JPS60230009A - 放射線厚さ計 - Google Patents
放射線厚さ計Info
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- JPS60230009A JPS60230009A JP8638484A JP8638484A JPS60230009A JP S60230009 A JPS60230009 A JP S60230009A JP 8638484 A JP8638484 A JP 8638484A JP 8638484 A JP8638484 A JP 8638484A JP S60230009 A JPS60230009 A JP S60230009A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
- G01B15/02—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness
- G01B15/025—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons for measuring thickness by measuring absorption
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は被測定物の断面形状を測定する放射線厚さ計の
改良に関する。
改良に関する。
圧延工程では、圧延中の被測定物である鋼板等の断面形
状（プロフィール）が測定されている。
状（プロフィール）が測定されている。
第２図は従来のＸ線厚さ計の構成図である。このＸ線厚
さ計には、高速で走行する被測定物１の中央部１ａにＸ
ｆ！発生器２およびＸ線検出器３を被測定物１を介して
対向させて固定設置した固定形の検出部４と、この検出
部４に隣接して設けられ被測定物１の幅方向の走査を行
なうＸ線発生器５およびＸ線検出器６を被測定物１を介
して対向させて設けた走査形の検出部７とが備えられて
いる。
さ計には、高速で走行する被測定物１の中央部１ａにＸ
ｆ！発生器２およびＸ線検出器３を被測定物１を介して
対向させて固定設置した固定形の検出部４と、この検出
部４に隣接して設けられ被測定物１の幅方向の走査を行
なうＸ線発生器５およびＸ線検出器６を被測定物１を介
して対向させて設けた走査形の検出部７とが備えられて
いる。
そして、これら検出部４，７の厚み検出動作はぞれぞれ
制御部８．９により制御されている。これら制御部８，
９の制御により各検出器４．７が厚みを検出し、これら
検出器４．７から出力された各厚み検出信号はそれぞれ
制御［１％８．９を介してプロフィール演算部１０に送
られる。このプロフィール演算部１０は、各厚み検出信
号を取込んで雑音除去のためのフィルタ機能に通し、走
査形の検出部７から出力された厚み検出信号から固定形
の検出部４から出力された厚み検出信号を減算し、この
得られた差信号を被測定物１の１ ｍｍ毎のデータに変
換し、さらに線形補間して被測定物１の断面形状をめる
。このめられた断面形状は表示部１１に表示され、この
表示は、検出部７の１走査終了毎例えば約１分に１回の
割合いで新しく測定された断面形状に切換わる。
制御部８．９により制御されている。これら制御部８，
９の制御により各検出器４．７が厚みを検出し、これら
検出器４．７から出力された各厚み検出信号はそれぞれ
制御［１％８．９を介してプロフィール演算部１０に送
られる。このプロフィール演算部１０は、各厚み検出信
号を取込んで雑音除去のためのフィルタ機能に通し、走
査形の検出部７から出力された厚み検出信号から固定形
の検出部４から出力された厚み検出信号を減算し、この
得られた差信号を被測定物１の１ ｍｍ毎のデータに変
換し、さらに線形補間して被測定物１の断面形状をめる
。このめられた断面形状は表示部１１に表示され、この
表示は、検出部７の１走査終了毎例えば約１分に１回の
割合いで新しく測定された断面形状に切換わる。
以上のような厚さ計では、被測定物１が高速で矢印（イ
）方向に走行している状態に検出部７が矢印（ロ）方向
に走行して断面形状が測定されるため、検出部７が走査
した部分は（ハ）部分となっている。したがって、実際
に測定された断面形状は被測定物１の幅方向に対して傾
斜した部分となっている。そして、この走査のために検
出部７を機械的に走行させなければならず、また、１回
の断面形状測定に１分近くの時間がかかってしまう。
）方向に走行している状態に検出部７が矢印（ロ）方向
に走行して断面形状が測定されるため、検出部７が走査
した部分は（ハ）部分となっている。したがって、実際
に測定された断面形状は被測定物１の幅方向に対して傾
斜した部分となっている。そして、この走査のために検
出部７を機械的に走行させなければならず、また、１回
の断面形状測定に１分近くの時間がかかってしまう。
さらに、被測定物１の断面形状はいわゆるクラウン形状
となっている。したがって、被測定物１の特にエツジ部
分の断面形状の変化を細かく測定することが要求される
。
となっている。したがって、被測定物１の特にエツジ部
分の断面形状の変化を細かく測定することが要求される
。
本発明は上記実情に基づいてなされたもので、その目的
とするところは、懇械的な走査なしに被測定物の幅方向
の断面形状をｉ度高く測定し得る放射線厚さ計を提供す
ることにある。
とするところは、懇械的な走査なしに被測定物の幅方向
の断面形状をｉ度高く測定し得る放射線厚さ計を提供す
ることにある。
本発明は、放射線発生器から放射され被測定物内を通過
してきた放射線を多チャンネル放射線検出器により検出
してこの多チャンネル放射線検出器の各放射線検出体か
ら各検出信号を出力し、平均演算手段はこれら検出信号
を受け、前記被測定物の中央部に対応する前記放射線検
出体から出力された検出信号の比較的長い期間における
平均値をめるとともに、前記被測定物の両端部に対応す
る前記放射線検出体から出力された検出信号の比較的短
い期間における平均値をめ、これらめられた平均値に基
づいて前記被測定物の断面形状をめる放射線厚さ計であ
る。
してきた放射線を多チャンネル放射線検出器により検出
してこの多チャンネル放射線検出器の各放射線検出体か
ら各検出信号を出力し、平均演算手段はこれら検出信号
を受け、前記被測定物の中央部に対応する前記放射線検
出体から出力された検出信号の比較的長い期間における
平均値をめるとともに、前記被測定物の両端部に対応す
る前記放射線検出体から出力された検出信号の比較的短
い期間における平均値をめ、これらめられた平均値に基
づいて前記被測定物の断面形状をめる放射線厚さ計であ
る。
以下、本発明に係る放射線厚さ計の一実施例をＸ線厚さ
計に適用した場合について第２図および第３図を参照し
て説明する。第２図はＸ線厚さ計の構成図である。同図
において２０はコ字型フレーム（以下、Ｃフレームと称
す）であって、このＣフレーム２０は、上部フレーム２
０ａと下部フレーム２０ｂとの間に被測定物２１が走行
するように移動されて設置される。そこで、このＣフレ
ーム２０の上部フレーム２０ａには、Ｘ線発生器２２．
２３．２４が所定の間隔をおいて被測定物２１の幅方向
に配置されている。これらＸ線発生器２２，２３．２４
は、被測定物２１の幅方向に所定（７）角１をもつｒＸ
ＩＩ２２ａ、２３ａ、２４ａはオーバーラツプ、するよ
うに放射される。一方、Ｃフレーム２０の下部フレーム
２０ｂには、Ｘ線発生器２２，２３．２４にそれぞれ対
抗して多チヤンネルＸ線検出器２５’、２６．２７が配
置されている。これら多チャンネルＸＰＪ検出器２５，
２６．２７は、複数の例えば３２０個の型際箱型の検出
器を被測定物２１の幅方向に配列した構成となってい−
る。そして、これら多チヤンネルＸ線検出器２５．２６
．２７の各検出器に発生する入射Ｘｆｓ量に応じた電離
電流は適切な電圧レベルに変換され、さらにＡ’／Ｄ変
換されて厚み検出信号として信号処理装置４０に送られ
るようになっている。なお、これら多チヤンネルＸ線検
出器２５゜２６．２７は１個で被測定物２１の幅方向的
５００ ｍｍを測定できるので、被測定物２１０幅が２
７７１であればオーバーラツプを含めて５組のＸ線発生
器２２．２３．２４および多チヤンネルＸ線検出器２５
．２６．２７が配置される。また、２８゜２９．３０は
基準板であって、これら基準板２８゜２９．３０はｘｔ
ＩＡ厚さ計自身の校正時に所定位置にセットされるもの
である。つまり、Ｘ線厚さ計は基準板２８，２９．３０
のみにＸ線を通過させ１ たときに得られた厚み検出信
号と、基準板２８゜２９．３０を取外して被測定物２１
にＸ線を通過させたときに得られた厚み検出信号との差
により厚さをめている。
計に適用した場合について第２図および第３図を参照し
て説明する。第２図はＸ線厚さ計の構成図である。同図
において２０はコ字型フレーム（以下、Ｃフレームと称
す）であって、このＣフレーム２０は、上部フレーム２
０ａと下部フレーム２０ｂとの間に被測定物２１が走行
するように移動されて設置される。そこで、このＣフレ
ーム２０の上部フレーム２０ａには、Ｘ線発生器２２．
２３．２４が所定の間隔をおいて被測定物２１の幅方向
に配置されている。これらＸ線発生器２２，２３．２４
は、被測定物２１の幅方向に所定（７）角１をもつｒＸ
ＩＩ２２ａ、２３ａ、２４ａはオーバーラツプ、するよ
うに放射される。一方、Ｃフレーム２０の下部フレーム
２０ｂには、Ｘ線発生器２２，２３．２４にそれぞれ対
抗して多チヤンネルＸ線検出器２５’、２６．２７が配
置されている。これら多チャンネルＸＰＪ検出器２５，
２６．２７は、複数の例えば３２０個の型際箱型の検出
器を被測定物２１の幅方向に配列した構成となってい−
る。そして、これら多チヤンネルＸ線検出器２５．２６
．２７の各検出器に発生する入射Ｘｆｓ量に応じた電離
電流は適切な電圧レベルに変換され、さらにＡ’／Ｄ変
換されて厚み検出信号として信号処理装置４０に送られ
るようになっている。なお、これら多チヤンネルＸ線検
出器２５゜２６．２７は１個で被測定物２１の幅方向的
５００ ｍｍを測定できるので、被測定物２１０幅が２
７７１であればオーバーラツプを含めて５組のＸ線発生
器２２．２３．２４および多チヤンネルＸ線検出器２５
．２６．２７が配置される。また、２８゜２９．３０は
基準板であって、これら基準板２８゜２９．３０はｘｔ
ＩＡ厚さ計自身の校正時に所定位置にセットされるもの
である。つまり、Ｘ線厚さ計は基準板２８，２９．３０
のみにＸ線を通過させ１ たときに得られた厚み検出信
号と、基準板２８゜２９．３０を取外して被測定物２１
にＸ線を通過させたときに得られた厚み検出信号との差
により厚さをめている。
前記信号処理装置４０は、各多チヤンネルＸ線検出器２
５．２６．２７から出力される厚み検出信号をフィルタ
機能を通して取込み、この取込んだ厚み検出信号に基づ
いて被測定物２１の断面形状をめる機能と、各Ｘ線発生
器２２．２３．２４のＸ線発生および各基準板２８，２
９．３０の所定位置へのセットを行なう機能とを有して
いる。
５．２６．２７から出力される厚み検出信号をフィルタ
機能を通して取込み、この取込んだ厚み検出信号に基づ
いて被測定物２１の断面形状をめる機能と、各Ｘ線発生
器２２．２３．２４のＸ線発生および各基準板２８，２
９．３０の所定位置へのセットを行なう機能とを有して
いる。
具体的には、フィルタ／板厚変換部４１．Ｘ線発生制御
部４３および表示処理部４４から偶成されでいる。
部４３および表示処理部４４から偶成されでいる。
フィルタ／板厚変換部４１は各多チヤンネルＸ線検出器
２５．２６．２７の各検出器から出力される各厚み検出
信号の電圧値から被測定物１の厚みを演算しめるもので
、これら厚みは各多チヤンネルＸ線検出器２５．２６．
２７ごとに分かれてめられる。具体的に説明すると、厚
みＤは次の式からめられる。 ） Ｖ−Ｖｏ−ｅ ・・・・・・・・・（１）ここで、■は
厚み検出信号の電圧値、μはＸ線の吸収計数、Ｖｏは初
期電圧である。
２５．２６．２７の各検出器から出力される各厚み検出
信号の電圧値から被測定物１の厚みを演算しめるもので
、これら厚みは各多チヤンネルＸ線検出器２５．２６．
２７ごとに分かれてめられる。具体的に説明すると、厚
みＤは次の式からめられる。 ） Ｖ−Ｖｏ−ｅ ・・・・・・・・・（１）ここで、■は
厚み検出信号の電圧値、μはＸ線の吸収計数、Ｖｏは初
期電圧である。
さて、このフィルタ／板厚変換部４１にはフィルタ機能
が備えられている。このフィルタ機能は、取込まれる各
厚み検出信号の統計的なバラツキ（統計ノイズ）を各チ
ャンネルごとに除去するものである。つまり、Ｘ線は各
検出器にランダムに入射するため各検出器から出力され
る厚み検出信号の電圧値は一定のＸ線入射量に対して正
規分布にしたがってばらついたものとなっているからで
ある。具体的には、次の式によりフィルタがかけられる
。
が備えられている。このフィルタ機能は、取込まれる各
厚み検出信号の統計的なバラツキ（統計ノイズ）を各チ
ャンネルごとに除去するものである。つまり、Ｘ線は各
検出器にランダムに入射するため各検出器から出力され
る厚み検出信号の電圧値は一定のＸ線入射量に対して正
規分布にしたがってばらついたものとなっているからで
ある。具体的には、次の式によりフィルタがかけられる
。
ｙ （ｎ） Ｐ−Ｖ （ｎ） ＋ （１−Ｐ） −Ｖ（
ｎ−１）・・・（２） ここで、ｙ （ｎ）はフィルタ機能の出力値、■（ｎ）
は現在の厚み検出・信号の電圧値、Ｐ （０＜Ｐく１）
は定数でアナログ等価時定数Ｔａで演算周期Ｔとすると
、 Ｐ＝１−ｅｘＰ （−Ｔ／Ｔａ） −（３）なる式から
決定される。
ｎ−１）・・・（２） ここで、ｙ （ｎ）はフィルタ機能の出力値、■（ｎ）
は現在の厚み検出・信号の電圧値、Ｐ （０＜Ｐく１）
は定数でアナログ等価時定数Ｔａで演算周期Ｔとすると
、 Ｐ＝１−ｅｘＰ （−Ｔ／Ｔａ） −（３）なる式から
決定される。
そこで、？ｌ！１１１１定物２１の中実物２１応する部
分の多チヤンネルＸ線検出器２５，２６．２７の各検出
器から出りされる各厚み検出信号は定数Ｐを比較的大き
く設定したフィルタ機能に通し、被測定物２１の両端部
に対応する部分の多チヤンネルＸ線検出器２５，２６．
２７の各検出信号は定数゛Ｐを比較的小さく設定したフ
ィルタ機能に通すように決められる。なお、定数Ｐを比
較的小さく設定したフィルタ機能のチャンネル数は、被
測定物２１の幅が予め知れているので、この幅に応じて
多チヤンネルＸ線検出器２５．２６．２７の全体からみ
た両端からそれぞれ何個の検出器にするが容易に決まる
。そして、この定数Ｐの設定は表示処理部４４により行
なわれる。すなわち表示処理部４４には、断面形状の全
データが格納されているからである。
分の多チヤンネルＸ線検出器２５，２６．２７の各検出
器から出りされる各厚み検出信号は定数Ｐを比較的大き
く設定したフィルタ機能に通し、被測定物２１の両端部
に対応する部分の多チヤンネルＸ線検出器２５，２６．
２７の各検出信号は定数゛Ｐを比較的小さく設定したフ
ィルタ機能に通すように決められる。なお、定数Ｐを比
較的小さく設定したフィルタ機能のチャンネル数は、被
測定物２１の幅が予め知れているので、この幅に応じて
多チヤンネルＸ線検出器２５．２６．２７の全体からみ
た両端からそれぞれ何個の検出器にするが容易に決まる
。そして、この定数Ｐの設定は表示処理部４４により行
なわれる。すなわち表示処理部４４には、断面形状の全
データが格納されているからである。
主制御部４２は、フィルタ／板厚変換部４１゜Ｘ線発生
制御部４３および表示処理部４４の各動作を制御すると
ともに、校正モードおよび測定モードに応じて基準板２
８，２９．３０のセットの制御を行なうものである。Ｘ
線発生制御部４３は主制御部４２から送出された制御信
号により各Ｘ線発生器２２．２３．２４のＸ線発生制御
を各Ｘ線発生器２２．２３．２４別に行なうものである
。
制御部４３および表示処理部４４の各動作を制御すると
ともに、校正モードおよび測定モードに応じて基準板２
８，２９．３０のセットの制御を行なうものである。Ｘ
線発生制御部４３は主制御部４２から送出された制御信
号により各Ｘ線発生器２２．２３．２４のＸ線発生制御
を各Ｘ線発生器２２．２３．２４別に行なうものである
。
表示処理部４４は主制御部４２がらの制御信号を受け、
フィルタ／′板厚変換部４１によりめられた各チャンネ
ルごと厚みと各多チヤンネルＸ線検出器２５．．２６．
２７の各検出器の位置とに基づいて被測定物２１の断面
形状をめ、この断面形状のデータを被測定物２１の１
ｍｍ毎のデータに線形補間してＣＲ７表示装置４５に約
１秒〜０．１秒の周期で送出するとともに外部の装置に
も送出するものである。
フィルタ／′板厚変換部４１によりめられた各チャンネ
ルごと厚みと各多チヤンネルＸ線検出器２５．．２６．
２７の各検出器の位置とに基づいて被測定物２１の断面
形状をめ、この断面形状のデータを被測定物２１の１
ｍｍ毎のデータに線形補間してＣＲ７表示装置４５に約
１秒〜０．１秒の周期で送出するとともに外部の装置に
も送出するものである。
次に上記の如（構成されたＸ線厚さ計の特に被測定物２
１の両端部の断面形状の測定動作について説明する。Ｘ
線発生制帥部４３の制御により各Ｘ線発生器２２，２３
．２４からＸ線２２ａ、２３ａ、２４ａが放射されると
、これらＸ線２２ａ。
１の両端部の断面形状の測定動作について説明する。Ｘ
線発生制帥部４３の制御により各Ｘ線発生器２２，２３
．２４からＸ線２２ａ、２３ａ、２４ａが放射されると
、これらＸ線２２ａ。
’ ２３ａ、２４ａは被測定物２１内を通過して各多チ
ヤンネルＸ線検出器２５．２６．２７の各検出器に入射
する。これにより各検出器には、入射したｘｓｉｍに応
じた電１Ｉｌｔ電流が流れる。この電離電流は、電圧信
号に変換され、さらにＡ 、、−’ Ｄ変換されて厚み
検出信号として出力される。
ヤンネルＸ線検出器２５．２６．２７の各検出器に入射
する。これにより各検出器には、入射したｘｓｉｍに応
じた電１Ｉｌｔ電流が流れる。この電離電流は、電圧信
号に変換され、さらにＡ 、、−’ Ｄ変換されて厚み
検出信号として出力される。
そこで、フィルタ／板厚変換部４１は、各多チヤンネル
Ｘ線検出器２５．２６．２７から出力される各厚み検出
信号を各チャンネルごとに取込む。
Ｘ線検出器２５．２６．２７から出力される各厚み検出
信号を各チャンネルごとに取込む。
このフィルタ／板厚変換部４１は、フィルタ機能により
各厚み検出信号の統計ノイズの除去を行なう。つまり、
被測定物２１の中央部に対応する各厚み検出信号は比較
的大きな定数Ｐ１つまり大きな時定数を有するフィルタ
機能を通ることにより、立上がりが緩慢な信号に整形さ
れる。また、被測定物２１の両端部に対応する各厚み検
出信号は比較的小さな定数Ｐ１つまり小さな時定数を有
するフィルタ機能を通ることにより立上がりが急峻な信
号に整形される。そして、フィルタ／板厚変換部４１は
フィルタ機能を通ってきた各厚み検出信号により各チャ
ンネルごとの厚みをめる。これらめられた各チャンネル
ごとの厚みデータは主制御部４２の指令により表示処理
部４４に転送される。表示処理部４４は転送されてきた
厚みデータと各検出器の位置とに基づいて被測定物２１
の断面形状をめる。このめられた断面形状はＣＲ７表示
装置４５に表示されるが、フィルタ煎能により両端部の
時定数は小さく設定されているので第３図に示すように
両端部Ａの断面形状は速い周期でその形状変化が切換え
られて表示される。
各厚み検出信号の統計ノイズの除去を行なう。つまり、
被測定物２１の中央部に対応する各厚み検出信号は比較
的大きな定数Ｐ１つまり大きな時定数を有するフィルタ
機能を通ることにより、立上がりが緩慢な信号に整形さ
れる。また、被測定物２１の両端部に対応する各厚み検
出信号は比較的小さな定数Ｐ１つまり小さな時定数を有
するフィルタ機能を通ることにより立上がりが急峻な信
号に整形される。そして、フィルタ／板厚変換部４１は
フィルタ機能を通ってきた各厚み検出信号により各チャ
ンネルごとの厚みをめる。これらめられた各チャンネル
ごとの厚みデータは主制御部４２の指令により表示処理
部４４に転送される。表示処理部４４は転送されてきた
厚みデータと各検出器の位置とに基づいて被測定物２１
の断面形状をめる。このめられた断面形状はＣＲ７表示
装置４５に表示されるが、フィルタ煎能により両端部の
時定数は小さく設定されているので第３図に示すように
両端部Ａの断面形状は速い周期でその形状変化が切換え
られて表示される。
そして、両端部の断面形状は、例えば前回測定時の断面
形状と今回測定時の断面形状とが重なり合わせて、かつ
その表示色を換えて表示される。
形状と今回測定時の断面形状とが重なり合わせて、かつ
その表示色を換えて表示される。
このように本発明の厚さ計においては、各多チヤンネル
Ｘ線検出器２５，２６．２７の各検出器から出力される
各厚み検出信号を、被測定物２１の中央部に対応するも
のは比較的大きな時定数を有するフィルタ機能に通し：
被測定物２１の両端部に対応するものは比較的小さな時
定数を有するフィルタ機能に通し、これらフィルタ機能
を通った各厚み検出信号に基づいて被測定物２１の断面
形状をめるようにしたので、機械的な走査を行なわずに
被測定物２１の幅方向の断面形状を正確に測゛定できる
。特に被測定物２１の両端部の断面形状の変化を細かく
測定できる。
Ｘ線検出器２５，２６．２７の各検出器から出力される
各厚み検出信号を、被測定物２１の中央部に対応するも
のは比較的大きな時定数を有するフィルタ機能に通し：
被測定物２１の両端部に対応するものは比較的小さな時
定数を有するフィルタ機能に通し、これらフィルタ機能
を通った各厚み検出信号に基づいて被測定物２１の断面
形状をめるようにしたので、機械的な走査を行なわずに
被測定物２１の幅方向の断面形状を正確に測゛定できる
。特に被測定物２１の両端部の断面形状の変化を細かく
測定できる。
なお、全チャンネルの時定数を小さくすること□ も考
えられるが、被測定物２１の中央部の形状変化はゆるや
かなのでＸ線特有の統計ノイズの影響を受けて測定精度
が低下してしまう。これに対して両端部の形状変化は急
峻なので時定数を小さくしても統計ノイズの影響は受け
ない。また、全チャンネルの時定数を同一にすることも
考えられるが統計ノイズとの関係および多数チャンネル
数から処理時間′が長くかかつて両端部の細かい測定が
できない。以上のようなことから本厚さ計は被測定物２
１の断面形状測定に対して最適なものとなる。
えられるが、被測定物２１の中央部の形状変化はゆるや
かなのでＸ線特有の統計ノイズの影響を受けて測定精度
が低下してしまう。これに対して両端部の形状変化は急
峻なので時定数を小さくしても統計ノイズの影響は受け
ない。また、全チャンネルの時定数を同一にすることも
考えられるが統計ノイズとの関係および多数チャンネル
数から処理時間′が長くかかつて両端部の細かい測定が
できない。以上のようなことから本厚さ計は被測定物２
１の断面形状測定に対して最適なものとなる。
なお、本発明は上記一実施例に限定されるものではない
。例えばフィルタ／′板厚変換部４１のフィルタ機能の
時定数を各チャンネルごとに同一で、可能な限りの小さ
い値に設定する。そこで、全表示に要する時を１秒、フ
ィルタ／板厚変換部４１が各チャンネルの板厚データを
送出するのに要する時間を０．１秒とすると、表示処理
部４４は被測定物２１の中央部に対応する各チャンネル
の板厚データの１０点づつの平均値つまり１秒間に得ら
れる板厚データの平均値をめるとともに、被測定物２１
の両端部に対応する各チャンネルの板厚データの２点づ
つの平均値つまり０．２秒間に得られる板厚データの平
均値をめて被測定物２１の断面形状をめるようにしても
よい。
。例えばフィルタ／′板厚変換部４１のフィルタ機能の
時定数を各チャンネルごとに同一で、可能な限りの小さ
い値に設定する。そこで、全表示に要する時を１秒、フ
ィルタ／板厚変換部４１が各チャンネルの板厚データを
送出するのに要する時間を０．１秒とすると、表示処理
部４４は被測定物２１の中央部に対応する各チャンネル
の板厚データの１０点づつの平均値つまり１秒間に得ら
れる板厚データの平均値をめるとともに、被測定物２１
の両端部に対応する各チャンネルの板厚データの２点づ
つの平均値つまり０．２秒間に得られる板厚データの平
均値をめて被測定物２１の断面形状をめるようにしても
よい。
また、上記一実施例では、放射線としてＸ線を用いたも
のについて説明したが、Ｘ線に限定することなく被測定
物２１に応じてβ線やγ線を用いてもよい。
のについて説明したが、Ｘ線に限定することなく被測定
物２１に応じてβ線やγ線を用いてもよい。
本発明によれば、多チャンネル放射線検出器から出力さ
れる被測定−物の中゛央部に対応する検出信号の比較的
長い期間における平均値をめるとともに、被測定物の両
端部に対応する検出信号の比較的短い期間における平均
値をめる平均演算手段を設けたので、機械的な走査なし
に被測定物の幅方向の断面形状を精度高く測定し得る放
射線厚さ計を提供できる。
れる被測定−物の中゛央部に対応する検出信号の比較的
長い期間における平均値をめるとともに、被測定物の両
端部に対応する検出信号の比較的短い期間における平均
値をめる平均演算手段を設けたので、機械的な走査なし
に被測定物の幅方向の断面形状を精度高く測定し得る放
射線厚さ計を提供できる。
第１図は従来におけるＸ線厚さ計の構成図、第２図は本
発明に係る放射線厚さ計の一実施例をＸ線厚さ計に適用
した場合の構成図、第３図は第２図に示す本発明の厚さ
計により表示される断面形状の列を示す模式図である。 ２０・・・Ｃフレーム、２１・・・被測定物、２２，２
３．２４・・・Ｘ線発生器、２５．２６．２７・・・多
チヤンネルＸ線検出器、４０・・・信号処理装置、４１
・・・フィルタ／板厚変換部、４２・・・主制御部、４
３・・・Ｘ線発生制御部、４４・・・表示処理部、４５
・・・ＣＲＴ表示装置。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 １ 、 第１ 図 第２図 。。 −） ２２ ２３ ２０２４ Ｘ鼻発生 、 ｓ＃Ｉｐ ４３ ０ａ 四 ２．８ゲ２さ某−鉄、・“ ７＜１ｌ−Ｖ 来（− 第３ 図 ル晶
発明に係る放射線厚さ計の一実施例をＸ線厚さ計に適用
した場合の構成図、第３図は第２図に示す本発明の厚さ
計により表示される断面形状の列を示す模式図である。 ２０・・・Ｃフレーム、２１・・・被測定物、２２，２
３．２４・・・Ｘ線発生器、２５．２６．２７・・・多
チヤンネルＸ線検出器、４０・・・信号処理装置、４１
・・・フィルタ／板厚変換部、４２・・・主制御部、４
３・・・Ｘ線発生制御部、４４・・・表示処理部、４５
・・・ＣＲＴ表示装置。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 １ 、 第１ 図 第２図 。。 −） ２２ ２３ ２０２４ Ｘ鼻発生 、 ｓ＃Ｉｐ ４３ ０ａ 四 ２．８ゲ２さ某−鉄、・“ ７＜１ｌ−Ｖ 来（− 第３ 図 ル晶
Claims (3)
- （１）被測定物の断面形状を測定する放射線厚さ計にお
いて、前記被測定物の幅方向に放射線を放射する放射線
発生器およびこの放射線発生器から前記被測定物を介し
て設けられた多チャンネル放射線検出器を有する厚さ検
出部と、この厚さ検出部に有する多チャンネル放射線検
出器を構成する前記被測定物の中央部に対応する部分の
各放射線検出体から出力される各検出信号の平均値をめ
る平均演算手段と、この平均演算手段によりめられた各
チャンネルの平均値に基づいて前記被測定物の断面形状
をめる断面処理部とを具備し、前記平均演算手段は、前
記被測定物の両端部イに対応する部分の各放射線検出体
から出力される各検出信号の平均値を前記被測定物の中
央部に対応する各放射線検出体から出力される各検出信
号の平均値よりも短い期間においてめることを特徴とす
る放射線厚さ計。 - （２） 平均演算手段は、前記被測定物の中央部に対応
した各検出信号を受け、立上りが比較的緩慢な信号に波
形整形するとともに、前記被測定物−の両端部に対応し
た各検出信号を受け、立上りが比較的急激な信号に波形
整形するフィル、夕機能により構成される特許請求の範
囲第（１）項記載の放射線厚さ計。 - （３） 平均演算手段は、前記多チャンネル放射線検出
器の各チャンネルごとに同一の立上り時間をもったフィ
ルタ機能と、このフィルタ機能を通った前記被測定物の
中央部に対応する各検出信号の比較的長い期間における
平均値をめるとともに、前記被測定物の両端部に対応す
る各検出信号の比較的短い期間における平均値をめる平
均演算機能とから構成される特許請求の範囲第（１）項
記載の放射線厚さ計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8638484A JPS60230009A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 放射線厚さ計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8638484A JPS60230009A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 放射線厚さ計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60230009A true JPS60230009A (ja) | 1985-11-15 |
Family
ID=13885378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8638484A Pending JPS60230009A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 放射線厚さ計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60230009A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04131713U (ja) * | 1991-03-20 | 1992-12-04 | 横河電機株式会社 | 放射線を用いたシ―ト状物質の特性測定装置 |
| WO1997021075A3 (de) * | 1995-12-05 | 1997-07-17 | Vacutec Messtechnik Gmbh | Vorrichtung zur kontrolle von flächenmassen |
| EP1318377A1 (de) | 2001-12-10 | 2003-06-11 | Maschinenfabrik J. Dieffenbacher GmbH & Co. | Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung einer Matte aus Biomassepartikeln |
| CN105526888B (zh) * | 2015-11-30 | 2018-06-19 | 广东核生科技有限公司 | 测厚方法及测厚*** |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58707A (ja) * | 1981-06-26 | 1983-01-05 | Toshiba Corp | 板材の断面板厚形状測定装置 |
| JPS5890112A (ja) * | 1981-11-26 | 1983-05-28 | Toshiba Corp | 放射線厚さ計 |
| JPS5965709A (ja) * | 1982-10-07 | 1984-04-14 | Kawasaki Steel Corp | ストリツプエツジ部の厚さプロフイ−ル測定方法 |
-
1984
- 1984-04-28 JP JP8638484A patent/JPS60230009A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58707A (ja) * | 1981-06-26 | 1983-01-05 | Toshiba Corp | 板材の断面板厚形状測定装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US6204507B1 (en) | 1995-12-05 | 2001-03-20 | Vacutec Messtechnik Gmbh | Device for testing flat materials |
| EP1318377A1 (de) | 2001-12-10 | 2003-06-11 | Maschinenfabrik J. Dieffenbacher GmbH & Co. | Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung einer Matte aus Biomassepartikeln |
| US6885198B2 (en) | 2001-12-10 | 2005-04-26 | Dieffenbacher Gmbh + Co. Kg | Method and device for testing a mat made of biomass particles |
| CN105526888B (zh) * | 2015-11-30 | 2018-06-19 | 广东核生科技有限公司 | 测厚方法及测厚*** |
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