JPS60209102A - リニア磁気スケ−ル - Google Patents
リニア磁気スケ−ルInfo
- Publication number
- JPS60209102A JPS60209102A JP5370684A JP5370684A JPS60209102A JP S60209102 A JPS60209102 A JP S60209102A JP 5370684 A JP5370684 A JP 5370684A JP 5370684 A JP5370684 A JP 5370684A JP S60209102 A JPS60209102 A JP S60209102A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetized body
- bar
- magnetic
- shaped
- magnetized
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明はリニア磁気スケールに関する。
(従来技術とその問題点)
磁気抵抗効果素子(以下MR素子という)を検出素子と
して使用した磁気式リニ4スケールが提案されている(
特願昭58−095166)。
して使用した磁気式リニ4スケールが提案されている(
特願昭58−095166)。
上記したリニア磁気スケールは、第1図(a)、 (b
りように磁気書き込み方向に対して直角にMR素子1の
磁化容易軸Aを配置し、かつ磁気書き込み面の法線方向
に磁化困難軸Cを配置して着磁体2の上空を走行させる
ものであった。上記従来の磁気スケールは、振動などに
よって、着磁体とMR素子1の間隔が変動し、その結果
、出力変動が生じて測定誤差の原因となシうるという欠
点があった。
りように磁気書き込み方向に対して直角にMR素子1の
磁化容易軸Aを配置し、かつ磁気書き込み面の法線方向
に磁化困難軸Cを配置して着磁体2の上空を走行させる
ものであった。上記従来の磁気スケールは、振動などに
よって、着磁体とMR素子1の間隔が変動し、その結果
、出力変動が生じて測定誤差の原因となシうるという欠
点があった。
例えば第1図に示すような着磁体とMR素子1の配置で
はMR素子1の抵抗変化は第2図の実線5のようになる
。しかしながら、走行途中で着磁体とMR素子1間の距
離が変化すると、第2図の点線6のように変化し、正し
い測定ができなくなる。
はMR素子1の抵抗変化は第2図の実線5のようになる
。しかしながら、走行途中で着磁体とMR素子1間の距
離が変化すると、第2図の点線6のように変化し、正し
い測定ができなくなる。
なお、第1図4.4′はMR素子1の端子、3は磁束を
示す。
示す。
(発明の目的)
本発明は、このような従来の欠点を除去せしめて、振動
に強いリニア磁気スケールを提供することにある。
に強いリニア磁気スケールを提供することにある。
(発明の構成)
すなわち本発明は所定の幅で磁気書き込みが施された棒
状着磁体又は該棒状着磁体を3以上その外周面の長手方
向に配置した棒状非磁性体と、前記棒状着磁体と所定の
近接した間隔を保ち該棒状着磁体の長手方向に対して垂
直な方向に磁化容易軸を持つ3以上の磁気抵抗効果素子
が前記棒状着磁体又は棒状非磁性体の外周をとりまくよ
うに同一面内に配置されておシ、該棒状着磁体の長手方
向に沿って移動可能な可動部とを有する構造を特徴とす
るリニア磁気スケールである。
状着磁体又は該棒状着磁体を3以上その外周面の長手方
向に配置した棒状非磁性体と、前記棒状着磁体と所定の
近接した間隔を保ち該棒状着磁体の長手方向に対して垂
直な方向に磁化容易軸を持つ3以上の磁気抵抗効果素子
が前記棒状着磁体又は棒状非磁性体の外周をとりまくよ
うに同一面内に配置されておシ、該棒状着磁体の長手方
向に沿って移動可能な可動部とを有する構造を特徴とす
るリニア磁気スケールである。
(構成の詳細な説明)
−ド線7で接続されたMRR子1− a・ 1−b・1
c+1 dのうち1− aが着磁体からはなれると、
MRR子1−cが着磁体に近ずき、MRR子1−bがは
なれるとMRR子1−dが近ずく。
c+1 dのうち1− aが着磁体からはなれると、
MRR子1−cが着磁体に近ずき、MRR子1−bがは
なれるとMRR子1−dが近ずく。
したがって、MR素子の抵抗は、第4図のようにかなら
ず変化する。また、丸棒状着磁体の全側面に磁気書き込
みを施しておけば、MR素子が棒状着磁体の周方向に回
転あるいは振動しても問題は起らない。第1図および第
3図のC方向は入方向の次に磁化が容易な軸であり、C
方向に磁化される程度でMR素子の抵抗値が変化する。
ず変化する。また、丸棒状着磁体の全側面に磁気書き込
みを施しておけば、MR素子が棒状着磁体の周方向に回
転あるいは振動しても問題は起らない。第1図および第
3図のC方向は入方向の次に磁化が容易な軸であり、C
方向に磁化される程度でMR素子の抵抗値が変化する。
(実施例)
次に本発明の実施例について詳細に説明する。
第5図は、内径3.004■〜3.016■の精度で仕
上げた長さ30■の円筒8の端面に、8i基板9上にM
RR子4個を、90°ごとに配置し、各々を直列に配線
したものを接着し前記円筒の中心からMR素子までの距
離は、3.95m±5μmとなるように固定した。次に
直径2.988■〜3.0001+11の精度で仕上げ
た長さ300■の丸棒2を前記円筒に挿入した構造で、
前記丸棒を固定した。なお、前記丸棒状着磁体は、保磁
力〜6so(De)、残留磁束密度〜3000(G)の
永久磁石材料であシ、S−N極の距離〜40μmで全周
面に、かつ丸棒状着磁体の長さ方向に磁気書き込みが施
されている。
上げた長さ30■の円筒8の端面に、8i基板9上にM
RR子4個を、90°ごとに配置し、各々を直列に配線
したものを接着し前記円筒の中心からMR素子までの距
離は、3.95m±5μmとなるように固定した。次に
直径2.988■〜3.0001+11の精度で仕上げ
た長さ300■の丸棒2を前記円筒に挿入した構造で、
前記丸棒を固定した。なお、前記丸棒状着磁体は、保磁
力〜6so(De)、残留磁束密度〜3000(G)の
永久磁石材料であシ、S−N極の距離〜40μmで全周
面に、かつ丸棒状着磁体の長さ方向に磁気書き込みが施
されている。
上記のように構成し、前記円筒を摺動させMR素子の抵
抗の変化を連続的に観測したところ、第6図の実線10
のように基準波形11に対し40μm毎に、パルス状の
抵抗変化が観測された。また、第7図は、S−N極の距
離〜20μmで全周面に、かつ長さ方向に磁気書き込み
を施した永久磁石材料を使用した場合のMR素素子走行
キリと抵抗変化の関係を示した。
抗の変化を連続的に観測したところ、第6図の実線10
のように基準波形11に対し40μm毎に、パルス状の
抵抗変化が観測された。また、第7図は、S−N極の距
離〜20μmで全周面に、かつ長さ方向に磁気書き込み
を施した永久磁石材料を使用した場合のMR素素子走行
キリと抵抗変化の関係を示した。
なお、第6図および第7図の実線11の矩形波は、各々
、40μmおよび20μmの間隔の基準波である。
、40μmおよび20μmの間隔の基準波である。
本発明に使用する着磁体は、第8図のように、非磁性基
体に細い着磁体が固定あるいは埋込まれている状態でも
かまわないが、との場合は、MR素子が固定されている
円筒が、前記円筒の周方向に大きく回転あるいは振動し
ないような工夫をすべきである。さらに本発明の磁気ス
ケールで、例えば2組のMR素子をλ/4(λはS−N
極間の距離)だけ位相をずらして配置すれば、左右の移
動方向を弁別することができる。
体に細い着磁体が固定あるいは埋込まれている状態でも
かまわないが、との場合は、MR素子が固定されている
円筒が、前記円筒の周方向に大きく回転あるいは振動し
ないような工夫をすべきである。さらに本発明の磁気ス
ケールで、例えば2組のMR素子をλ/4(λはS−N
極間の距離)だけ位相をずらして配置すれば、左右の移
動方向を弁別することができる。
以上のように1本発明の磁気スケールは、振動の大きい
用門に適していることは、明白である。
用門に適していることは、明白である。
第1図(a)、Φ)は従来の磁気スケールの着磁体とM
R素子の配置を示す図。同図中1はMR12は ・着磁
体、3は磁束、4,4′はMRの端子。 第2図は、従来の磁気スケールにおいてMR素子を着磁
体の長さ方向に走行させた場合の抵抗の変化率を示す図
。 第3図(a)、(b)は本発明の磁駕スケールのMR素
子と着磁体の配置を示す図。 7はMRを直列に結線したリード線、を示す。 第4図は、第3図のように配置したMR素子を着磁体の
長さ方向に走行させた場合の抵抗変化率の変化を示す図
。 第5図は本発明の実施例で使用した磁気スケールを示す
図、8は円筒、9は8i基板を示す。 第6図と第7図はMR素子の抵抗変化率波形と基準波形
を示す図。 第8図は、本発明の他の実施例を示す図。12は非磁性
基体を示す。 A← 代理人弁理士内原 晋 榛1図 走行距lli化 第3図 太5行距馳 @5図 第4図 第7図 第8図
R素子の配置を示す図。同図中1はMR12は ・着磁
体、3は磁束、4,4′はMRの端子。 第2図は、従来の磁気スケールにおいてMR素子を着磁
体の長さ方向に走行させた場合の抵抗の変化率を示す図
。 第3図(a)、(b)は本発明の磁駕スケールのMR素
子と着磁体の配置を示す図。 7はMRを直列に結線したリード線、を示す。 第4図は、第3図のように配置したMR素子を着磁体の
長さ方向に走行させた場合の抵抗変化率の変化を示す図
。 第5図は本発明の実施例で使用した磁気スケールを示す
図、8は円筒、9は8i基板を示す。 第6図と第7図はMR素子の抵抗変化率波形と基準波形
を示す図。 第8図は、本発明の他の実施例を示す図。12は非磁性
基体を示す。 A← 代理人弁理士内原 晋 榛1図 走行距lli化 第3図 太5行距馳 @5図 第4図 第7図 第8図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 所定の幅で磁気書き込みが施された棒状着磁体又は該棒
状着磁体を3以上その外周面の長手方向に配置した棒状
非磁性体と、前記棒状着磁体と所定の近接した間隔を保
ち該棒状着磁体の長手方向に対して垂直な方向に磁化容
易軸を持つ3以上の磁気抵抗効果素子が前記棒状着磁体
又は棒状非磁性体の外周をとりまくように同一面内に配
置されか2 ておF)W棒状着磁体の長手方向に沿って移動可能な可
動部とを有する構造を特徴とするリニア磁気スケール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5370684A JPS60209102A (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | リニア磁気スケ−ル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5370684A JPS60209102A (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | リニア磁気スケ−ル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60209102A true JPS60209102A (ja) | 1985-10-21 |
JPH0339617B2 JPH0339617B2 (ja) | 1991-06-14 |
Family
ID=12950270
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5370684A Granted JPS60209102A (ja) | 1984-03-21 | 1984-03-21 | リニア磁気スケ−ル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60209102A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0626805A (ja) * | 1992-03-13 | 1994-02-04 | British Gas Plc | 運動トランスジューサ |
-
1984
- 1984-03-21 JP JP5370684A patent/JPS60209102A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0626805A (ja) * | 1992-03-13 | 1994-02-04 | British Gas Plc | 運動トランスジューサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0339617B2 (ja) | 1991-06-14 |
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