じる。
ると水流によりフィルムの周縁がまくれ］二って研磨の
邪魔になる。また、フィルムがウェハより小さくて、フ
ィルムの周縁よりウェハが引込んでいるときは水流によ
りウェハが持ち上げられるため、研磨による厚みの精度
が出なくなるという問題が生じる。
この発明の目的は上記のような問題を解決するため、被
貼付物品の周縁とフィルムの周縁とが殆んど一致するよ
うにフィルムを貼付することができる貼付方法を提供す
ることである。
貼付物品の周縁とフィルムの周縁とが殆んど一致するよ
うにフィルムを貼付することができる貼付方法を提供す
ることである。
すなわち、この発明は薄物状の被貼付物品の表面に粘着
テープを貼着するに当り、所定形状に形成した粘着フィ
ルムを貼着した離型性帯状体を用い、この帯状体から前
記粘着フィルムを剥離し、この粘着フィルムを被貼付物
品の表面に圧着せしめて接着することを特徴とするもの
である。
テープを貼着するに当り、所定形状に形成した粘着フィ
ルムを貼着した離型性帯状体を用い、この帯状体から前
記粘着フィルムを剥離し、この粘着フィルムを被貼付物
品の表面に圧着せしめて接着することを特徴とするもの
である。
この発明方法は上記の通りであるから、あらかじめ正確
な形状に切断した粘着フィルムを離形剤を塗布した台紙
からなる帯状体に一定間隔で貼付したものを用い、この
帯状体から帯状体の屈曲あるいは真空吸引などの適宜の
手段により剥離したフィルムをその粘着層を利用して被
貼着物品の上面に圧着せしめて貼付するものであるから
、貼付後にフィルムを切断する必要がない。従ってフィ
ルムの切断形状と、フィルムと被貼着物体の接着のさい
の位置決めさえ正確に行なえればフィルムの周縁と被貼
着物体の周縁とが正確に一致し研磨時においても前記の
ような不都合が起らないという効果が得られる。
な形状に切断した粘着フィルムを離形剤を塗布した台紙
からなる帯状体に一定間隔で貼付したものを用い、この
帯状体から帯状体の屈曲あるいは真空吸引などの適宜の
手段により剥離したフィルムをその粘着層を利用して被
貼着物品の上面に圧着せしめて貼付するものであるから
、貼付後にフィルムを切断する必要がない。従ってフィ
ルムの切断形状と、フィルムと被貼着物体の接着のさい
の位置決めさえ正確に行なえればフィルムの周縁と被貼
着物体の周縁とが正確に一致し研磨時においても前記の
ような不都合が起らないという効果が得られる。
以下にこの発明方法の一実施例を添付図面に基づいて説
明する。
明する。
第１図において、１１は離型剤を上面に塗布した台紙か
らなる帯状体で、その上面に粘着フィルム１２が一定の
間隔で貼着しである。又帯状体１１には位置決め用の穴
を打抜加工するものもある。
らなる帯状体で、その上面に粘着フィルム１２が一定の
間隔で貼着しである。又帯状体１１には位置決め用の穴
を打抜加工するものもある。
粘着フィルム１２は事前の工程により片面に粘着層を設
けたものを正確な形状に切断したもので、粘着層を利用
して帯状体１１上に貼着する。その他に、シーリング加
工により帯状体１１と粘着フィルム１２の連続体から必
要部のみを残し、不要部を取り除くなどの作業により帯
状体１１に粘着フィルム１２を設ける場合もある。
けたものを正確な形状に切断したもので、粘着層を利用
して帯状体１１上に貼着する。その他に、シーリング加
工により帯状体１１と粘着フィルム１２の連続体から必
要部のみを残し、不要部を取り除くなどの作業により帯
状体１１に粘着フィルム１２を設ける場合もある。
第２図、第３図はこの発明方法を実施する装置の一例で
ある。１５は機台であって、その上部後寄すに多数のシ
リコンウェハのような被貼着物品１６を一定の間隔で積
上げたマガジン１７を設ける。
ある。１５は機台であって、その上部後寄すに多数のシ
リコンウェハのような被貼着物品１６を一定の間隔で積
上げたマガジン１７を設ける。
１９は無端搬送ベルト１８を有する取出し手段２０はベ
ルト１８の駆動プーリであり、図示省略しであるモータ
により駆動される。２１はマガジンの受台で適宜の昇降
機構２２により一定ピッチにて下降し、つぎの物品１６
をベルト１８」−に載せる作用を行なう。２５は機台１
５上の側方に設けた機箱で、その側面には一対の巻軸２
６．２７を設ける。
ルト１８の駆動プーリであり、図示省略しであるモータ
により駆動される。２１はマガジンの受台で適宜の昇降
機構２２により一定ピッチにて下降し、つぎの物品１６
をベルト１８」−に載せる作用を行なう。２５は機台１
５上の側方に設けた機箱で、その側面には一対の巻軸２
６．２７を設ける。
巻軸２６には前記粘着フィルム１２を持った帯状体１１
を巻き、巻軸２７はフィルム１２を剥離したのちの帯状
体１１を巻きとるものである。
を巻き、巻軸２７はフィルム１２を剥離したのちの帯状
体１１を巻きとるものである。
２８は機箱２５に設けたガイドローラで、その下方にガ
イド部材２９を設け、巻軸２６から引出された帯状体１
１はガイドローラ２日を経てガイド部材２９のナイフェ
ツジ状の先端部３０により急角度に曲げられ、一対の引
取りローラ３１間を経て巻軸２７により巻取られるよう
に構成する。
イド部材２９を設け、巻軸２６から引出された帯状体１
１はガイドローラ２日を経てガイド部材２９のナイフェ
ツジ状の先端部３０により急角度に曲げられ、一対の引
取りローラ３１間を経て巻軸２７により巻取られるよう
に構成する。
また、図示省略しであるが、物品１６に方向決定用の切
欠１４がある場合、マガジンの前方に複数の縦の回転棒
などからなる位置決め手段を設け、この位置決め手段に
より切欠１４を前向きなどの一定の向きに揃え、位置の
修正等を行なう。
欠１４がある場合、マガジンの前方に複数の縦の回転棒
などからなる位置決め手段を設け、この位置決め手段に
より切欠１４を前向きなどの一定の向きに揃え、位置の
修正等を行なう。
３２はガイド部材２９の下方の真空吸引台で上面に無数
の吸引孔を有する中空体であり、」一部開放の枠５０で
囲まれ、真空吸引装置に弁を介して連通したものである
。
の吸引孔を有する中空体であり、」一部開放の枠５０で
囲まれ、真空吸引装置に弁を介して連通したものである
。
また、吸引台３２の前方に（４エアシリンダ、電磁石な
どで昇降するストッパ３３を設け、ストッパ３３が上昇
している条件でベルト１８を駆動して１枚の物品１６を
吸引台３２上に供給して物品１６の切欠１４がストッパ
３３に当った条件でベルト１８を止め、吸引台３２の真
空吸引を開始し、物品１６を台３２上に固定する。また
、ベルト１８を曳くシストツバの手前にて位置決めを行
ない吸引台３２は省略することもある。
どで昇降するストッパ３３を設け、ストッパ３３が上昇
している条件でベルト１８を駆動して１枚の物品１６を
吸引台３２上に供給して物品１６の切欠１４がストッパ
３３に当った条件でベルト１８を止め、吸引台３２の真
空吸引を開始し、物品１６を台３２上に固定する。また
、ベルト１８を曳くシストツバの手前にて位置決めを行
ない吸引台３２は省略することもある。
一方、巻軸２７および引取ローラ３１を駆動して帯状体
１１を引張ることにより急角度に屈曲した帯状体１１か
らフィルム１２が剥、離し、その切欠１３がストッパ３
３に当り、かつ物品１６の先端上に接触する。
１１を引張ることにより急角度に屈曲した帯状体１１か
らフィルム１２が剥、離し、その切欠１３がストッパ３
３に当り、かつ物品１６の先端上に接触する。
この条件でストッパ３３が下り、真空吸引は止められる
。帯状体１１は引き続いて引張られているから、フィル
ム１２は物品１６とともに前進し、上下の引取りローラ
３５間に先端が入れはその後は物品１６とフィルム１２
が上下のローラ３５により圧着されつつ移動し、フィル
ム１２は物品１６上に正確に貼付され、ベルトコンベヤ
３６を経てマガジン３７内に送り込まれる。
。帯状体１１は引き続いて引張られているから、フィル
ム１２は物品１６とともに前進し、上下の引取りローラ
３５間に先端が入れはその後は物品１６とフィルム１２
が上下のローラ３５により圧着されつつ移動し、フィル
ム１２は物品１６上に正確に貼付され、ベルトコンベヤ
３６を経てマガジン３７内に送り込まれる。
このマガジン３７も前記マガジン１７とほぼ類似するも
ので、適宜の昇降機構３８により昇降される受台３９上
に載り、フィルム１２を貼付した物品１６がマガジン３
７内に１枚挿入される毎に受台３９が１ピツチ上昇する
ものである。
ので、適宜の昇降機構３８により昇降される受台３９上
に載り、フィルム１２を貼付した物品１６がマガジン３
７内に１枚挿入される毎に受台３９が１ピツチ上昇する
ものである。
第６図、第７図は他の実施例を示すものである。
この実施例の場合、ガイド部材２９の上面を水平にして
真空吸引パッド４０によりフィルム１２を吸着して剥離
する。このパッド４０は前記枠５０に対応する下部開放
の枠５１で囲まれている。
真空吸引パッド４０によりフィルム１２を吸着して剥離
する。このパッド４０は前記枠５０に対応する下部開放
の枠５１で囲まれている。
パッド４０は移動台４１の下イ則に取付けたエアシリン
ダまたは電磁石などの昇降機構４２により昇降し、移動
台４１もエアシリンダあるいは送りネジなどでガイドレ
ール４３に沿って進退する。
ダまたは電磁石などの昇降機構４２により昇降し、移動
台４１もエアシリンダあるいは送りネジなどでガイドレ
ール４３に沿って進退する。
パッド４０は中空で下面に多数の吸引孔を有し、真空吸
引装置に弁を介して連通したものである。
引装置に弁を介して連通したものである。
この例の場合、ガイド部材２９ Ｊ：の帯状体１１に貼
着されているフィルム１２上に下降したパッド４０の下
面にフィルム１２を吸着せしめ、帯状体１１の移動とと
もに移動台４１が矢印方向に移動してフィルム１２はパ
ッド４０に吸着された才ま移動し、帯状体１１は巻軸に
巻取られて矢印方向に移動する。
着されているフィルム１２上に下降したパッド４０の下
面にフィルム１２を吸着せしめ、帯状体１１の移動とと
もに移動台４１が矢印方向に移動してフィルム１２はパ
ッド４０に吸着された才ま移動し、帯状体１１は巻軸に
巻取られて矢印方向に移動する。
こうして、帯状体１１から剥、離したフィルム１２を吸
着（７たパッド４０が吸引台３２上にくると移動台４１
は−たん停止する。一方、無端搬送ベルト１８により送
られてきた被貼着物品１６が吸引台３２−１−、に載っ
て真空吸引により一定の位置に固定されているから、前
記のように移動台４１が停止したのち、パッド４０が第
６図鎖線のように下降すると、バンド４０の下面のフィ
ルム１２が粘着層により物品１６上に粘着される。この
とき、」二下の枠５０．５１で囲まれた内部を真空状態
にして貼付を行なうと気泡、はこり等の入るのをより確
実に防ぐことができる。
着（７たパッド４０が吸引台３２上にくると移動台４１
は−たん停止する。一方、無端搬送ベルト１８により送
られてきた被貼着物品１６が吸引台３２−１−、に載っ
て真空吸引により一定の位置に固定されているから、前
記のように移動台４１が停止したのち、パッド４０が第
６図鎖線のように下降すると、バンド４０の下面のフィ
ルム１２が粘着層により物品１６上に粘着される。この
とき、」二下の枠５０．５１で囲まれた内部を真空状態
にして貼付を行なうと気泡、はこり等の入るのをより確
実に防ぐことができる。
ついで、」−下の枠５０．５１の真空を解き吸引台３２
の吸引を解き、パッド４０にフィルム１２を介して物品
１６を吸着したままパッド４．０を若干上昇させて移動
台４１をコンベヤ３６上まで移動させたのち、パッド４
０を下げて物品１６をコンベヤ３６上に載せ、ついでパ
ッド４０による真空吸引を解いて物品１６をコンベヤ３
６上に残し、パッド４０は上昇し、移動台４，１ととも
に元の位置に戻る。
の吸引を解き、パッド４０にフィルム１２を介して物品
１６を吸着したままパッド４．０を若干上昇させて移動
台４１をコンベヤ３６上まで移動させたのち、パッド４
０を下げて物品１６をコンベヤ３６上に載せ、ついでパ
ッド４０による真空吸引を解いて物品１６をコンベヤ３
６上に残し、パッド４０は上昇し、移動台４，１ととも
に元の位置に戻る。
第６図、第７図に示した部分以外は第１の実施例と同様
である。また、図示例ではシリコンウェハに対してフィ
ルムが小さく画いであるが、実際の寸法はシリコンウェ
ハとフィルムの外周がほぼ一致する程度の大きさにする
とよい。
である。また、図示例ではシリコンウェハに対してフィ
ルムが小さく画いであるが、実際の寸法はシリコンウェ
ハとフィルムの外周がほぼ一致する程度の大きさにする
とよい。
第１図はこの発明の貼付方法により貼付するフィルムを
貼着した帯状体の一部切欠斜視図、第２図はこの発明の
貼付方法を実施する装置の一例を示す一部縦断正面図、
第３図は同上の平面図、第４図、第５図は同」二要部の
作用を示す一部切欠拡大正面図、第６図は他の実施例の
要部を示す拡大正面図、第７図は同上要部の一部縦断拡
大側面図、第８図はフィルムを貼付した物品の一例を示
す平面図、第９図は同」二の一部の拡大縦断面図である
。 １１・・・帯状体、１２・・・粘着フィルム、１６・・
・被貼付物品、２９・・・ガイド部材、４０・・・真空
吸引パッド。
貼着した帯状体の一部切欠斜視図、第２図はこの発明の
貼付方法を実施する装置の一例を示す一部縦断正面図、
第３図は同上の平面図、第４図、第５図は同」二要部の
作用を示す一部切欠拡大正面図、第６図は他の実施例の
要部を示す拡大正面図、第７図は同上要部の一部縦断拡
大側面図、第８図はフィルムを貼付した物品の一例を示
す平面図、第９図は同」二の一部の拡大縦断面図である
。 １１・・・帯状体、１２・・・粘着フィルム、１６・・
・被貼付物品、２９・・・ガイド部材、４０・・・真空
吸引パッド。
Claims (3)
- （１） 薄板状の被貼付物品の表面に粘着フィルムを
貼着するに当り、所定形状に形成した粘着フィルムを貼
着した離型性帯状体を用い、この帯状体から前記粘着フ
ィルムを剥離し、この粘着フィルムを被貼付物品の表面
に圧着せしめて接着することを特徴とする粘着フィルム
貼付方法。 - （２）粘着フィルムを貼付した離型性帯状体を被貼付物
品の上部において急角度に屈曲しつつ移動させることに
より粘着フィルムを帯状体から剥離し、被貼付物品の表
面に粘着フィルムを貼付しつつ被貼付物品と粘着フィル
ムを移動させ、フィルムを剥離したのちの帯状体は反対
方向に移動させることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の粘着フィルム貼付方法。 - （３） 離型性帯状体に貼着した粘着フィルムを真空
吸引により剥離したのち、被貼付物品の表面に粘着フィ
ルムを圧着せしめて接着することを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の粘着フィルム貼付方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4535283A JPS59169811A (ja) | 1983-03-16 | 1983-03-16 | 粘着フイルム貼付方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4535283A JPS59169811A (ja) | 1983-03-16 | 1983-03-16 | 粘着フイルム貼付方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59169811A true JPS59169811A (ja) | 1984-09-25 |
| JPS644904B2 JPS644904B2 (ja) | 1989-01-27 |
Family
ID=12716880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4535283A Granted JPS59169811A (ja) | 1983-03-16 | 1983-03-16 | 粘着フイルム貼付方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59169811A (ja) |
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-
1983
- 1983-03-16 JP JP4535283A patent/JPS59169811A/ja active Granted
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