JPS63120508A - 圧電共振子の製造方法 - Google Patents
圧電共振子の製造方法Info
- Publication number
- JPS63120508A JPS63120508A JP26688986A JP26688986A JPS63120508A JP S63120508 A JPS63120508 A JP S63120508A JP 26688986 A JP26688986 A JP 26688986A JP 26688986 A JP26688986 A JP 26688986A JP S63120508 A JPS63120508 A JP S63120508A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- piezoelectric
- resonator
- piezoelectric resonator
- piezoelectric film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 238000009966 trimming Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はＶＨＦ、ＵＨＦなどの高周波帯域で用いられる
圧電共振子の製造方法に関する。
圧電共振子の製造方法に関する。
従来の技術
近年、各種電子部品関係の技術の進歩による集積化、小
型化は目ざましいものがある。共振器やフィルタ等の受
動部品も例外ではなく、例えばテレビやＶＴＲの映像中
間周波用に広く用いられるようになった弾性表面波素子
（ＳＡＷ）がある。
型化は目ざましいものがある。共振器やフィルタ等の受
動部品も例外ではなく、例えばテレビやＶＴＲの映像中
間周波用に広く用いられるようになった弾性表面波素子
（ＳＡＷ）がある。
さらには第３図のようなダイヤフラム形複合共振子も見
出され、公知のものとなっている。このダイヤフラム形
複合共振子については以下のような特徴を持っている。
出され、公知のものとなっている。このダイヤフラム形
複合共振子については以下のような特徴を持っている。
＋１１ 共振子の小型化が可能であること。
従来、一般的に用いられてきた水晶振動子が大きな基板
を研摩などの加工により薄く小さくしていったのに対し
て、本共振子は圧電性の薄膜によりμｍオーダの厚みで
形成される。さらにシリコン基板などを用いることによ
り一般的な集積回路と同じ製造工程で作られるため大幅
な小型化が図れるものである。
を研摩などの加工により薄く小さくしていったのに対し
て、本共振子は圧電性の薄膜によりμｍオーダの厚みで
形成される。さらにシリコン基板などを用いることによ
り一般的な集積回路と同じ製造工程で作られるため大幅
な小型化が図れるものである。
（２）電気機械結合係数が大きく共振器の広帯域化が可
能である。
能である。
（３）圧電性薄膜と温度係数が反対の非圧電性薄膜を適
当な膜厚比で組み合せることにより、温度係数を零にす
ることも可能である。例えば、圧電性薄膜としてＺｎＯ
（酸化亜鉛）を用いた場合、ＳｉＯ□ （酸化珪素）と
の膜厚比が約２：１の場合に零温度係数となる。
当な膜厚比で組み合せることにより、温度係数を零にす
ることも可能である。例えば、圧電性薄膜としてＺｎＯ
（酸化亜鉛）を用いた場合、ＳｉＯ□ （酸化珪素）と
の膜厚比が約２：１の場合に零温度係数となる。
発明が解決しようとする問題点
上述のような有用性を持った素子を高周波回路に応用し
製造する段階では次のような点が問題となってくる。即
ち圧電膜や電極部分の導体層などの膜厚にバラツキが生
じてくる。このバラツキは厚み振動を利用した共振子で
ある性質上、共振周波数のバラツキにつながり、精度の
良い共振回路を組み立てる上での障害となってくる。例
えば、精密さを特に要求される情報機器などに利用され
る場合には、中心周波数が１０−５といったオーダのバ
ラツキに抑えることが求められている。しかし、製作手
段を工夫してこの要請に答えることは非常な努力を要す
るものである。本発明はこの点に関して新しい手法を提
供するものである。
製造する段階では次のような点が問題となってくる。即
ち圧電膜や電極部分の導体層などの膜厚にバラツキが生
じてくる。このバラツキは厚み振動を利用した共振子で
ある性質上、共振周波数のバラツキにつながり、精度の
良い共振回路を組み立てる上での障害となってくる。例
えば、精密さを特に要求される情報機器などに利用され
る場合には、中心周波数が１０−５といったオーダのバ
ラツキに抑えることが求められている。しかし、製作手
段を工夫してこの要請に答えることは非常な努力を要す
るものである。本発明はこの点に関して新しい手法を提
供するものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明では、圧電膜をはさ
んで形成された電極をレーザ光や集束イオンビームなど
を用いてトリミングを行ったり、ボンディングにより電
極部を結合したりする手法により電極の大きさを変え、
微調整を可能にしたものである。
んで形成された電極をレーザ光や集束イオンビームなど
を用いてトリミングを行ったり、ボンディングにより電
極部を結合したりする手法により電極の大きさを変え、
微調整を可能にしたものである。
作用
本発明は、従来の製造上の問題点であった共振周波数の
バラツキを、トリミングやポンディングにより電極部の
大きさを変えることにより抑え、容易に特性の微調整を
可能にするものである。
バラツキを、トリミングやポンディングにより電極部の
大きさを変えることにより抑え、容易に特性の微調整を
可能にするものである。
実施例
以下本発明の圧電共振子の製造方法の一実施例について
、図面を用いて説明する。
、図面を用いて説明する。
第１図は本発明を説明するためのエネルギ閉じ込め振動
を説明するためのものであり、第２図は本発明の一実施
例を示すものである。共振子において厚み振動モードを
利用する場合、第１図に示すように圧電基板に部分的に
電極を作るとこれがキャビティとなり、振動の定在波を
生じてエネルギが閉じ込められる。これはいわゆるエネ
ルギ閉じ込め現象といわれている。この現象は端面から
の影響を受けないし、また同一の基板に一定以上の間隔
を置いて複数の電極を構成しても相互に干渉しないなど
の有利な点がある。さらに対向する電極の一方を分割し
てやると対称モード、斜対称モードの２つの振動が同時
に励起されてフィルタ特性が得られる。本発明はこれら
のことをもとに応用したものである。第２図は本説明の
一実施例をわかりやすく簡単化して説明したものである
。
を説明するためのものであり、第２図は本発明の一実施
例を示すものである。共振子において厚み振動モードを
利用する場合、第１図に示すように圧電基板に部分的に
電極を作るとこれがキャビティとなり、振動の定在波を
生じてエネルギが閉じ込められる。これはいわゆるエネ
ルギ閉じ込め現象といわれている。この現象は端面から
の影響を受けないし、また同一の基板に一定以上の間隔
を置いて複数の電極を構成しても相互に干渉しないなど
の有利な点がある。さらに対向する電極の一方を分割し
てやると対称モード、斜対称モードの２つの振動が同時
に励起されてフィルタ特性が得られる。本発明はこれら
のことをもとに応用したものである。第２図は本説明の
一実施例をわかりやすく簡単化して説明したものである
。
第２図（ａｌは圧電共振子を上部から見たものである。
第２図（ｂｌは第２図（ａｌのダイヤフラム上の電極部
を拡大したもので、電極の左下部分をレーザ光などによ
りトリミングした例を示すものである。また、第２図ｔ
ｅｌは同様の拡大図であるが、これはワイヤボンディン
グにより電極部を結合して広げたことを示すものである
。これらの図かられかるようにレーザトリミング、ワイ
ヤポンディングなどの手法を用いることにより、簡単に
共振周波数の調整をできるようにしたものである。
を拡大したもので、電極の左下部分をレーザ光などによ
りトリミングした例を示すものである。また、第２図ｔ
ｅｌは同様の拡大図であるが、これはワイヤボンディン
グにより電極部を結合して広げたことを示すものである
。これらの図かられかるようにレーザトリミング、ワイ
ヤポンディングなどの手法を用いることにより、簡単に
共振周波数の調整をできるようにしたものである。
発明の効果
以上のように本発明の製造方法によれば、従来の方法に
よる欠点を除き特性の良好な圧電共振子の製造が可能で
ある。
よる欠点を除き特性の良好な圧電共振子の製造が可能で
ある。
第１図は、圧電膜の厚み振動の説明図、第２図ｔａ＋〜
（Ｃ１は、本発明による圧電共振子の製造方法の説明図
、第３図は、従来方法による圧電共振子の構成図である
。 １１・・・・・・部分電極、１２・・・・・・圧電体、
２１・・・・・・電極、２２・・・・・・圧電膜、２３
・・・・・・非圧電膜、２４・・・・・・トリミング、
２５・・・・・・調整用電極、２６・・・・・・ワイヤ
。
（Ｃ１は、本発明による圧電共振子の製造方法の説明図
、第３図は、従来方法による圧電共振子の構成図である
。 １１・・・・・・部分電極、１２・・・・・・圧電体、
２１・・・・・・電極、２２・・・・・・圧電膜、２３
・・・・・・非圧電膜、２４・・・・・・トリミング、
２５・・・・・・調整用電極、２６・・・・・・ワイヤ
。
Claims (1)
- 圧電膜の両側に電極部を少なくとも一対以上対向する
ように配置し、前記電極部をトリミング、またはボンデ
ィング等により各々の電極の大きさを変化させることに
より共振特性の調整を可能にしたことを特徴とする圧電
共振子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26688986A JPS63120508A (ja) | 1986-11-10 | 1986-11-10 | 圧電共振子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26688986A JPS63120508A (ja) | 1986-11-10 | 1986-11-10 | 圧電共振子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63120508A true JPS63120508A (ja) | 1988-05-24 |
Family
ID=17437059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26688986A Pending JPS63120508A (ja) | 1986-11-10 | 1986-11-10 | 圧電共振子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63120508A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001211673A (ja) * | 2000-01-21 | 2001-08-03 | Nikon Corp | 振動アクチュエータの製造方法 |
| US6859116B2 (en) * | 2001-07-30 | 2005-02-22 | Kyocera Corporation | Piezoelectric resonator |
| EP1691427A1 (en) * | 2005-02-10 | 2006-08-16 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator, method for adjusting piezoelectric vibrator, piezoelectric actuator, timepiece, and electronic device |
| JP2006296042A (ja) * | 2005-04-07 | 2006-10-26 | Seiko Instruments Inc | 圧電デバイス、圧電デバイスの製造方法、及び電子機器 |
-
1986
- 1986-11-10 JP JP26688986A patent/JPS63120508A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001211673A (ja) * | 2000-01-21 | 2001-08-03 | Nikon Corp | 振動アクチュエータの製造方法 |
| US6859116B2 (en) * | 2001-07-30 | 2005-02-22 | Kyocera Corporation | Piezoelectric resonator |
| EP1691427A1 (en) * | 2005-02-10 | 2006-08-16 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator, method for adjusting piezoelectric vibrator, piezoelectric actuator, timepiece, and electronic device |
| JP2006254683A (ja) * | 2005-02-10 | 2006-09-21 | Seiko Epson Corp | 圧電振動体、圧電振動体の調整方法、圧電アクチュエータ、時計、電子機器 |
| EP2063470A1 (en) * | 2005-02-10 | 2009-05-27 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator, method for adjusting piezoelectric vibrator, piezoelectric actuator, timepiece, and electronic device |
| US7671518B2 (en) | 2005-02-10 | 2010-03-02 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric vibrator, method for adjusting piezoelectric vibrator, piezoelectric actuator, timepiece, and electronic device |
| JP4529889B2 (ja) * | 2005-02-10 | 2010-08-25 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動体、圧電振動体の調整方法、圧電アクチュエータ、時計、電子機器 |
| JP2006296042A (ja) * | 2005-04-07 | 2006-10-26 | Seiko Instruments Inc | 圧電デバイス、圧電デバイスの製造方法、及び電子機器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4456850A (en) | Piezoelectric composite thin film resonator | |
| US9923544B2 (en) | Piezoelectric vibration element, manufacturing method for piezoelectric vibration element, piezoelectric resonator, electronic device, and electronic apparatus | |
| DE69421422T2 (de) | Piezoelektrische Vorrichtung und ein Gehäuse | |
| US7598826B2 (en) | Piezoelectric thin film device having a drive section with a weighted portion | |
| US4418299A (en) | Face-shear mode quartz crystal vibrators and method of manufacture | |
| US7320164B2 (en) | Method of manufacturing an electronic component | |
| US4511202A (en) | Ceramic resonator and a ceramic filter using the same | |
| US20070210877A1 (en) | Piezoelectric thin film device | |
| GB2117968A (en) | Gt-cut piezo-electric resonator | |
| US5307034A (en) | Ultrathin multimode quartz crystal filter element | |
| DE102007000100A1 (de) | Piezoelektrische Dünnschichtvorrichtung | |
| JPH0964675A (ja) | 密閉空洞上の圧電共振器および製造方法 | |
| US7888849B2 (en) | Piezoelectric resonator and method for producing the same | |
| JP4196641B2 (ja) | 超薄板圧電デバイスとその製造方法 | |
| JPS63120508A (ja) | 圧電共振子の製造方法 | |
| JPH0211043B2 (ja) | ||
| JPS62266906A (ja) | 圧電薄膜共振子 | |
| JP2007189492A (ja) | 圧電基板の製造方法、圧電基板、圧電振動子、及び圧電発振器 | |
| JP4701504B2 (ja) | 三重モード圧電フィルタの製造方法 | |
| JPS61218215A (ja) | 圧電薄膜共振子 | |
| US7208021B1 (en) | Fabrication of close-spaced MEMS devices by method of precise adhesion regulation | |
| JPH0748626B2 (ja) | 弾性表面波素子の周波数調整方法 | |
| JP2002009579A (ja) | 圧電共振子およびそれを用いた圧電フィルタ | |
| JPH0131728B2 (ja) | ||
| JPS61218214A (ja) | 圧電薄膜共振子 |