JPS60135849A - エレクトロンプロ−ブマイクロアナライザによる定性分析方法 - Google Patents
エレクトロンプロ−ブマイクロアナライザによる定性分析方法Info
- Publication number
- JPS60135849A JPS60135849A JP58248823A JP24882383A JPS60135849A JP S60135849 A JPS60135849 A JP S60135849A JP 58248823 A JP58248823 A JP 58248823A JP 24882383 A JP24882383 A JP 24882383A JP S60135849 A JPS60135849 A JP S60135849A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/225—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material using electron or ion
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は主としてエレクトロンプローブマイクロアナラ
イザ（ＫＰＭＡ）を適凪して得られた測定データを定性
分析する方法に関する。
イザ（ＫＰＭＡ）を適凪して得られた測定データを定性
分析する方法に関する。
（ロ）従来技術
一般に、ＦｉＰＭＡを適用して試料中に含有される元素
の定性分析を行なうには特性Ｘ線の強度を測定して波長
プロフィールをめる。この場合、従来では試料中に微量
元素が含まれているときでも、それが他の強い強度を示
す元素の高次線ピークなのか本来の微量元素の示すピー
クなのかどうか明確化することができなかったので、ピ
ーク認定の判断を誤り、定性分析の信頼性が損なわれる
場合があった。
の定性分析を行なうには特性Ｘ線の強度を測定して波長
プロフィールをめる。この場合、従来では試料中に微量
元素が含まれているときでも、それが他の強い強度を示
す元素の高次線ピークなのか本来の微量元素の示すピー
クなのかどうか明確化することができなかったので、ピ
ーク認定の判断を誤り、定性分析の信頼性が損なわれる
場合があった。
（ハ） 目的
本発明は従来の問題点を解消し、微量含有元素について
も充分に定性分析できるようにして分析の信頼度を向上
させることを目的とする。
も充分に定性分析できるようにして分析の信頼度を向上
させることを目的とする。
に）構成
本発明はこのような目的を達成するため、エレクトロン
プローブマイクロアナライザ（ＫＰＭＡ）を適用し、試
料の特性Ｘ線強度を測定して波長プロフィールをめ、こ
の波長プロフィール内に含まれる最大ピーク波長を基に
元素を同定し、同定元素の一次線強度から順次高次線の
強度をめ、求めた同定元素の強度データを前記波長プロ
フィールより差し引き、差し引かれた波長プロフィ呼ル
について残余のピークの有無を判定して順次試料の含有
元素を分析するようにしている。
プローブマイクロアナライザ（ＫＰＭＡ）を適用し、試
料の特性Ｘ線強度を測定して波長プロフィールをめ、こ
の波長プロフィール内に含まれる最大ピーク波長を基に
元素を同定し、同定元素の一次線強度から順次高次線の
強度をめ、求めた同定元素の強度データを前記波長プロ
フィールより差し引き、差し引かれた波長プロフィ呼ル
について残余のピークの有無を判定して順次試料の含有
元素を分析するようにしている。
（ホ）実施例
以下、本発明を実施例について図面に基づいて詳細に説
明する。
明する。
第１図は本発明を実施するために適用される定性分析装
置とＦｉＰＭＡとを含むブロック構成図である。同図に
お吟て符号１はＦ！、ＰＭＡ、２は定性分析装置、４は
ＥＰＭＡｌと定性分析装置２とを接続するインタフェイ
スである。この定性分析装置２は各種制御処理を行なう
中央制御部６、特性Ｘｌｉｇｊ１波長データファイルや
各種プログラムデータが記憶された第１記憶部、ＥＰＭ
Ａｉで測定された特性Ｘ線強度データや中央制御部６で
処理したデータを一時記憶する第２記憶部、特性Ｘ線の
波長プロフィール中に含まれるピークの有無を検出する
ピーク検出部１２、特性Ｘ線の強度データの引き算など
の演算処理を行なう演算処理部１４、演算結果を表示す
る表示部１６とを備えて構成される。
置とＦｉＰＭＡとを含むブロック構成図である。同図に
お吟て符号１はＦ！、ＰＭＡ、２は定性分析装置、４は
ＥＰＭＡｌと定性分析装置２とを接続するインタフェイ
スである。この定性分析装置２は各種制御処理を行なう
中央制御部６、特性Ｘｌｉｇｊ１波長データファイルや
各種プログラムデータが記憶された第１記憶部、ＥＰＭ
Ａｉで測定された特性Ｘ線強度データや中央制御部６で
処理したデータを一時記憶する第２記憶部、特性Ｘ線の
波長プロフィール中に含まれるピークの有無を検出する
ピーク検出部１２、特性Ｘ線の強度データの引き算など
の演算処理を行なう演算処理部１４、演算結果を表示す
る表示部１６とを備えて構成される。
次に本装置を用いた定性分析方法について第２図のフロ
ーチャートを参照して説明する。
ーチャートを参照して説明する。
まず］ｌＤ、ＰＭＡＩで、分析試料について点分析を行
ない、ＥＰＭＡ ｌのＸ線分光器を回して試料から放出
される特性Ｘ線の強度を測定し、得られる波長プロフィ
ールのデータをインタフェイス４を介して定性分析装置
２に送出する（ステップｎ、）。
ない、ＥＰＭＡ ｌのＸ線分光器を回して試料から放出
される特性Ｘ線の強度を測定し、得られる波長プロフィ
ールのデータをインタフェイス４を介して定性分析装置
２に送出する（ステップｎ、）。
定性分析装置２の中央制御部６に入力された波長プロフ
ィールのデータはピーク検出部１２に転送される。ピー
ク検出部１２は得られた波長プロフィールについてピー
クが存在するか否かを検出する（ステップＩＬｉ）。波
長プロフィールにたとえば第３図（ａ）に示すようなピ
ークが存在する場合、測定対象区間Ｘ内の最大ピーク（
第３図（ａ）中のＦＡ□）が一つの元素Ａの一次線強度
を示すので、中央制御部６はピーク検出部１２のピーク
検出信号に基づき当該ピークＰ Ａ１を示す元素を第１
記憶部８に記憶された特性Ｘ線波長データファイルを参
照して同定する（ステップｎａ）。続いて、中央制御部
６は第１記憶部８から゛読み出した同定元素への強度デ
ータを演算処理＄１４に転送するので、演算処理部１４
は同定元素Ａのこの測定条件のもとての二法線以上の高
次線のＸ線強度データＰＡ２〜Ｐ Ａ、を−法線の強度
Ｐ Ａ、割合から算出する。そして、中央制御部６は演
算処理部１４で算出されたこの同定元素Ａとこれが示す
強度データＰＡ１〜ＰＡ４を第２肥憶部１０に転送して
ここにメモリする（ステップｎ、）。さらに、中央制御
部６は先に測定して得られた波長プロフィール（第２図
（ａ））と同定光素人の強度データｐＡ□〜Ｐ Ａ４と
を第２記憶部１０より読み出し、これを再び演算処理部
１４に送出するので、演算処理部１４により先の波長プ
ロフィールより同定光素人の強度データＰ Ａ、〜Ｐ
Ａ４を差し引く （ステップへ）。次いで、中央制御部
６は演算処理部１４で差し引かれた残りの波長プロフィ
ールのデータをピーク検出部１２に転送するのでピーク
検出部１２はピークが存在するか否かを判定する（ステ
ップｎ６）。第３図（１））に示すようにピークが依然
存在する場合にはステップ）に戻り、前述と同様にして
測定対象区間Ｘ内の最大ピーク（第３図（１））のｊｓ
、）が一つの元素Ｂの一次線強度を示すので中央制御部
６は、これを基に当該ピークＰＢ１を示す元素を第１記
憶部８に記憶された特性Ｘ線波長データファイルを参照
して同定する。そして、演算処理部１４で同定元素Ｂの
強度データＰＢ１〜Ｐ Ｂ５を算出し、メモリした後す
でに差引いた波゛長プロフィール（第３図（ｂ））より
さらに同定元素Ｂの強度データＦ Ｂ１〜Ｐ Ｂ５を差
引く。そうすると残余の波長プロフィチルは第３図（Ｃ
）のようになる。このようにして残余のピークがなくな
るまで順次ステップ−からステップへまでの操作を繰返
す。そして処理が終了した結果は表示器１６に表示され
る。従って、一つの元素のピークと他の元素のピークと
が重なっている可能性のあるときでも各元素ごとにピー
クが明確化されるので、ピーク認定を誤ることはない。
ィールのデータはピーク検出部１２に転送される。ピー
ク検出部１２は得られた波長プロフィールについてピー
クが存在するか否かを検出する（ステップＩＬｉ）。波
長プロフィールにたとえば第３図（ａ）に示すようなピ
ークが存在する場合、測定対象区間Ｘ内の最大ピーク（
第３図（ａ）中のＦＡ□）が一つの元素Ａの一次線強度
を示すので、中央制御部６はピーク検出部１２のピーク
検出信号に基づき当該ピークＰ Ａ１を示す元素を第１
記憶部８に記憶された特性Ｘ線波長データファイルを参
照して同定する（ステップｎａ）。続いて、中央制御部
６は第１記憶部８から゛読み出した同定元素への強度デ
ータを演算処理＄１４に転送するので、演算処理部１４
は同定元素Ａのこの測定条件のもとての二法線以上の高
次線のＸ線強度データＰＡ２〜Ｐ Ａ、を−法線の強度
Ｐ Ａ、割合から算出する。そして、中央制御部６は演
算処理部１４で算出されたこの同定元素Ａとこれが示す
強度データＰＡ１〜ＰＡ４を第２肥憶部１０に転送して
ここにメモリする（ステップｎ、）。さらに、中央制御
部６は先に測定して得られた波長プロフィール（第２図
（ａ））と同定光素人の強度データｐＡ□〜Ｐ Ａ４と
を第２記憶部１０より読み出し、これを再び演算処理部
１４に送出するので、演算処理部１４により先の波長プ
ロフィールより同定光素人の強度データＰ Ａ、〜Ｐ
Ａ４を差し引く （ステップへ）。次いで、中央制御部
６は演算処理部１４で差し引かれた残りの波長プロフィ
ールのデータをピーク検出部１２に転送するのでピーク
検出部１２はピークが存在するか否かを判定する（ステ
ップｎ６）。第３図（１））に示すようにピークが依然
存在する場合にはステップ）に戻り、前述と同様にして
測定対象区間Ｘ内の最大ピーク（第３図（１））のｊｓ
、）が一つの元素Ｂの一次線強度を示すので中央制御部
６は、これを基に当該ピークＰＢ１を示す元素を第１記
憶部８に記憶された特性Ｘ線波長データファイルを参照
して同定する。そして、演算処理部１４で同定元素Ｂの
強度データＰＢ１〜Ｐ Ｂ５を算出し、メモリした後す
でに差引いた波゛長プロフィール（第３図（ｂ））より
さらに同定元素Ｂの強度データＦ Ｂ１〜Ｐ Ｂ５を差
引く。そうすると残余の波長プロフィチルは第３図（Ｃ
）のようになる。このようにして残余のピークがなくな
るまで順次ステップ−からステップへまでの操作を繰返
す。そして処理が終了した結果は表示器１６に表示され
る。従って、一つの元素のピークと他の元素のピークと
が重なっている可能性のあるときでも各元素ごとにピー
クが明確化されるので、ピーク認定を誤ることはない。
（へ）効果
以上のようｒ本発明によれば、同定元素ごとにその元素
の示す強度データを差し引いていくので微量含有元素が
存在する場合はこれが明確化されることになり定性分析
の信頼度が向上する々いう優れた効果が得られる。
の示す強度データを差し引いていくので微量含有元素が
存在する場合はこれが明確化されることになり定性分析
の信頼度が向上する々いう優れた効果が得られる。
図面は本発明の一実施例を示し、第１図は本発明を実施
するために適用される装置のブロック構成図、第２図は
定性分析の手順を説明するだめのフローチャート、第３
図は波長プロフィールを示す線図である。 出 願 人 株式会社島津製作所 代 理 人 弁理士岡田和秀 第１図
するために適用される装置のブロック構成図、第２図は
定性分析の手順を説明するだめのフローチャート、第３
図は波長プロフィールを示す線図である。 出 願 人 株式会社島津製作所 代 理 人 弁理士岡田和秀 第１図
Claims (1)
- ｉｌ＋ エレクトロンプローブマイクロアナライザ（Ｋ
ＰＭＡ）を適用し、試料の特性Ｘ線強度を測定して波長
プロフィールをめ、この波長プロフィール内に含まれる
最大ピーク波長を基に元素を同定し、同定元素の一次線
強度から順次高次線の強度をめ請求めた同定元素の強度
データを前記波長プロフ７？Ｉ−ルより差し引き、差し
引かれた波長プロフン寸ルについて残余のピークの有無
を判定して順次試料の含有元素を分析することを特徴と
するエレクトロンプローブマイクロアナライザによる定
性分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58248823A JPH0678998B2 (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 定性分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58248823A JPH0678998B2 (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 定性分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60135849A true JPS60135849A (ja) | 1985-07-19 |
| JPH0678998B2 JPH0678998B2 (ja) | 1994-10-05 |
Family
ID=17183944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58248823A Expired - Fee Related JPH0678998B2 (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 定性分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0678998B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6358240A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-14 | Jeol Ltd | 特性ｘ線スペクトルによる元素同定方法 |
| JPH01314956A (ja) * | 1988-06-16 | 1989-12-20 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光分析におけるデータ処理方法 |
| JPH01319239A (ja) * | 1988-06-20 | 1989-12-25 | Jeol Ltd | Ｘ線マイクロアナライザ |
| JPH04343052A (ja) * | 1991-05-17 | 1992-11-30 | Shimadzu Corp | 蛍光ｘ線分析による定性分析方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58210556A (ja) * | 1982-05-31 | 1983-12-07 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光分析装置 |
-
1983
- 1983-12-26 JP JP58248823A patent/JPH0678998B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58210556A (ja) * | 1982-05-31 | 1983-12-07 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光分析装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6358240A (ja) * | 1986-08-29 | 1988-03-14 | Jeol Ltd | 特性ｘ線スペクトルによる元素同定方法 |
| JPH01314956A (ja) * | 1988-06-16 | 1989-12-20 | Shimadzu Corp | Ｘ線分光分析におけるデータ処理方法 |
| JPH01319239A (ja) * | 1988-06-20 | 1989-12-25 | Jeol Ltd | Ｘ線マイクロアナライザ |
| JPH04343052A (ja) * | 1991-05-17 | 1992-11-30 | Shimadzu Corp | 蛍光ｘ線分析による定性分析方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0678998B2 (ja) | 1994-10-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |