JPS60173746A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPS60173746A JPS60173746A JP2938284A JP2938284A JPS60173746A JP S60173746 A JPS60173746 A JP S60173746A JP 2938284 A JP2938284 A JP 2938284A JP 2938284 A JP2938284 A JP 2938284A JP S60173746 A JPS60173746 A JP S60173746A
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- Japan
- Prior art keywords
- alloy
- target
- substrate
- rotation angle
- kerr rotation
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はＤｙ −Ｆｅ −（Ａ −Ｃｖ四元系非晶質合
金から成る新規な光磁気記録媒体に関するものである。
金から成る新規な光磁気記録媒体に関するものである。
近年、光磁気記録媒体に用いた高密度記録が盛んに研究
されている。これは大量の情報を高密度に記録するため
、レーザー光を投光して記録媒体を局部加熱することに
よりビットを書き込み、磁気光学効果を利用して読み出
すというものである。
されている。これは大量の情報を高密度に記録するため
、レーザー光を投光して記録媒体を局部加熱することに
よりビットを書き込み、磁気光学効果を利用して読み出
すというものである。
これらの記録媒体に要求される特性として非晶質垂直磁
化膜を形成すると同時に、カー回転角、反射率、保磁力
が共に大きく、且つキュリ一温度もしくは補償温度が記
録及び再生に適当な範囲にあることであり、とりわけ、
再生のＳ／Ｎ比を向上させるために大きなカー回転角が
要求されている。
化膜を形成すると同時に、カー回転角、反射率、保磁力
が共に大きく、且つキュリ一温度もしくは補償温度が記
録及び再生に適当な範囲にあることであり、とりわけ、
再生のＳ／Ｎ比を向上させるために大きなカー回転角が
要求されている。
従来周知のキュリ一点記録材料としてＴｂＦｅ二元合金
がある。このＴ’ｂＦθ二元合金はレーザー光による書
き込み温度範囲１００〜２００℃にあるのに加え、微小
ビットの安定性に関係する保磁力が２〜３ ＫＯｅと大
きいため、書き込み特性としては最適′な材料と言える
。ところが、この材料のカー回転角は０，１６〜０．１
８°と小さく、再生出力信号がＳ／Ｎ比で４０ｄＢ以下
のため読み出し性能に劣っている。
がある。このＴ’ｂＦθ二元合金はレーザー光による書
き込み温度範囲１００〜２００℃にあるのに加え、微小
ビットの安定性に関係する保磁力が２〜３ ＫＯｅと大
きいため、書き込み特性としては最適′な材料と言える
。ところが、この材料のカー回転角は０，１６〜０．１
８°と小さく、再生出力信号がＳ／Ｎ比で４０ｄＢ以下
のため読み出し性能に劣っている。
また、補償点記録材料としてＧｄＣ０二元合金がある。
このＧｄＣｏ二元合金はカー回転角が０．２０〜０．２
２°と大きく、 且つ耐環境性昏こも優れているが、補
償温度を設定するに際して合金組成に鋭敏に依存し、更
に保磁力が０．２〜Ｑ、３ ＫＯｅと小さいため微小ビ
ットの安定性に劣り、実用化、の大きな妨げとなってい
る。
２°と大きく、 且つ耐環境性昏こも優れているが、補
償温度を設定するに際して合金組成に鋭敏に依存し、更
に保磁力が０．２〜Ｑ、３ ＫＯｅと小さいため微小ビ
ットの安定性に劣り、実用化、の大きな妨げとなってい
る。
そこで、カー回転角を大きくシ、且つキュリ一温度を書
き込み可能な範囲内で高くするのに相俟って読み出し性
能を向上させるため、 ＴＩ）Ｆθ合金に対してＴＩ）
を記に一部置換したり、ｒｅをＣＯに一部置換した三元
もしくは四元系非晶質合金薄膜が提案されている。
き込み可能な範囲内で高くするのに相俟って読み出し性
能を向上させるため、 ＴＩ）Ｆθ合金に対してＴＩ）
を記に一部置換したり、ｒｅをＣＯに一部置換した三元
もしくは四元系非晶質合金薄膜が提案されている。
斯様な非晶質合金薄膜は己やＣｏ元素がＴｂやＦｅ冗素
よりもカー回転角が大きいという点に着目されたもので
あるが、これによるとカー回転角の増大に伴ってキュリ
一温度が上昇するため、所定量を越えて添加することが
できない。従って、この様な合金材料を用いて光磁気記
録媒体とするためには、キュリ一点記録可能な範囲内で
添加した単層構造膜とするか、もしくはキュリ一点記録
が不可能な組成範囲であっても大きなカー回転角を有す
る事を活かしてこれを読み出し層とし、別にＴｂｐｅ等
から成る書き込み層を設けた静磁結合膜或いは交換結合
膜として用いることになる。
よりもカー回転角が大きいという点に着目されたもので
あるが、これによるとカー回転角の増大に伴ってキュリ
一温度が上昇するため、所定量を越えて添加することが
できない。従って、この様な合金材料を用いて光磁気記
録媒体とするためには、キュリ一点記録可能な範囲内で
添加した単層構造膜とするか、もしくはキュリ一点記録
が不可能な組成範囲であっても大きなカー回転角を有す
る事を活かしてこれを読み出し層とし、別にＴｂｐｅ等
から成る書き込み層を設けた静磁結合膜或いは交換結合
膜として用いることになる。
斯様な現状の中で、最も有望視された光磁気記録媒体の
材料に最も大きなカー回転角を有するＴｂＦｅＧｄＣｏ
四元系非晶質合金が注目されている。
材料に最も大きなカー回転角を有するＴｂＦｅＧｄＣｏ
四元系非晶質合金が注目されている。
しかしながら、この合金は高価な希土類元素が約３０％
を占めて招り、とりわけ、最も高価なＴｌ）を使用して
いるため、材料コストが大幅に上昇し、商品化の大きな
障害となっていた。
を占めて招り、とりわけ、最も高価なＴｌ）を使用して
いるため、材料コストが大幅に上昇し、商品化の大きな
障害となっていた。
本発明は上記事情に鑑み鋭意ａｔ究に努めた結果、Ｄｙ
の値段がＴｂに比べて半分以下であることに着目すると
共に、約０．１°と小さいカー回転角を有するＤｙＦｅ
二元系非晶質合金単体に所定量のＧｄＣｏ二元系非晶質
合金を添加し合金化することによってｐｙｒｅ合金の本
来の磁気構造を実効的に変化させて従って本発明は上記
知見に基づき完成されたものであり、その目的は四元系
非晶質合金の材料コストを低減せしめたＤｙＦｅＧｄＣ
ｃ＋合金から成る光磁気記録媒体を提供することにある
。
の値段がＴｂに比べて半分以下であることに着目すると
共に、約０．１°と小さいカー回転角を有するＤｙＦｅ
二元系非晶質合金単体に所定量のＧｄＣｏ二元系非晶質
合金を添加し合金化することによってｐｙｒｅ合金の本
来の磁気構造を実効的に変化させて従って本発明は上記
知見に基づき完成されたものであり、その目的は四元系
非晶質合金の材料コストを低減せしめたＤｙＦｅＧｄＣ
ｃ＋合金から成る光磁気記録媒体を提供することにある
。
本発明の他の目的は本来キュリ一温度の低いＪＦθ合金
を用いて、単層キュリー点記録を可能せしめる適当なキ
ュリ一温度に設定すると共に、カー回転角を増大させた
ＤｙＦｅＧｄＣｏ合金から成る光磁気記録媒体を提供す
ることにある。
を用いて、単層キュリー点記録を可能せしめる適当なキ
ュリ一温度に設定すると共に、カー回転角を増大させた
ＤｙＦｅＧｄＣｏ合金から成る光磁気記録媒体を提供す
ることにある。
本発明によ°れば、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有
するＤｙＦｅＧｄＣｏ四元系非晶質合金（以下、ＤｙＦ
ｅ＋ＭＯｏ合金と略す）薄膜から成ることを特徴とする
光磁気記録媒体が提供できる。
するＤｙＦｅＧｄＣｏ四元系非晶質合金（以下、ＤｙＦ
ｅ＋ＭＯｏ合金と略す）薄膜から成ることを特徴とする
光磁気記録媒体が提供できる。
以下、本発明の詳細な説明する。
本゛発明によれば、 ＴＩ）元素に替えて比較的安価な
りｙ元素を用いて商品コストを低減せしめたＤｙＦθＧ
ｄＣｏ合金薄膜を特徴とするものであり、更に、この合
金はＤｙＦｅ合金にＧｄＣｏ合金を添加した四元系合金
であることについて、次に述べる所見に基づいて優れた
カー回転角や適当なキュリ一温度を有する光磁気記録媒
体となることが考えられる。
りｙ元素を用いて商品コストを低減せしめたＤｙＦθＧ
ｄＣｏ合金薄膜を特徴とするものであり、更に、この合
金はＤｙＦｅ合金にＧｄＣｏ合金を添加した四元系合金
であることについて、次に述べる所見に基づいて優れた
カー回転角や適当なキュリ一温度を有する光磁気記録媒
体となることが考えられる。
即ち、Ｊ、 Ｍ、 Ｄ、 ＣｏｅｙがＪ、 ＡＴ）ｐＬ
Ｐｔ１ｙ８．４９１３＋１６４６ （１９７８）の論
文の中で述べているところによると、メスバウアー効果
実験によって非晶質ＧｄＯ。
Ｐｔ１ｙ８．４９１３＋１６４６ （１９７８）の論
文の中で述べているところによると、メスバウアー効果
実験によって非晶質ＧｄＯ。
合金では比較的単純なフェリー磁性体の磁気構造を成し
ていることに対して、非晶質ＤｙＦｅ合金は単イオンの
Ｄｙ原子が大きな磁気異方性を有するためにＤｙとＦｅ
の磁気モーメントは全体としては反平行に向いているも
ののＤｙ原子のモーメント及びＦｅ原子のモーメントは
いずれも円錐状に広がりを有した磁気構造となっている
。この広がりの程度はコーンアングルと呼ばれる。また
カー回転角は遷移金属元素の副格子磁化に依存している
ことが既に実験的に示されており、ＤｙＦｅ合金のカー
回転角が小さいのはこれを担うＦｅ原子のモーメントが
合金のような互いのモーメントが反平行に向いた単純な
フェリ磁性元素を添加し、これとの磁気交換相互作用に
よってＤｙＦｅ二元系合金単体のときのコーンアングル
より小さく縮めることが期待されるものとし、その結果
、 Ｆｅモーメントがより同一方向に向くためにカー回
転角がＤｙＦｅ二元系合金単体のものより飛躍的に向上
するものと見積った。
ていることに対して、非晶質ＤｙＦｅ合金は単イオンの
Ｄｙ原子が大きな磁気異方性を有するためにＤｙとＦｅ
の磁気モーメントは全体としては反平行に向いているも
ののＤｙ原子のモーメント及びＦｅ原子のモーメントは
いずれも円錐状に広がりを有した磁気構造となっている
。この広がりの程度はコーンアングルと呼ばれる。また
カー回転角は遷移金属元素の副格子磁化に依存している
ことが既に実験的に示されており、ＤｙＦｅ合金のカー
回転角が小さいのはこれを担うＦｅ原子のモーメントが
合金のような互いのモーメントが反平行に向いた単純な
フェリ磁性元素を添加し、これとの磁気交換相互作用に
よってＤｙＦｅ二元系合金単体のときのコーンアングル
より小さく縮めることが期待されるものとし、その結果
、 Ｆｅモーメントがより同一方向に向くためにカー回
転角がＤｙＦｅ二元系合金単体のものより飛躍的に向上
するものと見積った。
本発明者等は上記の考えに基づき、実験を繰り返した結
果、ＴｂＦｅＧｄＣｏ系四元系非晶質合金と同等な光磁
気特性を得られることが判った。
果、ＴｂＦｅＧｄＣｏ系四元系非晶質合金と同等な光磁
気特性を得られることが判った。
本発明によれば、ＤｙＦｅＧｄｏＯ合金を単層キュリ一
点記録材料と°して用いる場合、ＧｄＣｏの添加量を（
ＤＹ Ｘ Ｆｅ＋ −ｘ ）＋−ｚ （Ｇｄｙ Ｃｏ＋
−ｙ）ｚ と表示した時、Ｘが０．１０ ＜ Ｘ＜ ０
．３５、ｙが０．００ ＜ ｙ＜ １．００、Ｚが０．
０５ ＜ Ｚ ＜ ０．２５の範囲に設定するのが望ま
しい。
点記録材料と°して用いる場合、ＧｄＣｏの添加量を（
ＤＹ Ｘ Ｆｅ＋ −ｘ ）＋−ｚ （Ｇｄｙ Ｃｏ＋
−ｙ）ｚ と表示した時、Ｘが０．１０ ＜ Ｘ＜ ０
．３５、ｙが０．００ ＜ ｙ＜ １．００、Ｚが０．
０５ ＜ Ｚ ＜ ０．２５の範囲に設定するのが望ま
しい。
また、Ｃｒ’１００合金の合計した添加量が２５ ａｔ
ｏｍｉｃ％以上のＤｙＦｅＧｄＣｏ合金薄膜であっても
、その大きなカー回転角を活かして読み出し層専用の材
料として用いることができ、本発明者等の実験によれば
、書き込み層のＴｂＦθ非晶質垂直磁化膜の上に、Ｇｄ
とＣｏの合計した原子比が２５ ａｔｏｍｔｃ％以上の
ＤｙＦｅ（）Ｃ１００合金薄膜を読み出し層として形成
した二層構造において、ＴｂＦｅとの交換結合によって
キュリ一点書き込みができることを確認しており、Ｄｙ
ＦｅＧＣＬＣＯ合金薄膜のキュリ一温度に関係なく記録
でき、高い読み出し性能を発揮させることができた。尚
、本発明のＤｙＦｅＧｄＣｏ合金薄膜は補償組成に対し
、室温で希土類金属を多くし、補償点書き込みすること
も原理的１こ可能であるっ次に上記した本発明の光磁気
記録媒体を製作するに当り、スパッタリング、真空蒸着
、イオンブレーティング等４種々の方法でも製作できる
が、第１図のマグネトロンスパッタリング装置を用いた
製作方法を詳述する。
ｏｍｉｃ％以上のＤｙＦｅＧｄＣｏ合金薄膜であっても
、その大きなカー回転角を活かして読み出し層専用の材
料として用いることができ、本発明者等の実験によれば
、書き込み層のＴｂＦθ非晶質垂直磁化膜の上に、Ｇｄ
とＣｏの合計した原子比が２５ ａｔｏｍｔｃ％以上の
ＤｙＦｅ（）Ｃ１００合金薄膜を読み出し層として形成
した二層構造において、ＴｂＦｅとの交換結合によって
キュリ一点書き込みができることを確認しており、Ｄｙ
ＦｅＧＣＬＣＯ合金薄膜のキュリ一温度に関係なく記録
でき、高い読み出し性能を発揮させることができた。尚
、本発明のＤｙＦｅＧｄＣｏ合金薄膜は補償組成に対し
、室温で希土類金属を多くし、補償点書き込みすること
も原理的１こ可能であるっ次に上記した本発明の光磁気
記録媒体を製作するに当り、スパッタリング、真空蒸着
、イオンブレーティング等４種々の方法でも製作できる
が、第１図のマグネトロンスパッタリング装置を用いた
製作方法を詳述する。
図中、真空槽（１）の内部には、ＤｙＦｅから成る第１
ターゲツト＋２１、ＧｄＣｏから成る第２ターゲツト（
３）、回転駆動されることによりＤｙＦｅＧｄＣｏ合金
薄膜が形成される円板状の基板（４）が配置されている
。
ターゲツト＋２１、ＧｄＣｏから成る第２ターゲツト（
３）、回転駆動されることによりＤｙＦｅＧｄＣｏ合金
薄膜が形成される円板状の基板（４）が配置されている
。
第１ターゲツト（２）と基板（４）、並びに第２ターゲ
ツト（３）と基板（４）の開−こは、それぞれ高周波電
源（５）（６）により高周波電圧が印加されるとともに
、基板（４）に対して正もしくは負のバイアス電圧を印
加することができるようｆζ直流電源（７）が付設しで
ある。
ツト（３）と基板（４）の開−こは、それぞれ高周波電
源（５）（６）により高周波電圧が印加されるとともに
、基板（４）に対して正もしくは負のバイアス電圧を印
加することができるようｆζ直流電源（７）が付設しで
ある。
この第１．２ターゲツト（２１（３１の下側には、プレ
ーナーマグネトロン型カソードに基づき、アルニコ、フ
ェライト、サマリウムコバルト製の永久磁石＋８） （
９１が備えつけられ、これによ７．り電場と磁場の直交
するペニング放電現象を利用して放電ガス分子のイオン
化効率が高められ、量産に適した高速成膜が可能となる
。
ーナーマグネトロン型カソードに基づき、アルニコ、フ
ェライト、サマリウムコバルト製の永久磁石＋８） （
９１が備えつけられ、これによ７．り電場と磁場の直交
するペニング放電現象を利用して放電ガス分子のイオン
化効率が高められ、量産に適した高速成膜が可能となる
。
本発明において使用されるＤ３ｒ 、 Ｆ’ｅから成る
第１ターゲツト（２）は、例えばＦｅ製円板の上に角形
状のＤｙチップを適当な数だけ載置し、また、髄。
第１ターゲツト（２）は、例えばＦｅ製円板の上に角形
状のＤｙチップを適当な数だけ載置し、また、髄。
ＣＯから成る第２ターゲツト（３）はＣ○製内円板主１
こ角形状のＧｄチップを適当な数だけ載置して構成され
るが、Ｄｙ製円板の上にＦｅチップ及びＧｄ製円板の上
にＣＯチップを載置したものであってもよく、更に、斯
様なチップの形状を角形状に代えて爪形状等任意の形状
に変更してもよい。この他、第１ターゲツト（２）をＤ
ｙＦｅ合金マタハＦｅｃＯ合金、第２ターゲツト（３）
をＧｄＣ０合金またはＤｙ１３’１合金によ、り構成し
ても同等の効果が達成できる。更に、ひとつのターゲッ
ト電極によりＤｙＦｅ合金製円板またはＦｅＣｊｏ合金
製円板の上ｌζＧ１Ｃｏ合金チップまたはＤＶ尉金合金
チップ載置したものでありてもよく、また、ＤｙＦｅＧ
ＣＬＣｏ四元合金製円板により構成しても何ら変わると
ころがないのは、言うまでもない。
こ角形状のＧｄチップを適当な数だけ載置して構成され
るが、Ｄｙ製円板の上にＦｅチップ及びＧｄ製円板の上
にＣＯチップを載置したものであってもよく、更に、斯
様なチップの形状を角形状に代えて爪形状等任意の形状
に変更してもよい。この他、第１ターゲツト（２）をＤ
ｙＦｅ合金マタハＦｅｃＯ合金、第２ターゲツト（３）
をＧｄＣ０合金またはＤｙ１３’１合金によ、り構成し
ても同等の効果が達成できる。更に、ひとつのターゲッ
ト電極によりＤｙＦｅ合金製円板またはＦｅＣｊｏ合金
製円板の上ｌζＧ１Ｃｏ合金チップまたはＤＶ尉金合金
チップ載置したものでありてもよく、また、ＤｙＦｅＧ
ＣＬＣｏ四元合金製円板により構成しても何ら変わると
ころがないのは、言うまでもない。
本発明においては、カー薗転角が大きく、且っ高保磁力
、角形比にも優れた好適な光磁気記録媒体を得るために
、基板（４）に対して正もしくは負のバイアス電圧を印
加してもよいが、無バイアスによっても本発明の目的を
十分に達成することができる。このとき、雰囲気ガス圧
を所定の範囲に設定するのがよく、雰囲気ガス圧がＩ
Ｘ １０’ Ｔｏｒｒ未満では安定な放電状態が得られ
ず、成膜が困難となり、５０ Ｘ １０ Ｔｏｒｒを越
えると、磁妻性薄膜中に含まれるアルゴン（Ａｒ）や酸
素（０）が増加して膜特性が劣化し、大きなカー回転角
や大きな保磁力を得ることがむずかしく、また均一性、
安定性も得ニクくナルタメ、Ｉ Ｘ １０−３〜５０
Ｘ １０−’’ｒｏｒｒ 、好適には３ Ｘ １０ 〜
２０ Ｘ １０ Ｔｏｒｒ（７）範囲に設定される。
、角形比にも優れた好適な光磁気記録媒体を得るために
、基板（４）に対して正もしくは負のバイアス電圧を印
加してもよいが、無バイアスによっても本発明の目的を
十分に達成することができる。このとき、雰囲気ガス圧
を所定の範囲に設定するのがよく、雰囲気ガス圧がＩ
Ｘ １０’ Ｔｏｒｒ未満では安定な放電状態が得られ
ず、成膜が困難となり、５０ Ｘ １０ Ｔｏｒｒを越
えると、磁妻性薄膜中に含まれるアルゴン（Ａｒ）や酸
素（０）が増加して膜特性が劣化し、大きなカー回転角
や大きな保磁力を得ることがむずかしく、また均一性、
安定性も得ニクくナルタメ、Ｉ Ｘ １０−３〜５０
Ｘ １０−’’ｒｏｒｒ 、好適には３ Ｘ １０ 〜
２０ Ｘ １０ Ｔｏｒｒ（７）範囲に設定される。
本装置においては基板１回転当り０．１〜３ｏλ好適ｆ
ζは０．１−１０λとなるように基板の回転速度が設定
される。
ζは０．１−１０λとなるように基板の回転速度が設定
される。
また、成膜時には第１ターゲツト（２）と基板（４）の
間に０〜２．５ Ｋｗの高周波電力が印加、されると同
時に、第２ターゲツト（３）と基板（４）の間にも０〜
２．５ｋｗの高周波電力が印加されることにより、Ｄｙ
及びＦｅの元素と則及びＣ６の元素が所定の比率から成
るＤｙＦｅ（ＭＣＯ’合金薄膜が形成される。
間に０〜２．５ Ｋｗの高周波電力が印加、されると同
時に、第２ターゲツト（３）と基板（４）の間にも０〜
２．５ｋｗの高周波電力が印加されることにより、Ｄｙ
及びＦｅの元素と則及びＣ６の元素が所定の比率から成
るＤｙＦｅ（ＭＣＯ’合金薄膜が形成される。
次に、本発明の実施例を述べる。
上述した第１図に示すマグネトロンスパッタリング装置
を使用し、第１ターゲツト（２）としてはＦｅ製円板（
６インチφ）の上にＤｙチップ（，１ｃｍ角形）を霞き
、第２ターゲツト（３）としてはＣｏ製円板（６インチ
φ）の上に匡チップ（ｌ ａｍ角形）を置いたものとし
た。
を使用し、第１ターゲツト（２）としてはＦｅ製円板（
６インチφ）の上にＤｙチップ（，１ｃｍ角形）を霞き
、第２ターゲツト（３）としてはＣｏ製円板（６インチ
φ）の上に匡チップ（ｌ ａｍ角形）を置いたものとし
た。
真空槽（１）の到達真空度を５ Ｘ １０ Ｔｏｒｒと
し、アルゴンのガス圧を５ Ｘ １０ Ｔｏｒｒに設定
し、プレスパツタ後、第１ターゲツト（２）に印加する
高周波電力量を所定値に設定すると同時に、第２ターゲ
ツト（３）に印加される高周波電力を変化させることに
よってＧ６Ｃ０添加量の異なったＤｙＦｅＧ１Ｃｏ合金
薄膜を基板（４）上に形成した。これらの薄膜について
Ｘ線回折及びトルクメーターにより測定したところ、そ
れぞれ非晶質及び垂直磁化膜となっていることが確かめ
られた。
し、アルゴンのガス圧を５ Ｘ １０ Ｔｏｒｒに設定
し、プレスパツタ後、第１ターゲツト（２）に印加する
高周波電力量を所定値に設定すると同時に、第２ターゲ
ツト（３）に印加される高周波電力を変化させることに
よってＧ６Ｃ０添加量の異なったＤｙＦｅＧ１Ｃｏ合金
薄膜を基板（４）上に形成した。これらの薄膜について
Ｘ線回折及びトルクメーターにより測定したところ、そ
れぞれ非晶質及び垂直磁化膜となっていることが確かめ
られた。
か（して得られたＤｙＦθＧｄＣｏ合金薄膜について、
カー回転角を対称角振動法に用いたカー効果測定装置に
より、保磁力及びキュリ一温度を振動試料型磁力計（Ｖ
ＳＭ）で測定し、更に組成分析を１０２発光分光装置に
より測定したところ、第１表に示す第１表より、試料番
号４及び５が単層キュリ一点記録用媒体として最適な値
をとっていることが判る。
カー回転角を対称角振動法に用いたカー効果測定装置に
より、保磁力及びキュリ一温度を振動試料型磁力計（Ｖ
ＳＭ）で測定し、更に組成分析を１０２発光分光装置に
より測定したところ、第１表に示す第１表より、試料番
号４及び５が単層キュリ一点記録用媒体として最適な値
をとっていることが判る。
第２図はこの結果に基づいて、ＤｙＦｅ合金に対するＧ
ｄＣ０添加効果をカー回転角特性曲線ピ）、保磁力特性
曲線（ｏ）及びキュリ一温度特性曲線（／埼として表わ
した図である。
ｄＣ０添加効果をカー回転角特性曲線ピ）、保磁力特性
曲線（ｏ）及びキュリ一温度特性曲線（／埼として表わ
した図である。
第２図より明らかな通り、 （ＭＯｏが少量添加される
ことにより、ＤｙＦｅのカー回転角よりも２倍以上の大
幅な増加を示し、更に添加量が増加するのに伴ってカー
回転角及びキュリ一温度が上昇するのが判る。
ことにより、ＤｙＦｅのカー回転角よりも２倍以上の大
幅な増加を示し、更に添加量が増加するのに伴ってカー
回転角及びキュリ一温度が上昇するのが判る。
また、ＧｔｌＣｏの添加量が約２５ ａｔｏｍｉｃ％ま
でであれば、単層でのキュリ一点書き込みができること
は明らかであり、保磁力についても、ＧｄＣ０を添加す
るのに伴って増大しており１、微小ビットの安定性に寄
与する。
でであれば、単層でのキュリ一点書き込みができること
は明らかであり、保磁力についても、ＧｄＣ０を添加す
るのに伴って増大しており１、微小ビットの安定性に寄
与する。
更に、比較例としてＴｂＦｅ 、 （ＭＣｏ 、 Ｔｂ
ＦｅＣｏ 。
ＦｅＣｏ 。
Ｔｔ）ＦｅＧｄＣＯのそれぞれの合金を第２表に示した
。
。
＠１表及び第２表より明らかな通り、 ＧｄＣｏ合金（
試料番号２）以外のキュリ一点記録可能な範囲の主な材
料ｌこおいて、 Ｔｂを含む材料系の中で最も優れたＴ
ｂＦｅＧαＣｏ四元糸非晶質合全元糸非晶質合金）と同
等な特性が得られていることが判る。
試料番号２）以外のキュリ一点記録可能な範囲の主な材
料ｌこおいて、 Ｔｂを含む材料系の中で最も優れたＴ
ｂＦｅＧαＣｏ四元糸非晶質合全元糸非晶質合金）と同
等な特性が得られていることが判る。
第３図はＧｄＣｏの添加量に応じた媒体（試料番号１乃
至４）について、カー回転角の波長依存性を表わしてい
る。特性曲線に）ヰ）（へ）及び（ト）はそれぞれ試料
番号１，２．３及び４を用いて測定した結果である。
至４）について、カー回転角の波長依存性を表わしてい
る。特性曲線に）ヰ）（へ）及び（ト）はそれぞれ試料
番号１，２．３及び４を用いて測定した結果である。
第３図より、各媒体とも全波長領域に亘って長波長側に
なるのに伴ってカー回転角が増大していることが判る。
なるのに伴ってカー回転角が増大していることが判る。
これにより、実用の半導体レーザーが波長５ｏｏｏ Ａ
近傍にあることから有利な特性を有していることになる
。
近傍にあることから有利な特性を有していることになる
。
尚、第１表及び第２表、並び！ご第２図及び第３図で示
された結果は、すべて同じ装置を用いて同じ条件で作成
し、同じ評価手段で測定した値である。
された結果は、すべて同じ装置を用いて同じ条件で作成
し、同じ評価手段で測定した値である。
上述の実施例から明らかなように、キュリ一温度の低い
ＤｙＦｅ合金を用いて、単層キュリ一点記録を可能せし
める適当なキュリ一温度）こ設定すると共にカー回転角
を増大させることができた。更１こ優れた光磁気特性を
もつ’ｒｂＦｅａａｃｏ四元系非晶質合金と同等な特性
を有するＤｙＦｅＧｄｃｏ合金薄膜が提供でき、材料コ
ストを低減せしめた光磁気記録媒体となった。
ＤｙＦｅ合金を用いて、単層キュリ一点記録を可能せし
める適当なキュリ一温度）こ設定すると共にカー回転角
を増大させることができた。更１こ優れた光磁気特性を
もつ’ｒｂＦｅａａｃｏ四元系非晶質合金と同等な特性
を有するＤｙＦｅＧｄｃｏ合金薄膜が提供でき、材料コ
ストを低減せしめた光磁気記録媒体となった。
゛ 第１図は光磁気記録媒体を生成するためのマグネト
ロンスパッタリング装置の概略図、第２図はカー回転角
、保磁力及びキュリ一温度の各特性曲線を示した図、第
３図はカー回転角の波長依存特性曲線を示した図である
。 ２・・第１ターゲツト、３・・・第２ターゲツト、４・
・・基板 特許出願人京セラ株式会社 第８図 巳皮東 （口ｎ１） 手続補正書（自発） 昭和５９年３月１関Ｓ自 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １、 事件の表示 昭和５９年特許願第 ２９ｉ２号２
、発明の名称 光磁気記録媒体 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 京都市山科区東野北井ノ上町５番地の２２４、補
正命令の日付 自発補正 ５、補正の対象 願書及び明細書 ６、補正の内容 別紙のとおり、タイプ印書による願書および明細書 ７
、ぐ；（コさ、
ロンスパッタリング装置の概略図、第２図はカー回転角
、保磁力及びキュリ一温度の各特性曲線を示した図、第
３図はカー回転角の波長依存特性曲線を示した図である
。 ２・・第１ターゲツト、３・・・第２ターゲツト、４・
・・基板 特許出願人京セラ株式会社 第８図 巳皮東 （口ｎ１） 手続補正書（自発） 昭和５９年３月１関Ｓ自 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 １、 事件の表示 昭和５９年特許願第 ２９ｉ２号２
、発明の名称 光磁気記録媒体 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 京都市山科区東野北井ノ上町５番地の２２４、補
正命令の日付 自発補正 ５、補正の対象 願書及び明細書 ６、補正の内容 別紙のとおり、タイプ印書による願書および明細書 ７
、ぐ；（コさ、
Claims (1)
- 膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有するＤｙＦｅＧｃｌ
Ｃｏ四元系非晶質合金薄膜から成ることを特徴とする光
磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2938284A JPS60173746A (ja) | 1984-02-17 | 1984-02-17 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2938284A JPS60173746A (ja) | 1984-02-17 | 1984-02-17 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60173746A true JPS60173746A (ja) | 1985-09-07 |
Family
ID=12274584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2938284A Pending JPS60173746A (ja) | 1984-02-17 | 1984-02-17 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60173746A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60251540A (ja) * | 1984-05-26 | 1985-12-12 | Ricoh Co Ltd | 非晶質磁気光学層 |
| JPH01112549A (ja) * | 1987-10-26 | 1989-05-01 | Fuji Electric Co Ltd | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| US5094925A (en) * | 1989-06-30 | 1992-03-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Opto-magnetic recording medium |
| US5635296A (en) * | 1993-06-21 | 1997-06-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magneto-optical recording medium whereon overwriting is permitted by light intensity modulation |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60107751A (ja) * | 1983-11-17 | 1985-06-13 | Canon Inc | 光熱磁気記録媒体 |
-
1984
- 1984-02-17 JP JP2938284A patent/JPS60173746A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60107751A (ja) * | 1983-11-17 | 1985-06-13 | Canon Inc | 光熱磁気記録媒体 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60251540A (ja) * | 1984-05-26 | 1985-12-12 | Ricoh Co Ltd | 非晶質磁気光学層 |
| JPH01112549A (ja) * | 1987-10-26 | 1989-05-01 | Fuji Electric Co Ltd | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| US5094925A (en) * | 1989-06-30 | 1992-03-10 | Sharp Kabushiki Kaisha | Opto-magnetic recording medium |
| US5635296A (en) * | 1993-06-21 | 1997-06-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magneto-optical recording medium whereon overwriting is permitted by light intensity modulation |
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