JPS6019553A - サーマルヘッドの製造方法 - Google Patents
サーマルヘッドの製造方法Info
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- JPS6019553A JPS6019553A JP58128324A JP12832483A JPS6019553A JP S6019553 A JPS6019553 A JP S6019553A JP 58128324 A JP58128324 A JP 58128324A JP 12832483 A JP12832483 A JP 12832483A JP S6019553 A JPS6019553 A JP S6019553A
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- JP
- Japan
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- film
- substrate
- thermal head
- head
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/335—Structure of thermal heads
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Facsimile Heads (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
感熱記録方式は保守が容易であるという特長を有してお
り、ファクシミリをはじめ多くの端末プリンク−に用い
られている。きらに近年、感熱転写方式の開発もなされ
多色記録やフルカラー記録も可能となり、新しい記録機
器の展開がなされようとしている。
り、ファクシミリをはじめ多くの端末プリンク−に用い
られている。きらに近年、感熱転写方式の開発もなされ
多色記録やフルカラー記録も可能となり、新しい記録機
器の展開がなされようとしている。
本発明は、この感熱記録に用いるサーマルヘッド、より
具体的にはカラー記録用ヘットとじて最適な端面型サー
マルヘッドの電極膜の作成方法とその装置に関する。
具体的にはカラー記録用ヘットとじて最適な端面型サー
マルヘッドの電極膜の作成方法とその装置に関する。
従来例の構成とその問題点
サーマルヘッドの印字速１）ｆｆｉｔ上けるためにシフ
トレジスタ、ラッチを含む駆動回路を一体化した駆動用
ＩＣ，全発熱体基板上に一体化実装するヘッドが開発さ
れている。このヘッドを第１図に示す。
トレジスタ、ラッチを含む駆動回路を一体化した駆動用
ＩＣ，全発熱体基板上に一体化実装するヘッドが開発さ
れている。このヘッドを第１図に示す。
第１図に示すヘッドは駆動用ＩＣを発熱体基板上に固定
してワイヤボンディング方式で実装するヘッド構造を示
す。
してワイヤボンディング方式で実装するヘッド構造を示
す。
第１図において、１は全面にカラスグレーズしたアルミ
ナ基板、１ａは発熱体、１ｂは共通電極、１Ｃは個別電
慣、２は共通電極引出しり−ト、２ａは共通電極引出し
リードと共通電極の半田付は部、３は駆動用ＩＣ，６は
基台、７はフィルムリード１０を圧着するためと保穫の
だめのカバー、８は圧着用ゴム、９はカバー固定イ、ン
、１０はフィルムリード、１１はフィルムリード固定用
スペーサ、１２は共通電極引出しリードを圧着するだめ
のスペーサ、１３はワイヤボンティングのワイヤである
。なお、発熱体部には耐摩耗保護膜を設けるが図示して
いない。第１図のヘッドはワイヤボンド実装方式である
か、他の実装方式としてフィルムキャリヤを用いる方式
もある。これらのヘッドはすべて発熱体を形成する血の
みに電極配線が設けられているので、以下では平面型ヘ
ッドとよふ○このような平面型ヘッドでは、電極膜は１
つの平面のみに形成すれは良いから通常の膜形成装置を
その丑ま用いることが可能である。
ナ基板、１ａは発熱体、１ｂは共通電極、１Ｃは個別電
慣、２は共通電極引出しり−ト、２ａは共通電極引出し
リードと共通電極の半田付は部、３は駆動用ＩＣ，６は
基台、７はフィルムリード１０を圧着するためと保穫の
だめのカバー、８は圧着用ゴム、９はカバー固定イ、ン
、１０はフィルムリード、１１はフィルムリード固定用
スペーサ、１２は共通電極引出しリードを圧着するだめ
のスペーサ、１３はワイヤボンティングのワイヤである
。なお、発熱体部には耐摩耗保護膜を設けるが図示して
いない。第１図のヘッドはワイヤボンド実装方式である
か、他の実装方式としてフィルムキャリヤを用いる方式
もある。これらのヘッドはすべて発熱体を形成する血の
みに電極配線が設けられているので、以下では平面型ヘ
ッドとよふ○このような平面型ヘッドでは、電極膜は１
つの平面のみに形成すれは良いから通常の膜形成装置を
その丑ま用いることが可能である。
しかしながら、平面型ヘッドは特に感熱転写方式でカラ
ー記録を行う場合には大きな問題点を有する。第２図に
感熱転写方式で重要な問題点である色ずれを防止する記
録部の構成を示す０第↓図において、２０は受像紙でロ
ーラ２１に巻きつけて使用する。２２は転写紙でこの紙
上にはファン２２ａ、マゼンタ２２ｂ、イエｏ ２２
Ｃ＋ブラック２２ｄの各色がローラ２１を１回転する長
さと略同−の長さで順次塗布されている。なお、この色
の順番は機器、インクにより変るＯサーマルヘッド２３
により各色を順次受像紙へ印刷していくことによりカラ
ー記録が行われる。この構造の記録装置では図からも判
るように、サーマルヘッドの発熱体形成面はできる限り
小さい方が機器設計」二望ましい。ＩＪ］」ち、従来の
平面型ヘッドは感熱転写方式のカラー記録用ヘッドとし
て（は不適であるＯ このようなカラー記録に適したヘッドとして本発明者ら
か発明した第３図に示すヘッドがある。
ー記録を行う場合には大きな問題点を有する。第２図に
感熱転写方式で重要な問題点である色ずれを防止する記
録部の構成を示す０第↓図において、２０は受像紙でロ
ーラ２１に巻きつけて使用する。２２は転写紙でこの紙
上にはファン２２ａ、マゼンタ２２ｂ、イエｏ ２２
Ｃ＋ブラック２２ｄの各色がローラ２１を１回転する長
さと略同−の長さで順次塗布されている。なお、この色
の順番は機器、インクにより変るＯサーマルヘッド２３
により各色を順次受像紙へ印刷していくことによりカラ
ー記録が行われる。この構造の記録装置では図からも判
るように、サーマルヘッドの発熱体形成面はできる限り
小さい方が機器設計」二望ましい。ＩＪ］」ち、従来の
平面型ヘッドは感熱転写方式のカラー記録用ヘッドとし
て（は不適であるＯ このようなカラー記録に適したヘッドとして本発明者ら
か発明した第３図に示すヘッドがある。
第３図に示すヘッドは基板の端面に発熱体全形成したヘ
ッド構造であるから、以下では端面型ヘッドとよぶ。
ッド構造であるから、以下では端面型ヘッドとよぶ。
第３図において、３ｏはアルミナ基板、３１は共通電極
、３２は個別電極、３３はカラス層で端面部丑で連続的
に滑らかに形成されている。３４は駆動用１Ｃ１３５は
基台、３６はフィルムリード３７を圧着し、かつ保獲す
るだめのカバー、３９は圧着用ゴム、４０はカバー固定
イ、）、３７はフィルムリードで、駆動用ＩＣの外部接
続電極および共通電極と圧接する。４１はワイヤボンデ
ィングのワイヤである。
、３２は個別電極、３３はカラス層で端面部丑で連続的
に滑らかに形成されている。３４は駆動用１Ｃ１３５は
基台、３６はフィルムリード３７を圧着し、かつ保獲す
るだめのカバー、３９は圧着用ゴム、４０はカバー固定
イ、）、３７はフィルムリードで、駆動用ＩＣの外部接
続電極および共通電極と圧接する。４１はワイヤボンデ
ィングのワイヤである。
なお、端面４２に発熱体列を設けているが、図の形状か
ら端面部の発熱体は与えない。このような端面型ヘッド
は、先述のようなカラー記録用ヘッドとしては非常に有
用であることは明白である。
ら端面部の発熱体は与えない。このような端面型ヘッド
は、先述のようなカラー記録用ヘッドとしては非常に有
用であることは明白である。
しかしながら、本方式のヘッドは作成上の重要な問題点
を有する。第１に、端面から主平面にかけて断線がなく
連続した微細パターンを形成すること、第２に、２つの
端面と２つの主平面の４面へ均一な電極膜の形成を行う
こと、の２点である。
を有する。第１に、端面から主平面にかけて断線がなく
連続した微細パターンを形成すること、第２に、２つの
端面と２つの主平面の４面へ均一な電極膜の形成を行う
こと、の２点である。
特に、第２の問題点に関してはサーマルヘッドのような
大面積の基板の４面に生産性と信頼性良く電極膜の形成
を行う方法および装置はなかった。
大面積の基板の４面に生産性と信頼性良く電極膜の形成
を行う方法および装置はなかった。
発明の目的
本発明は感熱転写方式のカラー記録において特に有用で
ある端面型サーマルヘッドの電極ｊ模を信頼性および生
産性良く形成できる方法とその装置を提供するものであ
る。
ある端面型サーマルヘッドの電極ｊ模を信頼性および生
産性良く形成できる方法とその装置を提供するものであ
る。
発明の構成
本発明のサーマルヘッドの製造方法は、抵抗薄膜の形成
された電気的絶縁性基板を、たとえは基板幅と略同−の
すき間を設けて保持具に一列に配置し、前記保持具の両
面より同時に同−材料をスパッタリングすることにより
前記基板の４血に電極膜の形成をイ１つものである。ζ
らに本発明の製造装置は、スパッタ用真空室の対向する
位置に配置された同−月料からなる平板状のクーゲット
と、基板をすき間を設けて一列に着脱自在に支持する保
持具と、前記保持具を前記クーケ’Ｈｆ３Ｊの中間の位
置で直線状に移動する機構と、前ｇ己対向ターゲット合
同時に放電させる機構とを具備するものである。
された電気的絶縁性基板を、たとえは基板幅と略同−の
すき間を設けて保持具に一列に配置し、前記保持具の両
面より同時に同−材料をスパッタリングすることにより
前記基板の４血に電極膜の形成をイ１つものである。ζ
らに本発明の製造装置は、スパッタ用真空室の対向する
位置に配置された同−月料からなる平板状のクーゲット
と、基板をすき間を設けて一列に着脱自在に支持する保
持具と、前記保持具を前記クーケ’Ｈｆ３Ｊの中間の位
置で直線状に移動する機構と、前ｇ己対向ターゲット合
同時に放電させる機構とを具備するものである。
実施例の説明
１ず、サーマルヘッドの基板長袋は印字１ｌＩＦ；Ｓに
よりほぼ決っており、一般的に多く用いられているのは
Ａ４あるいはＢ４ザイズである。また、幅は生述のよう
に駆動用ＩＣを一体化実装することが必要であり、この
ため幅としては４０ ｍｍ程度は必要である。端１ｎ１
型ザーマルヘノドでは必要とする基板幅は小さくできる
が、長さは変わらない○これらの点から、サーマルヘッ
ド用の基板は塙面型であっても非常に太さなものであり
、このような基板の特に４面に均一な膜を生産性良く作
成する装置ｔはなかった。
よりほぼ決っており、一般的に多く用いられているのは
Ａ４あるいはＢ４ザイズである。また、幅は生述のよう
に駆動用ＩＣを一体化実装することが必要であり、この
ため幅としては４０ ｍｍ程度は必要である。端１ｎ１
型ザーマルヘノドでは必要とする基板幅は小さくできる
が、長さは変わらない○これらの点から、サーマルヘッ
ド用の基板は塙面型であっても非常に太さなものであり
、このような基板の特に４面に均一な膜を生産性良く作
成する装置ｔはなかった。
ところで、サーマルヘッドの電極膜としては）１２料コ
ストの点から銅又はアルミニウムを用いることが要求さ
れる。％に、銅はメッキができる点で優れておＶ、多く
は銅を主体とした電換膜が用いられている。銅は基イシ
に対して密着性が悪いことからクロムを下地に用いる２
層方式がとられている。このクロム−銅２層膜の特にク
ロムと銅量の落着性を検８」シた。検電項目は、間欠的
な膜形成プロセスと連続的膜形成プロセスでの成膜速度
による影響を調べた。この結果を次表１ＴＫ−示す０膜
形成プロセスでの密着性 表に示すよう・・に、−面のみに成膜をする場合には充
分な範囲で密着性を確保できる。一方、４而へ成膜する
ために基板を回転する間欠的形成方法では、成膜速度を
大きくすることが必要条件となる。サーマルヘッドの基
板を大量枚数回転させながら、かつ」二記の成膜速度を
確保して形成でさる装置はない。
ストの点から銅又はアルミニウムを用いることが要求さ
れる。％に、銅はメッキができる点で優れておＶ、多く
は銅を主体とした電換膜が用いられている。銅は基イシ
に対して密着性が悪いことからクロムを下地に用いる２
層方式がとられている。このクロム−銅２層膜の特にク
ロムと銅量の落着性を検８」シた。検電項目は、間欠的
な膜形成プロセスと連続的膜形成プロセスでの成膜速度
による影響を調べた。この結果を次表１ＴＫ−示す０膜
形成プロセスでの密着性 表に示すよう・・に、−面のみに成膜をする場合には充
分な範囲で密着性を確保できる。一方、４而へ成膜する
ために基板を回転する間欠的形成方法では、成膜速度を
大きくすることが必要条件となる。サーマルヘッドの基
板を大量枚数回転させながら、かつ」二記の成膜速度を
確保して形成でさる装置はない。
このような実験結果より、４面に信頼性のある成膜を行
うためには同時に４面に連続的に成膜ができることが重
要である。
うためには同時に４面に連続的に成膜ができることが重
要である。
スパックリングは低圧ガス中で成膜葡行うことから捷わ
りこみが良い０丑た、マグネトロン方式での金属の成膜
速匿は非常に大きい０ これらの点より本発明は対向する位置に同一相ネ」のタ
ーゲットを配置し、発熱体基板をたとえば基板幅と略同
−の間隔を設けて保持具に支持し、この保持具全対向タ
ーゲットの中間の位置で直線状に移動させながら対向タ
ーゲノ）（ｉ）同時にスパッタして４血への電極膜の形
成を行う方式である。
りこみが良い０丑た、マグネトロン方式での金属の成膜
速匿は非常に大きい０ これらの点より本発明は対向する位置に同一相ネ」のタ
ーゲットを配置し、発熱体基板をたとえば基板幅と略同
−の間隔を設けて保持具に支持し、この保持具全対向タ
ーゲットの中間の位置で直線状に移動させながら対向タ
ーゲノ）（ｉ）同時にスパッタして４血への電極膜の形
成を行う方式である。
第４図に本発明の実施例の１例のターゲット。
基板配置の状態を示す。第４図に示す図は基板の配置と
保持具の位置を模式的に説明する図である。
保持具の位置を模式的に説明する図である。
ｍ ４ 図ＶＣオイテ、４１は対向する位置におかれた
同−材料からなるターゲット、４２は保持具、４３は端
面型サーマルヘッド用基板、４４は保持具支え、４６は
保持具移動機構である。
同−材料からなるターゲット、４２は保持具、４３は端
面型サーマルヘッド用基板、４４は保持具支え、４６は
保持具移動機構である。
基板４３をすき間を設けて配置直シ、矢印の方向に移動
きぜながら対向ターゲット４１で同時にスパッタリング
することで生産性良く４面への成膜ができる。
きぜながら対向ターゲット４１で同時にスパッタリング
することで生産性良く４面への成膜ができる。
第４図に示す構成の生産装置を第５図に示す。
第５図において、５１は下層膜用ターゲット、４２は保
持具、４３は発熱体基板、５６は上層膜用ターゲット、
５７は保持用ストッカー、５８は成膜後の保持具ストッ
カー、５９は油拡散ポンプ、６０はロータリポンプであ
る。
持具、４３は発熱体基板、５６は上層膜用ターゲット、
５７は保持用ストッカー、５８は成膜後の保持具ストッ
カー、５９は油拡散ポンプ、６０はロータリポンプであ
る。
本装置は発熱体基板４３を保持する保持具を連続的に移
動さぜながら成膜する。このため生産能力は従来の平面
型ヘッドの電極膜作成と全く変らない。但し、対向する
両側から同時にスパッタをするために放電のための電力
が多く必要であるが、金属膜の作成であり直流スパッタ
が可能であることから装置コストにはほとんど影響がな
い。
動さぜながら成膜する。このため生産能力は従来の平面
型ヘッドの電極膜作成と全く変らない。但し、対向する
両側から同時にスパッタをするために放電のための電力
が多く必要であるが、金属膜の作成であり直流スパッタ
が可能であることから装置コストにはほとんど影響がな
い。
さらに、第６図に示すように対向するターケノ）５１．
５６を単純な平板型がら両・側がとひ出た形状とするこ
とで、４而へのより均一な膜形成が可能となる。第６図
において、第５図と同一番号は同一名称を示す。
５６を単純な平板型がら両・側がとひ出た形状とするこ
とで、４而へのより均一な膜形成が可能となる。第６図
において、第５図と同一番号は同一名称を示す。
第６図に示すターゲットは図示するような形状をあらか
じめ作成してもよいが、平板状のターゲットを斜めに傾
けて配置することでも光分ｐＪ能てあり、作成」二の問
題点はない。
じめ作成してもよいが、平板状のターゲットを斜めに傾
けて配置することでも光分ｐＪ能てあり、作成」二の問
題点はない。
発明の効果
本発明により端面型ヘッドに要求される４面への電極膜
の形成が生産性および信頼性良く作成でさるようになり
、カラー記録装置の普及に太いに寄与するものである。
の形成が生産性および信頼性良く作成でさるようになり
、カラー記録装置の普及に太いに寄与するものである。
４、図面のｆ？ｉ’ｊ ｌｌＪ、な祝明第１図は従来の
平面型サーマルヘッドの構造を示す一部９Ｊ欠斜視図、
第２図は感熱転写方式でカラー記録を行う場合の模式図
、第３図は端面型サーマルヘッドの構造を示す一部切欠
斜視図、第４図は本発明の一実施例における成膜装置に
おいて基板の配置と保持具の移動およびクーゲットの配
置を示す模式図、第５図は本発明の成膜装置の一実施例
を示す概１１１ｉ’４図、第６図は４面によジ均一な膜
形成を行うターケラト形状を有した成膜装置の一実施例
を示す概略図である。
平面型サーマルヘッドの構造を示す一部９Ｊ欠斜視図、
第２図は感熱転写方式でカラー記録を行う場合の模式図
、第３図は端面型サーマルヘッドの構造を示す一部切欠
斜視図、第４図は本発明の一実施例における成膜装置に
おいて基板の配置と保持具の移動およびクーゲットの配
置を示す模式図、第５図は本発明の成膜装置の一実施例
を示す概１１１ｉ’４図、第６図は４面によジ均一な膜
形成を行うターケラト形状を有した成膜装置の一実施例
を示す概略図である。
４１．５１．５６・・・・・ターゲット、４２・・・・
保持具、４３・・・・嬬面型ザーマルヘッド用基板、４
５・・・・・・保持具移動機構。
保持具、４３・・・・嬬面型ザーマルヘッド用基板、４
５・・・・・・保持具移動機構。
Claims (2)
- （１）抵抗薄膜の形成された電気的絶縁性基板をすき間
を設けて保持具に一列に配置し、前記保持具の両面より
同時に同一材料をスパッタリングすることにより前記基
板の４面に電極ｊ換の形成を行うことを特徴とするサー
マルヘッドの製造方法。 - （２）スハノタ用真空室の対向する位置に配置された同
一材料からなる平板状のターゲットと、基板をすき間を
設けて一列に着脱自在に支持する保持具と、前記保持具
を前記ターゲット間の中間の位置で直線状に移動する機
構と、前記対同ターゲットを同時に放電させる機構とを
具備することを特徴とするサーマルヘッドの製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58128324A JPS6019553A (ja) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | サーマルヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58128324A JPS6019553A (ja) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | サーマルヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6019553A true JPS6019553A (ja) | 1985-01-31 |
| JPH0579511B2 JPH0579511B2 (ja) | 1993-11-02 |
Family
ID=14981957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58128324A Granted JPS6019553A (ja) | 1983-07-13 | 1983-07-13 | サーマルヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6019553A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62129666U (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-17 | ||
| JPH02115366A (ja) * | 1988-10-25 | 1990-04-27 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | スパッタリング装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56160963U (ja) * | 1980-04-28 | 1981-11-30 | ||
| JPS5892390A (ja) * | 1981-11-27 | 1983-06-01 | ジューキ株式会社 | ミシンにおける布のカ−ル除去装置 |
-
1983
- 1983-07-13 JP JP58128324A patent/JPS6019553A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56160963U (ja) * | 1980-04-28 | 1981-11-30 | ||
| JPS5892390A (ja) * | 1981-11-27 | 1983-06-01 | ジューキ株式会社 | ミシンにおける布のカ−ル除去装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62129666U (ja) * | 1986-02-12 | 1987-08-17 | ||
| JPH02115366A (ja) * | 1988-10-25 | 1990-04-27 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | スパッタリング装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0579511B2 (ja) | 1993-11-02 |
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