JPS60230010A - 放射線厚さ計 - Google Patents
放射線厚さ計Info
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- JPS60230010A JPS60230010A JP8638584A JP8638584A JPS60230010A JP S60230010 A JPS60230010 A JP S60230010A JP 8638584 A JP8638584 A JP 8638584A JP 8638584 A JP8638584 A JP 8638584A JP S60230010 A JPS60230010 A JP S60230010A
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- radiation
- thickness
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
- G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
- G01B15/025—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness by measuring absorption
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は鋼板等の被測定物の断面形状を測定する放射線
厚さ計の改良に関する。
厚さ計の改良に関する。
例えば圧延工程では、圧延中の被測定物としての銅板の
断面形状（プロフィール）が測定されている。第１図は
被測定物の断面形状を測定する従来のＸ線厚さ計の構成
図である。このＸ線厚さ計は、厚さ検出部１と信号処理
装置２とから成るもので、厚さ検出部１は口字形のフレ
ーム（以下、Ｃフレームと称す）３の上部フレーム３ａ
にＸ線発生器４，５．６を被測定物７の幅方向に配置し
、下部フレーム３ｂにＸ線発生器４．５．６にそれぞれ
対向させて多チヤンネルＸ線検出器８，９゜１０を配置
して構成されている。そこで、Ｘ線発生器４，５．６は
被測定物７の幅方向にＸ線４ａ。
断面形状（プロフィール）が測定されている。第１図は
被測定物の断面形状を測定する従来のＸ線厚さ計の構成
図である。このＸ線厚さ計は、厚さ検出部１と信号処理
装置２とから成るもので、厚さ検出部１は口字形のフレ
ーム（以下、Ｃフレームと称す）３の上部フレーム３ａ
にＸ線発生器４，５．６を被測定物７の幅方向に配置し
、下部フレーム３ｂにＸ線発生器４．５．６にそれぞれ
対向させて多チヤンネルＸ線検出器８，９゜１０を配置
して構成されている。そこで、Ｘ線発生器４，５．６は
被測定物７の幅方向にＸ線４ａ。
５ａ、６ａをそれぞれ放射するもので、これらＸ線４ａ
、５ａ、（３ａは隣りのＸ線とオーバーラツプするよう
に放射される。そして、多チヤンネルＸ線検出器８，９
．１０は、複数の例えば３２０個の電離箱を被測定物７
の幅方向に配列した構成となっている。これら電離箱に
発生した電離電流は各チャンネルごとに電圧信゛号に変
換され、ざらにＡ／Ｄ変換されて厚み゛検出信号として
信号処理装置２に送られる。なお、１１，１２．１３は
基単板であって、Ｘ線厚さ計自身の校正時に所定位置に
セットされるものである。つまり、このＸ線厚さ計は、
基準板１１．１２．１３のみにＸ線を透過させた場合に
得られた厚み検出信号と、基準板１１，１２．１３を取
外して被測定物７にＸ線を透過させた場合に得られた厚
み検出信号との差により厚さをめるものとなっている。
、５ａ、（３ａは隣りのＸ線とオーバーラツプするよう
に放射される。そして、多チヤンネルＸ線検出器８，９
．１０は、複数の例えば３２０個の電離箱を被測定物７
の幅方向に配列した構成となっている。これら電離箱に
発生した電離電流は各チャンネルごとに電圧信゛号に変
換され、ざらにＡ／Ｄ変換されて厚み゛検出信号として
信号処理装置２に送られる。なお、１１，１２．１３は
基単板であって、Ｘ線厚さ計自身の校正時に所定位置に
セットされるものである。つまり、このＸ線厚さ計は、
基準板１１．１２．１３のみにＸ線を透過させた場合に
得られた厚み検出信号と、基準板１１，１２．１３を取
外して被測定物７にＸ線を透過させた場合に得られた厚
み検出信号との差により厚さをめるものとなっている。
そうして、厚さ検出部１の各多チヤンネルＸ線検出器８
，９．１０から出力される入射Ｘ線量に応じた各厚み検
出信号は、信号処理装置２の板厚変換部１４に送られる
。この板厚変換部１４は各チャンネルごとの厚み検出信
号を取込み、これら厚み検出信号の電圧値に基づいて各
チャンネルごとの板厚を演算しめる。これらめられた板
厚のデータは主制御部１５の指令により表示処理部１６
に転送され、この表示処理部１６は各チャンネルの板厚
データと各電離箱の位置とに基づいて被測定物７の断面
形状をめる。この断面形状は表示部１７にパターンかさ
れて表示される。なお、主制御部１５は信号処理装置２
の全体の制御を行） うとともに、基準板１１，１２．１３のセットの制御を
行っている。また、１８はＸ線発生制御部−である。
，９．１０から出力される入射Ｘ線量に応じた各厚み検
出信号は、信号処理装置２の板厚変換部１４に送られる
。この板厚変換部１４は各チャンネルごとの厚み検出信
号を取込み、これら厚み検出信号の電圧値に基づいて各
チャンネルごとの板厚を演算しめる。これらめられた板
厚のデータは主制御部１５の指令により表示処理部１６
に転送され、この表示処理部１６は各チャンネルの板厚
データと各電離箱の位置とに基づいて被測定物７の断面
形状をめる。この断面形状は表示部１７にパターンかさ
れて表示される。なお、主制御部１５は信号処理装置２
の全体の制御を行） うとともに、基準板１１，１２．１３のセットの制御を
行っている。また、１８はＸ線発生制御部−である。
以上のようなＸ線厚さ計での測定精度は、Ｃフレーム３
の圧延ラインに対する設置精度と被測定物７の位置のず
れとにより決まる。つまり、板厚変換部１４では、被測
定物７が常に所定の位置に走行しているものとみなして
厚みをめている。
の圧延ラインに対する設置精度と被測定物７の位置のず
れとにより決まる。つまり、板厚変換部１４では、被測
定物７が常に所定の位置に走行しているものとみなして
厚みをめている。
したがって、被測定物７の位置が変動すると正確な断面
形状がめられなくなる。ところが、実際の被測定物７は
高速で走行しているため、どうしても位置の変動、特に
上下変動は避けられない。
形状がめられなくなる。ところが、実際の被測定物７は
高速で走行しているため、どうしても位置の変動、特に
上下変動は避けられない。
しかして、従来のＸ線厚さ計では正確な断面形状７がめ
られなかつ−た。
られなかつ−た。
本発明は上記実情に基づいてなされたもので、その目的
とするところは、被測定物の位置が変動しても、この変
動を検出して正確な被測定物の断面形状を測定し得る放
射線厚さ計を提供することにある。
とするところは、被測定物の位置が変動しても、この変
動を検出して正確な被測定物の断面形状を測定し得る放
射線厚さ計を提供することにある。
太を岨は一神測Ｖ物を介在させる如く対向して設けられ
た放射線発生器および多チャンネル放射線検出器のうち
前、配子チャンネル放射線検出器に隣接した所定位置に
前記被測定物の位置変動ｍを検出する変動検出手段を設
け、この変動検出手段により検出された前記被測定物の
位置変動量により前記多チャンネル放射線検出器の各チ
ャンネルに対応する前記被測定物の部分の各位置変動量
を変動演算部によりめ、このめられた前記各位置変動量
と前記多チャンネル放射線検出器から出力される厚み検
出信号とに基づいて前記被測定物の断面形状をめる放射
線厚さ計である。
た放射線発生器および多チャンネル放射線検出器のうち
前、配子チャンネル放射線検出器に隣接した所定位置に
前記被測定物の位置変動ｍを検出する変動検出手段を設
け、この変動検出手段により検出された前記被測定物の
位置変動量により前記多チャンネル放射線検出器の各チ
ャンネルに対応する前記被測定物の部分の各位置変動量
を変動演算部によりめ、このめられた前記各位置変動量
と前記多チャンネル放射線検出器から出力される厚み検
出信号とに基づいて前記被測定物の断面形状をめる放射
線厚さ計である。
以下、本発明に係る放射線厚さ計の第１の実施例をＸ線
厚さ計に適用した場合について第２図および第３図を参
照して説明する。なお、第１図と同一部分には同一符号
を付してその詳しい説明は省略する。第１図は本発明の
ＸＩｍ厚さ計の構成図である。このＸｗＡ厚み計の下部
°フレーム３ｂには変動検出手段としての位置検出器２
０．２１．２２が設けられている。これら位置検出器２
０，２１．２２は、被測定物７の上下変動量を検出する
もので、例えば磁気センサが用いられる。そして、これ
ら位置検出器２０．２１．２２の配置位置は、それぞれ
多チヤンネルＸ線検出器８，９．１０に近接した各Ｘ線
発生器４．５．６と各多チヤンネルＸ線検出器８．９．
１０の中央とを結ぶ線上の各多チヤンネルＸ線検出器８
．９．１０の中央に位置する電離箱を通る水平面と交わ
る位置に設けられている。
厚さ計に適用した場合について第２図および第３図を参
照して説明する。なお、第１図と同一部分には同一符号
を付してその詳しい説明は省略する。第１図は本発明の
ＸＩｍ厚さ計の構成図である。このＸｗＡ厚み計の下部
°フレーム３ｂには変動検出手段としての位置検出器２
０．２１．２２が設けられている。これら位置検出器２
０，２１．２２は、被測定物７の上下変動量を検出する
もので、例えば磁気センサが用いられる。そして、これ
ら位置検出器２０．２１．２２の配置位置は、それぞれ
多チヤンネルＸ線検出器８，９．１０に近接した各Ｘ線
発生器４．５．６と各多チヤンネルＸ線検出器８．９．
１０の中央とを結ぶ線上の各多チヤンネルＸ線検出器８
．９．１０の中央に位置する電離箱を通る水平面と交わ
る位置に設けられている。
一方、位置処理装置３には、変動量ｎ部としての変動位
置変換部３０が設けられている。この変動位置変換ｔｉ
Ｊ３０は各位置検出器２０，２１．２２からの変動量検
出信号により各多チヤンネルＸ線検出器８，９．１０ご
とに各多チヤンネルＸ線検出器８，９．１０の各チャン
ネルに対応する被 ′測定物の部分の位置変動量を演算
しめるもので１ ある。具体的な位置変動量の演算につ
いてＸ線発生器４および多チヤンネルＸ線検出器８にお
いて第３図を参照して説明する。なお、他のＸ線発生器
５．６および多チヤンネルＸ線検出器９，１０について
も同様なので、その説明は省略する。第３図においてｘ
＃１発生器４および位置検出器２０は中心点として示し
てあり、また被測定物７は線で模式的に示しである。こ
こで、被測定物７に対する多チヤンネルＸ線検出器８の
中心位置は既知であり、またＸ線発生器４と多チヤンネ
ルＸ線検出器８との距１ｉｒも予め知られている。そこ
で、変動位置変換部３０は、多チヤンネルＸ線検出器８
の中心位置すなわち位置検出器２０が設置されている位
置の電離箱からｎ番目の電離箱８ｎが検出するＸ線の被
測定物７における透過位置Ｘをめている。ここで電離箱
８ｎのＸ線入射窓の大きさを４２とし多チヤンネルＸ線
検出器８の中心位置から電離箱８ｎまでの距離を２とす
ると、Ａ（ −（１・・・（１） および、 奢 −ｎ θ＝□ ・・・＋２１ γ により ｘ＝Ｐ−ｔａｎ θ ＝ （、ｒ−Ｄ）ｔａｎθ （３） がめられる。したがって、変動位置変換部３゜は、各位
置検出器２０．２１．２２により検出された変動ｍＤに
より各多チヤンネルＸ線検出器８の各電離箱に対応した
被測定物７の部分の位置Ｘの変動を第（３）式によりめ
ている。
置変換部３０が設けられている。この変動位置変換ｔｉ
Ｊ３０は各位置検出器２０，２１．２２からの変動量検
出信号により各多チヤンネルＸ線検出器８，９．１０ご
とに各多チヤンネルＸ線検出器８，９．１０の各チャン
ネルに対応する被 ′測定物の部分の位置変動量を演算
しめるもので１ ある。具体的な位置変動量の演算につ
いてＸ線発生器４および多チヤンネルＸ線検出器８にお
いて第３図を参照して説明する。なお、他のＸ線発生器
５．６および多チヤンネルＸ線検出器９，１０について
も同様なので、その説明は省略する。第３図においてｘ
＃１発生器４および位置検出器２０は中心点として示し
てあり、また被測定物７は線で模式的に示しである。こ
こで、被測定物７に対する多チヤンネルＸ線検出器８の
中心位置は既知であり、またＸ線発生器４と多チヤンネ
ルＸ線検出器８との距１ｉｒも予め知られている。そこ
で、変動位置変換部３０は、多チヤンネルＸ線検出器８
の中心位置すなわち位置検出器２０が設置されている位
置の電離箱からｎ番目の電離箱８ｎが検出するＸ線の被
測定物７における透過位置Ｘをめている。ここで電離箱
８ｎのＸ線入射窓の大きさを４２とし多チヤンネルＸ線
検出器８の中心位置から電離箱８ｎまでの距離を２とす
ると、Ａ（ −（１・・・（１） および、 奢 −ｎ θ＝□ ・・・＋２１ γ により ｘ＝Ｐ−ｔａｎ θ ＝ （、ｒ−Ｄ）ｔａｎθ （３） がめられる。したがって、変動位置変換部３゜は、各位
置検出器２０．２１．２２により検出された変動ｍＤに
より各多チヤンネルＸ線検出器８の各電離箱に対応した
被測定物７の部分の位置Ｘの変動を第（３）式によりめ
ている。
表示処理部３１は、変動位置変換部３０によりめられた
各変動位置Ｘと、多チヤンネルＸ線検出器８．９．１０
から出力されｒ゛各°厚み検出信号により得られた各厚
みデータとにより被測定物７の断面形状をめるものであ
る。なお、１４は板厚変換部、１５は主制御部、１８は
Ｘ線発生制御部である。
各変動位置Ｘと、多チヤンネルＸ線検出器８．９．１０
から出力されｒ゛各°厚み検出信号により得られた各厚
みデータとにより被測定物７の断面形状をめるものであ
る。なお、１４は板厚変換部、１５は主制御部、１８は
Ｘ線発生制御部である。
次に上記の如く構成されたＸＩａ厚さ計の作用について
説明する。Ｘ線発生制御部１８の制御により各Ｘ線発生
器４，５．６からＸｍ４ａ、５ａ。
説明する。Ｘ線発生制御部１８の制御により各Ｘ線発生
器４，５．６からＸｍ４ａ、５ａ。
６ａが放射されると、これらＸ線４ａ、５ａ、６ａは被
測定物７内を透過して各多チャンネルＸＷＡにより、各
電離箱には、入射したＸ線量に応じた電＃ｌｉ電流が流
れる。これら電Ｉｌ！電流は電圧信号に変換され、さら
にＡ／Ｄ変換されて厚み検出信号として板厚変換部１４
に送られる。
測定物７内を透過して各多チャンネルＸＷＡにより、各
電離箱には、入射したＸ線量に応じた電＃ｌｉ電流が流
れる。これら電Ｉｌ！電流は電圧信号に変換され、さら
にＡ／Ｄ変換されて厚み検出信号として板厚変換部１４
に送られる。
ところで、被測定物７は高速で走行しているため、この
被測定物７の位置は上下に変動している。
被測定物７の位置は上下に変動している。
この上下の変動位置は各位置検出器２０，２１゜２２に
より検出される。つまり、各位置検出器２０．２１．２
２は磁気を発生させ、この磁気変化により第３図に示す
変動ＩＤをそれぞれ検出する。
より検出される。つまり、各位置検出器２０．２１．２
２は磁気を発生させ、この磁気変化により第３図に示す
変動ＩＤをそれぞれ検出する。
ぞして、これら位置検出器２０，２１．２２により検出
された変動量りは変動量検出信号としてそれぞれ変動位
置変換部３０に送られる。変動位置変換部３０は各位置
検出器２０，２１．２２から出力された各変動検出信号
を取込んで、各多チヤンネルＸ線検出器８，９．１０別
に、各多チヤンネルＸ線検出器８．９．１０の各電離箱
に対応した被測定物７の部分Ｘの変動した位置を前記第
（３）式を演算してめる。そして、これらめられた客書
動位階ｙ Ｌ’に夷壬組卯頗Ｑ １１．ｊ ！ご柄ス一
方、板厚変換部１４は各多チヤンネルＸ線検出器８，９
．１０から出力された各厚み検出信号を取込み、これら
取込んだ厚み検出信号により各多チヤンネルＸ線検出器
８．９．１０別に、各多チヤンネルＸ線検出器８，９．
１０の各電離箱に対応した部分の厚さをめる。これらめ
られた各電離箱に対応した部分の厚さは、厚みデータと
して主制御部１４の指令により表示処理部３１に転送さ
れる。なお、厚みデータの表示処理部３１への転送と変
動位置変換部３０によりめられた各変動位置Ｘの信号処
理部３１への送出とは同期がとられており、これにより
各多チヤンネルＸ線検出器８．９．１０の各電離箱が検
出した被測定物７の部分と各位置検出器２０，２１．２
２の検出により得られた被測定物７の各変動位置ｘとが
一致・するようになっている。
された変動量りは変動量検出信号としてそれぞれ変動位
置変換部３０に送られる。変動位置変換部３０は各位置
検出器２０，２１．２２から出力された各変動検出信号
を取込んで、各多チヤンネルＸ線検出器８，９．１０別
に、各多チヤンネルＸ線検出器８．９．１０の各電離箱
に対応した被測定物７の部分Ｘの変動した位置を前記第
（３）式を演算してめる。そして、これらめられた客書
動位階ｙ Ｌ’に夷壬組卯頗Ｑ １１．ｊ ！ご柄ス一
方、板厚変換部１４は各多チヤンネルＸ線検出器８，９
．１０から出力された各厚み検出信号を取込み、これら
取込んだ厚み検出信号により各多チヤンネルＸ線検出器
８．９．１０別に、各多チヤンネルＸ線検出器８，９．
１０の各電離箱に対応した部分の厚さをめる。これらめ
られた各電離箱に対応した部分の厚さは、厚みデータと
して主制御部１４の指令により表示処理部３１に転送さ
れる。なお、厚みデータの表示処理部３１への転送と変
動位置変換部３０によりめられた各変動位置Ｘの信号処
理部３１への送出とは同期がとられており、これにより
各多チヤンネルＸ線検出器８．９．１０の各電離箱が検
出した被測定物７の部分と各位置検出器２０，２１．２
２の検出により得られた被測定物７の各変動位置ｘとが
一致・するようになっている。
そうして、表示処理部３１は変動位置変換部３０から送
られてきた各多チヤンネルＸ線検出器のチャンネルごと
の変動位置Ｘと板厚変換部１４から転送された板厚デー
タとに基づいて被測定物７の断面形状を演算しめる。こ
のめられた断面形状はパターンかされて表示部例えばＣ
Ｒ７表示装置１７に表示される。
られてきた各多チヤンネルＸ線検出器のチャンネルごと
の変動位置Ｘと板厚変換部１４から転送された板厚デー
タとに基づいて被測定物７の断面形状を演算しめる。こ
のめられた断面形状はパターンかされて表示部例えばＣ
Ｒ７表示装置１７に表示される。
このように本発明のＸ線厚さ計においては、各多チヤン
ネルＸ線検出器８．９．１０に近接した各多チヤンネル
Ｘ線検出器８．９．１０の中央位置にそれぞれ位置検出
器２０．２１．２２を配置し、これら位置検出器２０．
２１．２２により検出された上下の変動ＩＤにより変動
位置変換部３０が各多チヤンネルＸ線検出器８．９．１
０の各チャンネルに対応した被測定物７の部分の変動位
置Ｘをめ、これらめられた変動位置Ｘと厚み検出信号と
に基づいて被測定物７の断面形状をめるようにしたので
、被測定物７の位置が上下に変動したとしても、その変
動量に応じて各多チヤンネルＸ線検出器８．９．１０の
各電離に対応した被測定物７の位置が補正されて被測定
物７の断 □面形状がめられる。したがって、上下変動
しても正確な被測定物７の断面形状をめることができる
。
ネルＸ線検出器８．９．１０に近接した各多チヤンネル
Ｘ線検出器８．９．１０の中央位置にそれぞれ位置検出
器２０．２１．２２を配置し、これら位置検出器２０．
２１．２２により検出された上下の変動ＩＤにより変動
位置変換部３０が各多チヤンネルＸ線検出器８．９．１
０の各チャンネルに対応した被測定物７の部分の変動位
置Ｘをめ、これらめられた変動位置Ｘと厚み検出信号と
に基づいて被測定物７の断面形状をめるようにしたので
、被測定物７の位置が上下に変動したとしても、その変
動量に応じて各多チヤンネルＸ線検出器８．９．１０の
各電離に対応した被測定物７の位置が補正されて被測定
物７の断 □面形状がめられる。したがって、上下変動
しても正確な被測定物７の断面形状をめることができる
。
次に本発明のＸ線厚さ計の第２の実施例について第４図
および第５図を参照して説明する。なお、第２図と同一
部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
および第５図を参照して説明する。なお、第２図と同一
部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
第４図は本発明のＸ線厚さ計の構成図である。このＸ線
厚さ計の変動検出手段は、第２図に示す各位置検出器２
０．２１．２２の他に、ざらに各多チヤンネルＸ線検出
器８，９゜１０の両端側にそれぞれ位置検出器２０．２
１゜２２と同一の位置検出器２０ａ、２０ｂ、２１ａ。
厚さ計の変動検出手段は、第２図に示す各位置検出器２
０．２１．２２の他に、ざらに各多チヤンネルＸ線検出
器８，９゜１０の両端側にそれぞれ位置検出器２０．２
１゜２２と同一の位置検出器２０ａ、２０ｂ、２１ａ。
２１ｂ、２２ａ、２２ｂが配置されたものとなっている
。
。
一方、信号９ａ理装置３の変動位置変換部４０は、各位
置検出器２０．２０ａ、２０ｂ、−２２，２２ａ、２２
ｂから出力される各変動量検出信号を取込み、これら取
込んだ変動量検出信号により被測定物７が上下変動およ
び傾斜変動した場合の各多チヤンネルＸ線検出器８，９
．１０の各チャンネルに対応する被測定物７の部分の位
置変動をめる機能をもったものとなる。具体的に第５図
をるだめの模式図である。そこで、被測定物７が右側に
傾いた場合について説明する。ここで、ＤＯ−Ｄｂ ＝
ΔＤとすれば右側の斜めΦ１は、によりめられる。これ
により、変動位置Ｘａはとなる。ここで０２＝ＡＩ２・
ｎ／ｒである。
置検出器２０．２０ａ、２０ｂ、−２２，２２ａ、２２
ｂから出力される各変動量検出信号を取込み、これら取
込んだ変動量検出信号により被測定物７が上下変動およ
び傾斜変動した場合の各多チヤンネルＸ線検出器８，９
．１０の各チャンネルに対応する被測定物７の部分の位
置変動をめる機能をもったものとなる。具体的に第５図
をるだめの模式図である。そこで、被測定物７が右側に
傾いた場合について説明する。ここで、ＤＯ−Ｄｂ ＝
ΔＤとすれば右側の斜めΦ１は、によりめられる。これ
により、変動位置Ｘａはとなる。ここで０２＝ＡＩ２・
ｎ／ｒである。
また、被測定物７が左側にΦ２ （不図示）だけ傾いた
場合は、 から、右側に傾いた場合と同様に となる。なお、θ＝Ａｆｆｉ・ｎ／ｒである。したがっ
て、位置検出器２０ａ、２１ａ、２２ａはそれぞれ変動
１０８を検出し、位置検出器２０ｂ、２１ｈ りりｈけ
ネガ−７′れ寄動」Ｄｂを検出することになる。
場合は、 から、右側に傾いた場合と同様に となる。なお、θ＝Ａｆｆｉ・ｎ／ｒである。したがっ
て、位置検出器２０ａ、２１ａ、２２ａはそれぞれ変動
１０８を検出し、位置検出器２０ｂ、２１ｈ りりｈけ
ネガ−７′れ寄動」Ｄｂを検出することになる。
一方、被測定物７が傾斜した場合は、その傾斜の度合い
に応じて各厚み検出信号の補正を行わなければならない
。つまり、本厚さ計は、被測定物７の厚さに対応した基
準板１１．１２．１３にＸ線を透過させた場合に得られ
た厚み検出信号を基準として被測定物７にＸ線を透過さ
せた場合に得られた厚み検出信号を判断して厚みをめる
ものである。このため、第６図に示すように被測定物７
が傾いて７ａのようになると、その傾きΦａに応じてＸ
線が透過する幅が異なってしまう。
に応じて各厚み検出信号の補正を行わなければならない
。つまり、本厚さ計は、被測定物７の厚さに対応した基
準板１１．１２．１３にＸ線を透過させた場合に得られ
た厚み検出信号を基準として被測定物７にＸ線を透過さ
せた場合に得られた厚み検出信号を判断して厚みをめる
ものである。このため、第６図に示すように被測定物７
が傾いて７ａのようになると、その傾きΦａに応じてＸ
線が透過する幅が異なってしまう。
そこで、被測−宝物７が傾斜した場合の補正量は次のよ
うにめられる。ここで、第６図に示す被測定物７の厚さ
をＴとして、被測定物７が傾いていない場合にＸ線が透
過する幅をＴ１とし、Φａだけ傾いた場合にＸ線が透過
する幅をＴ２とする１ と・ Ｔ１・ＣＯＳθ＝Ｔ ・・・・・・（８）Ｔ２−ｃｏｓ
’（θ＋Φａ＞＝Ｔ ・−−−−−（９）これら第８式
および第９式から ＴＩ ・ ｃｏｓθ＝Ｔ２ｃｏｓ（θ＋Φａ）・・・・
・・ （１０） となる。つまり、各厚み検出信号をＣＯＳθ、／ Ｃ０
５（θ＋Φａ）倍することになる。なお、Φａは位置検
出器２０ａ、２０ｂ、２１ａ、２１ｂ。
うにめられる。ここで、第６図に示す被測定物７の厚さ
をＴとして、被測定物７が傾いていない場合にＸ線が透
過する幅をＴ１とし、Φａだけ傾いた場合にＸ線が透過
する幅をＴ２とする１ と・ Ｔ１・ＣＯＳθ＝Ｔ ・・・・・・（８）Ｔ２−ｃｏｓ
’（θ＋Φａ＞＝Ｔ ・−−−−−（９）これら第８式
および第９式から ＴＩ ・ ｃｏｓθ＝Ｔ２ｃｏｓ（θ＋Φａ）・・・・
・・ （１０） となる。つまり、各厚み検出信号をＣＯＳθ、／ Ｃ０
５（θ＋Φａ）倍することになる。なお、Φａは位置検
出器２０ａ、２０ｂ、２１ａ、２１ｂ。
２２ａ、２２ｂから出力される変動量検出信号からめら
れる。そうして、この厚み検出信号の補正は、例えば板
厚変換部１４において行われる。
れる。そうして、この厚み検出信号の補正は、例えば板
厚変換部１４において行われる。
したがって、表示処理部４１は、変動位置変換部４０に
よりめられた上下変動および傾斜変動による変動量［Ｘ
ａと補正量（ｃｏｓθ／ｃｏｓ（θ＋Φａ））により補
正された厚みデータとにより被測定物７の断面形状をめ
るものとなる。
よりめられた上下変動および傾斜変動による変動量［Ｘ
ａと補正量（ｃｏｓθ／ｃｏｓ（θ＋Φａ））により補
正された厚みデータとにより被測定物７の断面形状をめ
るものとなる。
このように構成されたＸ線厚み計においては、被測定物
７が上下変動しても正確な被測定物７の） 断面形状をめることができ、そのうえ各多チヤンネルＸ
線検出器８，９．１０の両端側にそれぞれ位置検出器２
０ａ、２０ｂ、２１ａ、２１ｂ。
７が上下変動しても正確な被測定物７の） 断面形状をめることができ、そのうえ各多チヤンネルＸ
線検出器８，９．１０の両端側にそれぞれ位置検出器２
０ａ、２０ｂ、２１ａ、２１ｂ。
２２ａ、２２ｂを配置して被測定物７が傾斜した場合に
も補正できるようにしたので、被測定物７が傾斜したと
しても被測定物７の正確な断面形状をめることができる
。
も補正できるようにしたので、被測定物７が傾斜したと
しても被測定物７の正確な断面形状をめることができる
。
なお、本発明は上記第１および第２の実施例に限定され
るものではない。上記第１および第２の実施例ではＸ線
厚さ計に適用した場合について説明したが、ＸＩＩたけ
ではなく被測定物７に応じてβ線やγ線を用いた放射線
厚さ計に適用してもよい。
るものではない。上記第１および第２の実施例ではＸ線
厚さ計に適用した場合について説明したが、ＸＩＩたけ
ではなく被測定物７に応じてβ線やγ線を用いた放射線
厚さ計に適用してもよい。
〔発明の効果）
本発明によれば、多チャンネル放射線検出器に隣接して
被測定物の位置変動量を検出する変動検出手段を設け、
この変動検出手段により検出された位置変動量により変
動演算部が多チャンネル放射線検出器の各チャンネルに
対応した被測定物の部分の位置変動量をめ、この位置変
動量と厚みデータとにより断面形状をめるようにしたの
で、被測定物の位置が変動しても、この変動を検出して
正確な被測定物の断面形状を測定し得る放射線厚さ計を
提供できる。
被測定物の位置変動量を検出する変動検出手段を設け、
この変動検出手段により検出された位置変動量により変
動演算部が多チャンネル放射線検出器の各チャンネルに
対応した被測定物の部分の位置変動量をめ、この位置変
動量と厚みデータとにより断面形状をめるようにしたの
で、被測定物の位置が変動しても、この変動を検出して
正確な被測定物の断面形状を測定し得る放射線厚さ計を
提供できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来におけるＸ線厚さ計の構成図、第２図は本
発明に係る放射線厚さ計の第１の実施例をＸ線厚さ計に
適用した場合の構成図、第３図は第２図に示すＸ線厚さ
計における変動位置変換部の作用を説明するための模式
図、第４図は本発明に係る放射線厚さ計の第２の実施例
をＸ線厚さ計に適用した場合の構成図、第５図は第４図
に示すＸ線厚さ計における変動位置変換部の作用を説明
するための模式図、第６図は第４図に示すＸＩＩ厚さ計
の厚み検出信号の補正を説明するための模式３・・・Ｃ
フレーム、４．５．６・・・Ｘ線発生器、７・・・被測
定物、８．９．１０・・・多チヤンネルＸ線検出器、１
４・・・板厚変換部、１５・・・主制御部、１７・・・
表示部、１８・・・Ｘ線発生制御部、２０，２１゜２２
・・・位置検出器、３０・・・変動位置変換部、３１・
・・表示処理部。 第４図 ８２ＬＪ 第６図
発明に係る放射線厚さ計の第１の実施例をＸ線厚さ計に
適用した場合の構成図、第３図は第２図に示すＸ線厚さ
計における変動位置変換部の作用を説明するための模式
図、第４図は本発明に係る放射線厚さ計の第２の実施例
をＸ線厚さ計に適用した場合の構成図、第５図は第４図
に示すＸ線厚さ計における変動位置変換部の作用を説明
するための模式図、第６図は第４図に示すＸＩＩ厚さ計
の厚み検出信号の補正を説明するための模式３・・・Ｃ
フレーム、４．５．６・・・Ｘ線発生器、７・・・被測
定物、８．９．１０・・・多チヤンネルＸ線検出器、１
４・・・板厚変換部、１５・・・主制御部、１７・・・
表示部、１８・・・Ｘ線発生制御部、２０，２１゜２２
・・・位置検出器、３０・・・変動位置変換部、３１・
・・表示処理部。 第４図 ８２ＬＪ 第６図
Claims (3)
- （１） 被測定物の断面形状を測定する放射線厚さ計に
おいて、前記被測定物の幅方向に放射線を放射する放射
線発生器およびこの放射線発生器から前記被測定物を介
して設けられた多チャンネル放射線検出器と、この多チ
ャンネル放射線検出器に隣接した所定位置に設けられ、
前記被測定物の位置変動量を検出する変動検出手段と、
この変動検出手段により検出された前記被測定物の位置
変動量により前記多チャンネル放射線検出器の各チャン
ネルに対応する前記被測定物の部分の各位置変動量をめ
る変動演算部゛と、この変動演算部によりめられた位置
変動量と前記多チャンネル放射線検出器から出力される
厚み検出信号とに基づいて前記被測定物の断面形状をめ
る断面演算部とを具協したことを特徴とする放射線厚さ
計。 - （２） 変動検出手段は、前記放射線発生器と前記多チ
ャンネル放射線検出器の中央とを結ぶ線上に変動検出器
を設置し、前記被測定物の上下変動を検出する特許請求
の範囲第（１）項記載の放射線厚さ計。 - （３） 変動検出手段は、前記放射線発生器と前記多チ
ャンネル放射線検出器の中央とを結ぶ線上に変動検出器
を設置するとともに、前記多チャンネル放射線検出器の
両端側にそれぞれ変動検出器を配置し、前記被測定物の
上下変動および傾斜変動を検出する特許請求の範囲第（
１）項記載の放射線厚さ計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8638584A JPS60230010A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 放射線厚さ計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8638584A JPS60230010A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 放射線厚さ計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60230010A true JPS60230010A (ja) | 1985-11-15 |
Family
ID=13885404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8638584A Pending JPS60230010A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 放射線厚さ計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60230010A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1318377A1 (de) | 2001-12-10 | 2003-06-11 | Maschinenfabrik J. Dieffenbacher GmbH & Co. | Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung einer Matte aus Biomassepartikeln |
-
1984
- 1984-04-28 JP JP8638584A patent/JPS60230010A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1318377A1 (de) | 2001-12-10 | 2003-06-11 | Maschinenfabrik J. Dieffenbacher GmbH & Co. | Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung einer Matte aus Biomassepartikeln |
| US6885198B2 (en) | 2001-12-10 | 2005-04-26 | Dieffenbacher Gmbh + Co. Kg | Method and device for testing a mat made of biomass particles |
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