JPS60175001A - マイクロレンズアレ− - Google Patents

マイクロレンズアレ−

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Publication number
JPS60175001A
JPS60175001A JP2946484A JP2946484A JPS60175001A JP S60175001 A JPS60175001 A JP S60175001A JP 2946484 A JP2946484 A JP 2946484A JP 2946484 A JP2946484 A JP 2946484A JP S60175001 A JPS60175001 A JP S60175001A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transparent
mask
resin
microlens array
photodissociative
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2946484A
Other languages
English (en)
Inventor
Tamio Saito
斎藤　民雄
Toshio Sudo
須藤　俊夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2946484A priority Critical patent/JPS60175001A/ja
Publication of JPS60175001A publication Critical patent/JPS60175001A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00—Simple or compound lenses
    • G02B3/0006—Arrays
    • G02B3/0037—Arrays characterized by the distribution or form of lenses
    • G02B3/0056—Arrays characterized by the distribution or form of lenses arranged along two different directions in a plane, e.g. honeycomb arrangement of lenses
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
    • B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
    • B29D11/00009—Production of simple or compound lenses
    • B29D11/00278—Lenticular sheets
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00—Simple or compound lenses
    • G02B3/0006—Arrays
    • G02B3/0012—Arrays characterised by the manufacturing method

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Ophthalmology & Optometry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明岐、マイクロレンズの形成方法に関する。
〔背景技術とその問題点〕
近距離、例えば数の程度離れた原稿を感光性機能素子上
に結像する場合、従来は、第１図に示すようなグレーデ
ツトインデックスのある光ファイバーを束ねレンズとし
て用いていた。しかしながら、この種の構造のレンズは
、光路長が長くなり光路での光損失が大きくなる欠点が
あった。一方第１図および第２図に示す如く微少レンズ
を多数同一平面上に形成することは、上記光損失を減す
上で極めて有利であるが、この小さなレンズを形成する
こと車体が極めて難しい技術であった。
〔発明の目的〕
本発明は、係る車状に鑑みなされたもので、比較的簡単
に微少レンズを形成することが可能なマイクロレンズの
形成方法を提供するものであるっ〔発明の概要〕 本発明によれば、透明基体に紫外線で重合度が解離する
透明な樹脂を塗布し５円形のマスクパターンにて露光し
て局部的に解離部分と非解離部分を形成し、解離部分を
除去して凹凸を形成することよシ、この白部分をレンズ
として機能させることが可能となる。
〔発明の効果〕
以上説明した本発明によれば、紫外線で解離する樹脂を
使用することによシ透明基体上に極めて容易にマイクロ
レンズの形成が可能となシ、薄型の光損失が少ないマイ
クロレンズを提供でキル効果がある。
〔発明の実施例〕
以下図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。
第３図（ａ）乃至（Ｃ）は、本発明に係るマイクロレン
ズの形成方法を説明するための部分的切欠斜視図である
。
すなわち、第３図（ａ）において、１０はガラス或いは
プラスチック環の透明な平板で形成された基体であって
、この基体１０の一方の表面に透明な光解離性樹脂層１
１をコートする。この光解離性樹脂層１１としては例え
ば、紫外線で解離するアクリル。
ウレタン、エポキシ、シリコーン等がある。このような
樹脂層１１の上に第３図（ｂ）図の如く部分的に透明な
マスク１３で露光して現像することによってマイクロレ
ンズアレイが実現出来る。更に詳細に述べれば第４図に
示すようにマスク１３は５円状のパターンが形成されて
おり１円は周辺部に向って逐次透過率が変化している。
従って、光の照射によシ光゛解離性樹脂の重合度は連続
的に変化する今、重合した光解離性樹脂の断面が円状に
なる様に、マスクの透過率を選べば、断面が球状の透明
レジストを形成する事ができる。
マイクロレンズアレイのパターンとしては第５図の如き
円ドツトのくりかえしパターンである。
各日のはじめの重合度を第４図にて説明する。
マスクの濃度が連結して変化している時、レジストの重
合度は第４図の如く曲面をもつ断面となシレンズが形成
される。
又、この様な連続的に濃度の変るパターンの代９に、第
６図の如く乾板１４を離して置き、光の回折を利用して
レジスト２に第４図と同様のレンズを形成する事ができ
る。
またマイクロレンズアレイは、ガラス板１の片面だけで
なく、第７図に示す如く両面（１１，１１’）に形成す
る事により、正立の像を得る事ができる。
更に第８図に示すようにガラス上に、色フイルタ−１４
−１，１４−２，１４−３を形成し、次いでレンズ２，
３を形成する事により、カラーのレンズアレイが形成で
きる。。
【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は、マイクロレンズアレーの原理構
成を示す斜視図および部分拡大斜視図。 第３図は、本発明によるマイクロレンズアレーの形成法
の一実施例を示した部分拡大視図。 第４図は、マイクロレンズアレイを得るマスクの説明図
、第５図は、マスクの一例を示す平面図。 第６図は、マスクの他の例を示す断面図、第７図および
第８図は本発明の変形例を示す断面図。 ｌＯ・・・透ＢＡ基体 １１・・・透明樹脂 １３・・・パターンマスク 代理人　弁理士　則近憲佑（ほか１名）第　ｌ　図 第　３　図 第　４　図 第　５　図 第　６　図

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）ガラス、プラスチック等の透明基体に紫外線で重
    合度が解離する透明な樹脂を塗布し１円形の少くも１つ
    のマスクパターンにて露光し、現像する事によシレンズ
    を形成する事を特徴とするマイクロレンズアレー。
  2. （２）上記マイクロパターンは濃度が連続的に変化ンズ
    アレー。
  3. （３）上記マイクロパターンは回折効果を利用して４゜ 形成することを特徴とする特許請求範囲第一項記載のマ
    イクロレンズアレー
  4. （４）前記レンズは透明基体の両側に形成すること一 を特徴とする特許請求範囲第一項記載のマイクロレンズ
    アレー。
  5. （５）前記透明基体とレンズとの間にカラーウィルター
    を介在させることを特徴とする特許請求の範囲第一項記
    載のマイクロレンズアレー。
JP2946484A 1984-02-21 1984-02-21 マイクロレンズアレ− Pending JPS60175001A (ja)

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JP2946484A JPS60175001A (ja) 1984-02-21 1984-02-21 マイクロレンズアレ−

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JP2946484A JPS60175001A (ja) 1984-02-21 1984-02-21 マイクロレンズアレ−

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JPS60175001A true JPS60175001A (ja) 1985-09-09

Family

ID=12276819

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2946484A Pending JPS60175001A (ja) 1984-02-21 1984-02-21 マイクロレンズアレ−

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6480901A (en) * 1987-09-22 1989-03-27 Brother Ind Ltd Microlens and its production
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JPH07509325A (ja) * 1993-04-29 1995-10-12 ライカ　リトグラフィー　システーメ　イエーナ　ゲーエムベーハー リソグラフィにより作られたフレネル表面構造の段つきレンズ及び製造方法

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