JPS60242713A - 圧電振動子の電極構造 - Google Patents
圧電振動子の電極構造Info
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- JPS60242713A JPS60242713A JP9957584A JP9957584A JPS60242713A JP S60242713 A JPS60242713 A JP S60242713A JP 9957584 A JP9957584 A JP 9957584A JP 9957584 A JP9957584 A JP 9957584A JP S60242713 A JPS60242713 A JP S60242713A
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 6
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 4
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/21—Crystal tuning forks
- H03H9/215—Crystal tuning forks consisting of quartz
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の″ｆＦＩＪ用分野〕
本発明は、長さたて振動モードで動作する。３本の振動
枝を有する圧電振動子（以下簡単のためＥ型振動子゛と
略称する）の高次振動を励振する電極構造に関する。
枝を有する圧電振動子（以下簡単のためＥ型振動子゛と
略称する）の高次振動を励振する電極構造に関する。
近年エレクトロニクスの発展に伴って一使用される水晶
振動子の周波数帯は拡大の一途をた片っている。高周波
帯では厚みすべりモードを利用し。
振動子の周波数帯は拡大の一途をた片っている。高周波
帯では厚みすべりモードを利用し。
たＡＴカット振動子が主流であり一低周波帯では屈曲モ
ードを利用した音叉型振動子が主流となっている、一方
中周波帯では、長さたてモードを利用した振動子が注目
されはじめており、Ｅ型振動子もそのなかの一つである
。しかし従来のＥ型振動子は−１次振動モードの励振に
適し、た電極構造をとって℃・るため１周波数の高いＥ
型振動子を設計しようとすると一娠動枝の長さ寸法は、
非常に短かくしなければならず、その結果クリスタルイ
ンピーダンス（ＣＩ値）が大きくなってしまうという欠
点があった、 〔発明の目的〕 本発明の目的は２周波数を高く設計してもＣＩ値が大き
くならないようなＥ型振動子の電極構造を提供すること
にある。
ードを利用した音叉型振動子が主流となっている、一方
中周波帯では、長さたてモードを利用した振動子が注目
されはじめており、Ｅ型振動子もそのなかの一つである
。しかし従来のＥ型振動子は−１次振動モードの励振に
適し、た電極構造をとって℃・るため１周波数の高いＥ
型振動子を設計しようとすると一娠動枝の長さ寸法は、
非常に短かくしなければならず、その結果クリスタルイ
ンピーダンス（ＣＩ値）が大きくなってしまうという欠
点があった、 〔発明の目的〕 本発明の目的は２周波数を高く設計してもＣＩ値が大き
くならないようなＥ型振動子の電極構造を提供すること
にある。
この目的を達成するために一本発明では−長さたて振動
モードで動作する− ３本の振動枝を有する圧電振動子
の電極構造において一振動枝に固着されている電極の極
性が一振動枝の長手方向にそって交互に反転しているこ
とを特徴とし７ている。
モードで動作する− ３本の振動枝を有する圧電振動子
の電極構造において一振動枝に固着されている電極の極
性が一振動枝の長手方向にそって交互に反転しているこ
とを特徴とし７ている。
以下図面に基づき本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図である。
Ｅ型振動子１０はｍ＝様な板厚の水晶から一体に形成さ
れており、振動技１１１１１３の側面には、電極として
金属の蒸着膜がもうけられている、例えば、振動技１１
の一方の側面１１ａ上には電極膜ＩＡａ−１５ａが各々
独立に基部側からこの順に蒸着により形成されている。
れており、振動技１１１１１３の側面には、電極として
金属の蒸着膜がもうけられている、例えば、振動技１１
の一方の側面１１ａ上には電極膜ＩＡａ−１５ａが各々
独立に基部側からこの順に蒸着により形成されている。
そして電極膜１ｄａ−１５ａは極性が互℃・に逆極性と
なるように電極端子１４−１５に接続されている。そし
て振動技１１の他方の側面１ｉｂ上には電極膜１５ｂ−
１ａｂがやはり基部側からこの順に蒸着にて形成されて
いる。そして電極膜１ｄｂ−１５ｂの極性も互いに逆極
性となるよう電極端子１１１５に接続されており、それ
と共に電極膜ＩＡａと１５ｂ−１５ａとｔａｂは夫々枝
を挾んで逆極性にて対向配置されている。振動技１２−
１３の電極配置も同様である。Ｅ型振動子１０の電極端
子１１１５に２次の長さたて振動モードの共振周波数に
等しい周波数の交流電圧を印加すると振動技１１１１１
３の巾方向には一矢印で示す向きの駆動電界（以下簡単
に平行電界と称する）が発生する。その結果−振動技１
１．１２−１３は、水晶の逆圧電効果によって、長手方
向にのび縮みのひずみ成分を伴った２次の長さたて振動
を行う。この場合振動技１１と１６は同相で−振動枝１
２は逆相で振動する。
なるように電極端子１４−１５に接続されている。そし
て振動技１１の他方の側面１ｉｂ上には電極膜１５ｂ−
１ａｂがやはり基部側からこの順に蒸着にて形成されて
いる。そして電極膜１ｄｂ−１５ｂの極性も互いに逆極
性となるよう電極端子１１１５に接続されており、それ
と共に電極膜ＩＡａと１５ｂ−１５ａとｔａｂは夫々枝
を挾んで逆極性にて対向配置されている。振動技１２−
１３の電極配置も同様である。Ｅ型振動子１０の電極端
子１１１５に２次の長さたて振動モードの共振周波数に
等しい周波数の交流電圧を印加すると振動技１１１１１
３の巾方向には一矢印で示す向きの駆動電界（以下簡単
に平行電界と称する）が発生する。その結果−振動技１
１．１２−１３は、水晶の逆圧電効果によって、長手方
向にのび縮みのひずみ成分を伴った２次の長さたて振動
を行う。この場合振動技１１と１６は同相で−振動枝１
２は逆相で振動する。
第２図は本発明の他の実施例を示す斜視図である。本実
施例においては振動技２１２１２３の上下面に金属の蒸
着膜がもうけられていて一駆動電界の方向は振動技の厚
み方向（以下簡単に垂直電界と称す）になっている。電
極配置と振動子の動作については前記第１図の実施例と
同様である。
施例においては振動技２１２１２３の上下面に金属の蒸
着膜がもうけられていて一駆動電界の方向は振動技の厚
み方向（以下簡単に垂直電界と称す）になっている。電
極配置と振動子の動作については前記第１図の実施例と
同様である。
第３図は本発明の他の実施例を示す斜視図である。、Ｅ
型振動子６０は３次の長さたて振動モードで動作する、
電極配置については−例えば振動技３１の同一側面−３
１８は極性が交互に反転した３つの電極３５．６６−３
７が配置されており、振動技６１の反対側の同一側面３
１ｂにも同様の電極が配置されている、他の振動技３１
３３の電極配置も同様である。この場合のＥ型振動子の
駆動は平行電界で行われる。第３図の実施例に対応する
実施例とｌ、て−雷、極配置は振動技の上下面にもうけ
、駆動は垂直電界で行う方法があるが一図示は省略する
。
型振動子６０は３次の長さたて振動モードで動作する、
電極配置については−例えば振動技３１の同一側面−３
１８は極性が交互に反転した３つの電極３５．６６−３
７が配置されており、振動技６１の反対側の同一側面３
１ｂにも同様の電極が配置されている、他の振動技３１
３３の電極配置も同様である。この場合のＥ型振動子の
駆動は平行電界で行われる。第３図の実施例に対応する
実施例とｌ、て−雷、極配置は振動技の上下面にもうけ
、駆動は垂直電界で行う方法があるが一図示は省略する
。
以上の説明から明らかなように一般に０次（ｎ＝１、ｌ
：ｌ ４・・・・・・）の長さたて振動モードを励振す
る場合は一極性が交互に反転するｎ個の電極を配置すれ
ばよく一電極を振動技の側面にもうけるか、上下面にも
うけるかは一駆動電界を平行電界とするか一垂直電界と
するかによって決めればよいことがわかる。以上の実施
例では、振動子の材質は水晶でできている場合について
説明してきたが１本発明は材質が水晶に限定されるもの
ではなく、他の圧電材−例えば−タンタル酸リチウム−
ニオブ酸リチウム、セラミックス等に適用できることは
明らかである、又Ｅ型振動子の形状も一３大の場１１）
Ｉ朽の妨由寸炊が笛りい場合に限らず一枝巾寸法が互い
に異なっている場合にも適用できるものである。
：ｌ ４・・・・・・）の長さたて振動モードを励振す
る場合は一極性が交互に反転するｎ個の電極を配置すれ
ばよく一電極を振動技の側面にもうけるか、上下面にも
うけるかは一駆動電界を平行電界とするか一垂直電界と
するかによって決めればよいことがわかる。以上の実施
例では、振動子の材質は水晶でできている場合について
説明してきたが１本発明は材質が水晶に限定されるもの
ではなく、他の圧電材−例えば−タンタル酸リチウム−
ニオブ酸リチウム、セラミックス等に適用できることは
明らかである、又Ｅ型振動子の形状も一３大の場１１）
Ｉ朽の妨由寸炊が笛りい場合に限らず一枝巾寸法が互い
に異なっている場合にも適用できるものである。
本発明によれば一高次の長さたて撮動モードが容易に励
振できるため一振動枝の長さ寸法は短かくすることなく
、高い周波数で−低いＣＩ値をもったＥ型振動子が中周
波帯（３００ＫＨｚ〜３’ＭＨｚ）の全レンジで製造で
きるようになり、中周波帯振動子の周波数拡大に対する
本発明の効果は大きい。
振できるため一振動枝の長さ寸法は短かくすることなく
、高い周波数で−低いＣＩ値をもったＥ型振動子が中周
波帯（３００ＫＨｚ〜３’ＭＨｚ）の全レンジで製造で
きるようになり、中周波帯振動子の周波数拡大に対する
本発明の効果は大きい。
第１図は本発明の実施例の電極構造を示す斜視図で一２
次の長さたてモードを励振する電界は平行電界の場合で
ある。 第２図は本発明の他の実施例の電極構造を示す斜視図で
、２次の長さたてモードを励振する電界は垂直電界の場
合である。 第３図は本発明の他の実施例を示す斜視図で一３次の長
さたてモードを励振する電界は平行電界の場合である。 ′ １０−３０・・・・・・Ｅ型振動子。 １１ １１ １１ ２１ ２１ ２．１１ ３１３１３
３・・・・・・振動技− １ｄａ−１５ａ−３５−６６−３７・・・・・・金属の
蒸着膜電極。 特許出願人 シチズン時計株式会社
次の長さたてモードを励振する電界は平行電界の場合で
ある。 第２図は本発明の他の実施例の電極構造を示す斜視図で
、２次の長さたてモードを励振する電界は垂直電界の場
合である。 第３図は本発明の他の実施例を示す斜視図で一３次の長
さたてモードを励振する電界は平行電界の場合である。 ′ １０−３０・・・・・・Ｅ型振動子。 １１ １１ １１ ２１ ２１ ２．１１ ３１３１３
３・・・・・・振動技− １ｄａ−１５ａ−３５−６６−３７・・・・・・金属の
蒸着膜電極。 特許出願人 シチズン時計株式会社
Claims (1)
- 長さたて振動モードで動作する３本の振動枝を有する圧
電振動子の電極構造において一振動枝の長手方向に沿っ
て固着されている複数の電極の極性が、交互に反転して
いることを特徴とする圧電振動子の電極構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9957584A JPS60242713A (ja) | 1984-05-17 | 1984-05-17 | 圧電振動子の電極構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9957584A JPS60242713A (ja) | 1984-05-17 | 1984-05-17 | 圧電振動子の電極構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60242713A true JPS60242713A (ja) | 1985-12-02 |
| JPH0538483B2 JPH0538483B2 (ja) | 1993-06-10 |
Family
ID=14250903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9957584A Granted JPS60242713A (ja) | 1984-05-17 | 1984-05-17 | 圧電振動子の電極構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60242713A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002118441A (ja) * | 2000-10-10 | 2002-04-19 | Citizen Watch Co Ltd | 捩り振動子 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5760720A (en) * | 1980-09-26 | 1982-04-12 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Tuning fork type quartz vibrator |
| JPS58111515A (ja) * | 1981-12-25 | 1983-07-02 | Citizen Watch Co Ltd | 水晶振動子 |
| JPS58205318A (ja) * | 1982-05-25 | 1983-11-30 | Citizen Watch Co Ltd | 圧電結晶振動子の電極構造 |
-
1984
- 1984-05-17 JP JP9957584A patent/JPS60242713A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5760720A (en) * | 1980-09-26 | 1982-04-12 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Tuning fork type quartz vibrator |
| JPS58111515A (ja) * | 1981-12-25 | 1983-07-02 | Citizen Watch Co Ltd | 水晶振動子 |
| JPS58205318A (ja) * | 1982-05-25 | 1983-11-30 | Citizen Watch Co Ltd | 圧電結晶振動子の電極構造 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0538483B2 (ja) | 1993-06-10 |
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