JPS60163663U - 電子顕微鏡等の真空排気装置 - Google Patents
電子顕微鏡等の真空排気装置Info
- Publication number
- JPS60163663U JPS60163663U JP5070684U JP5070684U JPS60163663U JP S60163663 U JPS60163663 U JP S60163663U JP 5070684 U JP5070684 U JP 5070684U JP 5070684 U JP5070684 U JP 5070684U JP S60163663 U JPS60163663 U JP S60163663U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron microscopes
- container
- evacuated
- vacuum exhaust
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は電子顕微鏡に用いられている従来の真空排気系
を示す図、第2図は本考案の一実施例の排気系を示す図
、第3図は他の実施例の排気系を示す図である。 1・・・真空容器、2・・・真空バルブ、3・・・予備
排 −管、4・・・主排管、5・・・真空バルブ、6・
・・油拡散ポンプ、又はターボモレキュラーポンプ、7
・・・真空バルブ、8・・田−タリーポンプ、9.10
.11・・・リークバルブ。
を示す図、第2図は本考案の一実施例の排気系を示す図
、第3図は他の実施例の排気系を示す図である。 1・・・真空容器、2・・・真空バルブ、3・・・予備
排 −管、4・・・主排管、5・・・真空バルブ、6・
・・油拡散ポンプ、又はターボモレキュラーポンプ、7
・・・真空バルブ、8・・田−タリーポンプ、9.10
.11・・・リークバルブ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 被排気容器を油回転ポンプとターボモレキュラーポ
ンプの構成で真空排気する排気装置において被排気容器
とターボ分子ポンプの接続を予備排管を用いない直結と
したことを特徴とする電子顕微鏡の真空排気装置。 2 実用新案登録請求の範囲において、ターボ分子ポン
プと被排気容器間に真空遮断用バルブおよびリーク用バ
ルブを設けたことを特徴とする電子顕微鏡等の真空排気
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5070684U JPS60163663U (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | 電子顕微鏡等の真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5070684U JPS60163663U (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | 電子顕微鏡等の真空排気装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60163663U true JPS60163663U (ja) | 1985-10-30 |
Family
ID=30569090
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5070684U Pending JPS60163663U (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | 電子顕微鏡等の真空排気装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60163663U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01118190U (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-09 |
-
1984
- 1984-04-09 JP JP5070684U patent/JPS60163663U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01118190U (ja) * | 1988-02-03 | 1989-08-09 |
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