JPS60232711A - 圧電振動子 - Google Patents
圧電振動子Info
- Publication number
- JPS60232711A JPS60232711A JP59088861A JP8886184A JPS60232711A JP S60232711 A JPS60232711 A JP S60232711A JP 59088861 A JP59088861 A JP 59088861A JP 8886184 A JP8886184 A JP 8886184A JP S60232711 A JPS60232711 A JP S60232711A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- piezoelectric element
- mirror
- thin plate
- holding frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 23
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 9
- 238000003892 spreading Methods 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 7
- 239000007769 metal material Substances 0.000 abstract description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000942 Elinvar Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005097 cold rolling Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/171—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator implemented with thin-film techniques, i.e. of the film bulk acoustic resonator [FBAR] type
- H03H9/172—Means for mounting on a substrate, i.e. means constituting the material interface confining the waves to a volume
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、エリンバ−等の恒弾性金属からなる拡がり振
動モードの圧電振動子に関する。
動モードの圧電振動子に関する。
従来、この種の圧電振動子としては、たとえば矩形板等
に形成された圧電素子の長辺または短辺の拡がり振動を
利用するものがある。第１図はその一例を示し、この図
において、２は拡がり振動モードの圧電素子である。こ
の圧電素子２は恒弾性金属からなる振動基板５と圧電薄
膜８と振動電極臆９とを右り、価形析藷の栃動某析５の
短辺の中央部が１対の結合子６，６を介して保持枠７に
支持され、図示しないケースの内部空間に該保持枠７を
支持することにより収納されており、前記振動基板５の
短辺の拡がり振動を利用している。
に形成された圧電素子の長辺または短辺の拡がり振動を
利用するものがある。第１図はその一例を示し、この図
において、２は拡がり振動モードの圧電素子である。こ
の圧電素子２は恒弾性金属からなる振動基板５と圧電薄
膜８と振動電極臆９とを右り、価形析藷の栃動某析５の
短辺の中央部が１対の結合子６，６を介して保持枠７に
支持され、図示しないケースの内部空間に該保持枠７を
支持することにより収納されており、前記振動基板５の
短辺の拡がり振動を利用している。
ところで、通常、恒弾性金属を用いた圧電振動子として
は、上記従来例のように拡がり振動モードの振動子は寧
ろ少数であり、主には音叉や音片なと比較的低い周波数
で使用される屈曲振動モードの振動子に適用されている
。これらの振動子は恒弾性金属材料を冷間圧延法によっ
て薄板加工することにより形成されている。この手法に
よる場合、恒弾性金属材料は高い圧延率に設定された装
置によって圧延されることになるため、圧延時にローラ
との接触面を粗面化させる現象（いわゆるササフレ現象
）が発生したり、圧延ローラの傷が該接触面に影響を及
ぼす虞があり、高度な材料表面の仕上がり精度が得られ
ない。したがって、比較的形状が大きい屈曲振動モード
の振動子の場合は、その使用に際して特段の問題は生じ
ないが、前記従来例のような拡がり振動モードの振動子
において、例えば圧電素子２の寸法を１１角程度にまで
小形化されたものに適用すると、第２図に示すように、
振動基板５の主表面５ａの粗さＳ（通常は１０μｎ程度
）を無視することができず、しかも、製品ごとにこの粗
さＳの値がばらついているため、振動基板５の表面長さ
および伝播速度にばらつきが生じる。そのため、共振周
波数特性等の緒特性を十分に安定させることがで外す、
したがって製品の信頼性を向上させることができないう
え、製品の高周波化に伴なう小形化を図る場合に十分に
対応し得ないといった問題がある。
は、上記従来例のように拡がり振動モードの振動子は寧
ろ少数であり、主には音叉や音片なと比較的低い周波数
で使用される屈曲振動モードの振動子に適用されている
。これらの振動子は恒弾性金属材料を冷間圧延法によっ
て薄板加工することにより形成されている。この手法に
よる場合、恒弾性金属材料は高い圧延率に設定された装
置によって圧延されることになるため、圧延時にローラ
との接触面を粗面化させる現象（いわゆるササフレ現象
）が発生したり、圧延ローラの傷が該接触面に影響を及
ぼす虞があり、高度な材料表面の仕上がり精度が得られ
ない。したがって、比較的形状が大きい屈曲振動モード
の振動子の場合は、その使用に際して特段の問題は生じ
ないが、前記従来例のような拡がり振動モードの振動子
において、例えば圧電素子２の寸法を１１角程度にまで
小形化されたものに適用すると、第２図に示すように、
振動基板５の主表面５ａの粗さＳ（通常は１０μｎ程度
）を無視することができず、しかも、製品ごとにこの粗
さＳの値がばらついているため、振動基板５の表面長さ
および伝播速度にばらつきが生じる。そのため、共振周
波数特性等の緒特性を十分に安定させることがで外す、
したがって製品の信頼性を向上させることができないう
え、製品の高周波化に伴なう小形化を図る場合に十分に
対応し得ないといった問題がある。
本発明はかかる従来問題に鑑み、拡がり振動モードの恒
弾性金属からなる振動基板の少なくとも一方の主表面を
鏡面仕上げすることにより、共振周波数特性等の緒特性
が安定した信頼性の高い圧電振動子を提供することを目
的とする。
弾性金属からなる振動基板の少なくとも一方の主表面を
鏡面仕上げすることにより、共振周波数特性等の緒特性
が安定した信頼性の高い圧電振動子を提供することを目
的とする。
以下、本発明を図面に示す実施例に基づき詳細に説明す
る。
る。
第３図はこの実施例の短辺の拡がり振動モードを利用し
た圧電共振子を示す断面図であり、第４図はその要部の
斜視図である。この圧電共振子は高周波の共振周波数を
与えるために小形化されている。第３図において、１，
１は合成樹脂からなる上下１対のハーフケースである。
た圧電共振子を示す断面図であり、第４図はその要部の
斜視図である。この圧電共振子は高周波の共振周波数を
与えるために小形化されている。第３図において、１，
１は合成樹脂からなる上下１対のハーフケースである。
各ハーフケース１は互いの対向面が開口する浅箱形に形
成されている。そして、拡がり振動モードの圧電素子２
を収納するケース３は両ハーフケース１をそれぞれの対
向面で突外合わせた状態で構成される。
成されている。そして、拡がり振動モードの圧電素子２
を収納するケース３は両ハーフケース１をそれぞれの対
向面で突外合わせた状態で構成される。
第４図において、前記圧電素子２はエリンバ−、アンバ
ー、フェリンバーなとの恒弾性金属板からなる一体枠４
を備える。この一体枠４は平面視長方形に形成された振
動基板５を、その短辺側各端縁の中央部から延出された
１対の結合子６．６を介して、矩形の保持枠７に支持し
たものとなっている。この一体枠４、特に振動基板５は
後述するように鏡面に仕上げられている。該一体枠４の
一方の主表面には、酸化亜鉛（Ｚ ｎｏ ）等からなる
圧電薄膜８が所定の領域、すなわち、振動基板５の全面
と、ここから一方の結合子６を経て保持枠７の所定の隅
部に至る領域にスパッタリングなどの手法により固着さ
れている。更に、該圧電薄膜８上には振動基板５に対向
する振動電極膜９およびリード部１０が蒸着されている
。このリード部１０は電極膜９から前記一方の結合子６
を経て保持枠７の前記所定の隅部に至る部分に形成され
、また前記振動電極膜９はアルミニウム等から構成され
ている。１１．１１は前記一体枠４から引き出された２
本の引ぎ出し線であって、このうち一方の引き出し線１
１はリード部１０の先端に、また他方の引き出し線１１
は保持枠７に接続されている。上記構成の圧電素子２は
その両面を前記両ハーフケース１で包み覆われ、そのの
ち、両ハーフケース１の接合部が接着、融着などにより
密封される。このようにしてケース３の内部空間に挿入
された一体枠４は、保持枠７の４隅を各バー７ゲース１
の内面に突設された各突起１２・・・で点接触状に挟持
することによりケース３内の所定位置に保持される。
ー、フェリンバーなとの恒弾性金属板からなる一体枠４
を備える。この一体枠４は平面視長方形に形成された振
動基板５を、その短辺側各端縁の中央部から延出された
１対の結合子６．６を介して、矩形の保持枠７に支持し
たものとなっている。この一体枠４、特に振動基板５は
後述するように鏡面に仕上げられている。該一体枠４の
一方の主表面には、酸化亜鉛（Ｚ ｎｏ ）等からなる
圧電薄膜８が所定の領域、すなわち、振動基板５の全面
と、ここから一方の結合子６を経て保持枠７の所定の隅
部に至る領域にスパッタリングなどの手法により固着さ
れている。更に、該圧電薄膜８上には振動基板５に対向
する振動電極膜９およびリード部１０が蒸着されている
。このリード部１０は電極膜９から前記一方の結合子６
を経て保持枠７の前記所定の隅部に至る部分に形成され
、また前記振動電極膜９はアルミニウム等から構成され
ている。１１．１１は前記一体枠４から引き出された２
本の引ぎ出し線であって、このうち一方の引き出し線１
１はリード部１０の先端に、また他方の引き出し線１１
は保持枠７に接続されている。上記構成の圧電素子２は
その両面を前記両ハーフケース１で包み覆われ、そのの
ち、両ハーフケース１の接合部が接着、融着などにより
密封される。このようにしてケース３の内部空間に挿入
された一体枠４は、保持枠７の４隅を各バー７ゲース１
の内面に突設された各突起１２・・・で点接触状に挟持
することによりケース３内の所定位置に保持される。
前記一体枠４は例えば第５図（イ）、（ロ）に示す過程
を経て成形される。すなわち、恒弾性金属素材１３を圧
延ローラ１４．１４によって７５％程度の高圧延率で冷
間圧延して、たとえば圧延前厚み４ｍｍのものを圧延後
厚みｌｌｌ１ｍといった共合に、所定の厚みを有する薄
板１５状に加工する［第５図（イ）１゜次いで、この恒
弾性金属薄板１５の片面または両面をバレル研摩法等の
鏡面研摩法によって鏡面仕上げする。更に、該恒弾性金
属薄板１５の表面にマスキング１６を施し［第５図（ロ
）］、エツチング加工により振動基板５、結合子６，６
および保持枠７を形成したのち、所定の寸法に切断して
前記一体枠４を得る。
を経て成形される。すなわち、恒弾性金属素材１３を圧
延ローラ１４．１４によって７５％程度の高圧延率で冷
間圧延して、たとえば圧延前厚み４ｍｍのものを圧延後
厚みｌｌｌ１ｍといった共合に、所定の厚みを有する薄
板１５状に加工する［第５図（イ）１゜次いで、この恒
弾性金属薄板１５の片面または両面をバレル研摩法等の
鏡面研摩法によって鏡面仕上げする。更に、該恒弾性金
属薄板１５の表面にマスキング１６を施し［第５図（ロ
）］、エツチング加工により振動基板５、結合子６，６
および保持枠７を形成したのち、所定の寸法に切断して
前記一体枠４を得る。
第６図はこのようにして得られた振動基板５の一部を拡
大して示す断面図であり、この振動基板５の鏡面仕上げ
された主表面５ａを伝わる弾性波の伝播速度を実測した
ところ４５４６ｍ／ｓであった。
大して示す断面図であり、この振動基板５の鏡面仕上げ
された主表面５ａを伝わる弾性波の伝播速度を実測した
ところ４５４６ｍ／ｓであった。
鏡面仕上げ前の伝播速度はＱ７３ｍ／ｓであり、振動基
板５の表面精度を向上させることにより、共振周波数の
ばらっ外を低減し得ることが判明した。
板５の表面精度を向上させることにより、共振周波数の
ばらっ外を低減し得ることが判明した。
以上のように本発明によれば、恒弾性金属からなる振動
基板を有する圧電素子を備え、この圧電素子を結合子を
介して保持枠に支持した拡がり振動モードの圧電振動子
において、前記振動基板の少なくとも一方の主表面が鏡
面仕上げされているものとしたので、振動基板表面の長
さが従来と比較して相当短縮されるとともに弾性波の伝
播速度一定になる。したがって、共振周波数のばらつき
を低減させ得るとともに、その他の緒特性を安定化させ
ることができる。また、圧電素子のエツチング加工時に
おいて、高い寸法精度を得ることができるうえ、振動基
板上に設けられる酸化亜鉛（Ｚｎｏ）等の圧電薄膜の配
向性の向上を期すことができる。更に、圧電振動子の高
周波化に伴なう小形化に容易に対応し得る。そのうえ、
中心周波数のばらつきが低減するため、調整時に僅かに
中心周波数のトリミングを行なうだけで済み、その分加
工手間が省け、製造フスＦの低減化並びに生産能率の向
上に寄与することができる。
基板を有する圧電素子を備え、この圧電素子を結合子を
介して保持枠に支持した拡がり振動モードの圧電振動子
において、前記振動基板の少なくとも一方の主表面が鏡
面仕上げされているものとしたので、振動基板表面の長
さが従来と比較して相当短縮されるとともに弾性波の伝
播速度一定になる。したがって、共振周波数のばらつき
を低減させ得るとともに、その他の緒特性を安定化させ
ることができる。また、圧電素子のエツチング加工時に
おいて、高い寸法精度を得ることができるうえ、振動基
板上に設けられる酸化亜鉛（Ｚｎｏ）等の圧電薄膜の配
向性の向上を期すことができる。更に、圧電振動子の高
周波化に伴なう小形化に容易に対応し得る。そのうえ、
中心周波数のばらつきが低減するため、調整時に僅かに
中心周波数のトリミングを行なうだけで済み、その分加
工手間が省け、製造フスＦの低減化並びに生産能率の向
上に寄与することができる。
第１図は従来例の要部の平面図、第２図は従来の手法に
より得られた振動基板の一部拡大断面図、第３図ないし
第６図は本発明の一実施例を示し、第３図は縦断面図、
第４図は一体枠の斜視図、第５図（イ）および（ロ）は
それぞれ振動基板の加工過程を順を追って示す要部概略
断面図、第６図は振動基板の一部拡大断面図である。 ２は圧電素子、５は振動基板、５ａは振動基板の主表面
、６は結合子、７は保持枠。 代 理 人 弁理士 岡１）和秀 第１図 第３図 第５図（イ） 第５図（ロ） 第６図
より得られた振動基板の一部拡大断面図、第３図ないし
第６図は本発明の一実施例を示し、第３図は縦断面図、
第４図は一体枠の斜視図、第５図（イ）および（ロ）は
それぞれ振動基板の加工過程を順を追って示す要部概略
断面図、第６図は振動基板の一部拡大断面図である。 ２は圧電素子、５は振動基板、５ａは振動基板の主表面
、６は結合子、７は保持枠。 代 理 人 弁理士 岡１）和秀 第１図 第３図 第５図（イ） 第５図（ロ） 第６図
Claims (1)
- （１）恒弾性金属からなる振動基板を有する圧電素子を
備え、この圧電素子を結合子を介して保持枠に支持した
拡がり振動モードの圧電振動子において、前記振動基板
の少なくとも一方の主表面が鏡面仕上げされていること
を特徴とする圧電振動子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59088861A JPS60232711A (ja) | 1984-05-01 | 1984-05-01 | 圧電振動子 |
| US06/728,823 US4583017A (en) | 1984-05-01 | 1985-04-30 | Piezoelectric vibrator on mirror polished substrate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59088861A JPS60232711A (ja) | 1984-05-01 | 1984-05-01 | 圧電振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60232711A true JPS60232711A (ja) | 1985-11-19 |
Family
ID=13954778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59088861A Pending JPS60232711A (ja) | 1984-05-01 | 1984-05-01 | 圧電振動子 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4583017A (ja) |
| JP (1) | JPS60232711A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111699563A (zh) * | 2019-01-11 | 2020-09-22 | 株式会社村田制作所 | 压电器件、振动构造体以及压电传感器 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60191511A (ja) * | 1984-03-12 | 1985-09-30 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子とその製造方法 |
| JPS61131607A (ja) * | 1984-11-29 | 1986-06-19 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子ウエハおよび圧電振動子の製造方法 |
| DE4015253A1 (de) * | 1990-05-12 | 1991-11-14 | Hoechst Ceram Tec Ag | Piezoelektrischer tongeber und verfahren zu seiner herstellung |
| DE19504666C2 (de) * | 1994-02-14 | 1996-12-19 | Aisin Seiki | Fahrzeug-Außenspiegel, mit einem am Spiegel angebrachten Schwingungserzeuger |
| JP2947198B2 (ja) * | 1997-01-28 | 1999-09-13 | 日本電気株式会社 | 圧電トランス |
| US8513863B2 (en) | 2009-06-11 | 2013-08-20 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Piezoelectric resonator with two layers |
| JP5471303B2 (ja) | 2009-10-27 | 2014-04-16 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片及び振動子 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4990497A (ja) * | 1972-12-27 | 1974-08-29 | ||
| JPS55100723A (en) * | 1979-01-29 | 1980-07-31 | Murata Mfg Co Ltd | Piezoelectric resonator |
| JPS5647200A (en) * | 1979-09-26 | 1981-04-28 | Tohoku Metal Ind Ltd | Adjusting method for resonance frequency of piezoelectric vibrator |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2261791A (en) * | 1939-04-29 | 1941-11-04 | Rca Corp | Piezoelectric thickness-mode quartz crystal |
| US2705392A (en) * | 1952-06-11 | 1955-04-05 | Selectronics Inc | Method of manufacture of piezo electric crystals |
| FR2182295A5 (ja) * | 1972-04-25 | 1973-12-07 | Thomson Csf | |
| JPS58119218A (ja) * | 1982-01-07 | 1983-07-15 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動装置 |
| JPS596321U (ja) * | 1982-06-30 | 1984-01-17 | 株式会社村田製作所 | 圧電音叉振動子 |
| US4451755A (en) * | 1982-10-18 | 1984-05-29 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Acceleration sensitivity reduction method |
| JPS5984921U (ja) * | 1982-11-27 | 1984-06-08 | 株式会社村田製作所 | 振動子支持構造 |
-
1984
- 1984-05-01 JP JP59088861A patent/JPS60232711A/ja active Pending
-
1985
- 1985-04-30 US US06/728,823 patent/US4583017A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4990497A (ja) * | 1972-12-27 | 1974-08-29 | ||
| JPS55100723A (en) * | 1979-01-29 | 1980-07-31 | Murata Mfg Co Ltd | Piezoelectric resonator |
| JPS5647200A (en) * | 1979-09-26 | 1981-04-28 | Tohoku Metal Ind Ltd | Adjusting method for resonance frequency of piezoelectric vibrator |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111699563A (zh) * | 2019-01-11 | 2020-09-22 | 株式会社村田制作所 | 压电器件、振动构造体以及压电传感器 |
| US11785855B2 (en) | 2019-01-11 | 2023-10-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Piezoelectric device, vibration structure and piezoelectric sensor |
| CN111699563B (zh) * | 2019-01-11 | 2024-02-13 | 株式会社村田制作所 | 压电器件、振动构造体以及压电传感器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4583017A (en) | 1986-04-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4418299A (en) | Face-shear mode quartz crystal vibrators and method of manufacture | |
| US20020030424A1 (en) | High frequency piezoelectric resonator | |
| JP4665282B2 (ja) | Ａｔカット水晶振動子 | |
| US4313071A (en) | Piezo-electric quartz resonator | |
| JPS60232711A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS583602B2 (ja) | スイシヨウシンドウシ | |
| JPH0210669Y2 (ja) | ||
| US5376221A (en) | Process for mass producing high frequency crystal resonators | |
| US4455502A (en) | Rectangular piezoelectric resonator with offset slot | |
| JP6439808B2 (ja) | 音叉型振動子 | |
| US4651042A (en) | Piezoelectric vibrator and manufacturing method thereof | |
| US4455503A (en) | Rectangular piezoelectric resonator with a slot in one surface | |
| JP3221609B2 (ja) | 超薄板圧電共振子の固定部構造 | |
| JP2001085970A (ja) | 高安定圧電発振器用振動子 | |
| US2119848A (en) | Quartz piezoelectric element | |
| JPH0131728B2 (ja) | ||
| JPS60232710A (ja) | 圧電振動子 | |
| JP2607668Y2 (ja) | 水晶振動子 | |
| JPH0230207A (ja) | 水晶振動子及びその製造方法 | |
| JPS581842B2 (ja) | クウドウキヨウシンキ | |
| JPS63120508A (ja) | 圧電共振子の製造方法 | |
| JP6708224B2 (ja) | 音叉型振動子の製造方法 | |
| JP2929107B2 (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
| JP3290756B2 (ja) | 貼付形圧電振動子とその製造方法 | |
| JPS59181713A (ja) | 矩形状厚みすべり振動子の支持構造 |