JPS5968604A - Optical displacement measuring device - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To improve the measurement precision by adding cumulatively the extent of movement of a specified pulse image out of two moving pulse images, at least, having a certain cycle to attain a displacement quantity. CONSTITUTION:Two-cycle components, at least, of pattern image of an optical displacement scale 20 are received through an optical projector 42 by an image sensor 44, and a pulse image position detector 60 gives a clock scanning pulse to detect positions of images P1 and P2. A data processing device 80 is constituted with a pulse image specifying part 90, a movement extent calculating part 92, and a movement extent integrating part 94, and the first pulse P1 out of pulses P1 and P2 during a scanning time T0-T4 is specified by the part 90 and the extent of movement D1-D4 is calculated by the part 92 to add cumulatively by the part 94. In this case if the pulse P1 is scaled over in the sensor 44, pulses P2 till then are specified as the pulse P1 to make measurement independent of precision of pulse interval.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

本発明は、移動物体の変位量を測定りるのに、光束をブ
［１〜ブとして用いた光学的変位測定装置に関する。更
に詳しく言えば、移動体と固定装置どの相対運動に比例
して光学的センシンクパターンが移動変化づ−るのを観
測し、この光、ｙ、＊５．的パターンの変化ｆｉ）を積
分し、−特定パターンがスケールＡ−ハした時は、後続
する光学パターンに汀［」シ、その変化ｈ）の積分値を
求め、これらの１１Ｃ１を、順次連続的に加締すること
によって移動体と固定装置どの相対運動Ｉ７ｉを測定ヅ
るＪ、うにした光学的変位測定装置に関する。 従来、光を利用した光学的変位測定装置は、−例どして
、直線状に変位する変位測定装訪を例に上げると、可動
台に固定された光学的変位スケールと、測定装置である
光学系とから成りたっている。前記光学的変位スケール
は、緻密な間隔で、反則係数又は透過係数等の光学的係
数がり、０形波周期状に相対移動方向に変化づる格子パ
ターンをイ１づ−る。一方、光学系は、光源と、該光源
から出る光を集光して光学的変位スケールの周期的光学
的パターンに投光づるＪ、うに調整りるレンズ、該光学
的パターンからの反則光又ｔ、Ｌ透過光を集光覆る１ノ
ンズ、及び該反射光等を受光りる光電変換素子から成る
。光電変換素子は、単一画素から成る索ｒから４γす、
該光電変換素子−にを通過りる前記光学的変位スケール
からの透過光又（ま反射光にＪζる明■ｆ１映、（Ｋξ
をＪｆＮえる。ぞ−Ｌ　Ｔ変位量）を求める方法は、映
像を、電気的パルスに変換し、これをカラン１〜して単
位時間当りの物体の変位量を検出りるプノ法であった。 従来ル装置は、この様な方法を探るため、光学的変位ス
ケールのパターン周期の誤差が、−ぞのまＪ、測定精度
に反映り−るという欠点がｄすっだ。従って、該光学的
変イ：ｔスクールのピッチ間隔は極めて高精度に装ｆ１
さ一杭なければならない。ところが通常０゜１ｍｍ間１
；１４幅Ｃロングレンジに渡っＣ１周期的な格子状の反
ｑ・１板又は、透過板を形成することは極めて困７＋Ｉ
　Ｃあった。しがも可動物体の移動量が１ｍからＰｉｊ
、ｍに渡れば、これに伴い光学的変位スケールし１　ｍ
　ｈｓ　＋ら数ｍのしのを作成する必要がある。 しかし、光学的変位スクールを長（覆る程、スケールの
歪、熱膨張あるいは熱収縮等によって、パターンピッチ
が変化Ｊる等の欠点があり、正確な測定ｆ′ｉ′ｉ度を
あげることに龜よ、限界があった。 −ぞこＣ本発明（ま、このような従来の欠点を改良りる
ために成されたものであり、前記の光学的変位スケ−ル
の格子パターンのビッヂ精度には無関係に変位の測定精
度を向上させることの−Ｃ′さる光学的変位測定装置を
提供することを目的とづ−る。 即ち、本発明は、光学的特質が、相ス・１豹変位方向に
対し、１７．ｌ明的に変動づるパルス状パターンを右り
る光学的変位スケールど、 該光学的変位スケールの右する光学的パルス状パターン
を受像するイメージセン１〕・と、前記光学的変位スク
ールの光学的パルス状パターンを、前記イメージセンザ
上に結像させて、光学的変位スケールどの相対移〃ノに
よって、常時少＜’Ｋ　＜ども２つの移動づ−るパルス
映像を冑る光学的投剣器とを布量る光学系と、 前記イメージセンリ″から、それを−走用明ｆｕに走査
して前記パルス映像に対応しｌこパルス信号を入ツノし
、該パルス映像のイメージセンリ」二の位置を検出づる
パルス映像位首検出装首と、該パルス位置検出器がらの
出力信号をスト杏周朋毎に処理して、可動物の変位を５
１測Ｊるデータ処Ｊｉ！装置とから成り、 前記Ｊ”−夕処１１ｐ￥ｉ置は、走査周期４Ｎに、パル
ス映像のイメージはシリ上の位１ｆｆ（門１系にＪ、す
、少なくと−し過去１走査周期間のパルス映像の移動Ｗ
を求める１１するパルス映像を特定づるパルス映像特定
部ど、前記パルス１１す４像９ｈ定部にＪ、っ−ｃｌ“
Ｆ定されたパルス映像に注目して走査周期ｆｉＪにパル
ス映像移動量を求める移動ｎ１緯出部と、 走査用１υＪ句に、前記パルス映像特定部及び移動量（
卓出部を順序制御し、前記パルス映（γＺ移動吊を偵粋
Ｊる移動（ｉ偵算部と、 かう成り、走査周期の経過に伴なうパルス映像のＩｔｌ
ｌｌ散的移動に対し、順次後続パルスにと１．：　［−
１１，、て移動［ｄを累積加算することを特徴どづ゛る
光学的変位測定共１ｆｆｌｆから成イ）。 第１図は、本発明の４Ｇ成を概念的に示したブ［１ツク
タイ八７グラムで゛ある。光学的変位スクール２０　Ｌ
Ｊ　Ｘ透過係数又は、反射係数が相対移動方向に、周Ｊ
ｊｌＪ的にかつ？、（′ｉ形形波パル状状変化７るパタ
ーンを右づる光学的変位スクーールである。光学的変位
スクールのパターンは、例えば、格子状、ドツト状等に
形成できる。このパルス状パターンの周期は、一般には
、０．１〜０．２ｍｍ間隔であるが、これらの値には限
定されない。この光学的′ψ位ススタール製作は、例え
ば、ガラス゛ｒｔ板十の表面にりＩ］ムを真空蒸着し、
真空蒸着されたクロム膜を７７１１−１ツヂングにＪ：
って、上記間隔に土ツヂング除去し又形成される。光学
系４０は、光学的投射器４２ど、光学的変位スケールの
パターン映像を受像Ｊるイメージしンザ／Ｉ／Ｉどから
成りたっている。光学的投射器４２とThe present invention relates to an optical displacement measuring device that uses light beams as beams to measure the amount of displacement of a moving object. More specifically, we observe that the optical sensing pattern moves and changes in proportion to the relative movement of the moving object and the fixed device, and this light, y, *5. - When the specific pattern is scaled A-c, the integral value of the change h) in the subsequent optical pattern is obtained, and these 11C1 are successively integrated. The present invention relates to an optical displacement measuring device that measures the relative motion between a moving body and a fixed device by crimping them. Conventionally, an optical displacement measuring device using light, for example, a linear displacement measuring device, consists of an optical displacement scale fixed to a movable table and a measuring device. It consists of an optical system. The optical displacement scale has a lattice pattern in which optical coefficients such as anti-fouling coefficients or transmission coefficients are varied at close intervals in the direction of relative movement in a zero-wave periodic manner. On the other hand, the optical system includes a light source, a lens that focuses the light emitted from the light source and projects it onto a periodic optical pattern on an optical displacement scale, a lens that adjusts the light, and a lens that collects the light emitted from the light source and projects it onto a periodic optical pattern of an optical displacement scale. It consists of a lens that collects and covers the T and L transmitted light, and a photoelectric conversion element that receives the reflected light and the like. The photoelectric conversion element consists of a line r to 4γ consisting of a single pixel,
The transmitted light from the optical displacement scale passing through the photoelectric conversion element or the reflected light (Jζ), (Kξ
I can get JfN. The method for determining the amount of displacement of an object per unit time was the Puno method, which converts an image into an electrical pulse and converts it into electrical pulses to detect the amount of displacement of the object per unit time. In order to explore such a method, conventional devices have the disadvantage that errors in the pattern period of the optical displacement scale are reflected in measurement accuracy. Therefore, the pitch interval of the optical change point: t school can be set f1 with extremely high precision.
I have to put a lot of effort into it. However, normally 0°1mm interval 1
;It is extremely difficult to form a periodic lattice-like anti-q/1 plate or a transparent plate over a long range of 14 widths.
There was C. However, the amount of movement of a movable object is from 1m to Pij
, m, the optical displacement scale increases to 1 m
It is necessary to create several meters of data from hs +. However, the longer the optical displacement school is covered, the more the pattern pitch changes due to scale distortion, thermal expansion, or thermal contraction. Yes, there was a limit. -This invention (well, this invention was made to improve such conventional drawbacks, and it has been made to improve the bit accuracy of the grating pattern of the optical displacement scale mentioned above.) It is an object of the present invention to provide an optical displacement measuring device that improves the accuracy of displacement measurement regardless of the displacement direction. 17.1 An optical displacement scale that receives a pulse-like pattern that varies brightly, and an image sensor 1 that receives an optical pulse-like pattern that follows the optical displacement scale; An optical pulse-like pattern of the displacement school is imaged on the image sensor, and two moving pulse images are always generated by a relative shift of the optical displacement scale. an optical system for weighing an optical sword thrower, and a pulse signal corresponding to the pulse image is inputted from the image sensor by scanning it in a scanning direction, and inputting a pulse signal corresponding to the pulse image; A pulse image head detection device that detects the position of the image sensor and the output signal from the pulse position detector are processed every time the moving object is moved.
1 measurement Juru data place Ji! The above-mentioned J"-Yujo 11 p Movement of pulse image W
The pulse image specifying section that specifies the pulse image to be determined, J,
A movement n1 latitude extraction unit that focuses on the pulse image determined by F and calculates the pulse image movement amount in the scanning period fiJ, and a scanning 1υJ clause that includes the pulse image identification unit and the movement amount (
The extraction unit is sequentially controlled, and the pulse image (γZ movement) is sequentially controlled.
ll for dispersive movement, sequentially for subsequent pulses and 1. : [−
11. The optical displacement measurement, which is characterized by cumulatively adding d, consists of 1fflf). FIG. 1 is a block diagram conceptually showing the 4G configuration of the present invention. Optical displacement school 20L
J
Is it JLJ-like? , ('i-shaped wave pulse-like change 7) This is an optical displacement school that shifts the pattern to the right. The pattern of the optical displacement school can be formed, for example, in a lattice shape, dot shape, etc. The period of this pulse-like pattern are generally spaced at intervals of 0.1 to 0.2 mm, but are not limited to these values.This optical spacer production can be carried out, for example, by depositing a film on the surface of a glass plate in a vacuum. vapor deposited,
Vacuum-deposited chromium film on 7711-1 fitting J:
Then, the soil is removed and formed again at the above-mentioned intervals. The optical system 40 consists of an optical projector 42, an image sensor/I/I, etc., which receives an image of the pattern on the optical displacement scale. an optical projector 42;

【ま、光源及びし
・ンズもしくは光ファイバー等の導光路を用いたちのぐ
あり、光源の光を光学的変位スケールに投射し、その反
射光又は、透過光をイメージＬンリ上に結１ｐし４ｒ）
るように４ｉ、ｉ成した光学的なｌ’ｉ　ｒＩＪ器を言
う。そして、イメージロンザ４４は、フＡｌ〜ダイＡ−
ドを一次元配列に多数並べたもの、あるいはキャリ１１
蓄槓型のＧ　ＣＩ）、＋３　Ｉ：３　Ｄ等を用いること
がで′きる。ここで、イメージロンリ”上で結像し４ｒ
する映像パターン（、Ｌ１少なくとも光学的変位スクー
ル十に＋３りるパルス状パターンの２周期分を常に投［
ＩＩ４するＪ、うに構成しなりればならない。 パルス映像位置検出装置６０（よ、イメージセン９にタ
ロツク走査パルスをうえて順次映像信＞５をシリアルに
取り出す走査信号を送出りる。イして走査イｉ弓によっ
てＪｌｌ？り出されたイメージしシリ上のパルス周期パ
ターンに対応づる映像電気信号は、パルス映像荀ｉｕ検
出装’４６０　Ｇこ人力する。パルス映像位胃検出装置
６０は、イメージヒンリの画素毎に出力されるビットパ
ルス列から、光学的変位スクールの７クロなパルス状映
像パターンを求める。イして前記少なくとも２つのパル
ス状映像パターンの位；１・７を検出す”る。ここで、
位置どは、イメージレン１〕−」二にｄ′３ける１次元
的に配列された画素の片９η；からの順序数で表現され
る位置である。 パルス映１免位置検出装買６０によって、検出された少
なくどし２つのパルス映像の位置データは、データ処理
装置８０に入ノｊする。データ処理装置８０は、前記の
少なくとも２つのパルス映像の内で、走査用ＩＵ１　ｔ
ｏに移動するパルス映像の移動量を測定Ｊるために、注
目Ｊるパルスを１４定するパルス映像特定部９０と、そ
のパルス映像特定部９０によって、特定されたパルスの
一走査周期間隔に＋３りる移動量をｎ出する移動量算出
部９２及びこの移動ｈ）を走査周期毎に累積加算する移
動ｍ槓停部？）４とかｆう成りたっている。ぞして最終
的な変位量は、移動吊積停部９４の示ず数値として与え
られる。 次に本発明装置を用いて、物体の移動が測定しくｑる１
５７ｉ　］、＋１！について説明する。 第２図は、この原理を説明する概念的な原１！Ｉ！説明
図である。第２図ではパルス映像信号は、原理説明のた
めに、パルス位置を示しうる様に幅の狭いパルスとし−
Ｃ記載しである。又、横軸の目盛ＳＯ〜Ｓ４の数１ｆｒ
は、イメージセンザ上の画素位置を示？１′番号を現わ
すと同ｆｆ、？にイメージレンリから走査信号によって
、取り出されたシリアルデータの走査時間軸とも対応し
ている。まず、−Ｔ−ｏ時刻に（１３いて、イメージレ
ンリ゛を走査して得られるパルス映像信号は、第２図（
ａ　）のようになる。走査＋１．’（剣士（画素位置番
号上）若い方の位置にあるのを、第１パルス映像信昼（
以下単に１パルス」という）として記号１〕１で示し、
時間軸上遅い、画素位置番号上３上人きい方の（Ｃ７置
に現れる第２パルスを１）２として表わしである。この
パルスＰ１及びパルス１．）２は、パルス映像位ｉ〆１
検出装置ｌｌ　６０にＪ、って１１られたパルス映像の
中火位置と考えることができる。次に第２ノ［杏１１．
ｖ多ＩＩ　ｌ−＋にお（〕る検出されるパルスパターン
図を第２図（ｂ　）に示す。 ここでやよ［−）１の移動量がＤｌどして測定づること
かで・きる。尚、図面上の一走査周ＩＩ！１間の移動距
離（よ、実際の移動に比べて４セめで大きく描かれてい
る。ここで、移動量を測定するパルスを第１パルス１）
１と約束すれば、第２図（Ｃ）に示１Ｊ、うにパルス１
〕１は、図面上にお【プるイメージセン１上を右！】日
ら左方向に移動していくことになる。そして各走査周期
毎に移動量Ｄ　Ｉ　、Ｄ　２　、ＩＪ　３を求め、Ｃれ
を加いずれば時刻Ｔｏから時刻Ｔ　３　Ｊ：でにｃ１５
ｃノるパルス映イ象の移動ｍが測定される。パルスＰ１
がイメージセンリ上に現れている間は移動量は勿論測定
づイ）ことが可能である。どころが走査時刻下３から次
の走査時刻Ｔ４に移った場合、第２図＜ｃ　＞最左にｇ
ＢれＣいるパルスＰ　Ｉ　Ｌ；Ｊ、　、イメージセンザ
上の左端からスケールオーバし−（しまう。 とこイ）が、イメージセン１ノ上に【よ必り′あらゆる
ＯＮ刻において、２つのパルス映像が射影されるように
説ｔ１され°Ｃいるために、右端にＪ３い−（、パルス
が現れることがわかる。そうすれば、図上形／Ｉ［側の
パルスが第１パルスと約束しているので第２図（Ｃ）に
Ｊ月ノる第２パルス］〕２は、り′Ｓ　２図（（１）に
ｊ）いて（よ、第１パルス１〕１どみなされることにな
る。時刻１−３からＴ４にお（）る間のパルス映像の移
動量は、第２図（Ｃ）におりる１−）２パルスと第２図
（ｄ　）にお（）る］〕１パルスどに注１′１シてこれ
の移動量（〕４を測定づれば良い。この様に、移！１１
１ｆｉｔを累亦り−れぽ結局−Ｔ−ｏ時刻から１−４　
ＩＩ、）刻まで・の総合した移動３Ｌが求められる。即
ち、ｌ＝Ｄ＋　−ｌ−Ｄ　２−１−　Ｄ　３−１−　Ｄ
　４となる。この操作を繰り返して行りば、特定したパ
ルスがイメージセン１ノ上の左端からスクールオーバー
しても、後続パルスの移動量を求めＣその移動量を累締
づることにＪ、って１−一タルの移動ｍを求めることが
できる。 パルス映像特定部９０とは、イメージセンリ上に現れる
少なくとも２つのパルスの内のどのパルスに注１」づ゛
るかを特定覆る部分である。これは、主に計終（幾のソ
フ１〜つＩ−アによって実現りるのが７＋２ら容易であ
る。しかしながら論Ｊｑ（回路等を組むことによってハ
ードウェア（ごて実Ｊ９ηイ）ことも（きる。特定方法
の説明をすれば、原則どして第１パルス［〕１に注目す
る。 そして第１パルスの左端スケールオーバは、第１パルス
位首の急激な増加量ににって判別Ｃさ゛る。 即ら、第１パルスは図（ｄ）にＪ３いて、図（Ｃ）に比
して急激に位置を増加している。 同様にパルス映像が右側に移動りる場合に右端からの第
２パルスのスケールオーバは　／；ｔｘ　１パルスの位
置の急激な減少によって検出することができる。従って
、スケ−ルオーバを検出したときの最初の移動バｔは、
左側移動のときは、新第１パルスと口笛２パルスの位置
差を、右側移動のどきは、−新第２パルスと口筒１パル
スの位置差を、それぞれ移動量と−４れば良い。 しかし、現実のパルス映像には、大きな幅を有するので
端部では正確なパルス中火位置を求められ４丁い。正確
なパルス中火位置を求め、この値を使用づるには、仮想
スケール端り、Ｍを設りて判定゛りる。要は、イメージ
廿ン］ノ上の目標位置とパルス位置どの関係において、
特定のパルスが所定の位置関係を満した時に順次後続パ
ルスを特定パルスどして注目する。 以上、要づ°るに、この発明の測定原理は、イメージレ
ンジ上に、少なくとも２つのパルス映像を結像し一方の
パルスに注目して測定し稗る範囲内にＪ３いて、そのパ
ルスの移動量を測定し、次の走査時刻にｄ３いて、測定
し得なくなった場合には、その後続する第２パルスに注
［１してその第２パルスの移動量を前の値に累積して仝
休の移動量を求めにうどづるｂのである。従って、全移
動量の精度に１、第１パルス及び第２パルスの周期を決
定づる光学的変位スケールのピッチ間隔の粘度には、依
存しない。分解能（，１イメージレンリ−上の画素を形
成刃る画素幅のｒｉ′ｉ度及び光学的変位ス／７−ル」
−のパターンをイメージセン１ノ上にＱ＝１映する光学
的投射器のイ（５率によって、決定される。測定粘度は
、分解能と単位移動量当りの走査回数にＪ、って決定さ
れる。 以下、本発明をさらに具体的に実施例を用いＣ説明する
ことにづる。第３図Ｇよ、本発明にかかる光学的変位測
定装置の一具体的な実施例を示した］ｊ４４成である。 光学的変位スケール２０ａは、ガラス基板上にクロムを
真空蒸着してり［１ム薄膜を作成し、）７１１〜エツヂ
ングによって、Ｑ、１＋ｎｍ間隔に、２２の部分をエッ
チ（）てクロムを除去し、２１の部分をクロムＲ”）膜
として構成覆る格子状をしたパルスパターンを長尺状に
設けたものである。 そして光学的変位スケール２０ａは、可動台に固定され
ている。 〜方、光学系４０ａは、固定台４１の上に固定されてＪ
３す、光学的変位スケールの光学パターンに投光する光
源４２１及びこれを平行光線どして照Ｑ＝Ｉ　”Ｊる光
学レンズ４２２及び光学的パターンから反！ＪＪ　Ｌ　
−Ｕ　＜る光をイメージヒン奮す４４ａ−トに集光し、
拡大するレンズ４２３とから成りたっている。イメージ
センサ′の出力は、後述サイ）パルス映１象位首検出装
向６０に入力し、その信号は、後述するソーラ１ヘウエ
アにしたがって処理づる１ｉｌ−ｎ　Ｉｔｎシステムで
構成されたデータ処理装回８０へ人力する。−γ−り処
理１４ｉ置８０は、一般に知られているようにインクフ
ェイス８８ａを介して中央処理装置８２に接続され、所
定のプログラム及びテーラを格納りるメモリーε！＋と
結合し、演τ）結果をインクフェイス８８ｂを介しＴ　
ＣＲ１”ディスプレー８６に出力しｉ９るようにＩＭ成
されている。 第４図（ま、パルス映像位置検出装置Ｎ６０の具体的な
構成を示したブロックダイヤグラムである。 イメージセンサ４４を構成するＣＣＤ４４ａの出力は、
増幅器６０２を通し］ンパレータ６０４の反転入力に入
力てしいる。コンパレータ６０４の非反転入力は、抵抗
分割により、基ｉ％ｌ電ＬｉＴＶＯが印加されている。 そしてコンパレータ６０４の出力はリンプルホールド回
路６０Ｇに人力している。 ここで増幅器６０２の出力電圧Ｖ＋を第５図（ａ　＞に
承り。破線でかいた包絡線は、ピッチ幅Ｑ、ｉｎ１ｍを
ＣＯＤに映］僚した明暗パターンを示している。ぞして
縦線は、ＣＣ１）　２　Ｑ　ａの一画素信号に対応した
パルス波形を１１１！念的に示したものである。ＣＯＤ
は現実に【よ、２０４８画素から１１−１成されている
ために、１パルス映（Ｉ：について、５１２パルスで（
１１″Ｎ成されていることになる。＝１ンバレータ６０
／Ｉでは、ノイズマージンレベルＶｏを基片レベルとし
、該レベルにりも高レベルになった信りのみを通過さけ
るようにしている。即ら、＝」ンパレータ６０／Ｉを通
過した電圧■２は第す図（ｂ）のＪ、うな波形になる。 更に、この多数のパルス列でできた方形波状の包絡線を
丈ンブルボールト回路６０Ｇを用いて取りだす。即ち、
タイミング発生回路６１２ににるＣＣＤ４４ａ駆動のた
めのり１−１ツクパルスと同期し、かつ１両；’（＋　
ｆ；：　号のパルス幅の中心部ｌＪ同期づるように遅延
回路６１４を通して、画素信号のピーク値でサンプルホ
ールドする。その結果、出力電圧■３は、第５）図（Ｃ
）のようなり形波が２つ得られることになる。 ここで横軸（ま、走査時刻で、かつＣＣＤ上の画素中位
での位置どし対応している。 タイミング発生回路６１２は、スター１−信号Δ１をＣ
ＣＤ駆動装置６１０に入力してＣＣｌ）の走査のスター
１〜を与えている。そして、スタート信号にｊ狡続づ−
る４　Ｍ　ｌ−ｌ　ｚのクロック信局に同期してパルス
列がＣＣＤかＩう走龜される。 一方、す゛ンブルホールド回路６０６の出力電圧Ｖ３は
フリップフ［１ツブ回路１−Ｆ　’１　（以下、フリッ
プフロップ回路をｒ　Ｆ　Ｆ　Ｊと言う）の周期信号入
力端（Ｃｐ端子）に人力すると、ともににＦ２（６２２
）のＣｐ端子に極性反転して入力づる。 かつＦＦ３　（６２３）のＣｐ端子にＶ３をそのま、１
、人力し、ＦＦ４　（（３２４）のｃｐ喘子に反転しく
入力Ｊ−る。名Ｆ　Ｆ　Ｇ；Ｌ　Ｄ型のにＦ開回路あり
、「１゛１のＤ人ノＪには、常時正電位が印加されてい
る。 又１”　Ｆ　１〜Ｆ　Ｆ　４のブリレッ］へ【端子には
スタート信号△゛Ｉが人力されるにうになっている。そ
しく　Ｆ　Ｆ　２〜Ｆ　ｌ二／ｌは、それぞれ前段のＱ
端子出力が次段の１〕入力にそれぞれ人力するように接
続されでいる。さらに各Ｆ　Ｆ回路ｄ出力端は、ぞれぞ
４し　Ｎ　　Δ　ＮＤ　　回　路　６３１．　　６３２
．　　６３３．　　６３／１の−、　、、）ｉｉ子に接
続されしている１、又イれぞれのＮ△ＮＤ回路の他の端
子は、タイミング弁生回路６１２の４　Ｍ　ｌ−Ｉ　ｚ
のりＬ１ツクパルスが入力されでいる。 各ＮＡＮＤ回路の出力は、カウンタＣ１（Ｇ／ＩＩ）〜
カウンタＣ４（６４４）に、それぞれ人ツノし、ＮΔＮ
　ｌ）回路から出力されてくるパルス列の数をカラン］
〜づる。各カウンタＣ１〜Ｃ４は、カラン１〜され／ｊ
　２進並列信号を転送同期信号△２によって、−てれそ
れ、バッフルレジスタＲ＋〜［く４に転送され記憶され
る。ぞして各バッファレジスタＲ１〜１で４４よ、イン
タフェイス８８ａを介してコンビヨー夕によって読み取
れるように４７．ｘ成されている。 本パルス位置検出装置６０の各カウンタＣ１〜Ｃ４のカ
ラン１へ値は、第５図（Ｃ）における、【＋　■’ｉ刻
、１２０ｙ刻、［３時刻、ｔ４４時刻ぞ４１ぞれ４　Ｍ
　ＨＺのり［］ツクでカラン１−シた値である。 次に各７Ｊウンタに訓時されるまでの作動について、第
６図を参照して説明する。タイミング発生回路からは、
時刻［０に第６図（１））に示リスクー１〜信月が各［
：１−のべ端子に与えられ、該スタート信号によって、
全てのＦＦはリレンｌ〜される。 又スタート信尼は、各カウンタのに端子に６人力し、同
様にスター１〜信８パルスによってリレン１−される。 続いてリセット後にＦ　Ｆ　１にＣ３がＣｐ端子に人力
されると、電圧ｖ３はト１：１に対してタイミング信号
になるためにＣ３の第１パルス［）１の立ち上り時刻（
ｉに＋３いてレッｌ〜状態に変化１Ｊる。従っ−Ｃ，Ｆ
ｌ二１のＱ娼：イ出力は、第〔５図（Ｃ）のようになる
。即ら〔０時刻にＪ′３いてリレン１〜され、ｔ　１時
刻においてレッ１〜される波形が１１７られる。そしＣ
１この１：ＦｌのＱ１端子出力は、次段の１１７２のＤ
娼：了に人力し、かつＣ３の反転入力がＣｐ端子に人）
ｊＭるために、［２時刻が同期旧制を示し、１つ人ツノ
の変化が、＋　２時刻よ−Ｃｉヱ延し、Ｆ　Ｆ　２の０
２端子出力は、第〔３図（ｅ）（７）様にＬ　２１１’
ｊ刻てレフ１−状態になる。以下、各１−１：は、前段
のＱ端子出力が、次段の０人力どなるため、で−れそ′
れのタイミング（ｉ３号に回１ｉ１ＪりるＪ：　’Ｕ−
ａ出力端のＬＣ１−がｄ延づる。従つＣ１Ｆ　Ｆ　３　
（７）　Ｑ３０ｉ；、ｉ子出力は、第６図（（＋　）に
承りように、第２パルス］〕２のｆＬ　’５　Ｊニリａ
Ｃｔ歳１１（３に＋３い−（、Ｕツ１〜される４１１月
どなる。１−「４の（１）　９：：５　（出力（ま、１
４においてセットされる出〕ｊど４する。したかつて、
これらのにに回路のご端子出力番、１１、これらを反転
したものであり、それぞれ第６図（ｄ）（１’）（＋１
）（ｊ）のようになる。これらの各信号は、それぞれ各
Ｎ　Ａ　Ｎ　ｌ）回路の一端子に入ツノされる。 Ｎ　Ａ　Ｎ　ｌ）回路６３１【よ、従って、ｔｏ〜ｔ＋
時刻よて一娼；子が１１゛ｂレヘルにあるために、他の
端子入ツノのり［１ツクパルスを通過させる作用をりる
。そしてその間／！Ｍ　Ｎ　ｚのり［１ツクがカウンタ
０１（６／Ｉ　１　）にＪ：ってカラン１〜される。以
下、同様にＮ　Ａ　Ｎ　ｆ）回路６３２においては、そ
の　Ｏ’；ｊ了人力が第６図（ｆ）に示１−ようにＣｏ
〜、ｔ　２１１’、’ｉ剣までハイレベル信号である！
こめに、この間のクロックパルスを通過し、カウンタＣ
２は、その間４時することになる。同様にしてＮ　Ａ　
Ｎ　ｌ）回ｂ’８　（５３３は、（０〜（３時刻までの
クロックパルスを通過さけて］Ｊウンタ３（よその間の
タロツクパルスを力ラン１へし、Ｎ　Ａ　Ｎ　＋、）回
路６３４はｔ　ｏ　”　Ｌ　４１１．’＋刻Ｊ、てのり
Ｉ−１ツクパルスを通過させて、カウンタＣ／Ｎよぞの
間のクロックパルスをノＪウン１−することになる。こ
の結果バッファレジスタＲ１−Ｒ／ｌは、それぞれ第６
図（ａ　）に示りＣ３電月の［１時刻。 （２時刻、１３時刻、［４時刻を承りｂのがえられる。 次にデータ処Ｊ！１（装置８０のコンビ−Ｌ−夕が処理
づる内容について第７図及び第８図を参照して説明する
。第７図は、二ｌンビ」−一タソフトウェアのフローチ
ャートを示したものである。まっ、パルス映像は第８図
上左方向に等速度で移動し−Ｃいるものと仮定づる。デ
ータ処１’［！　Ｃ４Ｖ″′Ｉ８０がスター（〜される
と、所定のプログラムが実（ｊされ、ステップ１００に
４３いて、本プログラムで使われる諸パラメータをイれ
ぞれＯに−イニシ１１ライズづる。ここで【Ｇまイメー
ジセンリーの走査回数を示すカウンタ（゛ある。ｌ−’
１、Ｐ２はそれぞれ前記第１及び第２映像パルスの中心
位置を記１１　＝Ｊるアドレスである。Ｘｌ、Ｘ２＋よ
、それぞれ走査にｊ、つ−Ｃ得られたパルスの位置を１
回走査前の１直どして記憶し、保持するだめのメモリー
である。（、）　ｔＪｌ、１回前の走査によるパルスの
位置が有効ゾーンにあるかユｒ１１ニソーン（こあるか
を判定しその情報をを記憶リーイ）部分であり、Ｒは、
現走査にＪ：るパルス位ｔ７情報を示すパラメータを記
′臆づるメモリである。Ｄは１・′Ｉ定された映像パル
スの一走査問隔におりる変位量であり、しは累積変位司
即も、物体の移動量に比例した数量で′ある。■は単位
時間当りの移動速度［！Ｉｊら、走査問隔毎に計算され
る移動速度を記憶りるメモリーである。 次にステップ１０２にＪ３いて前述のパルス映像位置検
出”＋Ｘ　Ｆ７６０のバラノアレジスタ１＜１〜ｌ−？
　／１までのレジスタにデータが入力されてレディ状態
になったか否かを検出するルーチンである。データが入
力されてない場合にはレディピッ１−は立ってＪ３らず
ブ１−１クラム【まレディになるまでつ■イ１〜する。 そして工１０レディになった場合には、スノーツブ１０
’ｌにＪ３いて各カウンタの数値が記憶されているバッ
フアレジスタロ１〜１テ４までの内容をそれぞれメモリ
ーＣ１〜Ｃ４のアドレスへ読み込む。次にステップ１０
６において、パルスの中央部をｔＩＱりるｌｃめに、Ｐ
　１　＝　（０１十０２　＞　／２、 Ｐ　２　＝　（０３十０４　）　／　２という５１紳式
を用いて第１パルス及び第２パルスの中火位１．９．１
を泪算し、ツレをＰｉ、Ｉ”２に記憶りる。そして次の
ステップ′１０ε３にａ３いて、］〕１がＬより人さい
が小さいかを判定する。ここで１−は予め設定された値
であり、第８図（ａ　＞に示′？ＪＪこうにイメージ廿
ンリの左端、即ち、若い方の画素番地から一定の距闇ｌ
］−１に設定された禁止ゾーンの長さである。ここで、
図Ｊ、＝　Ｌの］区間を禁止ゾーンといい残りのＳＩ　
ヘ−ｂ４Ｊ、での区間を有効ゾーンと言う。ツー１ツブ
１０Ｂでは、第１パルスの位置が禁止ゾーンにあるが有
効ゾーンにあるか判定づる。禁止ゾーンにある場合には
、ステップ１１０に移りパラメータＩ＜を１に設定覆る
。即ち、パラメータ１くが１と古うことは、禁止ゾーン
に第１パルスが存在づるということを意味りる。禁止ゾ
ーンに４「い場合には、ステップ１１２によりＲに【Ｊ
、２のｆ＋＋’［が設定される。 即し、１くの値が２のどきは、第１パルスが有効ゾーン
に存在することを意味Ｊる。次にステップ゛１′１／ｌ
に移り、ＩがＯか否がを判定する。０の場合には、第１
走査即ら、最初のデータ基１）取りルーチンであること
を示しているから、その場合に（，１ステツプ１１（５
に移行し、今読み取った第１パルス及び第２パルスの位
置をメモリーＸ１及び×２に移動して記゛にさμる。又
、第１パルスのｆＩ′／　ｉｒ’ｉ’状態をＱに記憶す
る。ぞしてステップ１′１ε３に＋１３いて走査回数パ
ラメータＩをインクリメントしてステップ１０２に戻る
。 第２走査によってイメージセンリから読み取られた信号
（，１、それぞれステップ１０４．−１１４まで同様な
処理がなされる。そこでステップ１１４では、第２回目
の読み取りに当るからＩの値４；Ｌ　Ｏて４１＜次のス
テップ１２０へ移行づる。ス）ツブ１２０て（よＱの値
とＲの値を比較している。、即ち１＜は今回測定した第
１パルスの位置を小すパラメータであり、Ｑは第１パル
スの前回測定した位置状態を示ηパンメータである。従
ってＱが２．１〕が２の場合に（、Ｌ、前回の走査と今
回の走査において第１パルスは共に右動ソ゛−ンに存在
りろことがわかる。ぞこで第１パルスが有効ゾーンに存
在している場合には第１パルスを特定パルスどして前回
の位置と今回の位置どの偏差を取り、ステップ１２２に
おいて、その値をＤの値に記憶する。今１０時刻に対し
て１１時刻にＪ３いて走査し１！７られた第１パルスが
図面上左部らイメージセン１）」ニアドレス番シ］の若
い方向に移動したどＪれば、１）の値は負の値を示して
いる。又１〕１が図面上右方向に移動したとづ”ればＤ
の値は正の値を示す。次にステップ１２／ｌにＪ３いて
、仝移動量］−１）を終用づる計篇を行う。即ち、全移
動量］〕を積算りる。次にステップ１２６において、移
動量（〕を走査問隔口１間１〈で割って、変位速度を求
める。イしてステップ１２８にＪ５いて現時刻までの移
動量１−　ｐど、Ｊｆ＋　＋１．ｌ刻での移動速ＬσＶ
を表示してステップ１１ＧにｒＡる。１１６では現在の
パルス（）°Ｌ置をイれぞれＸｌ、Ｘ２にｒ＋ｌシ′口
し、又第１パルスの現在の位１１Ｖｆ状態情報をＱに記
憶してステップ１１８でＩをインクリメン］〜し−Ｃス
デップ１０２に戻る。 第３回目走査において同様にしてｌ；Ｉ’　Ｏ（ａ−実
行し、今１良は、ステップ１３０に移ったとりる即ち、
］１走査時刻においては、第１パルスは、Ｑ＃′Ｘ２で
あったから右りｊゾーンに存在していたが、今回の１２
時では１くが１となり禁止ゾーンに、入ったことを意味
りる。第８図（Ｃ）に示すようなパルスのイ１°ｌ買門
係になる。この場合には、スラップ１３２に移行し、１
）０回のＸｌと現時点での第１パルスの１）１を引算し
、この値が所定の値ＭＪ、りも小さい時に４；Ｌ　、通
常の走査間隔による左に移動しうる範囲内と見なりこと
ができる。従って、ステップ１３２の判ｆｆ／ｉ　４；
Ｊ　／−どなり、第１バ／Ｌ／　ス４Ｊ、第８図Ｊ＝、
　ｌｉ二移動をしていることが判定できる。ステップ１
４４にｄ３いて、負〕１パルスは禁止ゾーンにはいった
為に、ここで第２パルスを特定パルスに切り替える。即
ち、第２パルスの移動但をここで求める。即ちり　４；
Ｌ　Ｐ　２−　Ｘ　２　′Ｃ−ある。この関係を第８図
（Ｃ）に示しである。そしてステップ１２４にＪ、り前
回の絶対移動ｆ！　Ｌ　Ｉ）に累積加算り′る。以下前
回と同様な処理を施づ−６そして先頭に戻り第４回１」
の走査をＪ３こなう。今回の走査で得られる映像パター
ンは第８図（Ｃ）と類似のものであり、Ｔ２時刻におけ
るパルス位置を更にＤだけ左に移ＹｈさＵｋものが１１
１られる。従って６ｉｔ回と同様なルーチンを通る。次
に第５回口の走査によれば前回の第１パルスＰ１は、左
側へスケールＡ−バしている。したがって、Ｔ３時刻に
ｄ３いて、第２パルスであつ−にものが１“４時刻にＪ
３いては、第１パルスとして検出されることになる。よ
って１４時の走査に（１３いては、第１パルスの状態メ
モリー〇は１であり、Ｒは２である。従って、前記と同
ルーチンを通ってステップ１４（ＩＩご（′至る。スー
ツ−ツブ１４０においてイエスと判定される。ステップ
１４３では、Ｉ）　１−　Ｘ　１が１ｌｉＬ　ｆ’ｊさ
れ、所定の値ＭＪ、り大きい。これは、第１パルスが左
端かｌうスクールＡ−バしたことを示づ。よつ°Ｃ１ス
テップ１４１に移行しく現第１パルスの位ｉｉ；ｆ　Ｐ
　’ｌから前第２パルスの位置×２を引いた値が移動ｉ
Ｔ１として４停される。そしでＪ＋、通のルーチンであ
るステップ１２４において移動ｆｉｌを累積加算して又
最初のステップに戻る。そこで次の第６回１−１の走査
１１１刻Ｃある１５時においては、第８図（ａ　）図と
同様な状態図を示−りために、第８図＜ａ　＞図で説明
したルーチンを通ることになって移ｉＩ！ｌＪ量が累積
加算されることになる。したがって、イメージセンサを
映像パルスが左方向に連続して移動づる場合の全移動量
かこのＪ、うな繰り返し操作によって求Ｊ、ることに２
ｉる。 次にパルス映ｆＫ＋がイメージセンリ上右方向即ち１、
第５３図にお（）る図上右方向に等速度で移動した場合
を考察りる。ま′？１−ＴＯ時刻に４３いて、第９図（
ａ　）の位’ｆｔ関係にあったとする。この１１４合に
おいても、Ａゝ〉はり注目すべきパルス映像はで１効ゾ
ーンに存在Ｊる第１パルスとしている。従−２）て時刻
−１−ｏにＪハノる走査では、状態メモリーの伯は、「
（＝２と’＋Ｃす、第２回目の走査においては第９図（
１））のようなパルス配列となる。この舅百には、禁止
ゾーンに第１パルス［］１が現れることになるために変
位ｈ１を算出ザるのに注目Ｊ゛べさパルスは第２パルス
ｌ）　２でな（」ればならない。従−）′Ｃ１この呪合
、状態表示メモリーはＱ＝２、Ｒ＝＝　１を現している
３、従って、ステップ１３０に、１５いＣイエスと判定
され、ステップ１３２に移る。ここでは、この場合、Ｘ
　１−１）　１が貫１算されこの値は、予め定められた
最大移動ｍＭよりも大きいことがわかる。即ち、第９図
（ａ＞から（１））に；Ｊノい−Ｃ第１パルスｌ〕ｉ　
ｔｅｌ；実は次の計数パルスであることを示している。 したがって、このにうな場合に（、上映像は右移動であ
ると判定しｉＬする。、」、ってステップ１３２に４３
いてイエスと判定されステップ１３４に移行する。王１
時刻において特定−４べきパルスは［〕２であり、Ｔｏ
にＪ３いて、特定づ−べきパルスはＰｌであったために
変位量Ｄ　Ｇ；Ｌ　ｌ：）　２−Ｘ　１としてバｌ痒し
な（）ればならない。次にスーツツブ１２／ＩにＪ５い
“Ｃ変位量が累積される。 次の走査ｕ、ｌ刻−１−３ニＪ３イＴ：　ＣＡ、第１　
パルスＰ　１は第９図（Ｃ）に示すのように禁止領域に
はい−）でいるために（ｂ　）図と状態に変化はなくＱ
−１、［又−１を示していることになる。従つＣステッ
プ１３６にａ３いてイＪ−スと判定され、ステップ１３
８に移り第２パルスを特定リベきパルスとして５１粋り
る。従って第２パルスの変（＋７．　？ｒｊ　Ｉ）２−
Ｘ　２を変位ｌｉｔどして計尊する。 次の走査時刻１３にＪ３い°Ｃは、第９図（（１）のＪ
、うなパルスのイ）ン「イ関係が得られる。これ（こＪ
、れは第１パルスは禁止ゾーンから有効ゾーンへ移行し
ているためにＱ＝１、Ｒ＝２である。したがってステッ
プ１／ＩＯにＪ３いてイ］−スと判定され、ステップ１
’１３ｆこ移行する。ステップ１　／Ｉ　：）　（’は
、ＪＩｌ！イｉの第１パルスの位置と前走査時にお【）
るパルスの位「・７どの差即ちＩ〕１−　Ｘ　１が所定
の値Ｍより大きいが小さいかを判定する。大きい場合に
はパルスは左移動であり、小さい場合はパルスが右移動
Ｃ゛あることを示しているためにステップ１３３８に移
る。即ら、ステップ１３８では、り〕２パルスに（Ｉ］
」して偏差を求める。次の走査時刻−ｒ−４にｄ３いて
は、第９図（ｅ）に示づ゛ようなパルス配量になる。こ
の場合には、第１パルスは、前走査時にＪ３いて有効ゾ
ーンにあり、今回の走査時に−３いても又イ１効ゾーン
にある。従ってＱ−２、「く−２となり、ステップ１２
０にＪ３いてイエスと判定され゛（ステップ］２２にＪ
３いて、第１パルスに？ｌ目してぞの偏差がＧ１算され
る。そしてステップ１２４にｄ３いて累槓加惇されるこ
とになる。 以上のＪ、・うにしで左方向の移動及び右方向の移動及
びこれらを総合した左右間（１１ニジた移動につい（し
同４３ｉに測定できることになる。 第８図及び第９図の図式は、枳式的に大きく移動ｉ＋ｌ
を出いているが実際には微小な移動量である。 以上の実施例においては、１つの有効ゾーン及び１つの
禁由ゾーンを定めでいるが変位を検出りるための特定パ
ルスを〕バ定づる手段は決して該方法に（、；限定され
るものではない。イメージレンリの１次元配列方向を、
光学的スケールの格子松様に対しＣ鋭角配置さけること
に覆ればＱ、１ｍｍ間隔Ｃ配設されている光学的パター
ンの内で２つのパターンだりイメージセンサ上に配列さ
れることもできる。又レンズを使って拡入りることにＪ
、−、＞　”Ｃイメージしシリ上に２つ配列りることも
可１１Ｌである。又木実施例では直線」二に変位する変
位＾１測定を用いたがこれを円周上にパルスパターンを
配設し、これを回転さけて同しにう＜ｒ方法にＪ、り同
転変位ｄ３．Ｊ：び回転速度を検出することも可能であ
る。 要は木５と明は少なくとｂ２つのパルス映像を同時にＣ
１ｌ像さけることが必要であり、移動ｆｉｉの変位を累
亦して行き、それがＣきなくなったときに後続づる第２
のパルスに注目してそのパルスの移動量をさらに累積加
偉りるようにしたものである。 従って本発明装置ににれば測定精度は、パルス周期間隔
の精度には全く依存しない。イメージセンサ十のパルス
映像の位置を４　Ｍ　ＨＺのクロックで検出しでいるた
めに極めて正確な精度の測定が可能である。イメージセ
ンサは、おおむね１画素が１０数ミク［１ンの単（ｆ／
でできているために分解能（１１０故ミクロン割る倍率
と言う結果になる。 この結果、分解能は０．数ミクロン程度Ｃあると′ｒＪ
ＬイＪることかできる。この様に本発明８−ｆ＋’ｆに
よれば光学的スクールのピッチ間隔には問題なく極めて
精密な変位あるいＧＪ速度の測定が（す１１１；である
。 従って光学的スクールの製造が容易になるという特質を
イ１している。[Using a light source and a light guide path such as lenses or optical fibers, the light from the light source is projected onto an optical displacement scale, and the reflected light or transmitted light is condensed onto the image L. )
4i, an optical l'i rIJ device constructed as shown in FIG. And Image Lonza 44 is
A large number of codes arranged in a one-dimensional array, or a carry 11
It is possible to use a storage type G CI), +3 I:3 D, etc. Here, form an image on "Image Lonely" and
(2 cycles of a pulsed pattern with at least an optical displacement school +3 +3 are always projected).
II4 J, it must be configured as follows. The pulse image position detecting device 60 sends a scanning signal to the image sensor 9 by applying a tarokk scanning pulse and sequentially extracting the image signals >5 in series. The image electric signal corresponding to the pulse periodic pattern on the image sensor is generated by the pulse image sensor 460G. , obtain a 7-color pulse-like image pattern of the optical displacement school. Then, detect the order of 1.7 of the at least two pulse-like image patterns. Here,
The position is a position expressed by an ordinal number from the one-dimensionally arranged pixel piece 9η in the image lens 1-'2 and d'3. The position data of the two pulse images detected by the pulse image one position detection device 60 is input to the data processing device 80. The data processing device 80 selects the scanning IU1 t of the at least two pulse images.
In order to measure the amount of movement of the pulse image moving in the direction o, the pulse image specifying section 90 determines the pulse of interest by 14 times, and the pulse image specifying section 90 adds +3 to one scanning period interval of the specified pulse. A movement amount calculation unit 92 that calculates the movement amount n, and a movement m stop unit that cumulatively adds this movement h) for each scanning period. ) 4 or f is true. Therefore, the final displacement amount is given as an indicative numerical value of the movable suspension stop portion 94. Next, using the device of the present invention, the movement of the object can be measured.
57i], +1! I will explain about it. Figure 2 is a conceptual principle explaining this principle. I! It is an explanatory diagram. In Fig. 2, the pulse video signal is a narrow pulse to indicate the pulse position for the purpose of explaining the principle.
C is listed. Also, the number 1fr of scales SO to S4 on the horizontal axis
indicates the pixel position on the image sensor? If you show the 1' number, it's the same ff, ? This also corresponds to the scanning time axis of the serial data extracted from the image sensor using the scanning signal. First, at time -To (13), the pulse video signal obtained by scanning the image field is shown in Figure 2 (
a). Scan +1. '(Swordsman (top pixel position number)) The first pulse image signal (
Hereinafter simply referred to as "1 pulse") is indicated by the symbol 1]1,
The second pulse appearing at position C7 of the pixel position number 3, which is slow on the time axis, is expressed as 1) and 2. This pulse P1 and pulse 1. )2 is the pulse image position i〆1
It can be thought of as the middle fire position of the pulse image detected by the detection device 1160. Next, the second part [An 11.
Figure 2 (b) shows a diagram of the pulse pattern detected at V multi II l-+.Here, the amount of movement of [-]1 can be measured by using Dl. . In addition, one scanning cycle II on the drawing! Distance traveled during 1 (Yo, compared to the actual travel, it is drawn larger in the 4th segment.Here, the pulse that measures the amount of travel is the first pulse 1)
1, the sea urchin pulse 1 is 1J as shown in Figure 2 (C).
] 1.Pull the image sensor 1 on the drawing to the right! ] It will move to the left from the sun. Then, if the moving amounts D I , D 2 , IJ 3 are calculated for each scanning period and C is added, it is possible to change from time To to time T 3 J: at c15.
The movement m of the pulse image is measured. Pulse P1
While it appears on the image sensor, it is of course possible to measure the amount of movement. When the position moves from scanning time lower 3 to the next scanning time T4, g is shown at the far left in Fig. 2 <c>.
The pulse P I L; J, , which is overscaled from the left end on the image sensor, is on the image sensor 1 [Therefore, at every ON time, two pulses Because the image is projected at t1 °C, it can be seen that a pulse J3 appears at the right end.Then, the pulse on the side of the shape /I[ in the figure promises to be the first pulse. Therefore, the second pulse shown in Fig. 2 (C) is ri'S. The amount of movement of the pulse image from time 1-3 to T4 () is 1-)2 pulse shown in Figure 2 (C) and () shown in Figure 2 (d)]]1 Just measure the amount of movement (〕4) by pressing Note 1'1 on the pulse.In this way, the movement!11
Accumulated 1 fit - report ended - 1-4 from T-o time
II.) The total movement 3L up to the moment is calculated. That is, l=D+ -l-D 2-1- D 3-1- D
It becomes 4. By repeating this operation, even if the identified pulse schools over from the left end of the image sensor 1, the amount of movement of the subsequent pulse will be determined and the amount of movement will be gradually tightened. The movement m of one barrel can be found. The pulse image specifying section 90 is a section that specifies which pulse out of at least two pulses appearing on the image sensor is to be selected. This can be easily realized mainly by using some software (7+2).However, it can also be realized by hardware by assembling circuits, etc. (Yes. To explain the identification method, in principle, we focus on the first pulse []1.) The left end scale over of the first pulse is determined based on the amount of sudden increase in the first pulse position. In other words, the first pulse is at J3 in Figure (d), and its position has increased rapidly compared to Figure (C).Similarly, when the pulse image moves to the right, the position from the right edge The overscale of the second pulse can be detected by the sudden decrease in the position of the /;tx1 pulse.Therefore, the first moving bar t when detecting the overscale is:
When moving to the left, the position difference between the new first pulse and the whistle 2 pulse should be equal to the movement amount, and when moving to the right, the position difference between the new second pulse and the mouthpiece 1 pulse should be -4. However, since the actual pulse image has a large width, it is difficult to determine the exact position of the middle pulse at the end. To find the accurate pulse middle flame position and use this value, set the virtual scale end, M, and make the determination. The point is, what is the relationship between the target position on the image plane and the pulse position?
When a specific pulse satisfies a predetermined positional relationship, attention is focused on successive pulses as the specific pulse. In summary, the measurement principle of the present invention is to form at least two pulse images on the image range, focus on one pulse, and measure it. If the amount cannot be measured at d3 at the next scanning time, note [1] on the subsequent second pulse and accumulate the movement amount of the second pulse to the previous value. This is Udozuru b to find the amount of movement of the rest. Therefore, the accuracy of the total displacement does not depend on the viscosity of the pitch interval of the optical displacement scale, which determines the period of the first pulse and the second pulse. Resolution (the pixel width that forms a pixel on one image) and the optical displacement scale
The measured viscosity is determined by the resolution and the number of scans per unit displacement, J, of the optical projector that projects the pattern of Hereinafter, the present invention will be explained in more detail using an embodiment. Fig. 3G shows a specific embodiment of the optical displacement measuring device according to the present invention. The optical displacement scale 20a is made by vacuum-depositing chromium on a glass substrate (to create a 1mm thin film) and etching () 711 to 22 parts at intervals of 1+nm to remove chromium. is removed, and the part 21 is constructed as a chromium R'') film, and a lattice-shaped pulse pattern is provided in an elongated shape.The optical displacement scale 20a is fixed to a movable table. On the other hand, the optical system 40a is fixed on a fixed base 41 and
3. A light source 421 that emits light onto the optical pattern of the optical displacement scale, and an optical lens 422 that illuminates it with a parallel beam of light Q=I, and a light source 422 that emits light from the optical pattern.
The light from -U < is focused on 44a-t, which stimulates the image,
It consists of a magnifying lens 423. The output of the image sensor' is inputted to a pulse image head position detection device 60, which will be described later, and the signal is sent to a data processing device comprising a 1il-n Itn system that processes it according to the solar 1 software described below. Manpower to 80. -γ- processing 14i processor 80 is connected to central processing unit 82 via ink face 88a as is generally known, and memory ε! +, and the operation τ) result is transferred to T
The IM is configured to output the data to the CR1" display 86. FIG. The output is
through amplifier 602 ] to the inverting input of comparator 604 . The non-inverting input of the comparator 604 is applied with the base voltage LiTVO by resistance division. The output of the comparator 604 is input to a ripple hold circuit 60G. Here, the output voltage V+ of the amplifier 602 is shown in FIG. , CC1) 2 Q The pulse waveform corresponding to one pixel signal of a is 111! This was intentional. COD
is actually composed of 11-1 pixels from 2048 pixels, so for 1 pulse image (I), 512 pulses (
11″N is formed.=1 inverter 60
In /I, the noise margin level Vo is set as the base level, and only signals whose level is higher than this level are avoided. That is, the voltage (2) passing through the comparator 60/I has a waveform like J in FIG. 2(b). Furthermore, a rectangular wave envelope formed by this large number of pulse trains is extracted using a length vault circuit 60G. That is,
It is synchronized with the 1-1 pulse for driving the CCD 44a in the timing generation circuit 612, and 1-1;'(+
f;: The pixel signal is sampled and held at its peak value through a delay circuit 614 in synchronization with the center lJ of the pulse width of the pixel signal. As a result, the output voltage ■3 is
), two waveforms are obtained. Here, the horizontal axis (well, it is the scanning time and corresponds to the position at the middle of the pixel on the CCD. The timing generation circuit 612 converts the star 1-signal Δ1 into C
It is input to the CD drive device 610 and provides scanning stars 1 to CCl). Then, I followed the start signal cunningly.
A pulse train is run through the CCD in synchronization with the four Ml-lz clock signals. On the other hand, when the output voltage V3 of the flip-flop circuit 606 is manually applied to the periodic signal input terminal (Cp terminal) of the flip-flop circuit 1-F'1 (hereinafter, the flip-flop circuit is referred to as rFFJ), both to F2 (622
) and input it to the Cp terminal of the terminal with reversed polarity. And directly connect V3 to the Cp terminal of FF3 (623), 1
, input manually to the cp pane of FF4 ((324)). Name: F F G; There is an F open circuit in the L D type. A potential is applied. Also, a start signal △゛I is manually applied to the terminals of F 1 to FF 4. Then, FF 2 to F 12/l are respectively the previous Q
The terminal outputs are connected to the inputs of the next stage so as to be connected to each other. Furthermore, each FF circuit d output terminal is 4 N Δ ND circuit 631. 632
．． 633. The other terminals of each N△ND circuit connected to the -, ,,) ii of 63/1 are the 4 M l-I z of the timing valve generator circuit 612.
The glue L1 pulse has been input. The output of each NAND circuit is from counter C1 (G/II) to
Counter C4 (644) is filled with NΔN
l) Count the number of pulse trains output from the circuit]
〜Zuru. Each of the counters C1 to C4 has a count of 1 to 1/j
The binary parallel signals are transferred and stored in the baffle registers R+ to R4 by the synchronizing signal Δ2. Then each buffer register R1-1 44 is readable by the combination controller via interface 88a 47. x has been completed. The values of the counters C1 to C4 of the pulse position detecting device 60 are as shown in FIG. 5(C).
This is the value obtained by cutting 1-1 with HZ glue []. Next, the operation up to the time when each 7J counter is trained will be explained with reference to FIG. From the timing generation circuit,
At the time [0 in Figure 6 (1)), risk 1 to Shinzuki are each [
:1- is given to the terminal, and by the start signal,
All FFs are reset. Also, six start signals are applied to the terminals of each counter, and the reset signal is similarly reset by the star 1 to signal 8 pulses. Subsequently, when C3 is manually applied to the Cp terminal at F F 1 after reset, the voltage v3 becomes a timing signal for 1:1, so the rising time of the first pulse [)1 of C3 (
+3 to i and change to state ~1J. Follow-C, F
The Q output of l21 is as shown in Figure 5 (C). That is, [the waveform 117 is generated when J'3 is reset at time 0 and reset is performed at time t1. SoshiC
1 The Q1 terminal output of this 1:Fl is the D of the next stage 1172.
For example: When the input is completed manually, and the inverted input of C3 is connected to the Cp terminal)
jM, [2 time indicates the synchronous old system, the change of one person horn extends +2 time -Ciヱ, and F F 2's 0
The two-terminal output is L 211' as shown in Figure 3 (e) (7).
Mark j and enter the ref 1- state. Below, each 1-1: is because the Q terminal output of the previous stage becomes zero manual power of the next stage.
The timing (i3 issue 1i1J ruru J: 'U-
LC1- at the a output end extends by d. Follow C1F F 3
(7) Q30i;, the i output is the second pulse]]2 fL '5 J nilia as shown in Figure 6 ((+))
Ct years old 11 (+3 to 3 - (, Utsu 1 ~ will be 411 month roar. 1 - "4's (1) 9::5 (output (Ma, 1
4 is set at 4). Once upon a time,
The terminal output numbers of these two circuits are 11, which are inverted, and are respectively shown in Figure 6 (d) (1') (+1
)(j). Each of these signals is input to one terminal of each N A N l) circuit. N A N l) Circuit 631 [yo, therefore, to~t+
Depending on the time, since the child is at the 11-b level, the other terminal-containing horn paste [1] has the effect of passing one pulse. And in the meantime/! M N z glue [1 tick is sent to counter 01 (6/I 1 ) as J:. Similarly, in the N A N f) circuit 632, the O';
~, t 211', 'i-Ken is a high level signal!
At this time, the clock pulse during this period is passed and the counter C
2 will be at 4 o'clock during that time. Similarly, NA
N l) times b'8 (533 is (avoid passing clock pulses from 0 to t o ” L 411.'+clock J, the clock pulse of 1-1 is passed, and the clock pulse between the counter C/N and the counter C/N is 1-1. As a result, the buffer register R1- R/l is the sixth
Figure (a) shows the [1st time] of C3 Dengetsu. (Accepting the 2nd, 13th, and 4th times, B returns.) Next, data processing J!1 (see Fig. 7 and Fig. For explanation, FIG. 7 shows a flowchart of the 2-in-1 software. It is assumed that the pulse image moves at a constant speed to the left in FIG. 8. Data processing 1' [! Rise.Here, a counter indicating the number of times the image sensor has been scanned.
1 and P2 are addresses indicating the center positions of the first and second video pulses, respectively. Xl, X2+, respectively for scanning j and -C
This is a memory that stores and retains the data from the previous scan. (,) tJl is the part that determines whether the position of the pulse from the previous scan is in the effective zone (determines whether it is and stores that information), and R is
This memory stores parameters indicating pulse position t7 information in the current scan. D is the amount of displacement that occurs during one scanning interval of the video pulse determined by 1.I, and the cumulative displacement is also a quantity that is proportional to the amount of movement of the object. ■ is the movement speed per unit time [! Ij et al. is a memory that stores the movement speed calculated for each scanning interval. Next, in step 102, J3 detects the pulse image position described above.
This routine detects whether data has been input to the register up to /1 and the register is ready. If no data has been input, the ready pin 1-1 will stand and continue pressing until it becomes ready. And if the craft becomes 10 ready, Snowtube 10
The contents of buffer register registers 1 to 1te 4 in which the numerical values of each counter are stored in J3 are read into the addresses of memories C1 to C4, respectively. Next step 10
6, the central part of the pulse is tIQ, P
1 = (01-02 > /2, P 2 = (03-04) / 2, using the 51st formula, the medium heat level of the first and second pulses is 1.9.1
is calculated and the deviation is stored in Pi, I"2. Then, in the next step '10ε3, a3 determines whether ]]1 is smaller than L.Here, 1- is set in advance. This is the value shown in Figure 8 (a).
]-1 is the length of the forbidden zone. here,
The section in Figure J, = L is called the prohibition zone, and the remaining SI
The section at H-b4J is called the effective zone. In the tool 1 block 10B, it is determined whether the position of the first pulse is in the prohibited zone or in the valid zone. If it is in the prohibited zone, the process moves to step 110 and the parameter I< is set to 1 and overturned. That is, if the parameter 1 is old as 1, it means that the first pulse exists in the prohibited zone. If there is no 4" in the prohibited zone, step 112 returns [J
, 2 f++'[ are set. That is, when the value of 1 is 2, it means that the first pulse exists in the effective zone. Next step ゛1'1/l
Then, it is determined whether I is O or not. If 0, the first
This indicates that it is a scanning routine, that is, the first data base 1).
Then, the positions of the first and second pulses just read are moved to the memories X1 and X2 and recorded. Also, the fI'/ir'i' state of the first pulse is stored in Q. Then, in step 1'1ε3, the scanning number parameter I is incremented by +13, and the process returns to step 102. The signal read from the image sensor in the second scan (, 1, respectively, is processed in the same manner from step 104 to step 114. Therefore, in step 114, since this is the second reading, the value of I is 4; L O 41<Proceed to the next step 120. S) At 120, the value of Q and the value of R are compared. That is, 1< is a parameter that reduces the position of the first pulse measured this time, Q is a panmeter that indicates the position state measured last time of the first pulse. Therefore, if Q is 2.1] is 2, then (, L, the first pulse in the previous scan and the current scan are both right-handed so If the first pulse is present in the effective zone, the first pulse is changed to a specific pulse, the deviation between the previous position and the current position is calculated, and step 122 , store that value as the value of D.The first pulse scanned by J3 at the 11th time from the current 10th time is the first pulse 1!7 of the image sensor 1) from the left side of the drawing. If J moves in the younger direction, the value of 1) shows a negative value. Also, if 1] 1 moves to the right on the drawing, then D
The value of indicates a positive value. Next, in step 12/l, the program proceeds to step J3, where a plan is made to finalize the movement amount]-1). That is, the total amount of movement] is accumulated. Next, in step 126, the displacement speed is obtained by dividing the movement amount () by the scanning interval 1 interval 1. Then, in step 128, J5 calculates the movement amount up to the current time 1-p, Jf+ +1. Movement speed LσV in l increments
is displayed and the process goes to step 11G. At step 116, input the current pulse ()°L position to Xl and X2, respectively, and store the current position 11Vf state information of the first pulse to Q, and increment I at step 118. Then, the process returns to the C step 102. In the third scan, l;
]At the 1st scan time, the first pulse was Q#'X2, so it existed in the right j zone, but at this time
At times, 1 becomes 1, meaning that you have entered the prohibited zone. Become a gatekeeper for pulses as shown in Figure 8(C). In this case, the transition is to slap 132 and 1
) 0 times Xl and 1) 1 of the first pulse at the present moment, and this value is the predetermined value MJ, and when it is also small, 4; L, it is within the range that can move to the left according to the normal scanning interval. You can follow what you see. Therefore, the judgment of step 132 is ff/i 4;
J/- roar, 1st bass/L/ bass 4J, Fig. 8 J=,
It can be determined that two movements are being made. Step 1
At step 44, d3, the negative]1 pulse entered the prohibition zone, so the second pulse is switched to a specific pulse. That is, the movement of the second pulse is determined here. That is, dust 4;
L P 2- X 2 'C-. This relationship is shown in FIG. 8(C). Then, in step 124, J returns to the previous absolute movement f! It is cumulatively added to LI). Hereafter, perform the same processing as last time - 6 and return to the beginning for the 4th time 1.
Perform the scan of J3. The image pattern obtained in this scan is similar to that shown in Fig. 8(C), and the pulse position at time T2 is further shifted to the left by D. Yh and Uk are 11
1 will be given. Therefore, the same routine as the 6it times is executed. Next, according to the fifth scan, the previous first pulse P1 has shifted to the left in scale A-bar. Therefore, if d3 is present at time T3, and the second pulse is 1" at time 4, J
3, it will be detected as the first pulse. Therefore, in the scan at 14 o'clock (13), the state memory 〇 of the first pulse is 1 and R is 2. 140 is determined as YES. In step 143, I) 1- Indicates the current first pulse position ii; f P
'The value obtained by subtracting the position of the previous second pulse x 2 from l is the movement i
There are 4 stops as T1. Then, in step 124, which is the routine for J+, the moving fil is accumulated and the process returns to the first step. Therefore, at 15:00, which is the 111th time C of the next 6th scan 1-1, the routine explained in FIG. I decided to go through it! The lJ amount is cumulatively added. Therefore, if the image sensor is moved continuously to the left by the video pulse, the total amount of movement J can be calculated by repeating this operation, especially 2.
iru. Next, the pulse image fK+ is directed to the right above the image sensor, that is, 1,
Let us consider the case of moving at a constant speed in the right direction on the diagram shown in FIG. 53 (). Ma'? 43 at 1-TO time, Figure 9 (
Suppose that there is a 'ft relationship in place a). In this 114th case as well, the pulse image that should be noted is the first pulse existing in the first effect zone. 2) In the scan at time -1-o, the state memory count is ``
(=2 and '+C), in the second scan, Fig. 9 (
The pulse arrangement becomes as shown in 1)). Note that the displacement h1 must be calculated because the first pulse [1] will appear in the prohibited zone. .Sub-)'C1 This spell, the status display memory shows Q=2, R==1. Therefore, in step 130, it is judged as 15C YES, and the process moves to step 132. Here, in this case,
1-1) It can be seen that 1 is calculated as 1 and this value is larger than the predetermined maximum movement mm. That is, in FIG. 9 (a> to (1));
tel: Indicates that it is actually the next counting pulse. Therefore, in this case, (, it is determined that the upper image is moving to the right and iL is executed.), step 132 and 43
If yes, the process moves to step 134. king 1
The specific −4 power pulse at time is []2, and To
At J3, the pulse to be specified was Pl, so the displacement DG;Ll:)2-X1 must be determined. Next, the J5 "C displacement amount is accumulated in the suit knob 12/I. Next scan u, l time -1-3 d J3 IT: CA, 1st
Since pulse P1 is in the prohibited area as shown in Figure 9 (C), there is no change in the state from Figure 9 (b) and Q.
-1, [also indicates -1. In the following C step 136, it is determined that a3 is yes, and step 13
8, the second pulse is set as a specific resetting pulse. Therefore, the variation of the second pulse (+7. ?rj I)2-
Calculate by displacing X2. J3°C at the next scanning time 13 is J3°C in Fig. 9 ((1)
, Una Pulse's ``I'' relationship is obtained.
, since the first pulse is transitioning from the prohibited zone to the valid zone, Q=1 and R=2. Therefore, it is determined that J3 is present in step 1/IO, and step 1
'Move to 13f. Step 1 /I :) (' is the position of the first pulse of JIl!Ii and the position during the previous scan.
Determine whether the difference of the pulse '・7, i.e., I]1- Since this indicates that there is a
” to find the deviation. At the next scanning time -r-4, d3, the pulse distribution is as shown in FIG. 9(e). In this case, the first pulse is J3 in the effective zone during the previous scan, and is in the I1 effective zone even if it is -3 during the current scan. Therefore, Q-2 becomes "ku-2", and step 12
0 is J3 and it is judged as yes. (Step) J is 22.
3 on the first pulse? The deviation of the l-th point is calculated by G1. Then, the process goes to step 124 (d3) and is added. In the above J, the movement in the left direction, the movement in the right direction, and the movement between left and right (11 points) can be measured in 43i. The diagrams in Figures 8 and 9 are , a large movement i + l
However, in reality, the amount of movement is minute. In the above embodiments, one valid zone and one prohibited zone are defined, but the means for determining the specific pulse for detecting displacement is in no way limited to the method. No. The one-dimensional array direction of the image layout is
By avoiding the arrangement at an acute angle to the lattice pattern of the optical scale, two patterns can be arranged on the image sensor among the optical patterns arranged at 1 mm intervals. Also, I decided to expand using a lens.
, -, > It is also possible to arrange two on a silicate plane using the C image.Also, in the wood example, a displacement ^1 measurement in which the displacement is in a straight line is used, but this can be done in a pulse pattern on the circumference. , and in the same way as J, avoid rotating it, and give the same rotational displacement d3. J: It is also possible to detect rotational speed. The point is that Tree 5 and Akira can simultaneously transmit at least two pulse images of B and C.
It is necessary to avoid the 1l image, accumulate the displacement of the moving fii, and when it is no longer C, the subsequent second
This method focuses on the pulse of , and further cumulatively increases the amount of movement of that pulse. Therefore, with the device of the present invention, the measurement accuracy does not depend on the accuracy of the pulse cycle interval at all. Since the position of the pulse image of the image sensor 10 is detected using a 4 MHz clock, extremely accurate measurement is possible. The image sensor has approximately 10 pixels (f/1 pixel).
Because it is made of
I can do L-J. As described above, according to the present invention 8-f+'f, there is no problem with the pitch interval of the optical school and extremely precise measurement of displacement or GJ velocity is possible ((111;). Therefore, manufacturing of the optical school is easy. It has the quality of becoming.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第１図は本発明にかかる光学的変位検出トム冒の発明概
念を説明したブロックダイアグラムである。 第２図は、本発明装置の変位測定原理を説明した原理説
明図である。第３図は本発明にかかる具体的１実施例の
光学的変位検出波Ｖ−の（ｊ・１成を示したしのである
。第４図は同実施例の内パルス映像位置検出装置の詳細
なｌｉ、）戒を示したブ［１ツクダイ曳７グラムである
。第５図は、同第４図にお（〕る作動を説明づるための
信号波形である。第６図は同じく第４図図示の装置の作
動を示づためのタイミングチト一トである。第７図は、
同実７Ｉｌ！ｉ例にＪ３い−Ｃ使用されるデータ処理装
置の処理フに１−を示したフローヂ１ノー１〜である。 第８図【よ、ノ１移動の処理の概念を説明づる概念説明
図である１、同９図は同しく右方向移動の処理を示？ｌ
概念説明図であイ）、。 ２０・・・・・・光学的変位スケール ／ＩＯ・・・・・・光学系 ／′１２・・・・・・光学的投０（器 ／Ｉ／ｌ・・・・・・イメージレンリ （３０・・・・・・パルス映像位置検出）（置８０・・
・・・・データ処理装首 ９０・・・・・・パルス映像特定部 ９２・・・・・・移動吊障出部 ９／′ｌ・・・・・・移動ｈ１槓停部 特５′［出願人　　費田工１幾株式会社代即人　　弁理
士　　大川　宏 バ１１　　　　弁理士　　藤谷　修 同　　　弁理］Ｅ　　丸山明夫 第５図 ｔｌ　　　　　　　ｔ２　　　　　　ｔ３　　　　　　
ｔ４第８図 第９図FIG. 1 is a block diagram illustrating the inventive concept of an optical displacement detection device according to the present invention. FIG. 2 is a principle explanatory diagram illustrating the displacement measurement principle of the device of the present invention. FIG. 3 shows the (j·1 formation) of the optical displacement detection wave V- in a specific embodiment of the present invention. FIG. 4 shows details of the internal pulse image position detection device of the same embodiment. (Nali,) A book that showed precepts is 1 Tsukudai Hiki 7 grams. FIG. 5 is a signal waveform for explaining the operation shown in FIG. 4. FIG. 6 is a timing chart for explaining the operation of the apparatus shown in FIG. 4. Figure 7 shows
Dojitsu 7Il! In example i, J3-C is a flowchart showing 1- for the processing of the data processing device used. Figure 8 is a conceptual explanatory diagram for explaining the concept of movement processing. l
Concept explanatory diagram). 20...Optical displacement scale/IO...Optical system/'12...Optical throw 0 (instrument/I/l...Image range (30 ...Pulse image position detection) (position 80...
...Data processing head 90...Pulse image identification section 92...Movement suspension section 9/'l...Movement h1 ram stop section special 5'[ Applicant Takumi Kasuda 1, representative of Co., Ltd. Patent attorney Hiroba Okawa 11 Patent attorney Shudo Fujitani Patent attorney] E Akio Maruyama Figure 5 tl t2 t3
t4Figure 8Figure 9

Claims (1)

【特許請求の範囲】 （１）光学的特質が、４（Ｊ対的変位方向に対し、周期
的に変動づ′るパルス状パターンを有する光学的変位ス
ケールと、 該光学的変位スクールの有する光学的パルス状パターン
を受像づ゛るイメージはンリ゛と、前記光学的変位スケ
ールの光学的パルス状パターンを、前記イメージセンサ
上に結像させて、光学的変位スクールどの相対移動によ
って、常時少’ｒ’Ｋ　くとも２つの移動づるパルス映
像を１ｒ′＃る光学的投用器どを右りる光学系ど、 １）１１記イメージセンリーから、それを−走用１！Ｉ
Ｊ　ｆｔｉに走査して前記パルス映像（ご対応したパル
ス信′／″３を入力し、該パルス映像のイメージセンリ
ー十の位置を検出Ｊるパルス映像１）′ｌ買検出装置と
、該パルス位置検出器からの出力信号を走査周期毎に処
理しで、可動物の変位を計測するデータ処理装置とから
成り、 前記データ処理装置は、走査周期毎に、パルス映像のイ
メージセンサ上の位置関係により、少なくとも過去１走
査周期間のパルス映像の移動■を求める得るパルス映像
を特定するパルス映像特定部と、前記パルス映像特定部
にＪ、って特定されたパルス映像に注目して走査周期毎
にパルス映像移８ｍを求める移動屯算出部と、 走査周期毎に、前記パルス映像特定部及び移動量算出部
を順序制御し、前記パルス映像移動量を積算する移動量
積陣部と、 かう成り、走査周期の経過に伴なうパルス映像の離散的
移動に対し、順次後続パルスに注（］シて移動Ｍを累積
加算りることを特徴とりる光学的変位測定装置。 （２〉前記光学的変位スケールは、直線方向に移動量る
移動台に固定された長尺状の光学的変位スケールである
ことを１！ｉ徴とＪるｌ！ｆ　晶’Ｉ’　ｉｉ！’Ｉ求
の範囲第１項記載の光学的変位測定装置。 （３）前記光学的変位スケールは円！ｉ１１目ｒＪ周一
１ニに配没されたラブイモル円形スケールであり、該光
学的変位スケールの回転と、回転体の回転とが同期Ｑ　
１ｌｉｉ、リイ）Ｊ、うに、該光学的変位スクールを回
転体と連系し回転体の回Φλ変位を測定することを特徴
ど刀る’ｌ’ｆ　ｉｉ’ｌ請求の９，１１囲第１項記載
の光学的変位測定装置、[Scope of Claims] (1) An optical displacement scale having an optical characteristic having a pulse-like pattern that periodically fluctuates with respect to the 4 (J) displacement direction, and an optical property of the optical displacement school. The optical pulse pattern of the optical displacement scale is imaged on the image sensor, and the optical pulse pattern of the optical displacement scale is constantly reduced by the relative movement of the optical displacement scale. r'K An optical system that sends at least two moving pulse images to an optical projector, etc. 1) From the 11th image sensor, send it to -running 1! I
scan the pulse image (corresponding pulse signal '/''3) and detect the position of the image sensor of the pulse image 1)'l detection device, and and a data processing device that measures the displacement of the movable object by processing the output signal from the position detector every scanning period, and the data processing device calculates the positional relationship of the pulse image on the image sensor every scanning period. A pulse image specifying section that specifies the pulse image that can be obtained by determining the movement of the pulse image during at least one past scanning period; a movement amount calculation section that calculates a pulse image movement of 8 m; a movement amount accumulation section that sequentially controls the pulse image identification section and the movement amount calculation section and integrates the pulse image movement amount for each scanning period; , an optical displacement measuring device characterized in that, with respect to discrete movements of a pulse image as the scanning period progresses, the movement M is cumulatively added to successive pulses. The target displacement scale is a long optical displacement scale fixed to a movable table that moves in a linear direction. The optical displacement measuring device according to item 1. (3) The optical displacement scale is a love mole circular scale disposed in a circle! is synchronized with the rotation of Q
1lii, li) J, Uni, the optical displacement school is connected to a rotating body to measure the rotational Φλ displacement of the rotating body. The optical displacement measuring device described in Section 1,