JPS6019425B2 - 蒸発冷却型電気装置 - Google Patents

蒸発冷却型電気装置

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JPS6019425B2
JPS6019425B2 JP56100377A JP10037781A JPS6019425B2 JP S6019425 B2 JPS6019425 B2 JP S6019425B2 JP 56100377 A JP56100377 A JP 56100377A JP 10037781 A JP10037781 A JP 10037781A JP S6019425 B2 JPS6019425 B2 JP S6019425B2
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JP
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liquid
housing
chamber
reflector
evaporative cooling
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JP56100377A
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ロナルド・ト−マス・ハロルド
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Westinghouse Electric Corp
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B17/00Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
    • B05B17/04Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
    • B05B17/06Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
    • B05B17/0607Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
    • B05B17/0615Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced at the free surface of the liquid or other fluent material in a container and subjected to the vibrations
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F27/00Details of transformers or inductances, in general
    • H01F27/08Cooling; Ventilating
    • H01F27/10Liquid cooling
    • H01F27/18Liquid cooling by evaporating liquids

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Special Spraying Apparatus (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
  • Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は発熱体の蒸発冷却方法および電気装置用の蒸発
冷却装置に関するものである。
発熱体を発熱体上にスプレーあるいは噴射された液体の
蒸発によって冷却することは周知であり、この実現は通
常は困難ではない。
しかしながら本発明は、高に信頼性が要求され、冷却剤
に冷却作用だけでなく例えば絶縁等の他の作用をも要求
される密閉内蔵型装置に適用される蒸発冷却に主として
関するものである。このような装置は、例えば米国特許
第3819301号、第3834835号および第28
45472号‘こ記載されている如き蒸発冷却型電力変
圧器であって、蒸発できる液体を貯槽あるいは液体溜め
からポンプで発熱体、この場合には変圧器の鉄心および
コイルの上方に上げて発熱体上にスプレーあるいは噴射
させ、液体の蒸発により発熱体を冷却し、蒸気は例えば
冷却器を通して凝縮させて液体貯槽に戻すものである。
このサイクルは、貯槽から液体冷却剤が発熱体上にポン
プ送りされ続ける限り変圧器の運転中は連続的に糠返え
される。変圧器に負荷が与えられているとき冷却剤のポ
ンプ送りが停止すると、急激な温度上昇が起こり、重大
な問題が引起こされる。従って、ポンプ(従来一般には
電気機械的ポンプ)の動作信頼性が絶体的であることが
極めて重要であった。蒸発冷却型変圧器に普通用いられ
る液体冷却剤は、例えばフロオロカーボン、最近はテト
ラクロルェチレンであるが、変圧器の充電部分とハウジ
ングあるいはタンクとの間の絶縁破壊を防ぐ絶縁剤とし
ても用いられる。
しかし冷却剤がこの作用をするのは、充分な液体が蒸発
して適当な絶縁強度をもたらす蒸気圧が生じているとき
だけであり、従って負荷の掛け始めあるいは低負荷時に
は冷却剤の蒸気だけによる絶縁破壊強度では不充分であ
る。このため、大絶縁強度を有し変圧器負荷状態に拘ら
ず凝縮しない気体艮0ち六弗化硫黄を加えて、冷却剤蒸
気圧が充分でないときにも適切な絶縁性能を与えるよう
にするのが普通である。しかしながら、このように気体
を加えると冷却効率が低下する。従って本発明の目的は
、常時適当な冷却作用と絶縁作用とを得るために従来の
如きポンプも気体誘電体を必要としない、発熱体の蒸発
冷却方法および装置を得ることである。
従って本発明は、スプレーされた液体の蒸発により発熱
体を冷却する蒸発冷却方法に於て、発熱体を発熱体の通
常作動温度範囲内で蒸発する液体を収容した室の中に閉
じ込め、上記液体を音響的に頃霧化させる強さの超音波
振動を上記液体中に発生させ、もって上記スプレーを発
生させることを特徴とする蒸発冷却方法に在る。
本発明はまた、室を形成するハウジングと、上記室内に
設けられた冷却すべき発熱体と、上記室内に設けられ上
記発熱体の通常作動温度範囲内で蒸発する誘電性の液体
とを備えた蒸発冷却型電気装置用の蒸発冷却装置に於て
、少なくとも1つの超音波変換器を有する音響エネルギ
ー発生装置を備え、上記超音波変換器は附勢されたとき
、上記液体を音響的に曙霧化させて上記発熱体にスプレ
ーさせるように上記液体に当てられる超音波ビームを発
生するものであることを特徴とする蒸発冷却装置にも在
る。
望ましくは適当な高周波電源により附勢されたピェゾセ
ラミック発振器である超音波変換器により放射されたビ
ームは強い超音波ビームであり、特に集中されると、液
体表面からスプレーおよび噴霧の音響的頃泉を立上らせ
て発熱体を濡らす。
換言すれば、ビームは単に冷却および絶縁用液体の項霧
化を行なうだけでなく、「ポンプ送り」をも行ない、従
来必要であった他のポンプを用いずに蒸発冷却をするこ
とができる。更に、贋霧化もポンプ作用も変換器の附勢
と同時に開始されるので、室が直ちに誘電性のスプレー
および霧で満たされ、しかもこれは負荷従った発熱体の
温度に無関係に行なわれる。従って負荷の初期あるいは
軽負荷時に必要な絶縁耐力を与える例えばSF6等の特
別の絶縁ガスを用いる必要がない。更に、本発明の音響
エネルギー発生装置を用いることによる別の利点は、そ
の動作の制御が容易で、様々な条件に合わせて誘電液体
冷却剤の頃霧化およびポンプ送りの速度を調節できるこ
とである。次に添付図面に示す本発明の実施例に沿って
本発明を説明する。
第1図に於て、電力変圧器11は密閉されたハウジング
13と、変圧器15等の発熱体と、凝縮器型の冷却器1
7とを備えている。
電力変圧器はまた超音波振動を発生する装置19をも備
えている。ハウジング13は、変圧器15、冷却器17
および装置19を収容する室21を形成する密閉された
囲いである。ハウジング13は金属あるいはグラスファ
イバー等の適当な剛性材料で構成されている。変圧器1
5は磁気鉄026と巻線23とを有する鉄心コイル組立
体を備えている。
簡単化のために図示してはないが、変圧器は鉄心コイル
組立体用の支持構造や巻線23とブッシング27等のブ
ッシングとの間の導体を備えている。冷却器17は、空
気等の冷却媒体が通れるように外部に開いた空間31‘
こより分離された複数の管29を備えている。
管29は、上端で室21の上部に蓮通し、下端で室の下
部に蓮適していて、液体冷却剤蒸気および霧が上端から
管に入り、管内で冷却され凝縮され、下端から出て室の
下部に入り、再び後に説明する如く蒸気および霧に変換
されるようにしてある。本発明によれば、超音波振動発
生装置19はハウジング13の下部則ち底の近くに設け
られており、例えばオハイオ州ベッドフオードのベルン
トロン社の圧電部門からPZT−5として販売されてい
るもの等の適当なピェゾセラミック装置である少なくと
も1つの超音波振動発生装置即ち超音波変換器33を備
えている。
望ましくは、ピェゾセラミック装置33はボウル形部材
内に収容された適当な絶縁性液体の液面上に超音波振動
を集中させるように窪んでボウル形とされている。望ま
しくは、室21は互いに離間した数個、例えば6個のボ
ウル形ピェゾセラミック装置33を有し、夫々の間の空
間も同様に適当な液体37で満たされた容器35で占め
られている。ボウル形のピェゾセラミック装置33と容
器35の上緑部は液体密に接触しており、夫々内の液体
が所定レベルに維持されるようにしてある。容器35は
絶縁性液体37で満たされ、ピヱゾセラミック菱直33
用の貯槽の作用をする。液体が冷却器17内で凝縮する
と容器35に戻りオーバーフローしてピェゾセラミック
装置内に入って最適の蒸気発生をする適切な液体レベル
を維持する。ピェゾセラミック装置33は、空気あるい
はSF6等の、ピェゾセラミック装置33から発せられ
る音響エネルギーを殆んど全て液体表面に向かわせるよ
うな液体に対する音響インピーダンスを有する材料で満
たされた空間39上に支持されている。容器35はテト
ラフルオロェチレン(テフロン)等の材料41上に支持
されている。ピェゾセラミック装置33は、パルス装置
43と組合わされ、電力ケーブル45により超音波振動
発生装置33に結合された高周波電源42により附勢さ
れる。電源42により附勢されると、ピェゾセラミック
装置33は液体中に強い超音波を発し、この超音波は絶
縁性液体37に液面に向けられ、また装置33のボウル
形のためにそこに集中される。このため液体はキャビテ
ーショーンを起こし階霧化されて、微少霧および蒸気分
子の音響贋泉47を各ピェゾセラミック装置33内の液
体から立昇らせ、変圧器の巻線23および鉄心25の表
面を濡らす。ボウル形のピェゾセラミック装置33は望
ましくは約10cのの直径であり、約0.1乃至8MH
zの周波数範囲で作動する。背後には空気あるいはSF
6が存在しているので、各ピェゾセラミック装置による
音響エネルギーの袷んど全てはその焦点49に指向され
る。等間隔に配置された6個の装置33は約lkwの高
周波電源で作動できるが、必要な電力は個々の構造およ
び装置の数に応じて変わるものであり、また動作周波数
も例えばテトラクロルェチレン(C2CI4)等の使用
される液体絶縁体等の幾つかの要因によって変わる。変
圧器15の運転中は音響頃泉47を維持し続けるのが望
ましい。
しかし、ポンプ送り効率によっては、変圧器が最初に運
転されるとき高燥返し率でパルス動作させ、変圧器が後
に通常の動作温度になったとき低繰返し率でパルス動作
させることもでき、こうして変圧器運転開始時に微少霧
の電気的強度を適当なものとするために、タイミングシ
ーケンスを用いて、変圧器の附勢前例えば10秒間音響
頃泉47を生じさせることができる。音響曙泉47は液
面から約1の立上ることができ、偏向器51を適切に配
置すればコイル23および鉄心25を適切に濡らすこと
ができる。変圧器作動中、音響曙泉47により発生され
た微少霧は変圧器鉄心および巻線の高温表面に接触する
と蒸発し、その蒸気が室21を満たしてその上部から冷
却器17に入りそこで凝縮して室21の下部に戻り、容
器35およびピェゾセラミツク装置35内に入る。
第2図には本発明の別の実施例が示され、各超音波振動
発生装置即ちピェゾセラミック装置33には、例えばフ
ァイバーグラス、ポリェスル組成物等の適当な誘電性材
料製の管53が組合わされている。
管53は枠55等によりその下端が液体37に浸けられ
た超音波振動ビームの焦点49で液面から突出するよう
に支持されている。管53の他端側は小径の中間部に対
して拡大されている。このような管53に於ては、液体
37からの音響エネルギーがその中間部で集中させられ
、絶縁剤の液滴を項霧化しスプレー59として巻線23
および鉄心25上に径方向に放出する。この方法は超音
波実験に関連してPhilosophicaIMaga
zmeandJoumalofScience 8.7
の第4巻第22号第417頁乃至第436頁、1927
年9月に記載されている。蒸発冷却型変圧器15に於て
は、誘電体の管53は音響贋泉47からの絶縁性液体で
被覆されて霧および微少霧の噴流59を発生させ、これ
により変圧器の冷却を更に改善する。
他の形の管、例えば鉄心およびコイル周囲に巻いた螺旋
形の管等を用いて変圧器鉄心およびコイルの選択した部
分に霧およびスプレーを発生させることもできる。第3
図には本発明の更に別の実施例が示され、ここには室2
1の下部を横切って延びて底壁63から離間したダイア
フラム61が設けられており、ダイアフラム61‘ま電
力変圧器11の下部を流体密に分離している。ダイアフ
ラム61は例えばグラスファイバーとェポキシとの混合
物等の可榛性材料で形成されている。流体中には超音波
振動発生装置33が適当に設けられていて、作動時に流
体振動69を発生するようにしてある。この振動69は
ダイアフラム61に集中されてダイアフラム61の上側
の絶縁液体37にキャビラーションを起こさせ、噂霧化
させ、上方に放射させて室21内および変圧器15の周
囲に音響頃泉47を形成する。第4図に示す本発明の更
に別の実施例では、液体37がハウジング13の上部に
設けられた皿形容器71内にあり、この液体37中に浸
潰された超音波振動発生装置33が設けられている。
動作時には、振動則ち音響エネルギーのビーム73が液
体37の表面上に集中即ち焦点合わせさせられ、液体に
キャビテーションを起こさせて微少霧75を発生させる
。微少霧75は容器71の上緑77近傍の孔を通って容
器71から室21内に出て重力により変圧器15の鉄○
およびコイルの表面上に落下してこれらを蒸発冷却する
。これにより発生した蒸気は冷却器17内に入って凝縮
し、凝縮した液体はハウジング13の下部に流れてポン
プに連結された導管79を通って容器71に戻される。
更に別の実施例が第5図に示され、これは第1図乃至第
4図のものに対して冷却器17を含む内側のハウジング
13が外側ハウジング則ちケーシスグ81により囲まれ
、ハウジング13が適当な枠構造83によりケーシング
81内に支持されている点が異なっている。
超音波振動発生装置33はケーシング81とハウジング
13との間に設けられて鍵油等の音響エネルギー伝送性
液体65中に浸清されており、超音波振動発生装置33
からの振動87がハウジング13の底に伝達されてハウ
ジング内の絶縁生液体37にキャビテーションを起こし
、変圧器15を囲んでその表面を濡らす霧およびスプレ
ーの噴泉89を形成するようにしてある。前の実施例と
同様に、蒸気は蒸発しなかった微少霧と共に冷却器17
に入りハウジング13の底に凝縮して戻る。ハウジング
13は、例えば約1肌乃至3側厚のポリエステルノフア
ィバーグラス等の音響エネルギーを受け入れてハウジン
グ13の底で液体37にキャビテーションを起こさせて
噴霧化させ得る材料で形成されている。外側のケーシン
グ81は鋼等の金属で良い。附加的にビーェゾセラミッ
ク素子33′を設けてハウジング13の内面上の液体を
局部的に頃霧化させることもできる。第6図には更に別
の実施例が示されており、この例ではフランジ93で互
いに固着された上部および下部で構成するのが望ましい
ハウジング91を備えている。
ハウジング91は略々球形(望ましくは球あるいはレン
ズ状)のタンクで、例えば1脇乃至5帆厚のポリエステ
ル/ファイバーグラス材料で形成されている。タンクは
音響エネルギーを受け入れて液化のキャピテーションお
よび音響頃泉の形成ができるような他の適当な材料で形
成しても良い。動作時には、装置33からの超音波振動
87はハウジング91の下部壁部に伝達される。このた
めタンク内の絶縁性液体37の液面にキャビテーション
を起こさせて、ハウジング内の室95内の変圧器15を
囲む微少霧の音響噂泉47を形成させる。振動はハウジ
ングの壁をも伝わるが、この壁には制限部即ち減少部9
7および99が設けられていて、壁を伝わる音響エネル
ギーを局部的に強くしてハウジングの内面上の液体を噴
霧化して、変圧器15に向かうスプレーの噴流101お
よび103を発生させるようにしてある。冷却管105
がハウジング91の外側に熱伝達関係に設けられていて
、ハウジング壁を冷却して、矢印107で示す如く循環
する音響鰭泉47からの蒸気および微少霧がハウジング
壁内面で凝縮し、一部は噴流101,103の如く噴霧
化されるが、残りはハウジング91の底の液体絶縁体3
7の溜り1こ戻り、このサイクル(微少霧の発生、微少
霧の蒸発による変圧器の冷却、蒸気の凝縮、および凝縮
物の液体溜りへの戻り)が操返えされる。全ての実施例
中で同様の符号は同様の部分を示すものである。
蒸発冷却装置に於いて音響燈泉47の発生に用いられる
種々の方法が第7図乃至第9図に示されている。
第7図に於て、超音波振動発生装置劇ち振動ェミッター
109は絶縁性液体37中に浸清され、強い超音波振動
の細いビーム111を反射器113に発射し、反射器1
13は反射ビーム115を液体と空気との界面117に
向けて液体にキャビテーションを起こさせ噴霧化して蒸
気および霧の音響贋泉1 19を形成させる。反射器1
13は平面で反射ビーム115が液体−空気界面に近
づくにつれて外側に拡がるようにしてある。第8図に於
て、ピェゾセラミック材料のェミッタ−109は超音波
ビーム111を凹面反射器121に発射し、反射ビーム
123は液体−空気界面で液体にキャビテーションを起
こさせて微少霧および原子を音響噴泉125として上方
に放射する。反射器121は凹面であるので、反射ビー
ム123は第7図の実施例よりも小さい面積で液体−空
気界面上に集中される。第9図に於ては絶縁性液体37
中にはピェゾセラミック材料の管状ェミッター127が
浸潰されており、ェミッターから蚤方向に離間した反射
器131に向けて音響エネルギーの多方向性ビーム12
9を発射する。
反射器131は凹面であるのが望ましく、ビーム129
の別々の反射ビーム133,135を液体−空気界面1
17に集中させるようにする。反射ビーム133,13
5は、図示の如く同一の同じ表面部分に集中させても、
あるいは別々の表面部分に集中させても良く、図示の如
く一つのあるいは数個の音響魔泉を形成させることがで
きる。以上の説明から明らかな通り、本発明の実施に適
当な音響噴泉の形成方法は、第1図乃至第6図に示す如
く、超音波振動発生装置33から直接超音波振動を発射
させるものから、第7図乃至第9図に示す如く、超音波
振動発生装置(ェミッター)からの超音波ビームを液体
一気体界面に反射させる平面状あるいは集中凹形状の反
射器を用いるものまである。
実際の蒸発冷却電力変圧器に於ては、液溜め内の絶縁性
液体のレベルが変化するので効率的な音響頃泉を維持す
るために可変焦点超音波ビームとするのが望ましい。
これは電子的に、集中ピェゾセラミック動作周波数に近
い周波数範囲を通してサイクルさせること、あるいは液
体中の深さの異なる位簿の集中ピェゾセラミック装置を
用いることにより行なうことができる。最後に、蒸発冷
却型電力変圧器に関連して説明した本発明は、他の電気
装置、例えばX線装置、レーダー等の高電圧を用いる装
置の一時的冷却に、また電力遮断器の消弧装置等にも適
用できる。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第6図は本発明の幾つかの実施例を示す垂直
断面図、第7図乃至第9図はピェゾセラミック発振器を
用いて微少霧および蒸気の音響贋泉を形成し維持する様
々な方法を示す概略図である。 13・・・ハウジング、15・・・発熱体(変圧器)、
21・・・室、33・・・超音波変換器(ピェゾセラミ
ック装置)、37・・・液体。 FIG.1. FIG2 FIG.3. FIG.4. FIG.5. FIG.6. F′G.7. F′G.8. ‘′G.9.

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 室を形成するハウジングと、上記室内に設けられた
    冷却かつ絶縁すべき電気装置である発熱体と、上記室内
    に設けられ上記発熱体の通常作動温度範囲内で蒸発する
    誘電性の液体とを備えた蒸発冷却型電気装置に於いて、
    少なくとも1つの超音波変換器を有する音響エネルギー
    発生装置を備え、上記超音波変換器は附勢されたとき、
    上記液体音響的に噴霧化させて上記発熱体にスプレーさ
    せるように上記液体に当てられる超音波ビームを発生す
    るものであり、上記超音波変換器が上記液体中に浸漬さ
    れ、上記ビームを上記液体の液面に向けるように構成さ
    れてなることを特徴とする蒸発冷却型電気装置。 2 上記超音波変換器がピエゾセラミツク発振器である
    特許請求の範囲第1項記載の蒸発冷却型電気装置。 3 上記超音波変換器が上記ビームを上記液体の液面に
    集中させる凹面出射面を有する特許請求の範囲第1項あ
    るいは第2項記載の蒸発冷却型電気装置。 4 上記超音波変換器が、少なくとも1つの反射器を組
    み合わせて有し、かつ上記反射器と共に上記液体中に浸
    漬されており、上記超音波変換器が上記ビームを上記反
    射器に向けて出射し、上記反射器が上記ビームを上記液
    体の液面に向けて反射するようにされてなる特許請求の
    範囲第1項あるいは第2項記載の蒸発冷却型電気装置。 5 上記反射器が、上記ビームを上記液体の液面に集中
    させる集中反射器である特許請求の範囲第4項記載の蒸
    発冷却型電気装置。6 上記室に隣接し、上記液体に接
    触した音響エネルギー伝達性仕切りにより上記室から分
    離された空間を形成する装置を備え、上記空間が上記仕
    切りに接触した音響エネルギー結合流体を収容し、上記
    超音波変換器が上記音響エネルギー結合流体中に浸漬さ
    れてなる特許請求の範囲第1項あるいは第2項記載の蒸
    発冷却型電気装置。 7 上記超音波変換器が上記ビームを上記仕切りに指向
    させるよう構成されてなる特許請求の範囲第6項記載の
    蒸発冷却型電気装置。8 上記超音波変換器が、上記ビ
    ームを上記仕切りと上記音響エネルギー結合流体との界
    面上に集中させる凹面出射面を有する特許請求の範囲第
    7項記載の蒸発冷却型電気装置。 9 上記超音波変換器が、少なくとも1つの反射器を組
    み合わせて有し、かつ上記反射器と共に上記液体中に浸
    漬されており、上記超音波変換器が上記ビームを上記反
    射器に向けて出射し、上記反射器が上記ビームを上記仕
    切りに向けて反射するようにされてなる特許請求の範囲
    第6項記載の蒸発冷却型電気装置。 10 上記反射器が、上記ビームを上記液体の液面に集
    中させる集中反射器である特許請求の範囲第9項記載の
    蒸発冷却型電気装置。 11 上記仕切りが、上記ハウジング内部を上記室と上
    記空間とに分割するように上記ハウジング内に設けられ
    たダイアフラムであり、上記ダイアフラムが上記室に向
    かつて窪んでいて上記液体を保持してなる特許請求の範
    囲第6項乃至第10項のいづれか記載の蒸発冷却型電気
    装置。 12 上記ハウジングが外ケーシングにより囲まれ、上
    記空間が上記ケーシングと上記ハウジングとの間に設け
    られて一部が上記ハウジングの壁部分により形成されて
    おり、上記壁部分が上記仕切りを形成しかつ上記室に向
    かつて窪んでいて上記液体を保持してなる特許請求の範
    囲第6項乃至第10項のいづれか記載の蒸発冷却型電気
    装置。 13 上記室が略々球形であつて、その下部壁部分が上
    記液体を保持しかつ上記仕切りを形成してなる特許請求
    の範囲第6項乃至第10項のいづれか記載の蒸発冷却型
    電気装置。 14 上記ハウジングが、上記ハウジング外でその壁部
    分に熱伝達関係に設けられた冷却装置を組み合わせて備
    えた特許請求の範囲第13項記載の蒸発冷却型電気装置
    。 15 上記ハウジングが、その中に少なくとも1つの音
    響エネルギー伝達性の長い部材を備え、上記長い部材は
    、一端で上記液体中に浸漬されて音響エネルギーを受け
    るようにされ、上記発熱体に近接した部分を有し、この
    部分に音響エネルギーを集中させて上記スプレーからこ
    の部分上に付着した液体を噴霧化して上記発熱体に向け
    て投射させるよう構成されてなる特許請求の範囲第1項
    乃至第14項のいづれか記載の蒸発冷却型電気装置。 16 上記ハウジングの壁部分がその上に、この壁部分
    の上記室を形成する表面上に超音波振動の局部的集中を
    発生させる装置を備え、もつて上記表面上の上記液体を
    局部的に噴霧化させて上記発熱体に指向される液体スプ
    レーの噴流を発生させる特許請求の範囲第1項乃至第1
    5項のいづれか記載の蒸発冷却型電気装置。 17 上記超音波振動の局部的集中を発生させる装置が
    、上記室の外で上記壁部分上に取り付けられたピエゾセ
    ラミツク素子である特許請求の範囲第16項記載の蒸発
    冷却型電気装置。 18 上記超音波振動の局部的集中を発生させる装置が
    、上記壁部分の音響エネルギー集中部分である特許請求
    の範囲第16項あるいは第17項記載の蒸発冷却型電気
    装置。
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