JPS5979122A - レ−ザパワ−測定装置 - Google Patents
レ−ザパワ−測定装置Info
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- JPS5979122A JPS5979122A JP57187556A JP18755682A JPS5979122A JP S5979122 A JPS5979122 A JP S5979122A JP 57187556 A JP57187556 A JP 57187556A JP 18755682 A JP18755682 A JP 18755682A JP S5979122 A JPS5979122 A JP S5979122A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はレーザパワーの測定方法に係シ、特に常時、レ
ーザパワーの測定が可能なレーザパワー測定装置に関す
る。
ーザパワーの測定が可能なレーザパワー測定装置に関す
る。
第１図は従来のレーザパワー測定方法を示すものである
が、レーザ光発生装置ｌよシ取シ出されたレーザ光２は
、反射鏡３によシ、受光素子４に導かれ、パワーメータ
５にその値が表示される。
が、レーザ光発生装置ｌよシ取シ出されたレーザ光２は
、反射鏡３によシ、受光素子４に導かれ、パワーメータ
５にその値が表示される。
一方、レーザ光２を使って、加工を行う時には反射鏡３
を、矢印方向６に移動させてレーザ光路から、除くこと
によシ、レーザ光２は反射鏡７、集光レンズ８を経て、
被加工物９に照射される。
を、矢印方向６に移動させてレーザ光路から、除くこと
によシ、レーザ光２は反射鏡７、集光レンズ８を経て、
被加工物９に照射される。
従って、この方法では、被加工物９を加工している状態
では、レーザパワーの測定ができないという欠点がある
。
では、レーザパワーの測定ができないという欠点がある
。
本発明の目的は、被加工物を加工している状態において
も、レーザパワーの測定が可能なレーザパワー測定装置
を提供することにある。
も、レーザパワーの測定が可能なレーザパワー測定装置
を提供することにある。
この目的を達成するために、本発明では、レーザ光路の
途中に設けた反射鏡の光面近傍に受光素子を配置し、反
射鏡で発生する散乱光を該受光素子によシ検出して、加
工状態においてもレーザ／くヮーを測定できるようにし
た。
途中に設けた反射鏡の光面近傍に受光素子を配置し、反
射鏡で発生する散乱光を該受光素子によシ検出して、加
工状態においてもレーザ／くヮーを測定できるようにし
た。
以下、本発明の実施例を第２図によシ説明する。
レーザ光発生装置１からの入射レーザ光１０は、反射鏡
７の表面で反射され、反射レーザ光１１となる。反射鏡
７０表面は、第３図に示すように微小な凹凸部７Ａによ
シ散乱光１２を生ずる。散乱光１２のパワーΔ几は、表
面の凹凸部７Ａの程度（δ）と、入射１／−ザ光１０の
パワーＲＯに比例した値で Δ几＝几０（４πδ／λ） ここで、λはレーザ光の波長 の式で表わされる。通常の製法による反射鏡７では、材
質ニ関係スルカ、λ−１０，６（μｍｌ 、 （ＣＯ２
レーザ）、の時、Δ几／Ｒｏ ”−０，０１〜０．０２
程度になる。
７の表面で反射され、反射レーザ光１１となる。反射鏡
７０表面は、第３図に示すように微小な凹凸部７Ａによ
シ散乱光１２を生ずる。散乱光１２のパワーΔ几は、表
面の凹凸部７Ａの程度（δ）と、入射１／−ザ光１０の
パワーＲＯに比例した値で Δ几＝几０（４πδ／λ） ここで、λはレーザ光の波長 の式で表わされる。通常の製法による反射鏡７では、材
質ニ関係スルカ、λ−１０，６（μｍｌ 、 （ＣＯ２
レーザ）、の時、Δ几／Ｒｏ ”−０，０１〜０．０２
程度になる。
１３は 散乱光１２のパワーを検出するだめの受光素子
で、検出結果はパワーメータ１４で指示される。
で、検出結果はパワーメータ１４で指示される。
この構成では、受光素子１３は、反射レーザ光１１の光
路の近傍に配置しているので、反射鏡７からの散乱光重
２は、はとんど受光素子１３に捕えられる。しだがって
、受光素子１３は散乱形２０強弱に応じて、出力が増減
するので、入射レーザ光のレーザパワーを測定できる。
路の近傍に配置しているので、反射鏡７からの散乱光重
２は、はとんど受光素子１３に捕えられる。しだがって
、受光素子１３は散乱形２０強弱に応じて、出力が増減
するので、入射レーザ光のレーザパワーを測定できる。
受光素子１３は、反射レーザ光の光路を妨げることなく
配置されているので、入射レーザ光１０を遮断すること
無く、レーザパワー全パワーメーク１４で測定できる。
配置されているので、入射レーザ光１０を遮断すること
無く、レーザパワー全パワーメーク１４で測定できる。
なお、１５は反射鏡７の法線である。
本発明者らの実験によれば、第２の構成において、受光
素子１２として、焦電型床子を使用、レーザ出力１ｋＷ
ｋ照射した場合、受光素子＋増巾器の組合せで、１ｖ程
度の出力が得られており、ＣＯ２Ｖ−ザの発振波長域で
動作する受光素子で、しばしば問題となる８／Ｎ比も４
０と太きく、十分使用できることが明らかとなっている
。
素子１２として、焦電型床子を使用、レーザ出力１ｋＷ
ｋ照射した場合、受光素子＋増巾器の組合せで、１ｖ程
度の出力が得られており、ＣＯ２Ｖ−ザの発振波長域で
動作する受光素子で、しばしば問題となる８／Ｎ比も４
０と太きく、十分使用できることが明らかとなっている
。
第４図は、ビームガイド１６ｆｃ設け、散乱光１２受光
素子１３に導く様に構成したもので、受光素子１３への
入射光強度を大とできるので、受光素子１３の出力信号
音大きくすることができる。ビームガイドの内面には高
反射率金有する金属がコーティング１２されており、ビ
ームガイド１６でのロスを少なくしている。なお、受光
素子には図示していないがパワーメータ１４に接続され
ている。
素子１３に導く様に構成したもので、受光素子１３への
入射光強度を大とできるので、受光素子１３の出力信号
音大きくすることができる。ビームガイドの内面には高
反射率金有する金属がコーティング１２されており、ビ
ームガイド１６でのロスを少なくしている。なお、受光
素子には図示していないがパワーメータ１４に接続され
ている。
第５図は受光面積の大きい受光素子を使用する場合の使
用例を示すものである。
用例を示すものである。
第６図の実施例は、反射鏡７と集光レンズ８との間に、
反射鏡を設置し、反射鏡３は反射レーザ光１工が被加工
物９を加工している時には破線の個所に移動する。そし
て、非加工時に反射鏡３′ｆ！：実線の個所に移動し、
反射レーザ光１１をパワーメータ４に導き、レーザパワ
ーの絶対量の測定全行って、同時にパワーメータ１４を
校正する。この結果、反射鏡７の表面状態の変化の影響
を除き、常時、精度の高いレーザパワーの７Ｊｉｌ定で
きる。
反射鏡を設置し、反射鏡３は反射レーザ光１工が被加工
物９を加工している時には破線の個所に移動する。そし
て、非加工時に反射鏡３′ｆ！：実線の個所に移動し、
反射レーザ光１１をパワーメータ４に導き、レーザパワ
ーの絶対量の測定全行って、同時にパワーメータ１４を
校正する。この結果、反射鏡７の表面状態の変化の影響
を除き、常時、精度の高いレーザパワーの７Ｊｉｌ定で
きる。
尚、上述の第２図ないし第５図で、第６図と同様にパワ
ーメータ１４にパワーメータ４の出力を転送し、校正す
る様に構成してもよいことは勿論である。
ーメータ１４にパワーメータ４の出力を転送し、校正す
る様に構成してもよいことは勿論である。
以上のように、本発明によれば、レーザ光によシ、被加
工物全加工している状態においても、精度の高いレーザ
パワーの測定ができる。
工物全加工している状態においても、精度の高いレーザ
パワーの測定ができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来のレーザパワーの測定装置の概略側断面図
、第２図ないし第６図は本発明の実施例であるレーザパ
ワーの測定装置の概略側断面図、第３図は、反射鏡の概
略側断面図である。 １・・・ｔ／−ザ発生、２・・・反射鏡、１２・・・散
乱光、１３・・・受光素子、１４・・・パワーメータ。 第４図 邸Ｔｈ−デ １頁の続き ０発 明 者 大橋常良 日立市幸町３丁目１番１号株式 ％式％
、第２図ないし第６図は本発明の実施例であるレーザパ
ワーの測定装置の概略側断面図、第３図は、反射鏡の概
略側断面図である。 １・・・ｔ／−ザ発生、２・・・反射鏡、１２・・・散
乱光、１３・・・受光素子、１４・・・パワーメータ。 第４図 邸Ｔｈ−デ １頁の続き ０発 明 者 大橋常良 日立市幸町３丁目１番１号株式 ％式％
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、レーザ光発生装置と該レーザ光発生装置からのレー
ザ光が照射される被照射物体間に、前記しレーザ光の光
路を変更するために反射鏡を挿入したものにおいて、該
反射鏡で反射されたレーザ光の光路の近傍に、該反射鏡
からの散乱光全検出するだめの受光素子を設けたこと’
ｃＩＪｉ！ｆ倣とするレーザパワー測定装置。 ゛ ２．第１項記載のレーザパワー測定装置において
前記反射鏡と、被照射物体間に、第２の反射鏡を移動可
能に配置し、被照射物体に、レーザ光を照射しない時間
に、第２の反射鏡からのレーザ光を第２の受光素子に導
き、該第２の受光素子の出力によシ、第１項記載の光素
子からの出力を較正するよう構成したこと全特徴とする
第１項記載のレーザパワー測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57187556A JPS5979122A (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | レ−ザパワ−測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57187556A JPS5979122A (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | レ−ザパワ−測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5979122A true JPS5979122A (ja) | 1984-05-08 |
Family
ID=16208138
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57187556A Pending JPS5979122A (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | レ−ザパワ−測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5979122A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01159984U (ja) * | 1988-04-21 | 1989-11-07 | ||
| FR2682476A1 (fr) * | 1991-10-10 | 1993-04-16 | Cheval Freres Sa | Procede pour la detection et la mesure de l'energie emise par une source laser et dispositif pour sa mise en óoeuvre. |
| WO2011127400A3 (en) * | 2010-04-08 | 2012-02-23 | Scaggs Michael J | Laser beam analysis apparatus |
| JP2012179627A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Amada Co Ltd | ファイバーレーザ加工機におけるレーザ出力および戻り光検出方法及びファイバーレーザ加工機の加工ヘッド |
| US8619247B1 (en) | 2010-04-08 | 2013-12-31 | Haas Laser Technologies, Inc. | Laser beam analysis apparatus |
| US10708537B2 (en) | 2018-07-28 | 2020-07-07 | Haas Laser Technologies, Inc. | System and method for reducing ghost images in a laser imaging system |
| US10942275B2 (en) | 2018-07-28 | 2021-03-09 | Haas Laser Technologies, Inc. | System and method for improving signal-to-noise ratio in a laser imaging system |
-
1982
- 1982-10-27 JP JP57187556A patent/JPS5979122A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01159984U (ja) * | 1988-04-21 | 1989-11-07 | ||
| FR2682476A1 (fr) * | 1991-10-10 | 1993-04-16 | Cheval Freres Sa | Procede pour la detection et la mesure de l'energie emise par une source laser et dispositif pour sa mise en óoeuvre. |
| WO2011127400A3 (en) * | 2010-04-08 | 2012-02-23 | Scaggs Michael J | Laser beam analysis apparatus |
| US8427633B1 (en) | 2010-04-08 | 2013-04-23 | Haas Laser Technologies, Inc. | Laser beam analysis apparatus |
| US8619247B1 (en) | 2010-04-08 | 2013-12-31 | Haas Laser Technologies, Inc. | Laser beam analysis apparatus |
| JP2012179627A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Amada Co Ltd | ファイバーレーザ加工機におけるレーザ出力および戻り光検出方法及びファイバーレーザ加工機の加工ヘッド |
| US10708537B2 (en) | 2018-07-28 | 2020-07-07 | Haas Laser Technologies, Inc. | System and method for reducing ghost images in a laser imaging system |
| US10942275B2 (en) | 2018-07-28 | 2021-03-09 | Haas Laser Technologies, Inc. | System and method for improving signal-to-noise ratio in a laser imaging system |
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