JPS60219511A - 位置測定装置 - Google Patents
位置測定装置Info
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- JPS60219511A JPS60219511A JP60062218A JP6221885A JPS60219511A JP S60219511 A JPS60219511 A JP S60219511A JP 60062218 A JP60062218 A JP 60062218A JP 6221885 A JP6221885 A JP 6221885A JP S60219511 A JPS60219511 A JP S60219511A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/244—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
- G01D5/245—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains using a variable number of pulses in a train
- G01D5/2451—Incremental encoders
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
- Eye Examination Apparatus (AREA)
- Crushing And Grinding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は二つの対象物の相対位置の測定のだのだめの走
査ユニットによって走査されるものに関する。
査ユニットによって走査されるものに関する。
(産業上の利用分野)
この種の位置測定装置は例えば工作機械の二つの移動可
能な機械部分の相対位置の測定のため又は測定器におけ
る測定対象の測定値を得るために使用される。
能な機械部分の相対位置の測定のため又は測定器におけ
る測定対象の測定値を得るために使用される。
(従来の技術)
二つの対象物の相対位置、例えば往復台の相対位置の測
定のための光電測定装置では、一方の対象物と結合して
いる目盛担体の目盛が他方の対象物と結合している走査
ユニットによって走査される。走査ユニットはこのため
に照明装置を有し、その走査側は例えば二つの走査フィ
τルドを備え、その目盛は目盛担体の目盛のピッチのK
だけ相互にずれて配置されてお9、かつ目盛担体の目盛
(ピッチ)と正確に一致しており、そして走査ユニット
はまた二つの光電要素を有し、光電要素は各々一つの走
査フィールドに付設されている。走査板と目盛担体の同
様な目盛は透過測定法では透明及び不透明のしまであっ
て測定方向に対して横に縦長のものから成り、測定は測
定方向(目盛担体の縦長方向)において交互に続いてい
る。目盛担体及び走査板の目盛を貫通し、続いて両光型
要素に入射する照明装置からの光は両対象物の相対運動
の際目盛で変調され、その結果それぞれ一つの走査フィ
ールドに付設された両党型要素は90°位相のずれた二
つの周期的アナログ信号を供給する。
定のための光電測定装置では、一方の対象物と結合して
いる目盛担体の目盛が他方の対象物と結合している走査
ユニットによって走査される。走査ユニットはこのため
に照明装置を有し、その走査側は例えば二つの走査フィ
τルドを備え、その目盛は目盛担体の目盛のピッチのK
だけ相互にずれて配置されてお9、かつ目盛担体の目盛
(ピッチ)と正確に一致しており、そして走査ユニット
はまた二つの光電要素を有し、光電要素は各々一つの走
査フィールドに付設されている。走査板と目盛担体の同
様な目盛は透過測定法では透明及び不透明のしまであっ
て測定方向に対して横に縦長のものから成り、測定は測
定方向(目盛担体の縦長方向)において交互に続いてい
る。目盛担体及び走査板の目盛を貫通し、続いて両光型
要素に入射する照明装置からの光は両対象物の相対運動
の際目盛で変調され、その結果それぞれ一つの走査フィ
ールドに付設された両党型要素は90°位相のずれた二
つの周期的アナログ信号を供給する。
その正弦曲線のアナログ信号は位置測定値の形成のため
の評価装置に供給される。両アナログ信号の間の位相ず
れは測定方向の弁別と目盛の補間を可能にする。
の評価装置に供給される。両アナログ信号の間の位相ず
れは測定方向の弁別と目盛の補間を可能にする。
得られたアナログ信号の周期は目盛担体の目盛のピッチ
又は格子定数によって決定される。
又は格子定数によって決定される。
ピッチは測定方向における透明及び不透明のしまの巾に
よって形成される。走査ユニットと目盛担体の目盛の間
の相対運動の際各走査された目盛は計数パルスとして検
出されかつ位置測定値として示される。
よって形成される。走査ユニットと目盛担体の目盛の間
の相対運動の際各走査された目盛は計数パルスとして検
出されかつ位置測定値として示される。
走査の際目盛担体の目盛から得られた周期的なアナログ
信号は一般に純粋な正弦曲線を有さす、むしろ例えば目
盛の不正確さと走査の際の走査板の目盛面と目盛担体の
ピッチ面との間の距離の変動のために高調波となる。こ
のピッチの不正確さは例えば透明及び不透明のしまの間
隔の相違又はこのしまの縁の非鋭利性によって生ずる。
信号は一般に純粋な正弦曲線を有さす、むしろ例えば目
盛の不正確さと走査の際の走査板の目盛面と目盛担体の
ピッチ面との間の距離の変動のために高調波となる。こ
のピッチの不正確さは例えば透明及び不透明のしまの間
隔の相違又はこのしまの縁の非鋭利性によって生ずる。
アナログ信号の高調波をなくするために走査の際目盛の
精度と走査板と目盛担体の目盛面との間の最適の距離が
設定されなければならない。
精度と走査板と目盛担体の目盛面との間の最適の距離が
設定されなければならない。
各ピッチのための正確な位置測定値の形成のため及び測
定精度のより向上のための補間値の形成によるピッチの
正確な割付のためにこの目盛から得られたアナログ信号
は高調波のないものでなければならない、例えばコンピ
ュ7夕による補間値の形成は***国特許公開公報272
9697に記載されている。
定精度のより向上のための補間値の形成によるピッチの
正確な割付のためにこの目盛から得られたアナログ信号
は高調波のないものでなければならない、例えばコンピ
ュ7夕による補間値の形成は***国特許公開公報272
9697に記載されている。
比較的大きな格子定数(例えば0.1nm)の測定装置
は当然常に高−調波を伴う三角波又は台形波のアナログ
信号を供給する。
は当然常に高−調波を伴う三角波又は台形波のアナログ
信号を供給する。
***国特許明細書1941751から目盛担体のピッチ
の走査の際に高調波のないアナログ信号の取得のために
正弦曲線透過特性を有する周波数フィルタ(帯域フィル
タ)が設けられた光電長さ測定装置が公知である。この
測定装置は特別の周波数フィルタがつくられ、かつ内蔵
されなければならないという欠点を有する。この周波数
フィルタのフィールドは完全に照明されかつ走査されね
ばならず、このことは特に反射測定法における走査では
実際上実施不可能である。そのために周波数フィルタの
正弦曲線輪郭によってかなシの光量損失が生ずる。
の走査の際に高調波のないアナログ信号の取得のために
正弦曲線透過特性を有する周波数フィルタ(帯域フィル
タ)が設けられた光電長さ測定装置が公知である。この
測定装置は特別の周波数フィルタがつくられ、かつ内蔵
されなければならないという欠点を有する。この周波数
フィルタのフィールドは完全に照明されかつ走査されね
ばならず、このことは特に反射測定法における走査では
実際上実施不可能である。そのために周波数フィルタの
正弦曲線輪郭によってかなシの光量損失が生ずる。
(解決すべき課題)
本発明は位置測定装置で高調波のない周期的信号の取得
を可能に1〜、その際位置測定装置はこのために特別の
要素を必要とせず、かつ汎用的に使用可能であるように
することを課題の基礎とする。
を可能に1〜、その際位置測定装置はこのために特別の
要素を必要とせず、かつ汎用的に使用可能であるように
することを課題の基礎とする。
(課題の解決のための手段)
この課題は本発明によれば走査ユニツ) (A)におけ
る少なくとも一つの高調波のない周期的アナログ信号a
1.b1の取得のために、測定方向Xにおいて相互にず
れた少なくとも二つの走査フィールド(G”+Ga2+
Gb1yGb2)が設けられておシ、各走査フィールド
(Ga1 * Ga2 + Gbl * Gb2 )は
N個の部分フィールド(Fa 1n+ Fa2n r
’bony Fazm)(n=1.2.・・・・・N)
から成シ、隣接した部分フィールド(Fa1n+’a2
nyFb1n+ Fb2n )の間にはそれぞれ測定方
向Xに一定のずれが存在し、測定方向Xにおける部分フ
ィールド(Fal n t Fa 2 n +Fb1n
、Fb2n)の巾B!L1n+ %2n*”1)1np
Bt12nは正弦画数に従って変化し、そして部分フィ
ールド(FIL1n+Fa2n+Fl)ln+Fl)2
n )によって得られた周期的アナログ信号が合成可能
であることによって解決される。
る少なくとも一つの高調波のない周期的アナログ信号a
1.b1の取得のために、測定方向Xにおいて相互にず
れた少なくとも二つの走査フィールド(G”+Ga2+
Gb1yGb2)が設けられておシ、各走査フィールド
(Ga1 * Ga2 + Gbl * Gb2 )は
N個の部分フィールド(Fa 1n+ Fa2n r
’bony Fazm)(n=1.2.・・・・・N)
から成シ、隣接した部分フィールド(Fa1n+’a2
nyFb1n+ Fb2n )の間にはそれぞれ測定方
向Xに一定のずれが存在し、測定方向Xにおける部分フ
ィールド(Fal n t Fa 2 n +Fb1n
、Fb2n)の巾B!L1n+ %2n*”1)1np
Bt12nは正弦画数に従って変化し、そして部分フィ
ールド(FIL1n+Fa2n+Fl)ln+Fl)2
n )によって得られた周期的アナログ信号が合成可能
であることによって解決される。
(本発明の効果)
本発明によって得られる利点は特に簡単な方法で公知の
位置測定装置の従来からある手段だけによって高調波の
ない周期的信号の取得が可能となり、その際周波数フィ
ルタのような追加的要素は必要とされず、かつ目盛精度
及び走査板の目盛面と目盛担体の目盛面との間の一定の
間隔の保持に特別の要求は課されないととにある。それ
によってコストが安く、従来同様に構成された測定装置
が得られ、その位置の保持が簡単化される。
位置測定装置の従来からある手段だけによって高調波の
ない周期的信号の取得が可能となり、その際周波数フィ
ルタのような追加的要素は必要とされず、かつ目盛精度
及び走査板の目盛面と目盛担体の目盛面との間の一定の
間隔の保持に特別の要求は課されないととにある。それ
によってコストが安く、従来同様に構成された測定装置
が得られ、その位置の保持が簡単化される。
本発明の有利な他の構成は実施態様項から把握される。
(実施例)
本発明の実施例を図面に基いて詳しく説明する。
第1図には光電的長さ測定装置が横断面で表わされてお
り、その中空形材の形の7・ウジング1が図示しない工
作機械のベッド2にねじ5によって固定されている。工
作機械の往復台4に連結部材6を備えた組立足部5が任
意の方法でグ1に進入し、その際スリット8に設けられ
た弾性シールリップ9はハウジング1の内方への汚れの
進入を阻止する。ハウジング1の内面にスケールMが弾
性接着層11によって取付けられ、スケールに走査ユニ
ットAがローラ13を介して支持される。ベッド2に関
する往復台4の相対運動は連結部材6から走査ユニッ)
A上に図示しないクラッチによって伝達され、往復台4
とスケールMとの間のずれが補正されることができる。
り、その中空形材の形の7・ウジング1が図示しない工
作機械のベッド2にねじ5によって固定されている。工
作機械の往復台4に連結部材6を備えた組立足部5が任
意の方法でグ1に進入し、その際スリット8に設けられ
た弾性シールリップ9はハウジング1の内方への汚れの
進入を阻止する。ハウジング1の内面にスケールMが弾
性接着層11によって取付けられ、スケールに走査ユニ
ットAがローラ13を介して支持される。ベッド2に関
する往復台4の相対運動は連結部材6から走査ユニッ)
A上に図示しないクラッチによって伝達され、往復台4
とスケールMとの間のずれが補正されることができる。
第2図によれば走査ユニツ)AにおけるスケールMの目
盛Tの走査のために光源15、コンデンサ16、目盛1
8を備えた走査板17及び光電要素19が配設されてi
る。走査板17の目盛18はスケールMの目盛Tと同一
である。
盛Tの走査のために光源15、コンデンサ16、目盛1
8を備えた走査板17及び光電要素19が配設されてi
る。走査板17の目盛18はスケールMの目盛Tと同一
である。
光源15から出た光はコンデンサ16によって平行にさ
れ、スケールMの目盛T、18及び走査板17の目盛を
透過し、かつ続いて光電要素19に入射する。固定した
スケールMに対する走査板17を備えた走査ユニツ)A
の測定方向Xへの運動の際目盛T、18で光が変調され
、その結果光電要素19は周期的な電気的アナログ信号
8 (X)を供給し、この信号は評価され、計数され、
そして位置測定値としてデジタル表示されることができ
る。
れ、スケールMの目盛T、18及び走査板17の目盛を
透過し、かつ続いて光電要素19に入射する。固定した
スケールMに対する走査板17を備えた走査ユニツ)A
の測定方向Xへの運動の際目盛T、18で光が変調され
、その結果光電要素19は周期的な電気的アナログ信号
8 (X)を供給し、この信号は評価され、計数され、
そして位置測定値としてデジタル表示されることができ
る。
光電要素19から送られる周期的アナログ信号S (X
)は一般に高調波を伴い、従って測定長Xの画数として
フーリエ級数で表わされることができる。
)は一般に高調波を伴い、従って測定長Xの画数として
フーリエ級数で表わされることができる。
El(X)=a□+Σ (al coo KX 十bk
ein KX )−1 積分区間には波又は周波数の次数(基本波に=1,1高
調波二に=2等々)及びak、bkはフーリエ係数。
ein KX )−1 積分区間には波又は周波数の次数(基本波に=1,1高
調波二に=2等々)及びak、bkはフーリエ係数。
高調波のない周期的アナログ信号&1.1)1の場得の
ためにまず周期的アナログ信号S (X)のスケールM
のピンチTの代表的な最大帯域中N(フーリエ係数ak
tbkの周波数又は波の数)が検出される。帯域中Nの
この検出のために目盛Tは例えば走査板17の目盛18
及び光電要素19によって第2図により図示しない基準
測定システムを参照して全測定長に亘って走査され、そ
して得られた周期的アナログ信号B (X)はフーリエ
解析される。そのようにして得られた帯域中Nは目盛T
と同一のピッチの列では一度だけ検出されればよい。こ
の帯域中Nの検出は当業者に経験に基ずく概算値によっ
ても実施される。
ためにまず周期的アナログ信号S (X)のスケールM
のピンチTの代表的な最大帯域中N(フーリエ係数ak
tbkの周波数又は波の数)が検出される。帯域中Nの
この検出のために目盛Tは例えば走査板17の目盛18
及び光電要素19によって第2図により図示しない基準
測定システムを参照して全測定長に亘って走査され、そ
して得られた周期的アナログ信号B (X)はフーリエ
解析される。そのようにして得られた帯域中Nは目盛T
と同一のピッチの列では一度だけ検出されればよい。こ
の帯域中Nの検出は当業者に経験に基ずく概算値によっ
ても実施される。
帯域中Nの、周期的アナログ信号日(X)からS (X
)=: a□+1’ (akco8KX+bks1nK
X)−1 フーリエ係数a1b1を有する基本波 N a1=(’/N)Σ 8n (X十nx/12 ) ・
coo (nyr/N )n!1 b+ = (’/N)Σ Sn (X +nK /N
) ・a in (nK/N )zj をフィルタアウトするために、位相ずれΔα=2f/2
N=π/Nを有する2N個の信号8n(X) t7)第
一群が生じ、係数coo(nπ/N)にによって倍率を
かけられ、かつ積分される。
)=: a□+1’ (akco8KX+bks1nK
X)−1 フーリエ係数a1b1を有する基本波 N a1=(’/N)Σ 8n (X十nx/12 ) ・
coo (nyr/N )n!1 b+ = (’/N)Σ Sn (X +nK /N
) ・a in (nK/N )zj をフィルタアウトするために、位相ずれΔα=2f/2
N=π/Nを有する2N個の信号8n(X) t7)第
一群が生じ、係数coo(nπ/N)にによって倍率を
かけられ、かつ積分される。
同様なことが△α=π/Nの位相差を有する信号8n(
X)の第二群が得られ、係数sin (nπ/N )で
乗算され、かつ積分されることができる。
X)の第二群が得られ、係数sin (nπ/N )で
乗算され、かつ積分されることができる。
その際信号b1(X)は
で表わされる。
これらの信号a1(X)とbl(x)は比例係数1/N
までフーリエ係数a1(X)とbl(x)に相応する。
までフーリエ係数a1(X)とbl(x)に相応する。
al(X)=(’/N)al(X)
bl(X)=(’/N )bl(X)
本発明によれば帯域中Nの周期的アナログ信号日(x)
の基本波の第1項のフーリエ係数81をうるために、そ
れぞれ位相面△α=πハだけ位相のずれた信号5n(X
)の2N個の第一群は相応して位相のずれた部分フィー
ルドFain+Fa2n(n=1.2.・・・・・N)
、の第−走査群G及び相違して接続された二つの光電要
素Ph 1 + ”a 2によって発生し、二つの光電
要素は部分フィールドFa1n、Fa2Hに付設されて
いる。coo(ng/N)の係数の信号13n(X)へ
の掛算は測定方向Xにおける個々の部分フィールドFa
1 n + Fa 2 Hの巾の測定及び両光型要素
Pal、Pa’2による係数cos(nπ外)を備えた
信号Sn (X )の総和によって行われる。
の基本波の第1項のフーリエ係数81をうるために、そ
れぞれ位相面△α=πハだけ位相のずれた信号5n(X
)の2N個の第一群は相応して位相のずれた部分フィー
ルドFain+Fa2n(n=1.2.・・・・・N)
、の第−走査群G及び相違して接続された二つの光電要
素Ph 1 + ”a 2によって発生し、二つの光電
要素は部分フィールドFa1n、Fa2Hに付設されて
いる。coo(ng/N)の係数の信号13n(X)へ
の掛算は測定方向Xにおける個々の部分フィールドFa
1 n + Fa 2 Hの巾の測定及び両光型要素
Pal、Pa’2による係数cos(nπ外)を備えた
信号Sn (X )の総和によって行われる。
帯域中Nの周期的アナログ信号5(X)の基本波の第二
フーリエ係数b1の算出のために各々位相角△α=π/
Nだけ位相のずれた信号5n(X)の2N個の第二群が
相互に位相のずれた部分フィールド’b1n+Fb2n
(n=1,2+3+ ・・・・N)を有する2N個の第
二走査群Gbによって、そして部分フィールドFb1n
+Fl)2nに付設されており、相違して接続された二
つの光電要素によって発生する。ファクタ5in(nπ
/N ”)の信号8n(X)の倍率は測定方向Xにおけ
る個々の部分フィールド’b1n+Fb2nの巾と、両
光型要素Pb1.]?’b2によるファクタ5in(n
ψ)を備えた信号5n(X)の総和によって行われる。
フーリエ係数b1の算出のために各々位相角△α=π/
Nだけ位相のずれた信号5n(X)の2N個の第二群が
相互に位相のずれた部分フィールド’b1n+Fb2n
(n=1,2+3+ ・・・・N)を有する2N個の第
二走査群Gbによって、そして部分フィールドFb1n
+Fl)2nに付設されており、相違して接続された二
つの光電要素によって発生する。ファクタ5in(nπ
/N ”)の信号8n(X)の倍率は測定方向Xにおけ
る個々の部分フィールド’b1n+Fb2nの巾と、両
光型要素Pb1.]?’b2によるファクタ5in(n
ψ)を備えた信号5n(X)の総和によって行われる。
第−走査群GaはN個の部分フィールドFaun(n=
1.2. ・・・・N)及びN個の部分フィールドFa
2nの第二走査フィールドGa2から成る。同様走査群
GbはN個の部分フィールドFt)Inを有する第一走
査フイールドGt)1とN個の部分フィールドFb2n
を有する第二走査フィールドGb2から成る。
1.2. ・・・・N)及びN個の部分フィールドFa
2nの第二走査フィールドGa2から成る。同様走査群
GbはN個の部分フィールドFt)Inを有する第一走
査フイールドGt)1とN個の部分フィールドFb2n
を有する第二走査フィールドGb2から成る。
第−走査群Gaは第二走査群Gl)に対して測定方向X
にスケールMの目盛TのピッチPの%だけずれておシ、
一方第一走査フイールドGa1.Gb1は両走査群Ga
、Gbの第二走査フィールドGa2+Gb2に対して測
定方向Xにおいて目盛TのピッチPの%だけずらされて
おり、隣接した部分フィールドFa1 n+ ’a2n
r Fbln + ’b2nの間には各々測定方向Xに
おいてP/2 N個の一定のずれが存在する。
にスケールMの目盛TのピッチPの%だけずれておシ、
一方第一走査フイールドGa1.Gb1は両走査群Ga
、Gbの第二走査フィールドGa2+Gb2に対して測
定方向Xにおいて目盛TのピッチPの%だけずらされて
おり、隣接した部分フィールドFa1 n+ ’a2n
r Fbln + ’b2nの間には各々測定方向Xに
おいてP/2 N個の一定のずれが存在する。
第−走査群Gaの部分フィールドFB 1n tF&2
t’lの巾Ba1npBa2nは測定方向Xにおいて、
ファクタIcos(nの)1に比例しておシ、そして第
二走査群G1)の部分フィールドFb+ntF”b’n
の測定方向Xの巾Bb1n+Bt)2nはファクタl
sin (nπ/N ) lに比例する。
t’lの巾Ba1npBa2nは測定方向Xにおいて、
ファクタIcos(nの)1に比例しておシ、そして第
二走査群G1)の部分フィールドFb+ntF”b’n
の測定方向Xの巾Bb1n+Bt)2nはファクタl
sin (nπ/N ) lに比例する。
各走査フィールドGa1.Ga2.Gb1.Gb2には
光電要素Pa 1 r Pa 2 + Pb 1 +
Pl)2の形の走査要素が付設されている。第二走査フ
ィールドGa2 、Gb2の走査要素Pa2.Pソは各
々第一走査フィールドGa1゜G112の走査要素Pa
1 p ”a 2に対して相違して接続されて−る。
光電要素Pa 1 r Pa 2 + Pb 1 +
Pl)2の形の走査要素が付設されている。第二走査フ
ィールドGa2 、Gb2の走査要素Pa2.Pソは各
々第一走査フィールドGa1゜G112の走査要素Pa
1 p ”a 2に対して相違して接続されて−る。
相違して接続された走査要素PIL 1vPa2・pb
l・Pb2はそれぞれ位置測定値の形成のための評価装
置Wと接続されている。
l・Pb2はそれぞれ位置測定値の形成のための評価装
置Wと接続されている。
位相角αの正弦はスケールMの目盛TのピッチPに亘っ
て半分は正、他の半分は負でsb、しかし第−走査群G
aの部分フィールドFajn、Fa2nの巾Ba+n+
”a2nは正のみでありうるので、位相角α=−π/2
とα=十π/2の間の範囲tこあるN個の部分フィール
ド’alnの第−走査群G、の第一走査フイールドG、
1に第一光電要素Pa1がそして位相角α=π/2及び
α=3π/2の間の範囲にある部分フィールドFa2n
の第−走査群Gaの第二走査フィールドロ82には総和
形成のために第一光電要素Pa1に対して相違して接続
されている第二光電要素が所属する。位相角αの正弦は
目盛TのピッチPに亘って同様に半分は正、他の半分は
負であるから、位相角α=0とα−πの間の範囲にある
部分フィールドF′b1nを有する第二走査群Gbの第
一走査フイールドGb1には第一光電要素Pb1が所属
し、そして位相角α二πとα=2πの間の範囲にあるN
個の部分フィールドFb2nをもった第二走査群Gbの
第二走査フィールドGb2には同様に総和形成のために
第一光電要素Pb1に対して相違して接続されている第
二光電要素Pb2が所属する。
て半分は正、他の半分は負でsb、しかし第−走査群G
aの部分フィールドFajn、Fa2nの巾Ba+n+
”a2nは正のみでありうるので、位相角α=−π/2
とα=十π/2の間の範囲tこあるN個の部分フィール
ド’alnの第−走査群G、の第一走査フイールドG、
1に第一光電要素Pa1がそして位相角α=π/2及び
α=3π/2の間の範囲にある部分フィールドFa2n
の第−走査群Gaの第二走査フィールドロ82には総和
形成のために第一光電要素Pa1に対して相違して接続
されている第二光電要素が所属する。位相角αの正弦は
目盛TのピッチPに亘って同様に半分は正、他の半分は
負であるから、位相角α=0とα−πの間の範囲にある
部分フィールドF′b1nを有する第二走査群Gbの第
一走査フイールドGb1には第一光電要素Pb1が所属
し、そして位相角α二πとα=2πの間の範囲にあるN
個の部分フィールドFb2nをもった第二走査群Gbの
第二走査フィールドGb2には同様に総和形成のために
第一光電要素Pb1に対して相違して接続されている第
二光電要素Pb2が所属する。
第3図において第2図によるスケールMが拡大して示し
てあり、走査ユニットAのピッチPの目盛Tは走査板A
Pによって走査される。目盛Tから得られる周期的アナ
ログ信号S (X)は帯域中N=4を有する。従って本
発明によれば周期的アナログ信号El (X)の基本波
の第一フーリエ係数a1の形の高調波のない第一周期的
アナログ信号の取得のために2N=8個の部分フィール
ドFa 11 +Fa12 H’a 17 r Fal
B 、 Fa25”’−Fa26の第一走査群Gaが所
属し、そして周期的アナログ信号S (X)の基本波b
1の第二フーリエ係数b1の形の高調波のない周期的第
二アナログ信号の取得のために走査板AP上に8個の部
分フィールドF’bt+〜yb+a 。
てあり、走査ユニットAのピッチPの目盛Tは走査板A
Pによって走査される。目盛Tから得られる周期的アナ
ログ信号S (X)は帯域中N=4を有する。従って本
発明によれば周期的アナログ信号El (X)の基本波
の第一フーリエ係数a1の形の高調波のない第一周期的
アナログ信号の取得のために2N=8個の部分フィール
ドFa 11 +Fa12 H’a 17 r Fal
B 、 Fa25”’−Fa26の第一走査群Gaが所
属し、そして周期的アナログ信号S (X)の基本波b
1の第二フーリエ係数b1の形の高調波のない周期的第
二アナログ信号の取得のために走査板AP上に8個の部
分フィールドF’bt+〜yb+a 。
Fb25〜Fb28をもった第二走査群Gl)が配設さ
れているO 第一走査群G2の隣接した部分フィールドFa11+’
a121 ’a17 yFla18 +′Fa25〜F
a26の間及び第二走査群Gl)の隣接した部分フィー
ルド’bH〜Fb14 、Fl)25〜Fl)280間
にそれぞれ、測定方向Xにおいて、P/2N=P/8個
の一定のずれがある。部分フィールドFaN * ’F
112 、Fa17 、 FalBの第一走査フィール
ドGa1と、第一走査群G、の部分フィールドFa 2
5〜Fa 26の第二走査フィールドGa2との間、並
びに部分フィールドFb11〜Fb+4の第一走査フイ
ールドGb1と第二走査群()1)の部分フィールド’
b 25〜Fb28の第二走査フィールドGb2との間
にそれそえ測定方向XにおいてP/2のずれがある。第
二群Gl)は第一走査群Gaに対して測定方向XにP/
4だけずれている。
れているO 第一走査群G2の隣接した部分フィールドFa11+’
a121 ’a17 yFla18 +′Fa25〜F
a26の間及び第二走査群Gl)の隣接した部分フィー
ルド’bH〜Fb14 、Fl)25〜Fl)280間
にそれぞれ、測定方向Xにおいて、P/2N=P/8個
の一定のずれがある。部分フィールドFaN * ’F
112 、Fa17 、 FalBの第一走査フィール
ドGa1と、第一走査群G、の部分フィールドFa 2
5〜Fa 26の第二走査フィールドGa2との間、並
びに部分フィールドFb11〜Fb+4の第一走査フイ
ールドGb1と第二走査群()1)の部分フィールド’
b 25〜Fb28の第二走査フィールドGb2との間
にそれそえ測定方向XにおいてP/2のずれがある。第
二群Gl)は第一走査群Gaに対して測定方向XにP/
4だけずれている。
第一走査群Gaの個々の部分フィールドFa + n
TFa2Hの測定方向Xにおける巾Ba1n、Ba2n
は第一フーリエ係数a1のファクタco8(nπ/N)
の値に比例、そして第二走査群Gbの個々の部分フィー
ルドFb1n、Fb2nの巾B1)I n + ” ’
b 2 nは第二フーリエ係数b1のファクタ5in(
nπ/N)の値に比例する。部分フィールドFa1n+
Fa2n*’b1n+’b2nは比例係数として7Pの
基本中を有することができる。従って Ba1i1:Ba2n == 7P l co8(nπ
/ 4 ) IBl、1n=Bb2n=7p l 5i
n(nπ/4)1第一走査群Gaによって正弦波の正の
半波長の走査のために部分フィールド’ai 1 、F
BI2デFfi17ツFa18を有する第一走査フイー
ルドGa、がそして周期的アナログ信号5(X)の正弦
波の負の半波長の走査のために部分フィールドFa2s
〜Fa 26を有する第二走査フィールドGa2が使用
される。
TFa2Hの測定方向Xにおける巾Ba1n、Ba2n
は第一フーリエ係数a1のファクタco8(nπ/N)
の値に比例、そして第二走査群Gbの個々の部分フィー
ルドFb1n、Fb2nの巾B1)I n + ” ’
b 2 nは第二フーリエ係数b1のファクタ5in(
nπ/N)の値に比例する。部分フィールドFa1n+
Fa2n*’b1n+’b2nは比例係数として7Pの
基本中を有することができる。従って Ba1i1:Ba2n == 7P l co8(nπ
/ 4 ) IBl、1n=Bb2n=7p l 5i
n(nπ/4)1第一走査群Gaによって正弦波の正の
半波長の走査のために部分フィールド’ai 1 、F
BI2デFfi17ツFa18を有する第一走査フイー
ルドGa、がそして周期的アナログ信号5(X)の正弦
波の負の半波長の走査のために部分フィールドFa2s
〜Fa 26を有する第二走査フィールドGa2が使用
される。
目盛TのピッチPの正の半波長の走査のために次の表の
ように部分フィールド’aN +’a12+Fa17
rF118は位相角αとフーリエ係数a1の積分区間に
所属し、その際部分フィールド’aH+’a12yFa
17+F’a+aの巾Ba1nが得られる。
ように部分フィールド’aN +’a12+Fa17
rF118は位相角αとフーリエ係数a1の積分区間に
所属し、その際部分フィールド’aH+’a12yFa
17+F’a+aの巾Ba1nが得られる。
目盛TのピッチPの負の半波長の走査のために、走査フ
ィールドF123〜Fa26は次のように位相角α及び
フーリエ係数a1の積分区間nに所属し、その際走査フ
ィールドFa 25〜’a26の巾Ba2nが得られる
。
ィールドF123〜Fa26は次のように位相角α及び
フーリエ係数a1の積分区間nに所属し、その際走査フ
ィールドFa 25〜’a26の巾Ba2nが得られる
。
部分フィールドFa12とFa26は巾Ba12=Qと
とBa26=Qを有するので、これらは第6図には示し
てない。
とBa26=Qを有するので、これらは第6図には示し
てない。
スケールMの目盛Tは等しい巾の透明のしまと不透明の
しまとを有し、しまな測定方向Xにおいて交互に続く。
しまとを有し、しまな測定方向Xにおいて交互に続く。
目盛TのピッチPは測定方向Xにおける透明なしまと不
透明なしまの巾によって決定される。両走査群Ga、G
bの部分フィールド’ a 1 n + ’a 2 n
t ’1)1 n t Fl)2 nはそれぞれスケ
ールMの目盛Tと同一の目盛を有する。不透明なしまは
暗いしまとして表わされる。
透明なしまの巾によって決定される。両走査群Ga、G
bの部分フィールド’ a 1 n + ’a 2 n
t ’1)1 n t Fl)2 nはそれぞれスケ
ールMの目盛Tと同一の目盛を有する。不透明なしまは
暗いしまとして表わされる。
上記画表から明らかなように部分フィールドFa18の
目盛はスケールMの目盛Tに対してずれがない。部分フ
ィールドFaH* Fa12 g Faj7 、 Fa
lB 1Fa23〜Fa26の目盛は相互に各々P/8
だけずれている。それによって部分フィールドFaN
、 Fa12 。
目盛はスケールMの目盛Tに対してずれがない。部分フ
ィールドFaH* Fa12 g Faj7 、 Fa
lB 1Fa23〜Fa26の目盛は相互に各々P/8
だけずれている。それによって部分フィールドFaN
、 Fa12 。
”” e Fa 18 + ’a 25〜FeL26は
同等に相互にV8のずれを以って周期的アナログ信号S
(X)の正弦波のピッチPに亘って割付られている。
同等に相互にV8のずれを以って周期的アナログ信号S
(X)の正弦波のピッチPに亘って割付られている。
’a 17 + ’a111を有する第一走査フイール
ドGalに第一光電要素”a+がそして部分フィールド
Fa25〜’a24を有する第二走査フィールドGa2
に第二光電要素Pa2が所属している。部分フィールド
’a 23〜I’a26のために負の巾”a2nが得ら
れるが。
ドGalに第一光電要素”a+がそして部分フィールド
Fa25〜’a24を有する第二走査フィールドGa2
に第二光電要素Pa2が所属している。部分フィールド
’a 23〜I’a26のために負の巾”a2nが得ら
れるが。
正の巾Ba2nのみが可能なので、第二光電要素Pa2
は第一光電要素Pa1に対して相違して接続されている
(第5b図)。相違して接続された両光電要素Pa1l
P&2の高調波のなし出力信号Ahaは周期的アナログ
信号5(X)の第一フーリエ係数a1に比例し、そして
位置測定値PMの形成のだめの評価装置Wに導かれ、そ
の値は後続の表示装置においてデジタル表示されること
ができる。
は第一光電要素Pa1に対して相違して接続されている
(第5b図)。相違して接続された両光電要素Pa1l
P&2の高調波のなし出力信号Ahaは周期的アナログ
信号5(X)の第一フーリエ係数a1に比例し、そして
位置測定値PMの形成のだめの評価装置Wに導かれ、そ
の値は後続の表示装置においてデジタル表示されること
ができる。
第二走査群Gbによって正弦波の正の半波長の走査のた
めの部分フィールド’Fb1t〜I’b+nを有スる第
一走査フイールドGb1が使用され、周期的アナログ信
号8(x)の正弦波の負の半波のために部分フィールド
Fl)25〜Fb 28を有する第二走査フィールドG
b2が使用される。目盛TのピッチPの正の半波の走査
のために、部分フィールドFbH〜’bllは次のよう
に位相角α及びフーリエ係数b1の積分区間nに所属し
、その際部分フィールド”b+1〜Fb14の所属の巾
Bb+nが得られる。
めの部分フィールド’Fb1t〜I’b+nを有スる第
一走査フイールドGb1が使用され、周期的アナログ信
号8(x)の正弦波の負の半波のために部分フィールド
Fl)25〜Fb 28を有する第二走査フィールドG
b2が使用される。目盛TのピッチPの正の半波の走査
のために、部分フィールドFbH〜’bllは次のよう
に位相角α及びフーリエ係数b1の積分区間nに所属し
、その際部分フィールド”b+1〜Fb14の所属の巾
Bb+nが得られる。
目盛TのピッチPの負の半波の走査のために走査フィー
ルドFl)25〜Fb28は次のように位相角α及びフ
ーリエ係数b1の積分区間nに所属し、その際走査フィ
ールドFl)25〜Fl)2Bの巾Bb2n が得られ
る。
ルドFl)25〜Fb28は次のように位相角α及びフ
ーリエ係数b1の積分区間nに所属し、その際走査フィ
ールドFl)25〜Fl)2Bの巾Bb2n が得られ
る。
走査フィールドFb14とF’b 2Bは巾Bl)14
= Ol及びBb2B’::Qを有するので、第6図
には示されてない。
= Ol及びBb2B’::Qを有するので、第6図
には示されてない。
上記表から明らかなように、部分フィールドFt)28
の目盛はスケールMの目盛Tに対してずれがない。部分
フィールドFt)11〜”1’ t Ft)25〜Fb
28の目盛は相互にそれぞれいだけずれている。
の目盛はスケールMの目盛Tに対してずれがない。部分
フィールドFt)11〜”1’ t Ft)25〜Fb
28の目盛は相互にそれぞれいだけずれている。
それによって部分フィールドFl)11〜Fb14 、
Fl)25〜Fb28は等しく P/8のずれをもっ
て周期的アナログ信号S (X)の正弦波のPに亘って
割付されている。
Fl)25〜Fb28は等しく P/8のずれをもっ
て周期的アナログ信号S (X)の正弦波のPに亘って
割付されている。
第5a図によれば部分フィールドF’1)t1〜Fb1
4の第一走査フイールドGblには第一光電要素Pb1
が、そして部分フィールドFb25〜Fl)2Bを有す
る第二走査フィールドGb2には第二光電要素Pb2が
所属している。部分フィールドFb25〜F’b2B+
7)ために負の巾Bb2nが得られるが、正の巾のみし
か可能ではないので、第二光電要素Pb2は第一光電要
素Pbnに対して相違して接続されている(第5b図)
。両相違して接続された光電要素PtN+”す2の高調
波のない出力信号ASbは周期的アナログ信号5(X)
の第二フーリエ係数b1に比例し、そして同様に後続の
表示ユニットzにおして示されうる位置測定値PMの形
成のための評価装置Wに供給される。
4の第一走査フイールドGblには第一光電要素Pb1
が、そして部分フィールドFb25〜Fl)2Bを有す
る第二走査フィールドGb2には第二光電要素Pb2が
所属している。部分フィールドFb25〜F’b2B+
7)ために負の巾Bb2nが得られるが、正の巾のみし
か可能ではないので、第二光電要素Pb2は第一光電要
素Pbnに対して相違して接続されている(第5b図)
。両相違して接続された光電要素PtN+”す2の高調
波のない出力信号ASbは周期的アナログ信号5(X)
の第二フーリエ係数b1に比例し、そして同様に後続の
表示ユニットzにおして示されうる位置測定値PMの形
成のための評価装置Wに供給される。
得られた周期的アナログS (X)の基本波のできる限
り完全に高調波のない発生のために巾Nは目安では可能
な限υ高く(例えばN==12 )セットされる。即ち 部分フィールドFnの巾Bnに相当する。ピッチP=2
πに関する走査フィールドGの中心に対する部分フィー
ルドFnのずれはα=nπAである。前後の二つの部分
フィールドFn + Fr))1 (0間のずれは△α
=πハである。
り完全に高調波のない発生のために巾Nは目安では可能
な限υ高く(例えばN==12 )セットされる。即ち 部分フィールドFnの巾Bnに相当する。ピッチP=2
πに関する走査フィールドGの中心に対する部分フィー
ルドFnのずれはα=nπAである。前後の二つの部分
フィールドFn + Fr))1 (0間のずれは△α
=πハである。
即ちBn=B000B(1=B□ cos (n ・△
α)Bo=部分フィールドFoの基本巾 C=走査フィールドGの全巾 Bo=Cπ/’2N = c△α/2 走査フィールドGの中心から部分フィールドFHの中心
までの距離: =(C+c/2N) ・(N7g) −5in(nΔα
)−(0/2 )sin(n△a) rn−(0/2 )sinα sinα=2rn10 α=arc 5in(2rn10) この画数α=f(rn)は第7図においてN=12に対
して表わされている。
α)Bo=部分フィールドFoの基本巾 C=走査フィールドGの全巾 Bo=Cπ/’2N = c△α/2 走査フィールドGの中心から部分フィールドFHの中心
までの距離: =(C+c/2N) ・(N7g) −5in(nΔα
)−(0/2 )sin(n△a) rn−(0/2 )sinα sinα=2rn10 α=arc 5in(2rn10) この画数α=f(rn)は第7図においてN=12に対
して表わされている。
本発明によれば更に相異なる巾Bnと一定のずれ△α=
π/Nを有するN個の部分フィールドFnを有する走査
フィールドGの代シに一定の巾B′を有するM個の部分
フィールドFm’を有する走査フィールドG′を設ける
ことが提案され、しかし部分フィールドは可変のずれを
有し、そのずれ量は部分フィールドym/の中央が画数
α−s i n−’(2rrn/c )でN−+ψによ
って形成される線と同一線上に位置する(m=σl’1
2+・・・・・p (M−’ ) vM≧N、M=奇数
)。
π/Nを有するN個の部分フィールドFnを有する走査
フィールドGの代シに一定の巾B′を有するM個の部分
フィールドFm’を有する走査フィールドG′を設ける
ことが提案され、しかし部分フィールドは可変のずれを
有し、そのずれ量は部分フィールドym/の中央が画数
α−s i n−’(2rrn/c )でN−+ψによ
って形成される線と同一線上に位置する(m=σl’1
2+・・・・・p (M−’ ) vM≧N、M=奇数
)。
走査フィールドG′の中心から一定の巾B’==に、P
(K=整数)を有するm番目の部分フィールド塩′の中
心までの距離riQにも適用される、即ちrm = K
mP +Pα/2π rm=P(Km +(ylπ) 81n ’(2rI+
1/(υc 、、、KP(M−1)と5in−’ (2
rn70)−sin ’(2PKm10)より: rm = P (Km+(3y2π%in ”(2PK
mI/KP(M 1 ))rm=P(Km+(%π)s
in ”(2m/(M−1))が得られる。
(K=整数)を有するm番目の部分フィールド塩′の中
心までの距離riQにも適用される、即ちrm = K
mP +Pα/2π rm=P(Km +(ylπ) 81n ’(2rI+
1/(υc 、、、KP(M−1)と5in−’ (2
rn70)−sin ’(2PKm10)より: rm = P (Km+(3y2π%in ”(2PK
mI/KP(M 1 ))rm=P(Km+(%π)s
in ”(2m/(M−1))が得られる。
第4図において同様に第2図によるスケールMが拡大し
て示してあり、そのピッチPの目盛は走査板AP’によ
って走査される。目盛Tがら得られる周期的アナログ信
号5(X)は帯域巾Nテする。従って本発明によれば周
期的アナログ信号5(X)の基本波の第一フーリエ係数
a1の形の高調波のない第一周期的アナログ信号の取得
のために第一走査フィールドGa1′と第二走査フィー
ルドGa2′を有する第−走査群Ga′がそして周期的
アナログ信号S (X)の基本波の第二フーリエ係数b
1の形の高調波のない周期的アナログ信号の取得のため
に第一走査フイールドGb1′と第二走査フィールドG
b2′を有する第二走査群Gb′が走査板AP’上に配
設されている。
て示してあり、そのピッチPの目盛は走査板AP’によ
って走査される。目盛Tがら得られる周期的アナログ信
号5(X)は帯域巾Nテする。従って本発明によれば周
期的アナログ信号5(X)の基本波の第一フーリエ係数
a1の形の高調波のない第一周期的アナログ信号の取得
のために第一走査フィールドGa1′と第二走査フィー
ルドGa2′を有する第−走査群Ga′がそして周期的
アナログ信号S (X)の基本波の第二フーリエ係数b
1の形の高調波のない周期的アナログ信号の取得のため
に第一走査フイールドGb1′と第二走査フィールドG
b2′を有する第二走査群Gb′が走査板AP’上に配
設されている。
両走査群Ga′、Gb′の各走査フィールドGa1’、
Ga2’。
Ga2’。
Gb1′、Gb2′は部分フィールド’a 1 m′、
F82m’* ’b 1 ml’ tFb2m’ Cm
” L1+2+ ・”” t (M−1) ; M≧N
)から成る。部分フィールド’!L ImZ Fa2m
’* Fl) + m’s Fl)2m’はそれぞれス
ケールMの目盛Tと同一の目盛を有し、かつ測定方向X
において一定の巾B’:KP(K=整数)を有する。第
4図によれば部分フィールドFa1m’、Fa2m’、
Fb1m’、 ’b2m’の巾B′はスケールM(K
:1)の目盛TのピッチPである。
F82m’* ’b 1 ml’ tFb2m’ Cm
” L1+2+ ・”” t (M−1) ; M≧N
)から成る。部分フィールド’!L ImZ Fa2m
’* Fl) + m’s Fl)2m’はそれぞれス
ケールMの目盛Tと同一の目盛を有し、かつ測定方向X
において一定の巾B’:KP(K=整数)を有する。第
4図によれば部分フィールドFa1m’、Fa2m’、
Fb1m’、 ’b2m’の巾B′はスケールM(K
:1)の目盛TのピッチPである。
部分フィールド’a 1 m’7 a 2m’+ ’
1)+ m’、Fb2m’の部分フィールド中心Ma
1 m’+ Ma 2 m’r Ml)1 m’、Fl
)2 m’は所属のて距離rm =P (K−m +(
%x)sin ’ (2rn//(M−1) )だけず
れてする。第一走査フイールドGa 1 ’e G1)
1 ’の走査フィールド中心Mal’+Mb1’は第二
走査Ga2′。
1)+ m’、Fb2m’の部分フィールド中心Ma
1 m’+ Ma 2 m’r Ml)1 m’、Fl
)2 m’は所属のて距離rm =P (K−m +(
%x)sin ’ (2rn//(M−1) )だけず
れてする。第一走査フイールドGa 1 ’e G1)
1 ’の走査フィールド中心Mal’+Mb1’は第二
走査Ga2′。
Gb2’の走査フィールド中心Ma2’1M11+2’
に対して測定方向XにおいてスケールMの目盛Tのピッ
チPの半分だけずれており、第−走査群Ga′は第二走
査群Qblに対して測定方向XにおいてスケールXの目
盛TのピッチPのKだけずれている。
に対して測定方向XにおいてスケールMの目盛Tのピッ
チPの半分だけずれており、第−走査群Ga′は第二走
査群Qblに対して測定方向XにおいてスケールXの目
盛TのピッチPのKだけずれている。
第−走査群Ga′の第一走査フィールドGa1′には第
6a図によれば第一光電要素Pa1’が、そして第二走
査フィールドGa2′には第二光電要素Pa2′が所属
しており、第二光電要素は相違して接続されている。相
違して接続された両党型要素Pa、:Pa2′の高調波
のない出力信号Asa’は周期的アナログ信号S (X
)の基本波の第一フーリエ係数81に比例し、そして、
第6b図によれば位置測定値PM’の形成のだめの評価
装置W′に供給され、測定値は後続の表示装置2′にお
いて表示されることかできる。
6a図によれば第一光電要素Pa1’が、そして第二走
査フィールドGa2′には第二光電要素Pa2′が所属
しており、第二光電要素は相違して接続されている。相
違して接続された両党型要素Pa、:Pa2′の高調波
のない出力信号Asa’は周期的アナログ信号S (X
)の基本波の第一フーリエ係数81に比例し、そして、
第6b図によれば位置測定値PM’の形成のだめの評価
装置W′に供給され、測定値は後続の表示装置2′にお
いて表示されることかできる。
第6a図によれば第二走査群Gb′の第一走査フイール
ドGb1’に第一光電要素Pb1′が、そして第二走査
フィールドGb2′には第二光電要素Pb2’が所属し
ており、第二光電要素は相違して接続されている。相違
して接続された両光型要素PtN’+Pb2’の高調波
のない出力信号は周期的アナログ信号5(X)の基本波
の第二フーリエ係数に比例しており、そして第6b図に
よれば同様に位置測定値PM’の形成のための評価装置
に入力され、測定値は後続の表示装置において表示され
ることができる。
ドGb1’に第一光電要素Pb1′が、そして第二走査
フィールドGb2′には第二光電要素Pb2’が所属し
ており、第二光電要素は相違して接続されている。相違
して接続された両光型要素PtN’+Pb2’の高調波
のない出力信号は周期的アナログ信号5(X)の基本波
の第二フーリエ係数に比例しており、そして第6b図に
よれば同様に位置測定値PM’の形成のための評価装置
に入力され、測定値は後続の表示装置において表示され
ることができる。
評価装置w、w’は位置測定値PM、PM’の形成のた
めに測定方向Xの認識のだめの方向弁別器を有し、この
方向弁別器は加算/減算カウンタに接続されている。同
様に評価装置w、w’はスケールMの目盛TのピッチP
の内方の補間位置測定値の形成のだめの追加的補間装置
を有することがで巻る。
めに測定方向Xの認識のだめの方向弁別器を有し、この
方向弁別器は加算/減算カウンタに接続されている。同
様に評価装置w、w’はスケールMの目盛TのピッチP
の内方の補間位置測定値の形成のだめの追加的補間装置
を有することがで巻る。
本発明は光電的位置測定装置に限られることなく、磁気
的、誘導的、及び容量的位置測定装置にも使用可能であ
る。
的、誘導的、及び容量的位置測定装置にも使用可能であ
る。
第1図は長さ測定器の横断面図、
第2図は走査ユニット、
第3図は走査フィールドを有する走査板、第4図は走査
フィールドを有する他の走査板、第5a図及び第5b図
は評価装置を有する走査ユニット、 第6a図及び第6b図は評価装置を備えた他の走査ユニ
ット、そして 第7図は機能ダイヤグラムを示す。 図中符号 A・・・走査ユニット Ga1tGa2+Gb+、G’b2 ”’走査フィール
ドI’a1fi +1Fa2n+Fll)In+’に1
2n ” ・部分フィールドa1 ・・・アナログ信号 bl ・・・アナログ信号 代理人江崎光好 代理人江崎光史 二クシiノ 二tbr5rx 二h5b 乙Efjji:En lEj?Hb
フィールドを有する他の走査板、第5a図及び第5b図
は評価装置を有する走査ユニット、 第6a図及び第6b図は評価装置を備えた他の走査ユニ
ット、そして 第7図は機能ダイヤグラムを示す。 図中符号 A・・・走査ユニット Ga1tGa2+Gb+、G’b2 ”’走査フィール
ドI’a1fi +1Fa2n+Fll)In+’に1
2n ” ・部分フィールドa1 ・・・アナログ信号 bl ・・・アナログ信号 代理人江崎光好 代理人江崎光史 二クシiノ 二tbr5rx 二h5b 乙Efjji:En lEj?Hb
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)二つの対象物の相対位置の測定のための位置測定
装置にして、目盛担体の目盛は帯域中Nの少なくとも一
つの周期的アナログ信号の取得のための走査ユニットに
よって走査されるものにおいて、 走査ユニットに)における少なくとも一つの高調波のな
い周期的アナログ信号a1 、blの取得のために、測
定方向Xにおいて相互にずれた少なくとも二つの走査フ
ィールド(Ga1 v Ga2 rGb+ pGbz
)が設けられており、各走査フィールド(Ga1.Ga
2.Gbl、Gb2)はN個の部分フィールド(’B4
nyFa2n+ ’b1n+ Fb2n )(n=1.
2・・・・・N)から成り、隣、接した部分フィールド
(Fa1ns?a2nyFtNn+ F’b2n )の
間にはそれぞれ測定方向Xにおいて一定のずれが存在し
、測定方向Xにおける部分フィールド(Fa 1 n
v ’a 2 n e Fb ’ n e ’b 2
n )の巾Ba 1 n r Ba 2 n +BtN
ntBb2nは正弦画数に従って変化し、そして部分フ
ィールド(’ajnp Fa2n+ Fb1n+ Fb
2n )によって得られた周期的アナログ信号が合成可
能であることを特徴とする位置測定装置。 (2) (a) 帯域中Nの周期的アナログ信号(S)
の基本波の第一フーリエ係数の形の高調波のない第一周
期的アナログ信号a1の取得のために、走査ユニツ)
(A)において、 第一走査フィールド(Ga1)と第二走査フィールド(
Gl!L2)とを備えた第一走査群(G2)が、そして
帯域中Nの周期的アナログ信号の基本波の第二フーリエ
係数の形の高周波のない第一周期的アナログ信号の取得
のために第一走査フィールド(Gb+)と第二走査フィ
ールド(Gb2)とを備えた第二走査群(G b)が設
けられていること、 (b) 第一走査フィールド(Ga1.Gbl)が第二
走査フィールド(Ga 2 t Gb 2 )に対して
測定方向Xにお−て目盛担体(H)の目盛(T)のビツ
チPの半分だけずらされていること、 (c) 第一走査群(G2)が第二走査群(Gb)に対
して測定方向Xにおいて目盛担体(M)の目盛(T)の
ピッチPの%だけずらされている、こと (d) 両走査群(Ga、Gb)の各走査フィールド(
Ga1 +Ga2+”bl 、Gb2 )がN個の部分
フィールド(FalnlFa2n+Fb1n+Fb2n
) (n” ’ +2+・・・・・N)から成ること
、 (e)隣接した部分フィールド(Falnl Fa2n
FFbin+”2n)の間にそれぞれ測定方向Xにお
ける一定のずれP/2Nが存在すること(f) 第一走
査群(G2)の部分フィールド(Fa1rl+Fa2n
)の測定方向Xにおける巾”a1n+Ba2nは1co
s(nπ/N)1に比例し、そして第二走査群(Gb)
の部分フィールド(Fb1n+Fb2n)の測定方向X
における巾Bb1n、Bb2nが181n(!1π/N
)1に比例すること、 暢)各走査フィールド(Ga1v Ga2 ? Gbl
+ Gb2 )に走査要素(Pa 1 、 pa2+
Pb1pPb、2 )が付設されてしること、 (h) 第二走査フィールド(Ga 21Gb 2 )
の走査要素(Pa2tPb2)が各々第一走査フィール
ド(Ga1.Gbl)の走査要素(Pa1.Pb1)に
対して相違して接続されており、かつ各々位置測定値(
PM)の形成のための評価装置(W)に接続されている
こと、 とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の位置測定装
置。 (5) 走査要素(Pa + r ”a 2 r Pb
1 * ”b 2 + ”a 1 ’r”a”+ ”
b 1’+Pb2’)が感光要素によって形成されてい
る、置(W、Wりが加算又は残算カウンタに接続してい
る方向弁別器を有する、特許請求の範囲第2項記載の測
定装置。 (5)評価装置(W、w”;が目盛担体(M)の目盛(
T)のピッチP内に補間位置測定値の形成のだめの追加
の補間装置を有する、特許請求の範囲第4項記載の測定
装置。 (6)二つの対象物の相対位置の測定のための位置測定
装置にして、目盛担体の目盛は帯域中Nの少なくとも一
つの周期的アナログ信号の取得のための走査ユニットに
よって走査されるものにおいて、 走査ユニツ)(A’)における高調波のない少なくとも
一つの周期的アナログ信号a1yl)jの取得のために
、少なくとも二つの走査フィールド(Ga 1 ’r
Ga 2’+ Gb I’l Gb 2’ )が設けら
れており、その走査フィールド中央(”a 1 ’y
”a 2’? Mb 1’y Ml)2つは測定方向X
において相互にずらされておシ、各走査フィールド(G
a1′、Ga2′、Gb1′、Gb2′)はM個の部分
フィールド(’ a 1 m’r ’a 2 m′、’
b 1 ff4’+ ’b 2m’)(rn = 0,
1,2. ・・・−(M−1) ; M≧N)から成り
、走査フィールド(Ga1′、Ga2′、Gb1′、G
b2′)の走査フィールド中央(Ma +’+Ma2’
y”bi’+ ’b2’ )に対する部分フィールド(
′Fa 1 m’+ ’a 2m ’g Fb 1 m
’ HFb 2 m’)の部分フィールド中央(” a
1 m ′2Ma 2m’ tMb 1m’+ Mb
2m’ )の測定方向Xにおけるずれは逆正弦−数に
従って変化し、部分フィールド(Fa 1 m’+ ’
82m’* ’b 1 m′、Fb 2m’ )は測定
方向Xにおいて一定の巾B′を有し、そして部分フィー
ルド(’a 1m’+ Fa211′、FtNm′、’
b2m’ )によって得られた周期的アナログ信号は合
成されることができることを特徴とする位置測定装置。 (7) (a) 帯域中(N)の周期的アナログ信号(
S)の基本波の第一フーリエ係数の形の高調波のない周
期的アナログ信号a1の取得のために、走査ユニツ)
(Aりにおいて第一走査フィールド(Ga1つの第二走
査フィールド(Ga2つとを備えた第一走査群(oa’
)が、そして帯域中Nの周期的アナログ信号(S)の基
本波の第二フーリエ係数の形の高調波のない周期的アナ
ログ信号b1の取得のために、第一走査フィールド(G
b1’)と第二走査フィールド(Gb2′)を備えた第
二走査群(Gb’)が設けられていること、 (b) 第一走査フィールド(Ga+’、Gblつの走
査フィールド中央(Ma1’、Mblりが第二走査フィ
ールド(Ga 2′、G1)2’)の走査フィールド中
央(Ma2’yMb2りに対して目盛担体(M)の目盛
(T)のピッチPの半分だけ測定方向Xにずらされてい
ること、 (c) 第−走査群(Ga5)が第二走査群(Gb’)
に対して目盛担体(M)の目盛(T)のピッチPの%だ
け測定方向Xにずらされていること、(→ 両走査群(
Ga’、Gb’)の各走査フィールド(Gal’*Ga
2’+Gbl’yGb2’)がM個の部分フィールド(
’a 1 m’s ’a 2 m’y F′b 1 !
+l’F Fb 2m’ ) (” ” Op ’ e
2・・・・・、(M−1); M≧N)から成ること
、(e) 部分フィールド(Fa 1m’+ Fa2m
’y Fb 11O’+ Fb2m’)の部分フィール
ド中央(Ma + m’2Ma 2 m’+ Mb +
m’ rMb2m’)が走査フィールド(Ga、/、
Ga21.Gb、1Gb2’)の走査フィールド中央(
Maj’、 Ma2’。 ’b+’LMb2’)に対して測定方向Xに距離rm=
P(K−m+(y2r)stn ’ (2m/M−1)
); K=一定を有すること、 (f) 部分フィールド(’a 1 m’+ Fa 2
m’t Fb 1 m’s ’ 1)2m’)が測定
方向Xにおいて一定巾B′二に−Pを有すること、 <f) 各走査フィールド(Ga 1 : Ga 2
’* Gb 1 ’* Gb 2 ’ )に一つの走査
要素(Pa1’、Pa2’*”bIZPb2’) カ付
設されてしること、 (→ 第二走査フィールド(Ga2Z ()b2’ )
の走査要素(p&21. pb2/ )がそれぞれ第一
走査フィールド(Ga、′、Gb1′)の走査要素(P
a 1’、 Pb + ’)に対して相違して接続され
、かつ各々位置測定値(PM’)の形成のための評価装
置(W′)に接続されている、特許請求の範囲第6項に
記載の測定装置。 (8)部分フィールド(’a 1m’+ ’a2m’L
’b jm’+ ’b2m’)の巾B′が目盛担体(
M)の目盛(T)のピッチP(K二1)である、特許請
求の範囲第6項記載の測定装置。 (9)走査要素(pa、 I Pal”bl +”b2
’: I’a1’、’Pa2’。 Pb1’+Pbz’)が感光要素によって形成されてい
る、特許請求の範囲第6項記載の測定装置。 (10)位置測定値(PM 、PMりの形成のための評
価装置(W、Wつが加算又は残算カウンタに接続してい
る方向弁別器を有する、特許請求の範囲第6項記載の測
定装置。 (11)評価装置(W、W’)が目盛担体(M)の目盛
(T)のピッチP内に補間位置測定値の形成のための追
加の補間装置を有する、特許請求の範囲第10項記載の
測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3412128.5 | 1984-03-31 | ||
DE3412128A DE3412128C1 (de) | 1984-03-31 | 1984-03-31 | Positionsmesseinrichtung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60219511A true JPS60219511A (ja) | 1985-11-02 |
JPH0125009B2 JPH0125009B2 (ja) | 1989-05-16 |
Family
ID=6232287
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60062218A Granted JPS60219511A (ja) | 1984-03-31 | 1985-03-28 | 位置測定装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4602436A (ja) |
EP (1) | EP0157177B1 (ja) |
JP (1) | JPS60219511A (ja) |
AT (1) | ATE56091T1 (ja) |
DE (2) | DE3412128C1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62274217A (ja) * | 1986-05-14 | 1987-11-28 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 光電測定装置 |
JPH05223599A (ja) * | 1991-11-04 | 1993-08-31 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 高調波のない周期信号を発生させる装置 |
JP2008514979A (ja) * | 2004-09-29 | 2008-05-08 | ナノモーション エルティーディー. | 台の搬送システム |
JP2011175282A (ja) * | 2005-03-30 | 2011-09-08 | Nanomotion Ltd | 台の搬送システム |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE8613887U1 (de) * | 1986-05-22 | 1990-09-13 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 83301 Traunreut | Meßeinrichtung |
DE3621236A1 (de) * | 1986-06-25 | 1988-01-14 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengen- oder winkelmesseinrichtung |
US4991125A (en) * | 1989-04-19 | 1991-02-05 | Mitutoyo Corporation | Displacement detector |
DE3942178A1 (de) * | 1989-08-08 | 1991-02-21 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Laengen- oder winkelmesseinrichtung |
GB9000097D0 (en) * | 1990-01-03 | 1990-03-07 | March Adrian Res Ltd | Position sensor |
ATE108274T1 (de) * | 1991-05-18 | 1994-07-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Interferentielle positionsmessvorrichtung. |
EP0541828B1 (de) * | 1991-11-04 | 1995-02-01 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale |
US5173602A (en) * | 1991-12-24 | 1992-12-22 | Xerox Corporation | Binary position sensitive detector with multiple rows of alternating types of photocells |
DE59201199D1 (de) * | 1992-02-14 | 1995-02-23 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Wegmesseinrichtung. |
DE4229575C1 (de) * | 1992-09-04 | 1993-11-25 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren bei Längen- oder Winkelmeßeinrichtungen |
DE4323624C2 (de) * | 1993-07-15 | 1997-09-11 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
DE4323712C2 (de) * | 1993-07-15 | 1997-12-11 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
EP0645607B1 (de) * | 1993-08-07 | 1997-06-04 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale |
DE19508700C1 (de) * | 1995-03-02 | 1996-08-14 | Huebner Elektromasch Ag | Vorrichtung zum Gewinnen weitgehend oberwellenfreier periodischer Signale |
US5590059A (en) * | 1995-03-14 | 1996-12-31 | Schier; J. Alan | Position encoder system which utilites the fundamental frequency of a ruled scale on an object |
DE19511068A1 (de) * | 1995-03-25 | 1996-09-26 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Lichtelektrische Positionsmeßeinrichtung |
DE59508231D1 (de) | 1995-06-22 | 2000-05-31 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung |
DE19530560A1 (de) * | 1995-08-19 | 1997-02-20 | Ct Fuer Intelligente Sensorik | Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
DE19532246A1 (de) * | 1995-09-01 | 1997-03-06 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Vorrichtung zur Filterung von Oberwellen-Signalanteilen |
DE19628602A1 (de) * | 1996-07-16 | 1998-01-22 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Vorrichtung zur Filterung von Oberwellen-Signalanteilen |
DE19652562C2 (de) * | 1996-12-17 | 1999-07-22 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmeßeinrichtung |
US6327791B1 (en) | 1999-06-09 | 2001-12-11 | The Government Of The United States As Represented By The Secretary Of Commerce | Chain code position detector |
WO2000077472A1 (en) * | 1999-06-16 | 2000-12-21 | Snorkel International, Inc. | Chain code position detector |
DE19941318A1 (de) | 1999-08-31 | 2001-03-15 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Optische Positionsmeßeinrichtung |
DE10020575A1 (de) | 2000-04-28 | 2001-10-31 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Abtasteinheit für eine optische Positionsmesseinrichtung |
DE102005009043A1 (de) * | 2005-02-22 | 2006-08-31 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Abtasteinheit für eine Positionsmesseinrichtung |
EP1795873B1 (en) | 2005-12-06 | 2017-11-08 | Mitutoyo Corporation | Photoelectric Encoder |
KR101133817B1 (ko) * | 2007-06-18 | 2012-04-06 | 인텔 코포레이션 | 집합 패킷들의 통신을 위한 장치, 방법 및 시스템 |
GB201301186D0 (en) | 2012-12-20 | 2013-03-06 | Renishaw Plc | Optical element |
JP2014224705A (ja) * | 2013-05-15 | 2014-12-04 | キヤノン株式会社 | スケール保持装置、およびエンコーダ |
JP6359340B2 (ja) | 2014-05-27 | 2018-07-18 | 株式会社ミツトヨ | スケール及び光学式エンコーダ |
JP6747568B1 (ja) * | 2019-11-18 | 2020-08-26 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出装置および液体吐出ヘッドユニット |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1282988B (de) * | 1965-05-28 | 1968-11-14 | Zeiss Carl Fa | Einrichtung zum Messen von Lageaenderungen zweier zueinander beweglicher Teile unterVerwendung einer inkohaerenten Strahlung |
US3578979A (en) * | 1968-04-23 | 1971-05-18 | Tajima Seisakusho Kk | Electrical signal generating apparatus having a scale grid |
DE1941731C2 (de) * | 1969-08-16 | 1973-11-15 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Einrichtung zur Messung von Lageande rungen zweier relativ zueinander bewegli eher Teile |
US3713139A (en) * | 1971-01-25 | 1973-01-23 | Bendix Corp | Apparatus and method of determining displacements |
DE2207132A1 (de) * | 1972-02-16 | 1973-08-30 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Anordnung zum messen der relativlage zweier zueinander beweglicher teile |
US4078173A (en) * | 1976-06-24 | 1978-03-07 | Pertec Computer Corporation | Light amplitude control system for position and motion transducers |
DE2729697A1 (de) * | 1977-07-01 | 1979-01-04 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Verfahren zur interpolation |
DE2826213B2 (de) * | 1978-06-15 | 1980-06-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Photoelektrisches inkrementales Längen- und Winkelmeßsystem |
DE3104972C2 (de) * | 1981-02-12 | 1985-06-20 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Lichtelektrische inkrementale Positioniereinrichtung |
JPS57169613A (en) * | 1981-04-13 | 1982-10-19 | Tokyo Optical Co Ltd | Photoelectric encoder |
DE3148910C1 (de) * | 1981-12-10 | 1983-03-10 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Lichtelektrische inkrementale Laengen- oder Winkelmesseinrichtung |
DE3509102C2 (de) * | 1985-03-14 | 1987-01-15 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Meßeinrichtung |
-
1984
- 1984-03-31 DE DE3412128A patent/DE3412128C1/de not_active Expired
-
1985
- 1985-02-28 AT AT85102216T patent/ATE56091T1/de not_active IP Right Cessation
- 1985-02-28 EP EP85102216A patent/EP0157177B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1985-02-28 DE DE8585102216T patent/DE3579338D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1985-03-19 US US06/713,458 patent/US4602436A/en not_active Expired - Lifetime
- 1985-03-28 JP JP60062218A patent/JPS60219511A/ja active Granted
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62274217A (ja) * | 1986-05-14 | 1987-11-28 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 光電測定装置 |
JPH0663783B2 (ja) * | 1986-05-14 | 1994-08-22 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング | 光電測定装置 |
JPH05223599A (ja) * | 1991-11-04 | 1993-08-31 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 高調波のない周期信号を発生させる装置 |
JP2008514979A (ja) * | 2004-09-29 | 2008-05-08 | ナノモーション エルティーディー. | 台の搬送システム |
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