JPS5979122A - レ−ザパワ−測定装置 - Google Patents
レ−ザパワ−測定装置Info
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- JPS5979122A JPS5979122A JP57187556A JP18755682A JPS5979122A JP S5979122 A JPS5979122 A JP S5979122A JP 57187556 A JP57187556 A JP 57187556A JP 18755682 A JP18755682 A JP 18755682A JP S5979122 A JPS5979122 A JP S5979122A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- JNVCSEDACVAATK-UHFFFAOYSA-L [Ca+2].[S-]SSS[S-] Chemical compound [Ca+2].[S-]SSS[S-] JNVCSEDACVAATK-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はレーザパワーの測定方法に係シ、特に常時、レ
ーザパワーの測定が可能なレーザパワー測定装置に関す
る。
ーザパワーの測定が可能なレーザパワー測定装置に関す
る。
第1図は従来のレーザパワー測定方法を示すものである
が、レーザ光発生装置lよシ取シ出されたレーザ光2は
、反射鏡3によシ、受光素子4に導かれ、パワーメータ
5にその値が表示される。
が、レーザ光発生装置lよシ取シ出されたレーザ光2は
、反射鏡3によシ、受光素子4に導かれ、パワーメータ
5にその値が表示される。
一方、レーザ光2を使って、加工を行う時には反射鏡3
を、矢印方向6に移動させてレーザ光路から、除くこと
によシ、レーザ光2は反射鏡7、集光レンズ8を経て、
被加工物9に照射される。
を、矢印方向6に移動させてレーザ光路から、除くこと
によシ、レーザ光2は反射鏡7、集光レンズ8を経て、
被加工物9に照射される。
従って、この方法では、被加工物9を加工している状態
では、レーザパワーの測定ができないという欠点がある
。
では、レーザパワーの測定ができないという欠点がある
。
本発明の目的は、被加工物を加工している状態において
も、レーザパワーの測定が可能なレーザパワー測定装置
を提供することにある。
も、レーザパワーの測定が可能なレーザパワー測定装置
を提供することにある。
この目的を達成するために、本発明では、レーザ光路の
途中に設けた反射鏡の光面近傍に受光素子を配置し、反
射鏡で発生する散乱光を該受光素子によシ検出して、加
工状態においてもレーザ/くヮーを測定できるようにし
た。
途中に設けた反射鏡の光面近傍に受光素子を配置し、反
射鏡で発生する散乱光を該受光素子によシ検出して、加
工状態においてもレーザ/くヮーを測定できるようにし
た。
以下、本発明の実施例を第2図によシ説明する。
レーザ光発生装置1からの入射レーザ光10は、反射鏡
7の表面で反射され、反射レーザ光11となる。反射鏡
70表面は、第3図に示すように微小な凹凸部7Aによ
シ散乱光12を生ずる。散乱光12のパワーΔ几は、表
面の凹凸部7Aの程度(δ)と、入射1/−ザ光10の
パワーROに比例した値で Δ几=几0(4πδ/λ) ここで、λはレーザ光の波長 の式で表わされる。通常の製法による反射鏡7では、材
質ニ関係スルカ、λ−10,6(μml 、 (CO2
レーザ)、の時、Δ几/Ro ”−0,01〜0.02
程度になる。
7の表面で反射され、反射レーザ光11となる。反射鏡
70表面は、第3図に示すように微小な凹凸部7Aによ
シ散乱光12を生ずる。散乱光12のパワーΔ几は、表
面の凹凸部7Aの程度(δ)と、入射1/−ザ光10の
パワーROに比例した値で Δ几=几0(4πδ/λ) ここで、λはレーザ光の波長 の式で表わされる。通常の製法による反射鏡7では、材
質ニ関係スルカ、λ−10,6(μml 、 (CO2
レーザ)、の時、Δ几/Ro ”−0,01〜0.02
程度になる。
13は 散乱光12のパワーを検出するだめの受光素子
で、検出結果はパワーメータ14で指示される。
で、検出結果はパワーメータ14で指示される。
この構成では、受光素子13は、反射レーザ光11の光
路の近傍に配置しているので、反射鏡7からの散乱光重
2は、はとんど受光素子13に捕えられる。しだがって
、受光素子13は散乱形20強弱に応じて、出力が増減
するので、入射レーザ光のレーザパワーを測定できる。
路の近傍に配置しているので、反射鏡7からの散乱光重
2は、はとんど受光素子13に捕えられる。しだがって
、受光素子13は散乱形20強弱に応じて、出力が増減
するので、入射レーザ光のレーザパワーを測定できる。
受光素子13は、反射レーザ光の光路を妨げることなく
配置されているので、入射レーザ光10を遮断すること
無く、レーザパワー全パワーメーク14で測定できる。
配置されているので、入射レーザ光10を遮断すること
無く、レーザパワー全パワーメーク14で測定できる。
なお、15は反射鏡7の法線である。
本発明者らの実験によれば、第2の構成において、受光
素子12として、焦電型床子を使用、レーザ出力1kW
k照射した場合、受光素子+増巾器の組合せで、1v程
度の出力が得られており、CO2V−ザの発振波長域で
動作する受光素子で、しばしば問題となる8/N比も4
0と太きく、十分使用できることが明らかとなっている
。
素子12として、焦電型床子を使用、レーザ出力1kW
k照射した場合、受光素子+増巾器の組合せで、1v程
度の出力が得られており、CO2V−ザの発振波長域で
動作する受光素子で、しばしば問題となる8/N比も4
0と太きく、十分使用できることが明らかとなっている
。
第4図は、ビームガイド16fc設け、散乱光12受光
素子13に導く様に構成したもので、受光素子13への
入射光強度を大とできるので、受光素子13の出力信号
音大きくすることができる。ビームガイドの内面には高
反射率金有する金属がコーティング12されており、ビ
ームガイド16でのロスを少なくしている。なお、受光
素子には図示していないがパワーメータ14に接続され
ている。
素子13に導く様に構成したもので、受光素子13への
入射光強度を大とできるので、受光素子13の出力信号
音大きくすることができる。ビームガイドの内面には高
反射率金有する金属がコーティング12されており、ビ
ームガイド16でのロスを少なくしている。なお、受光
素子には図示していないがパワーメータ14に接続され
ている。
第5図は受光面積の大きい受光素子を使用する場合の使
用例を示すものである。
用例を示すものである。
第6図の実施例は、反射鏡7と集光レンズ8との間に、
反射鏡を設置し、反射鏡3は反射レーザ光1工が被加工
物9を加工している時には破線の個所に移動する。そし
て、非加工時に反射鏡3′f!:実線の個所に移動し、
反射レーザ光11をパワーメータ4に導き、レーザパワ
ーの絶対量の測定全行って、同時にパワーメータ14を
校正する。この結果、反射鏡7の表面状態の変化の影響
を除き、常時、精度の高いレーザパワーの7Jil定で
きる。
反射鏡を設置し、反射鏡3は反射レーザ光1工が被加工
物9を加工している時には破線の個所に移動する。そし
て、非加工時に反射鏡3′f!:実線の個所に移動し、
反射レーザ光11をパワーメータ4に導き、レーザパワ
ーの絶対量の測定全行って、同時にパワーメータ14を
校正する。この結果、反射鏡7の表面状態の変化の影響
を除き、常時、精度の高いレーザパワーの7Jil定で
きる。
尚、上述の第2図ないし第5図で、第6図と同様にパワ
ーメータ14にパワーメータ4の出力を転送し、校正す
る様に構成してもよいことは勿論である。
ーメータ14にパワーメータ4の出力を転送し、校正す
る様に構成してもよいことは勿論である。
以上のように、本発明によれば、レーザ光によシ、被加
工物全加工している状態においても、精度の高いレーザ
パワーの測定ができる。
工物全加工している状態においても、精度の高いレーザ
パワーの測定ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のレーザパワーの測定装置の概略側断面図
、第2図ないし第6図は本発明の実施例であるレーザパ
ワーの測定装置の概略側断面図、第3図は、反射鏡の概
略側断面図である。 1・・・t/−ザ発生、2・・・反射鏡、12・・・散
乱光、13・・・受光素子、14・・・パワーメータ。 第4図 邸Th−デ 1頁の続き 0発 明 者 大橋常良 日立市幸町3丁目1番1号株式 %式%
、第2図ないし第6図は本発明の実施例であるレーザパ
ワーの測定装置の概略側断面図、第3図は、反射鏡の概
略側断面図である。 1・・・t/−ザ発生、2・・・反射鏡、12・・・散
乱光、13・・・受光素子、14・・・パワーメータ。 第4図 邸Th−デ 1頁の続き 0発 明 者 大橋常良 日立市幸町3丁目1番1号株式 %式%
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、レーザ光発生装置と該レーザ光発生装置からのレー
ザ光が照射される被照射物体間に、前記しレーザ光の光
路を変更するために反射鏡を挿入したものにおいて、該
反射鏡で反射されたレーザ光の光路の近傍に、該反射鏡
からの散乱光全検出するだめの受光素子を設けたこと’
cIJi!f倣とするレーザパワー測定装置。 ゛ 2.第1項記載のレーザパワー測定装置において
前記反射鏡と、被照射物体間に、第2の反射鏡を移動可
能に配置し、被照射物体に、レーザ光を照射しない時間
に、第2の反射鏡からのレーザ光を第2の受光素子に導
き、該第2の受光素子の出力によシ、第1項記載の光素
子からの出力を較正するよう構成したこと全特徴とする
第1項記載のレーザパワー測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57187556A JPS5979122A (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | レ−ザパワ−測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57187556A JPS5979122A (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | レ−ザパワ−測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5979122A true JPS5979122A (ja) | 1984-05-08 |
Family
ID=16208138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57187556A Pending JPS5979122A (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | レ−ザパワ−測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5979122A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01159984U (ja) * | 1988-04-21 | 1989-11-07 | ||
FR2682476A1 (fr) * | 1991-10-10 | 1993-04-16 | Cheval Freres Sa | Procede pour la detection et la mesure de l'energie emise par une source laser et dispositif pour sa mise en óoeuvre. |
WO2011127400A3 (en) * | 2010-04-08 | 2012-02-23 | Scaggs Michael J | Laser beam analysis apparatus |
JP2012179627A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Amada Co Ltd | ファイバーレーザ加工機におけるレーザ出力および戻り光検出方法及びファイバーレーザ加工機の加工ヘッド |
US8619247B1 (en) | 2010-04-08 | 2013-12-31 | Haas Laser Technologies, Inc. | Laser beam analysis apparatus |
US10708537B2 (en) | 2018-07-28 | 2020-07-07 | Haas Laser Technologies, Inc. | System and method for reducing ghost images in a laser imaging system |
US10942275B2 (en) | 2018-07-28 | 2021-03-09 | Haas Laser Technologies, Inc. | System and method for improving signal-to-noise ratio in a laser imaging system |
-
1982
- 1982-10-27 JP JP57187556A patent/JPS5979122A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01159984U (ja) * | 1988-04-21 | 1989-11-07 | ||
FR2682476A1 (fr) * | 1991-10-10 | 1993-04-16 | Cheval Freres Sa | Procede pour la detection et la mesure de l'energie emise par une source laser et dispositif pour sa mise en óoeuvre. |
WO2011127400A3 (en) * | 2010-04-08 | 2012-02-23 | Scaggs Michael J | Laser beam analysis apparatus |
US8427633B1 (en) | 2010-04-08 | 2013-04-23 | Haas Laser Technologies, Inc. | Laser beam analysis apparatus |
US8619247B1 (en) | 2010-04-08 | 2013-12-31 | Haas Laser Technologies, Inc. | Laser beam analysis apparatus |
JP2012179627A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Amada Co Ltd | ファイバーレーザ加工機におけるレーザ出力および戻り光検出方法及びファイバーレーザ加工機の加工ヘッド |
US10708537B2 (en) | 2018-07-28 | 2020-07-07 | Haas Laser Technologies, Inc. | System and method for reducing ghost images in a laser imaging system |
US10942275B2 (en) | 2018-07-28 | 2021-03-09 | Haas Laser Technologies, Inc. | System and method for improving signal-to-noise ratio in a laser imaging system |
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