JPS60151580U - 回転塗布装置の基板ホルダ− - Google Patents
回転塗布装置の基板ホルダ−Info
- Publication number
- JPS60151580U JPS60151580U JP4148984U JP4148984U JPS60151580U JP S60151580 U JPS60151580 U JP S60151580U JP 4148984 U JP4148984 U JP 4148984U JP 4148984 U JP4148984 U JP 4148984U JP S60151580 U JPS60151580 U JP S60151580U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate holder
- substrate
- spin coating
- coating equipment
- holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来の基板ホルダーにより塗布したフォトレジ
スト膜厚分布を示す図、第2図は本考案の一実施例によ
る基板ホルダーの斜視図、第3図は本考案の基板ホルダ
ーを使用して塗布したフォトレジスト膜厚分布を示す断
面図、第4図は基板ホルダー凹部に深さ調節機構を設け
た本考案の変形実施例によるホルダーの断面図である。 図において、1は基板、2はフォトレジスト膜、21は
フォトレジスト膜凸部、3及び4はホルダー、31及び
41はホルダー凹部、32及び42、はホルダー周辺部
、43は基板受は台、44は調節ネジである。
スト膜厚分布を示す図、第2図は本考案の一実施例によ
る基板ホルダーの斜視図、第3図は本考案の基板ホルダ
ーを使用して塗布したフォトレジスト膜厚分布を示す断
面図、第4図は基板ホルダー凹部に深さ調節機構を設け
た本考案の変形実施例によるホルダーの断面図である。 図において、1は基板、2はフォトレジスト膜、21は
フォトレジスト膜凸部、3及び4はホルダー、31及び
41はホルダー凹部、32及び42、はホルダー周辺部
、43は基板受は台、44は調節ネジである。
Claims (2)
- (1)基板にフォトレジスト膜を回転塗布する装置にお
ける基板ホルダーであって、その上面に基板の外形と同
一形状で、かつ該基板の厚さと同一の深さの凹部を設け
たことを特徴とする回転塗布装置の基板ホルダー。 - (2) 上記凹部内に、基板の厚みに応じて該凹部の
深さを変え、基板上面と基板ホルダー上面とを同一平面
となす調節機構を設けたことを特徴とする実用新案登録
請求の範囲第(1)項に記載の回転塗布装置の基板ホル
ダー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4148984U JPS60151580U (ja) | 1984-03-22 | 1984-03-22 | 回転塗布装置の基板ホルダ− |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4148984U JPS60151580U (ja) | 1984-03-22 | 1984-03-22 | 回転塗布装置の基板ホルダ− |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60151580U true JPS60151580U (ja) | 1985-10-08 |
Family
ID=30551361
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4148984U Pending JPS60151580U (ja) | 1984-03-22 | 1984-03-22 | 回転塗布装置の基板ホルダ− |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60151580U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002336764A (ja) * | 2001-05-14 | 2002-11-26 | Tatsumo Kk | 成膜装置 |
-
1984
- 1984-03-22 JP JP4148984U patent/JPS60151580U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002336764A (ja) * | 2001-05-14 | 2002-11-26 | Tatsumo Kk | 成膜装置 |
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