JPS5987989A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
- Publication number
- JPS5987989A JPS5987989A JP57195905A JP19590582A JPS5987989A JP S5987989 A JPS5987989 A JP S5987989A JP 57195905 A JP57195905 A JP 57195905A JP 19590582 A JP19590582 A JP 19590582A JP S5987989 A JPS5987989 A JP S5987989A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- cooling
- laser
- cooling water
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
- B23K26/702—Auxiliary equipment
- B23K26/703—Cooling arrangements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Lasers (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、炭酸ガスレーザ装置の冷却方式に係り、特に
、レーザ出力が数キロワット以上の大出力炭酸ガスレー
ザのビームガイド傾斜平面鏡の冷却に関する。
、レーザ出力が数キロワット以上の大出力炭酸ガスレー
ザのビームガイド傾斜平面鏡の冷却に関する。
従来の炭酸ガスレーザ装置では、発振媒体である１／−
ザガスの他に、循環用ブロワのモータ、電気人力を与え
る電極、レーザ光を共Ｊｌｒ：させて出力させる光学系
などを直接又は間接的に水冷しており、レーザ光の発振
・出力に関係なく送水し冷却していた。その為、外気と
の温度差や多湿度により、傾斜平面鏡に結露することが
あり、レーザ光が散乱した９、吸収される問題があった
。まｌζ、結露することにより、大気中のゴミが付着し
で、レーザ光の発振により、鏡鮨面の焼きつきなどが生
じ、光の損失を生じるなどの問題があった。
ザガスの他に、循環用ブロワのモータ、電気人力を与え
る電極、レーザ光を共Ｊｌｒ：させて出力させる光学系
などを直接又は間接的に水冷しており、レーザ光の発振
・出力に関係なく送水し冷却していた。その為、外気と
の温度差や多湿度により、傾斜平面鏡に結露することが
あり、レーザ光が散乱した９、吸収される問題があった
。まｌζ、結露することにより、大気中のゴミが付着し
で、レーザ光の発振により、鏡鮨面の焼きつきなどが生
じ、光の損失を生じるなどの問題があった。
結露を防ぐ為には、レーザ装置の設置場所を望潤し、温
度や湿度を調整することが考えられるが窒調設備が莫大
になシ、実用的ではなく、また、傾斜平面鏡近傍のみの
空調も効果は期待できるが、常時運転する必狭がある。
度や湿度を調整することが考えられるが窒調設備が莫大
になシ、実用的ではなく、また、傾斜平面鏡近傍のみの
空調も効果は期待できるが、常時運転する必狭がある。
また、傾斜平面鏡の冷却温度を周温近くにすることや、
間接冷却Ｖこする考えもあるが、冷却が十分に行なえず
、実ハｊ的Ｃない。
間接冷却Ｖこする考えもあるが、冷却が十分に行なえず
、実ハｊ的Ｃない。
本発明の目的は、多湿な粂件で、傾斜平面鏡の表面に冷
却によって結露が生じるのを防止するにある。
却によって結露が生じるのを防止するにある。
以下、本発明の一実施例を図面により説明する。
レーザ装置１よシ送出されたレーザ光２は、前方にある
加工ヘッド３に入るが、レーザ装置とこの加工ヘッド３
０間には、Ａ−Ａ点からＡ、／ Ａ／に移動できる構
造と機構をもつ外部遮断鏡５がある。この外部遮断鏡が
Ａ／ Ａ／点にある場合、レーザ光は、パワーメー
タ４に導かれる。寸だ、Ａ−Ａ点にあるとき、レーザ光
は加工ヘッドへ導かれる。外部遮断鏡の移動機構には、
検出装置１４ 、．１５がついており、外部遮断鏡がＡ
−Ａ。
加工ヘッド３に入るが、レーザ装置とこの加工ヘッド３
０間には、Ａ−Ａ点からＡ、／ Ａ／に移動できる構
造と機構をもつ外部遮断鏡５がある。この外部遮断鏡が
Ａ／ Ａ／点にある場合、レーザ光は、パワーメー
タ４に導かれる。寸だ、Ａ−Ａ点にあるとき、レーザ光
は加工ヘッドへ導かれる。外部遮断鏡の移動機構には、
検出装置１４ 、．１５がついており、外部遮断鏡がＡ
−Ａ。
Ａ／ Ａ／にある場合、それぞれ１４．１５が信号を
一出ずようになっている。この検出装置の信号によって
電磁バルブ９，１０が開閉し７て、外部遮断鏡とレーザ
光の方向を変える傾斜平面鏡６への送水を制イ１ｌｉｌ
する。つまり、パワーメータによりパワーを測定する場
合、外部遮断鏡はＡ／ Ａ／点にあり、検出装置１５
から信号が出て電磁バルブ９を開の状態にし、冷却水が
外部遮断鏡を流れて冷却を行なう。まだ、加工ヘッドヘ
レーザ光が進み傾斜平面鏡によって曲げられ、集光レン
ズ７により集光され加工を行なう場合には、外部遮断鏡
は、Ａ−Ａ点にあり、検出装置１４から信号が出て電磁
バルブ１０が開の状態になり、傾斜平面鏡に冷却水が流
れて冷却するようになっている。逆に、レーザ光が通っ
ていない鏡には、冷却水が流れないため鏡表面が露点以
下になって結露が生じるのを防ぐことができる。なお、
図中１１は−ｈｎ工台、１２は被加工物、１３はチラー
である。
一出ずようになっている。この検出装置の信号によって
電磁バルブ９，１０が開閉し７て、外部遮断鏡とレーザ
光の方向を変える傾斜平面鏡６への送水を制イ１ｌｉｌ
する。つまり、パワーメータによりパワーを測定する場
合、外部遮断鏡はＡ／ Ａ／点にあり、検出装置１５
から信号が出て電磁バルブ９を開の状態にし、冷却水が
外部遮断鏡を流れて冷却を行なう。まだ、加工ヘッドヘ
レーザ光が進み傾斜平面鏡によって曲げられ、集光レン
ズ７により集光され加工を行なう場合には、外部遮断鏡
は、Ａ−Ａ点にあり、検出装置１４から信号が出て電磁
バルブ１０が開の状態になり、傾斜平面鏡に冷却水が流
れて冷却するようになっている。逆に、レーザ光が通っ
ていない鏡には、冷却水が流れないため鏡表面が露点以
下になって結露が生じるのを防ぐことができる。なお、
図中１１は−ｈｎ工台、１２は被加工物、１３はチラー
である。
本発明によると、外部ビームシャッタ、加工ヘッドの冷
却に、レーザ発振装置自身でガスの冷却に必要となる冷
却装置の冷却水を利用しても、過冷却による結露が発生
しないため、装置が簡単ですみ、外部ビームシャッタの
開閉という単純な状、ｉ、ｊｌｌ ｆＫ：検出する／ど
けの検出装置で冷却水をｉｌｉ’制御するため、外部か
らの制御は外部ビーム・／ヤソタの開閉だけで済むっ
却に、レーザ発振装置自身でガスの冷却に必要となる冷
却装置の冷却水を利用しても、過冷却による結露が発生
しないため、装置が簡単ですみ、外部ビームシャッタの
開閉という単純な状、ｉ、ｊｌｌ ｆＫ：検出する／ど
けの検出装置で冷却水をｉｌｉ’制御するため、外部か
らの制御は外部ビーム・／ヤソタの開閉だけで済むっ
図は本発明のレーザ加工装置の概略側断面図であるっ
１・・・レーザ発振器、６・・・傾斜平面鏡。
Claims (1)
- １、ガスを循環する装置と、ガスを冷却する熱交換器と
、レーザ発生のだめの光学系と、この光学系を冷却する
冷却装置と、レーザ発振器から出力されだレーザ光を、
しゃ断及びモニタする装置と、加工台の真」二でレーザ
光の方向を変える傾斜平面鏡と、この傾斜平面鏡により
曲げられたレーザ光を集光して加工物にあてる集光レン
ズとからなるものにおいて、前記傾斜平面鏡の冷却と、
それ以外の冷却を分離し、前記傾斜平面鏡の冷却水送水
や、送水停止を前記レーザ発振器からのレーザ光送出ど
連動させ、自動的に行なわせることを特徴とするレーザ
加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57195905A JPS5987989A (ja) | 1982-11-10 | 1982-11-10 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57195905A JPS5987989A (ja) | 1982-11-10 | 1982-11-10 | レ−ザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5987989A true JPS5987989A (ja) | 1984-05-21 |
Family
ID=16348930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57195905A Pending JPS5987989A (ja) | 1982-11-10 | 1982-11-10 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5987989A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61262476A (ja) * | 1985-05-16 | 1986-11-20 | Amada Co Ltd | レ−ザ加工機の光伝送用ミラ−装置の結露防止方法 |
| JPH09181383A (ja) * | 1995-12-27 | 1997-07-11 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器の調整装置 |
| EP1376786A1 (en) * | 2001-09-28 | 2004-01-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gas laser transmitter |
-
1982
- 1982-11-10 JP JP57195905A patent/JPS5987989A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61262476A (ja) * | 1985-05-16 | 1986-11-20 | Amada Co Ltd | レ−ザ加工機の光伝送用ミラ−装置の結露防止方法 |
| JPH09181383A (ja) * | 1995-12-27 | 1997-07-11 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器の調整装置 |
| EP1376786A1 (en) * | 2001-09-28 | 2004-01-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gas laser transmitter |
| EP1376786A4 (en) * | 2001-09-28 | 2007-08-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | GAS LASER EMITTER |
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