JPS5965706A - 位置合せ方法及びその装置 - Google Patents
位置合せ方法及びその装置Info
- Publication number
- JPS5965706A JPS5965706A JP17610382A JP17610382A JPS5965706A JP S5965706 A JPS5965706 A JP S5965706A JP 17610382 A JP17610382 A JP 17610382A JP 17610382 A JP17610382 A JP 17610382A JP S5965706 A JPS5965706 A JP S5965706A
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- JP
- Japan
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- plates
- transparent
- positioning
- detection optical
- optical part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、位り゛合せ方法及びその装置に係り特に2つ
の物体の表向パターンを精度良く位置合せ可能な位置合
わせ方法及びその装置に関するO 〔従来技術〕 一般に液晶表示素子は、透明板例えばガラス板上にパタ
ーンを形成し、このパターンが形成された複数のガラス
板を纜着接わじして形成されるため、異なるカラス板の
パターンを高桔)庭に位置合せする必要がある。従来技
術による位置合せ方法及び装置を第1図を用いて説明す
る。
の物体の表向パターンを精度良く位置合せ可能な位置合
わせ方法及びその装置に関するO 〔従来技術〕 一般に液晶表示素子は、透明板例えばガラス板上にパタ
ーンを形成し、このパターンが形成された複数のガラス
板を纜着接わじして形成されるため、異なるカラス板の
パターンを高桔)庭に位置合せする必要がある。従来技
術による位置合せ方法及び装置を第1図を用いて説明す
る。
第1図に示す位置合せ装置は、パターン3が形成された
ガラス@1の下にパターン4が形成されテーブル10に
より移動可能なカラス板2を設置し、透過照明器5から
発してカラス板1及び2を透過した光音検出用光学部6
及び像検出器7によって検出し、これを入力した位置検
出回路8がテーブル制御回路9を介してテーブル10を
移動させることにより位置決めを行なう○しかしながら
、この従来仮術による位置合せ装置は、複数のガラス、
例えばカラス1及び2を透過した光を用いて位置決めを
行なうため、鮮明にパターンを検出することができず位
置決め精度が悪いと言う問題点を有していた。
ガラス@1の下にパターン4が形成されテーブル10に
より移動可能なカラス板2を設置し、透過照明器5から
発してカラス板1及び2を透過した光音検出用光学部6
及び像検出器7によって検出し、これを入力した位置検
出回路8がテーブル制御回路9を介してテーブル10を
移動させることにより位置決めを行なう○しかしながら
、この従来仮術による位置合せ装置は、複数のガラス、
例えばカラス1及び2を透過した光を用いて位置決めを
行なうため、鮮明にパターンを検出することができず位
置決め精度が悪いと言う問題点を有していた。
本発明の目的は前記従来技術の問題点を除去することで
あり、高精度なパターン位置合わせを行なうことのでき
る位1〆合せ方法及びその装置〆を提供することである
。
あり、高精度なパターン位置合わせを行なうことのでき
る位1〆合せ方法及びその装置〆を提供することである
。
前記目的を達成するために本発明による位置合せ方法は
、透明板を間隔をもって保持し、第1及び第2の透明板
を透過した像をM記透明板間の空間で検出して比較した
結果を用いて透明板を移動ジせて位置決めを行なうこと
を特徴とする。更らに本発明による位置決め装置は、透
明Allを任意方向可能に保持する移動手段と、該移動
手段により形成された透明板間の空間に配置される検出
用光学部と、透明板を透過した像が検出用光学部に照射
する位置に設けられブヒ照光器とを備えることを特徴と
する。
、透明板を間隔をもって保持し、第1及び第2の透明板
を透過した像をM記透明板間の空間で検出して比較した
結果を用いて透明板を移動ジせて位置決めを行なうこと
を特徴とする。更らに本発明による位置決め装置は、透
明Allを任意方向可能に保持する移動手段と、該移動
手段により形成された透明板間の空間に配置される検出
用光学部と、透明板を透過した像が検出用光学部に照射
する位置に設けられブヒ照光器とを備えることを特徴と
する。
以下本発明による位置合せ方法及びその装置の一実施例
を図面を用いて詳細に説明する。
を図面を用いて詳細に説明する。
第2図は本実施例による位置合せ装置の全体概女図であ
る。本実施例におけるガラス板1は上下動ブロック11
a及びiibに例えば真空チャックによって保持され、
モータ16により回動されるスクリューイ・ジ12によ
って上下移動が可能であり、丑だカラス板2は、テーブ
ル10a及び10I)によって保持されモータ20によ
り回動されるスクリューイ・ジ19によって左右方向移
動が可fHQである、−更らに検出用光学部16(性、
前記ガラス板1と2の間に配置されていると共に該ガラ
ス板1及び2の間から退避させるだめの退避機構18に
よって支持されている。前記検出用光学部16は、固体
テレビカメラなどの像検出器17と連結され、検出像を
位置検出回路8に入力しているn載位を醒検邑回路8は
前記検出像に基づいてチーフル駆動回路9を介してモー
タ20を駆動してデープル10a及びiobに搭載され
たガラス板2を移動嘔せる。
る。本実施例におけるガラス板1は上下動ブロック11
a及びiibに例えば真空チャックによって保持され、
モータ16により回動されるスクリューイ・ジ12によ
って上下移動が可能であり、丑だカラス板2は、テーブ
ル10a及び10I)によって保持されモータ20によ
り回動されるスクリューイ・ジ19によって左右方向移
動が可fHQである、−更らに検出用光学部16(性、
前記ガラス板1と2の間に配置されていると共に該ガラ
ス板1及び2の間から退避させるだめの退避機構18に
よって支持されている。前記検出用光学部16は、固体
テレビカメラなどの像検出器17と連結され、検出像を
位置検出回路8に入力しているn載位を醒検邑回路8は
前記検出像に基づいてチーフル駆動回路9を介してモー
タ20を駆動してデープル10a及びiobに搭載され
たガラス板2を移動嘔せる。
さて、この様に構成された本実施例における位置決め装
置は、次の如く動作することによって位9i決めを行な
う0 1す、検出用光学部16がカラス板1及び2の闇に恒1
区尽tた状態で、照光器14及び15が照光し、この光
がそれぞれガラス板1及び2を透過して検出用光学部1
6に入力され、像検出器17ヲ介して位置検出回路8に
入力されることにより位置検出回路8は、それぞれの入
力像を比較し一致するようにテーブル制御回路9を介し
てテーブル10a及びiobにより支持されたカラス板
2を、駆動してそれぞれのパターン6及び4の位置合わ
せを行なう。この動作id、繰返し行ないずれ量が苓ま
たは許容値以下になるまで行なう。
置は、次の如く動作することによって位9i決めを行な
う0 1す、検出用光学部16がカラス板1及び2の闇に恒1
区尽tた状態で、照光器14及び15が照光し、この光
がそれぞれガラス板1及び2を透過して検出用光学部1
6に入力され、像検出器17ヲ介して位置検出回路8に
入力されることにより位置検出回路8は、それぞれの入
力像を比較し一致するようにテーブル制御回路9を介し
てテーブル10a及びiobにより支持されたカラス板
2を、駆動してそれぞれのパターン6及び4の位置合わ
せを行なう。この動作id、繰返し行ないずれ量が苓ま
たは許容値以下になるまで行なう。
次に、検出用光学部16が退m m +g 1sによっ
てカラス板1と2との闇から退避された後に、モータ1
6が回転して上下動フロック11a及び1ibを下降さ
せカラス板1をカラス板2に密着又は所定の微少距離ま
で接近させる1、この状態で、ガラス板1と2をクラン
プ治具(図示せず)により固定し、装置から取りはずす
ことにより、カラス板1及び2のパターン3及び4を高
精度に位置合わせて取9出すことができる1、第3図は
第2図における検出用光学部16の一実施例の断面及び
カラス板1及び2を示す図である。本実施例による検出
用光学部16は、半透鏡面Aと全反射鏡+ui Bを持
つプリズムブロック21と結像レンズ22とによって構
成されている。
てカラス板1と2との闇から退避された後に、モータ1
6が回転して上下動フロック11a及び1ibを下降さ
せカラス板1をカラス板2に密着又は所定の微少距離ま
で接近させる1、この状態で、ガラス板1と2をクラン
プ治具(図示せず)により固定し、装置から取りはずす
ことにより、カラス板1及び2のパターン3及び4を高
精度に位置合わせて取9出すことができる1、第3図は
第2図における検出用光学部16の一実施例の断面及び
カラス板1及び2を示す図である。本実施例による検出
用光学部16は、半透鏡面Aと全反射鏡+ui Bを持
つプリズムブロック21と結像レンズ22とによって構
成されている。
従って、照光器14(第2図)の光によるカラス1を透
過した光学像が半透鏡面Aによって反射されて結像レン
ズ22を介して像検出器17に入力されると共に、照光
器15(第2図)の光によるカラス2を透過した光学像
が全反射鏡Bによって反射されて結像レンズ22を介し
て像検出器17に入力されるーこれにより像検出器17
は、ガラス1と2を介した光学像が同時に入力されて前
述の徒に位置検出回路8に入力することができる。
過した光学像が半透鏡面Aによって反射されて結像レン
ズ22を介して像検出器17に入力されると共に、照光
器15(第2図)の光によるカラス2を透過した光学像
が全反射鏡Bによって反射されて結像レンズ22を介し
て像検出器17に入力されるーこれにより像検出器17
は、ガラス1と2を介した光学像が同時に入力されて前
述の徒に位置検出回路8に入力することができる。
第4図は前記検出用光学部16の他の実施例を説明する
ための図である。本実施例による検出用光学部16は、
ガラス板1及び2を透過した光をそれぞれ90度方向へ
反射する全反射面C及びDが入射光に対して45°度の
角度をもって設置された分割ミラー26と、結像レンズ
22によって構成されている。この光学用検出部16は
、入力した光学像を像検出器17の撮像面上に分割視野
で投影するものである。
ための図である。本実施例による検出用光学部16は、
ガラス板1及び2を透過した光をそれぞれ90度方向へ
反射する全反射面C及びDが入射光に対して45°度の
角度をもって設置された分割ミラー26と、結像レンズ
22によって構成されている。この光学用検出部16は
、入力した光学像を像検出器17の撮像面上に分割視野
で投影するものである。
第5図は、史らに検出用光学部16の他の実施例を示す
ものである。この検出用光学部16は、入射光に対して
45度の角度をもって配置された全反射鏡24と、この
全反射鏡24を上下方向位置に回動可能に保持するベア
リング25と、前記全反射鏡24をモータ27によって
回転させるだめの歯車26とを有し、例えば第5図の如
くガラス板1を透過した像を像検出器17に投射した後
に、モータ27の回動によって全反射染、24を180
度回軸回転てガラス2を透過した像を像検出617に投
影するものである。従って本実施例による光学部16が
、ガラス1とカラス2とを透過した像を、別々に像検出
器17に入力するため、位置検出回路8は、2つの像が
入力されるのを待って像の比較をした後にテーブルの移
動を行なうことが必要である。
ものである。この検出用光学部16は、入射光に対して
45度の角度をもって配置された全反射鏡24と、この
全反射鏡24を上下方向位置に回動可能に保持するベア
リング25と、前記全反射鏡24をモータ27によって
回転させるだめの歯車26とを有し、例えば第5図の如
くガラス板1を透過した像を像検出器17に投射した後
に、モータ27の回動によって全反射染、24を180
度回軸回転てガラス2を透過した像を像検出617に投
影するものである。従って本実施例による光学部16が
、ガラス1とカラス2とを透過した像を、別々に像検出
器17に入力するため、位置検出回路8は、2つの像が
入力されるのを待って像の比較をした後にテーブルの移
動を行なうことが必要である。
尚、前記実施例においては、検出用光学部16テーブル
10a及び10bがいず扛も一方向にしか移動しない例
を示したが、これらはいずれも多方向にわたって移動可
能な様に複数個設けることによっても不発明を実施する
ことができる。
10a及び10bがいず扛も一方向にしか移動しない例
を示したが、これらはいずれも多方向にわたって移動可
能な様に複数個設けることによっても不発明を実施する
ことができる。
壕だ、カラス板はプラスチックであっても良い。
以上述べた如く本発明によれば、2つの透過板、ψ1」
えはカラス板の間に検出用光学部を設は上下方向からの
透過光を前記検出用光学部に入力することにより、パタ
ーンの位置を横比するため、高精度な位16合せを行な
うことができる。
えはカラス板の間に検出用光学部を設は上下方向からの
透過光を前記検出用光学部に入力することにより、パタ
ーンの位置を横比するため、高精度な位16合せを行な
うことができる。
第1図は従来技術による位置合せ装置を示す図である。
第2図は本発明による位置合せ方法の一実施例である位
置合せ装置を示す図、第6図は第2図の検出用光学部の
一実施例を示す図である。第4図及び第5図は検出用光
学部の他の実施例をそれぞれ示す図である0 1及び2・ガラス板 6及び4・・・パターン8・・位
置構出回路 9・・・テーブル制御回路10a及び1
0b・・テーブル 11a及びiib・・・上下動ブロック16及び20・
・・モータ 14及び15・・・照光器16・・・検
出用光学部 17・像検出器18・・・退避機構
21・・・プリズムブロック22・・・結像レンズ
23・分割ミラー24・・・全反射鏡25・ベア
リング 26・・・歯車 27・モータ代理人弁理士
薄 1)利 ρう入 千1図 〒2図 〒5図 ■ 14図 【
置合せ装置を示す図、第6図は第2図の検出用光学部の
一実施例を示す図である。第4図及び第5図は検出用光
学部の他の実施例をそれぞれ示す図である0 1及び2・ガラス板 6及び4・・・パターン8・・位
置構出回路 9・・・テーブル制御回路10a及び1
0b・・テーブル 11a及びiib・・・上下動ブロック16及び20・
・・モータ 14及び15・・・照光器16・・・検
出用光学部 17・像検出器18・・・退避機構
21・・・プリズムブロック22・・・結像レンズ
23・分割ミラー24・・・全反射鏡25・ベア
リング 26・・・歯車 27・モータ代理人弁理士
薄 1)利 ρう入 千1図 〒2図 〒5図 ■ 14図 【
Claims (2)
- (1)第1の透明板上に設けられたパターンと第2の透
明板上に設けられたパターンとの位置合せを行なう位置
合せ方法において、第1と第2の透明機を間隔をもって
保持し、前記第1及び第2の透明板を透過した光学像を
第1及び第2の透明板間で検出して比較すると共に、前
記比較結果を用いて第1及び捷たけ第2の透明板を移動
することにより第1及び第2の透明板上のパターンの位
置合せを行なうこと(i−特徴とする位1v合せ方法。 - (2)第1の透明板上に設けられたパターンと第2の透
明板上に設けられたパターンの位置合わせを行々う位置
合せ装置において、第1の透明叡を保持して任意方向に
移動可能な第1の移動手段と、第2の透明板を保持して
任意方向に移動可N’Mな巣2の移動手段と、前記第1
及び捷たは第2の移動手段によって第1の透明板と第2
の透明板との間に形成さ扛た空間に自装置される検出用
光学部と、前記第1と第2の透明板のttilに形成さ
れた空間外であって第1及び第2の透明板を透過した光
学部が前記検出用光学部に入射きれる位置に配置された
照光器とを備え、前記照光器から発せられた光によって
第1及び第2の透明板を透過して検出用光学部に入射さ
れる光学像を比較し、該比較結果を用いて第1及び第2
の透明板上のパターンの位置合せを行なうことを特徴と
する位置合せ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17610382A JPS5965706A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 位置合せ方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17610382A JPS5965706A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 位置合せ方法及びその装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5965706A true JPS5965706A (ja) | 1984-04-14 |
Family
ID=16007741
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17610382A Pending JPS5965706A (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | 位置合せ方法及びその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5965706A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0253349A2 (de) * | 1986-07-15 | 1988-01-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Anordnung zur genauen gegenseitigen Ausrichtung einer Maske und einer Halbleiterscheibe in einem Lithographiegerät und Verfahren zu ihrem Betrieb |
JPH01250004A (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-05 | Toshiba Corp | 部品位置決め装置および部品組付け装置 |
-
1982
- 1982-10-08 JP JP17610382A patent/JPS5965706A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0253349A2 (de) * | 1986-07-15 | 1988-01-20 | Siemens Aktiengesellschaft | Anordnung zur genauen gegenseitigen Ausrichtung einer Maske und einer Halbleiterscheibe in einem Lithographiegerät und Verfahren zu ihrem Betrieb |
JPH01250004A (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-05 | Toshiba Corp | 部品位置決め装置および部品組付け装置 |
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