JPS60183155A - インクジエツト記録ヘツドの製造方法 - Google Patents
インクジエツト記録ヘツドの製造方法Info
- Publication number
- JPS60183155A JPS60183155A JP3730484A JP3730484A JPS60183155A JP S60183155 A JPS60183155 A JP S60183155A JP 3730484 A JP3730484 A JP 3730484A JP 3730484 A JP3730484 A JP 3730484A JP S60183155 A JPS60183155 A JP S60183155A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording head
- passage forming
- ink passage
- transparent
- base plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）技術分野
本発明はインク滴を発生して記録を行うインクジェット
記録方式に用いる記録ヘッドに関する。
記録方式に用いる記録ヘッドに関する。
／９１背翳技術
インクジェット記録法（液体噴射記録法）は、記録時に
於ける騒音の発生が無視できる程度に極めて小さいとい
う点、高ｊ＊記録が可能でありしかも普通紙に対して定
着という特別な処理を必要とせずにフルカラーの記録が
行えるという点に於いて、最近特に関心を集めている。
於ける騒音の発生が無視できる程度に極めて小さいとい
う点、高ｊ＊記録が可能でありしかも普通紙に対して定
着という特別な処理を必要とせずにフルカラーの記録が
行えるという点に於いて、最近特に関心を集めている。
インクジェット記録法に使用される記録装置のインクジ
ェット記録ヘッドは、一般に微細なインク吐出１」（オ
リフィス）、インク通路及びこのインク通路の一部に設
けられるインク吐出圧発生部を備えている。
ェット記録ヘッドは、一般に微細なインク吐出１」（オ
リフィス）、インク通路及びこのインク通路の一部に設
けられるインク吐出圧発生部を備えている。
前記インクジェット記録ヘッドとしては神々の記録方法
、形状のものが考案されており具体化する装置も商品化
されたものもあれば現在も尚実用化への努力が続けられ
ているものである。
、形状のものが考案されており具体化する装置も商品化
されたものもあれば現在も尚実用化への努力が続けられ
ているものである。
以下、製作工程の主要工程にフォトリソグラフィを主と
して用いインクジェット記録ヘッドを製造する場合を例
として、この種の技術について図面も参照しながら説明
する。
して用いインクジェット記録ヘッドを製造する場合を例
として、この種の技術について図面も参照しながら説明
する。
第１図ないし第７図は、インクジェット記録へラドの構
成の一例とその製造手順の一例を説明するための模式図
である。。
成の一例とその製造手順の一例を説明するための模式図
である。。
先ず、第１図に示す様に、ガラス、セラミックス、プラ
スチック或は金属匂、適当な基板１上に発熱素子或は用
型素子等の吐出圧発生素子２を所望の個数、配設する（
図に於ては、３個）。
スチック或は金属匂、適当な基板１上に発熱素子或は用
型素子等の吐出圧発生素子２を所望の個数、配設する（
図に於ては、３個）。
次に、吐出圧発生素子２を設けた基板１表面を清浄化す
ると共に乾燥させた後、素子２を設けた基板面１に、ド
ライフィルムフォトレジスト３をラミネートする。
ると共に乾燥させた後、素子２を設けた基板面１に、ド
ライフィルムフォトレジスト３をラミネートする。
続いて、第６図に示す様に、基板面１に設けたドライフ
ィルムフォトレジスト６上に所定のパターン５を有する
フォトマスク４を位置合せした後重ね合せ、続いてこの
フォトマスク４の上部がら露光を行う。
ィルムフォトレジスト６上に所定のパターン５を有する
フォトマスク４を位置合せした後重ね合せ、続いてこの
フォトマスク４の上部がら露光を行う。
露光操作を経た後、ドライフィルムフォトレジスト３を
揮発性有機溶剤、例えばトリクロルエタン中に浸漬して
、未重合（露光されなかった部分）のフォトレジストを
エツチング除去し、第４図に示す硬化フォトレジスト膜
３（露光された部分）中にインク流路１０に相当する凹
部を形成する。
揮発性有機溶剤、例えばトリクロルエタン中に浸漬して
、未重合（露光されなかった部分）のフォトレジストを
エツチング除去し、第４図に示す硬化フォトレジスト膜
３（露光された部分）中にインク流路１０に相当する凹
部を形成する。
次に、硬化フォトレジスト膜を熱重合させるか、紫外線
照射を行うか、またはこれら両者をイノ１用して硬化フ
ォトレジスト膜６Ｐの耐用性を向上させる。
照射を行うか、またはこれら両者をイノ１用して硬化フ
ォトレジスト膜６Ｐの耐用性を向上させる。
成上の工程を経て、インク流路１０の側壁１１等が形成
された基板１の上面に、第５図に図示する如く、天井を
構成する覆い部組６を貼着積層する。
された基板１の上面に、第５図に図示する如く、天井を
構成する覆い部組６を貼着積層する。
以上のとおり、インク流路の側壁１１などを形成した基
板１と覆い部祠６との接合が完了した後、第５図のＡ−
Ａ’線およびＢ−Ｂ’線に沿って覆゛い部組６を切断す
る。この切断によって、吐出圧発生素子２とインク吐出
１］７との間隔が最適化され、所定の液流路長をもった
インク流路が形成される（第６図）。
板１と覆い部祠６との接合が完了した後、第５図のＡ−
Ａ’線およびＢ−Ｂ’線に沿って覆゛い部組６を切断す
る。この切断によって、吐出圧発生素子２とインク吐出
１］７との間隔が最適化され、所定の液流路長をもった
インク流路が形成される（第６図）。
最後に、あらかじめインク供給管９の接合しである共通
液室８を第７図の上うに、−インク流路１０及びインク
吐出１」７が形成されている基板１に接合してインクジ
ェット記録ヘッドが完成する。
液室８を第７図の上うに、−インク流路１０及びインク
吐出１」７が形成されている基板１に接合してインクジ
ェット記録ヘッドが完成する。
以」二のような神々の工程を経て１個の記録ヘッドが製
造されるが、記録ヘッドの製造は１個を連続して最終上
程まで仕上げるのではなく、一般には複数のヘッドを連
続的に生産する。しかも、同一形状のものばかりではな
く、液流路の配設個数の異るもの、あるいは裁板両面に
液流路が構成される１易合など柿々の形状の記録・ヘッ
ドが連続的に生産される。
造されるが、記録ヘッドの製造は１個を連続して最終上
程まで仕上げるのではなく、一般には複数のヘッドを連
続的に生産する。しかも、同一形状のものばかりではな
く、液流路の配設個数の異るもの、あるいは裁板両面に
液流路が構成される１易合など柿々の形状の記録・ヘッ
ドが連続的に生産される。
従って、品’ＩＱ’ ％＋理を１−分に行い、生産性を
向、」ニさせるためには、各製造段階における記録ヘッ
ドの１１υ歴を判別する必要があった。しかも、上記の
ように基板上に種々の記録ヘッドの構成要素が積層され
て成るような記録ヘッドでは、積層方向から各」工程段
階の記録ヘッドの履歴を判別できることが生産性の向Ｅ
をはかるために必要であった。
向、」ニさせるためには、各製造段階における記録ヘッ
ドの１１υ歴を判別する必要があった。しかも、上記の
ように基板上に種々の記録ヘッドの構成要素が積層され
て成るような記録ヘッドでは、積層方向から各」工程段
階の記録ヘッドの履歴を判別できることが生産性の向Ｅ
をはかるために必要であった。
（３）発明の開示
本発明は上記の事実に鑑み成されたものであって１本発
明の主たる目的は、品質管理が容易で、生産性の高い記
録ヘッドの製造方法を提供することにある。
明の主たる目的は、品質管理が容易で、生産性の高い記
録ヘッドの製造方法を提供することにある。
本発明の」二足目的は、以下の本発明によって達成され
る。
る。
基板およびインク通路形成部側から成るインクジェット
記録ヘッドを製０するに際し、基板及び／又はインク通
路形成部拐に１つ以上の判別記号を配設し、基板及び／
又はインク通路形成部材の判別記号が配設された部分が
透明であることを特徴とするインクジェット記録ヘッド
の製造方法。
記録ヘッドを製０するに際し、基板及び／又はインク通
路形成部拐に１つ以上の判別記号を配設し、基板及び／
又はインク通路形成部材の判別記号が配設された部分が
透明であることを特徴とするインクジェット記録ヘッド
の製造方法。
（４）発明を実施するための最良の形態以下、第１図な
いし第７図に示した前述の記録−ラドの製造方θミを例
として、図面も参照しながら本発明について説明する。
いし第７図に示した前述の記録−ラドの製造方θミを例
として、図面も参照しながら本発明について説明する。
第８図ないし第９図は、本発明の方法、により製造され
た記録ヘッドとその製作手順の一実施態様を説明するた
めの模式図である。尚、説明を簡略化するため、以下の
図では、第１図ないし＄７図におけるインク供給管９お
よび吐出圧発生素子２は省略する。
た記録ヘッドとその製作手順の一実施態様を説明するた
めの模式図である。尚、説明を簡略化するため、以下の
図では、第１図ないし＄７図におけるインク供給管９お
よび吐出圧発生素子２は省略する。
まず、第８図に示すように、透明基板１、例えば透明ガ
ラス、透光性セラビツクス、透明プラスチック等上に、
文ン等・のりｆ望の判別記号を所定の位置（本例では破
線部１２）に配設する。配設方法は、例えばフォトリソ
グラフィーを用いるパターン加工、ダイヤモンドペン、
超音波ペン等の機械的加工、スクリーン印刷、捺印等の
種々の加工手段を適用することができる。尚、フォトリ
ソグラフィによるパターン加工の場合には、７％板１そ
のものをエツチングして図に示す如き文字をパターン加
」−、シてもよいし、あるいは基板１上に金属１摸等を
成膜し、これをパターン加］−シて基板１上に図に示す
如き該金′喘１漢等から成る文字を形成する等のことが
可能である。
ラス、透光性セラビツクス、透明プラスチック等上に、
文ン等・のりｆ望の判別記号を所定の位置（本例では破
線部１２）に配設する。配設方法は、例えばフォトリソ
グラフィーを用いるパターン加工、ダイヤモンドペン、
超音波ペン等の機械的加工、スクリーン印刷、捺印等の
種々の加工手段を適用することができる。尚、フォトリ
ソグラフィによるパターン加工の場合には、７％板１そ
のものをエツチングして図に示す如き文字をパターン加
」−、シてもよいし、あるいは基板１上に金属１摸等を
成膜し、これをパターン加］−シて基板１上に図に示す
如き該金′喘１漢等から成る文字を形成する等のことが
可能である。
次に、第１図ないし第７図に示した前述の方法に従い、
側壁１１．覆い部４Ａ６および共通液室８等のインク通
路形成部材を上記の如き透明な材１４めものとして、第
９図に示す記録ヘッドを完成する。ここでインク通路と
は、インク流路および液室を指し、インク通路形成部材
とは基板以外のこれらを形成するための部材を言う。
側壁１１．覆い部４Ａ６および共通液室８等のインク通
路形成部材を上記の如き透明な材１４めものとして、第
９図に示す記録ヘッドを完成する。ここでインク通路と
は、インク流路および液室を指し、インク通路形成部材
とは基板以外のこれらを形成するための部材を言う。
上記構成の記録ヘッドによれば、基板１上に設けた判別
記号を、製造工程の各段階において判別することがＥＳ
能である。しかも、マスクが用いられる露光工程以外の
各］工程では、基板１を裏返す（表面をインク通路が積
層される側とする）ことなく裁板表ｉＭｉ側から判別す
ることができるので、形状の異る複数個の記録ヘッドを
連続生産する場合等に、上記各工程における記録ヘッド
の履歴を容易に把握することが可能である。従って、生
産性の向上をもはかることができる。また、完成後も該
透明部を通して判別記号を確認できるので、工程管理を
も含む記録ヘッドの品質管理が６■能である。
記号を、製造工程の各段階において判別することがＥＳ
能である。しかも、マスクが用いられる露光工程以外の
各］工程では、基板１を裏返す（表面をインク通路が積
層される側とする）ことなく裁板表ｉＭｉ側から判別す
ることができるので、形状の異る複数個の記録ヘッドを
連続生産する場合等に、上記各工程における記録ヘッド
の履歴を容易に把握することが可能である。従って、生
産性の向上をもはかることができる。また、完成後も該
透明部を通して判別記号を確認できるので、工程管理を
も含む記録ヘッドの品質管理が６■能である。
上記例の如く、基板１およびインク通路形成部材が透明
な記録ヘッドでは、第１０図に示すような裁板１の両面
にインク流路形成部材を構成する場合にも、製造工程の
各段階および完成後も判別記号を表面から確認すること
ができる。
な記録ヘッドでは、第１０図に示すような裁板１の両面
にインク流路形成部材を構成する場合にも、製造工程の
各段階および完成後も判別記号を表面から確認すること
ができる。
第１１図は本発明の別の実施態様であり、判別記号を配
設する部分およびその部分に対応するインク通路形成部
材の基板１と垂直方向の部分な透明とし、他は不透明な
相性、例えばセラミックス。
設する部分およびその部分に対応するインク通路形成部
材の基板１と垂直方向の部分な透明とし、他は不透明な
相性、例えばセラミックス。
プラスチック、金慎等とした記録ヘッドの例である３゜
本例の如く、基板１の判別記号が配設される部分１６の
みを透明とし、インク通路形成部材のこれと対応する部
分１４を透明とした記録ヘッドでも、第９図に示した記
録ヘッドと同様の効果をｉ４４ることかできる。インク
通路形成部材で透明とする部分１４は、上記垂直方向の
みならず、記録ヘッドの完成後も外部から判別記号を確
認し得る所であればよい。また、判別記号を配設する部
分１６は上記例に示した基板１上のみならず、切断等の
工程で除去されず、記録ヘッドの機能を損、１つない部
分であれぼり＾叡及び７／又はインク通路形成部材の所
望のＷ所に所望の個数を設けることが可能である。
みを透明とし、インク通路形成部材のこれと対応する部
分１４を透明とした記録ヘッドでも、第９図に示した記
録ヘッドと同様の効果をｉ４４ることかできる。インク
通路形成部材で透明とする部分１４は、上記垂直方向の
みならず、記録ヘッドの完成後も外部から判別記号を確
認し得る所であればよい。また、判別記号を配設する部
分１６は上記例に示した基板１上のみならず、切断等の
工程で除去されず、記録ヘッドの機能を損、１つない部
分であれぼり＾叡及び７／又はインク通路形成部材の所
望のＷ所に所望の個数を設けることが可能である。
以上、好ましい例として裁板とインク通路形成部材の両
方を透明とする（部分的に行う場合も含めて）場合を示
したが、判別記号の配設される＾（仮またはインク通路
形成部材の一方の配設部のみを透明とすることでも、本
発明の目的を十分に達し得るものである。また、本発明
は上記記録ヘッドの製造方法のみならず、吐出圧発生素
子として発熱素子や圧電素子を用いる場合の上記以外の
製造方法あるいはこれら以外の゛オンデマンド方式の記
録ヘッドの製造方法さらにはコンティニュアス方式の記
録ヘッドの製造方法等にも適用し得るものである。
方を透明とする（部分的に行う場合も含めて）場合を示
したが、判別記号の配設される＾（仮またはインク通路
形成部材の一方の配設部のみを透明とすることでも、本
発明の目的を十分に達し得るものである。また、本発明
は上記記録ヘッドの製造方法のみならず、吐出圧発生素
子として発熱素子や圧電素子を用いる場合の上記以外の
製造方法あるいはこれら以外の゛オンデマンド方式の記
録ヘッドの製造方法さらにはコンティニュアス方式の記
録ヘッドの製造方法等にも適用し得るものである。
第１図ないし第７図は、従来例のインクジェット記録ヘ
ッドの構成の一例とその製造手順の一例を説明するため
の模式図、第８図ないし第１１図は本発明に係るインク
ジェット記録ヘッドの実施態様とその製造手順を説明す
るための模式図。 特許出願人 キャノン株式会社 第４図 ６ 第５図 第６図 第７図 １゛２ 第８図 第９図 第１０図 ３ 第１１図
ッドの構成の一例とその製造手順の一例を説明するため
の模式図、第８図ないし第１１図は本発明に係るインク
ジェット記録ヘッドの実施態様とその製造手順を説明す
るための模式図。 特許出願人 キャノン株式会社 第４図 ６ 第５図 第６図 第７図 １゛２ 第８図 第９図 第１０図 ３ 第１１図
Claims (2)
- （１）基板およびインク通路形成部子イから成るインク
ジェット記録ヘッドを製造するに際し、基板及び／又は
インク通路形成部祠に１つ以上の判別記号を配設し、！
ル板及び／又はインク通路形成部祠の判別記号が配設さ
れた部分が透明であることを特徴とするインクジェット
記録へ、ソドの製造方法。 - （２）前記記録ヘッドが熱エネルギー発生素子な液滴形
成のための手段としていることを特徴とする特許品求の
範囲第１項（二記載のインクジェット記録ヘッドの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3730484A JPS60183155A (ja) | 1984-03-01 | 1984-03-01 | インクジエツト記録ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3730484A JPS60183155A (ja) | 1984-03-01 | 1984-03-01 | インクジエツト記録ヘツドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60183155A true JPS60183155A (ja) | 1985-09-18 |
Family
ID=12493960
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3730484A Pending JPS60183155A (ja) | 1984-03-01 | 1984-03-01 | インクジエツト記録ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60183155A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01255552A (ja) * | 1988-04-05 | 1989-10-12 | Ricoh Co Ltd | 液体噴射記録ヘッドの製作方法 |
| US9770802B2 (en) | 2011-11-02 | 2017-09-26 | Asahi Diamond Industrial Co., Ltd. | Rotary dresser and manufacturing method therefor |
-
1984
- 1984-03-01 JP JP3730484A patent/JPS60183155A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01255552A (ja) * | 1988-04-05 | 1989-10-12 | Ricoh Co Ltd | 液体噴射記録ヘッドの製作方法 |
| US9770802B2 (en) | 2011-11-02 | 2017-09-26 | Asahi Diamond Industrial Co., Ltd. | Rotary dresser and manufacturing method therefor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH02229050A (ja) | インクジェットプリントヘッドを製造する方法 | |
| JPS59123670A (ja) | インクジエツトヘツド | |
| JP4749546B2 (ja) | インクジェット印刷ヘッド | |
| JP2004082731A (ja) | インクジェットプリントヘッド及びその製造方法 | |
| US6406134B1 (en) | Monolithic ink-jet print head and method of fabricating the same | |
| US4635077A (en) | Ink jet recording head | |
| US10618286B2 (en) | Manufacturing method for structure and manufacturing method for liquid ejecting head | |
| JPS60183155A (ja) | インクジエツト記録ヘツドの製造方法 | |
| JP7134831B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
| JP2009012220A (ja) | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 | |
| JPH10296982A (ja) | インクジェットヘッド用ノズル板の製造方法及びインクジェットヘッド | |
| JPH0796454B2 (ja) | 感光性ガラスの加工方法及びこの方法によって製造したインクジェットヘッド | |
| JP3077444B2 (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
| US6684504B2 (en) | Method of manufacturing an imageable support matrix for printhead nozzle plates | |
| JPH0326130B2 (ja) | ||
| JPH06297711A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPS588660A (ja) | 液体噴射記録ヘツド | |
| US5479685A (en) | Method of producing ink jet print head | |
| JPH0711978Y2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH0224220B2 (ja) | ||
| JP3661223B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| TW577819B (en) | Method for self-aligning nozzle orifice of inkjet print head | |
| JPH04185444A (ja) | インクジェットヘッド | |
| JPH04369546A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 | |
| US7192122B2 (en) | Liquid ejecting head and a process for producing the head |