JPS5956291A - Mos記憶装置 - Google Patents
Mos記憶装置Info
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- JPS5956291A JPS5956291A JP57164829A JP16482982A JPS5956291A JP S5956291 A JPS5956291 A JP S5956291A JP 57164829 A JP57164829 A JP 57164829A JP 16482982 A JP16482982 A JP 16482982A JP S5956291 A JPS5956291 A JP S5956291A
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- JP
- Japan
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- capacitor
- circuit
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- voltage
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は,MOS(金41↓絶縁物半導体)記憶装置
に15りする。
に15りする。
ダイナミック型メモリセルは.”IhlHり1)荷の形
態で記憶するキャパシタとアドレス嶽択用のH’tRゲ
ート型m界効果トランジスタ(以下,1vlQgFE
’f又はMOS}ランジスタと称する。)とによってt
行成される。
態で記憶するキャパシタとアドレス嶽択用のH’tRゲ
ート型m界効果トランジスタ(以下,1vlQgFE
’f又はMOS}ランジスタと称する。)とによってt
行成される。
中導体捕板上におい゛〔形成されたメモリセルにおいて
は、上記キャパシタにnX4+!fされたTIL荷が。
は、上記キャパシタにnX4+!fされたTIL荷が。
リークTri、流等によって時間とともに減少してしま
う。このため、常にメモリセルに正確な情報を記憶させ
ておくためには、メモリセルに記憶されている情報を、
その情報が失われる前に統み出して。
う。このため、常にメモリセルに正確な情報を記憶させ
ておくためには、メモリセルに記憶されている情報を、
その情報が失われる前に統み出して。
これを増幅して再び同じメモリセルに書込む動作。
いわゆるリフレッシュ動作を行う必要がある。例えば、
64にピントのダイナミック型lもAM(ランダム・ア
クセス・メモリ)におけるメモリセルのリフレッシュは
、「m子技術」誌のVo123゛、。
64にピントのダイナミック型lもAM(ランダム・ア
クセス・メモリ)におけるメモリセルのリフレッシュは
、「m子技術」誌のVo123゛、。
No3のpp30〜33に示されている自動リフレッシ
5.機能によって行われでいた。
5.機能によって行われでいた。
すなわち、ダイナミック型IL A Mに、リフレッシ
ュ制御用の外部端子を設けて、この外部端子に所定のレ
ベルのリフレッシュイ[1号14 E S Hを印加す
ることにより、ダイナミック型It A M内の複数の
メモリセルが自動的にリフレッシュされるようにしてい
た。
ュ制御用の外部端子を設けて、この外部端子に所定のレ
ベルのリフレッシュイ[1号14 E S Hを印加す
ることにより、ダイナミック型It A M内の複数の
メモリセルが自動的にリフレッシュされるようにしてい
た。
上記の自動リフレッシュ方式は、外部制御信号lLgs
tiを必要とするので、完全自動リフレッシュ動作どは
言えない。
tiを必要とするので、完全自動リフレッシュ動作どは
言えない。
また、そのセルフリフレッシュ動作においては。
実際のメモリセルにおけるリークytt流について何隻
考慮してい/jいので、その消費VIL流が必要以上に
太き(なるうすなわち、リークm流シエ、温度の上昇と
ともに大きくなるので、全温度範囲にわたってセルフリ
フレッシュ動作を行わせるためには。
考慮してい/jいので、その消費VIL流が必要以上に
太き(なるうすなわち、リークm流シエ、温度の上昇と
ともに大きくなるので、全温度範囲にわたってセルフリ
フレッシュ動作を行わせるためには。
一定の余裕をもった短い周期に設定しなければならない
からである。
からである。
この発明の目的は、完全自動リフレッシ−機能を備えた
MO8記憶装置を提供することにある。
MO8記憶装置を提供することにある。
この発明の(lj4の目的は、低消′R,tlL力化を
図ったMOf5記憶装置を提供することにあろうこの発
明の更に他の目的ケよ、以ドの説明及び図面から明らか
Kなるであろう。
図ったMOf5記憶装置を提供することにあろうこの発
明の更に他の目的ケよ、以ドの説明及び図面から明らか
Kなるであろう。
以−ド、この発明を実施例とともに詳細に説明する。
第1図には、この発明の一実画例のブロック図が示され
でいる。
でいる。
同図において1点線で囲まれた各回路ブロックは、公知
の牛導体集(v1回NISの製造技術によって。
の牛導体集(v1回NISの製造技術によって。
シリコンのよりな1個の半導体ノ、(板上において形成
され2例えば端子DO−D7.AO〜A14゜W18.
C8,lもID5H及びVcc 、 Vssは、その外
部端子とされ、端子’Jcc 、 Vssに図示しない
適当/Z外外部亀裂装置ら給電が行われる。
され2例えば端子DO−D7.AO〜A14゜W18.
C8,lもID5H及びVcc 、 Vssは、その外
部端子とされ、端子’Jcc 、 Vssに図示しない
適当/Z外外部亀裂装置ら給電が行われる。
回路記号M−ALLYで示されているのは、メモリアレ
イであり、公知の1MO8型メモリセルがマ) IJソ
ックス状配置されている。この実施例では、特に制限さ
れないが、上記メモリセルは一対の平行に配置さ1また
相補データ線J) 、 、1)に、その入出力ノードが
結合された2交点方式で配MCされる。
イであり、公知の1MO8型メモリセルがマ) IJソ
ックス状配置されている。この実施例では、特に制限さ
れないが、上記メモリセルは一対の平行に配置さ1また
相補データ線J) 、 、1)に、その入出力ノードが
結合された2交点方式で配MCされる。
回路記号Pctで示されているのは、データ線グリチャ
ージ回路であり、プリチャージパルスφI)C1を受け
゛〔、相補データ線1) 、 l)を短絡してVcc/
2 Kフ!J チャフす’−) M Q S F ii
T icよりfI+り成される。
ージ回路であり、プリチャージパルスφI)C1を受け
゛〔、相補データ線1) 、 l)を短絡してVcc/
2 Kフ!J チャフす’−) M Q S F ii
T icよりfI+り成される。
回路記号SAで示されているのは、センスアンプであり
、特に制限されないが、■源1Jt圧Vccと回路の接
地電位Vssにそれぞれパソースイッ′)MOS F
13 ’I’カffケラレタCMOS (fIIiit
型Mo s’)ラッチ回路でff&成され、七の一対の
人出カノードは、上記相補データIJIJ’、l)に結
合され゛〔いる。
、特に制限されないが、■源1Jt圧Vccと回路の接
地電位Vssにそれぞれパソースイッ′)MOS F
13 ’I’カffケラレタCMOS (fIIiit
型Mo s’)ラッチ回路でff&成され、七の一対の
人出カノードは、上記相補データIJIJ’、l)に結
合され゛〔いる。
タイミングパルスψpaは、上記パワースイッチMOS
li” !4 Tを制御するためのものであシ)、パ
ワースイッチ・M OS F IA i’は、ツリグー
ヤージ直前にオフにされ、相hIIデータ91 D 、
L)がフローティフグ状態でVcc 、 Vss レ
ベルを保持する。そし゛〔、上記プリプーヤージM□:
月、1 J、l Tのiンi二より、イ■桶データ鞠1
) 、 1)li、 Vcc/2にプリチャージされろ
う回路紀U・C−s〜■で示され゛〔(・るの&−J1
.カラムスイッチでk)す、カラム選u’< 04号に
従うで、選択された4iT補データ線を共通相補データ
線に結合させる。
li” !4 Tを制御するためのものであシ)、パ
ワースイッチ・M OS F IA i’は、ツリグー
ヤージ直前にオフにされ、相hIIデータ91 D 、
L)がフローティフグ状態でVcc 、 Vss レ
ベルを保持する。そし゛〔、上記プリプーヤージM□:
月、1 J、l Tのiンi二より、イ■桶データ鞠1
) 、 1)li、 Vcc/2にプリチャージされろ
う回路紀U・C−s〜■で示され゛〔(・るの&−J1
.カラムスイッチでk)す、カラム選u’< 04号に
従うで、選択された4iT補データ線を共通相補データ
線に結合させる。
回路記号1(、−AIJLSで示されているのは、ロウ
アドレスバッ°7アであり、夕;部端j子AO−A8b
・らの外部アドレス信号を受けて、内部イ11祉アドレ
ス信号aO−a8を形成する。
アドレスバッ°7アであり、夕;部端j子AO−A8b
・らの外部アドレス信号を受けて、内部イ11祉アドレ
ス信号aO−a8を形成する。
回路記号C−AD13で示さjLでいるのは、カラムア
ドレスバッフ了であり、外部端子A9〜Δ14かもの外
部アドレスバッフを受け′C1内部相補アドレス色号a
9〜a14を形成する。
ドレスバッフ了であり、外部端子A9〜Δ14かもの外
部アドレスバッフを受け′C1内部相補アドレス色号a
9〜a14を形成する。
回路記号It −1) 011.で示されているのは、
ロウアドレスデコーダであり、後述するマルチプレクサ
MPXを介した内部相補アドレスfi(号aO〜a8を
受けて、M−AILYのワード線選択信号を形成する。
ロウアドレスデコーダであり、後述するマルチプレクサ
MPXを介した内部相補アドレスfi(号aO〜a8を
受けて、M−AILYのワード線選択信号を形成する。
このワード線選択fg号は、ワード線(iIj沢タイミ
ング信号φXに同期して、M−All、Yに伝えられる
。
ング信号φXに同期して、M−All、Yに伝えられる
。
回路記号C−1) CRで示されているのは、カラムア
ドレスデコーダであり、内部相補アドレス信号89〜a
14を受けて、M−ALLYのデータ線選択信号を形成
する。このデータ線選択信号は。
ドレスデコーダであり、内部相補アドレス信号89〜a
14を受けて、M−ALLYのデータ線選択信号を形成
する。このデータ線選択信号は。
データ線選択タイミング信号φyに同期して、カラムス
イッチC−8Wに伝えられる。
イッチC−8Wに伝えられる。
回路記号P C2で示されているのは、共通相補データ
線のプリチャージ回路であり、q″:jに制限されない
が、プリチャージパルスψpc2を受けて共通相補デー
タ線を短絡する上記同様なMQSNETにより構成され
ているう 回路記号MAで示されているのは、メインアンプであり
、−に記センスアンプと同様な回路11′y成とされる
。タイミングパルスφtnaは、そのパワースイッチM
OS l” 1番】i’を制胡1するためのものであ
る。
線のプリチャージ回路であり、q″:jに制限されない
が、プリチャージパルスψpc2を受けて共通相補デー
タ線を短絡する上記同様なMQSNETにより構成され
ているう 回路記号MAで示されているのは、メインアンプであり
、−に記センスアンプと同様な回路11′y成とされる
。タイミングパルスφtnaは、そのパワースイッチM
OS l” 1番】i’を制胡1するためのものであ
る。
回路記号1)()口で示されているのは、データv1カ
バッファでk)す、線入出しタイミングパルスφrwに
より、MAからの読み出しデータを外部端子DO〜D7
にそ11ぞれ送出するつなお、書込入時には、線入出し
タイミングパルスφrwによりこのデータ出力パッファ
I) Q 11 )jl、小動作(出力)・イインビー
ダ/ス)にされる。
バッファでk)す、線入出しタイミングパルスφrwに
より、MAからの読み出しデータを外部端子DO〜D7
にそ11ぞれ送出するつなお、書込入時には、線入出し
タイミングパルスφrwによりこのデータ出力パッファ
I) Q 11 )jl、小動作(出力)・イインビー
ダ/ス)にされる。
回路記号D l 13で示されていイ)のは、データ人
力バッファであり、書込入タイミングパルスφrwによ
り、外部端子DO〜D7かもの411込入データを共通
用補データ線に伝えろ。1.cお、読み出し時には、書
込入タイミングパルスのrwによりこのデータ人力バッ
ファDL13は、不動作にされる。
力バッファであり、書込入タイミングパルスφrwによ
り、外部端子DO〜D7かもの411込入データを共通
用補データ線に伝えろ。1.cお、読み出し時には、書
込入タイミングパルスのrwによりこのデータ人力バッ
ファDL13は、不動作にされる。
上記各f111タイミングfi号は2次の各回路ブロッ
クにより形成されろ。
クにより形成されろ。
回路記号1(、l!]Gで示されているのは、特に制限
されないが、アドレスバッフ号aO〜a)3(又はaO
胚 〜杆)を受けて、その立ち上がり又は立ち下がりのエツ
ジを検出するエツジトリガ回路である。
されないが、アドレスバッフ号aO〜a)3(又はaO
胚 〜杆)を受けて、その立ち上がり又は立ち下がりのエツ
ジを検出するエツジトリガ回路である。
回路記号c 1> Gで示されているのは、特に制限さ
れないが、アドレス信号a9〜a14(又はa9〜at
4)を受けて、その立ち上がり又は立ち下がりのエツジ
を検出するエツジトリガ回路である。上記エツジトリガ
回路1口3 Gは、特に制限されないが、アドレス信号
aO〜a8ど、その遅延信号とをそれぞれ受ける排他的
論理和回路と、その出力信号を受ける論理和回路とによ
り構成され。
れないが、アドレス信号a9〜a14(又はa9〜at
4)を受けて、その立ち上がり又は立ち下がりのエツジ
を検出するエツジトリガ回路である。上記エツジトリガ
回路1口3 Gは、特に制限されないが、アドレス信号
aO〜a8ど、その遅延信号とをそれぞれ受ける排他的
論理和回路と、その出力信号を受ける論理和回路とによ
り構成され。
いずれかのアドレス信号aO−wa8の間化タイミング
に同期したエツジ検出パルスφrを形成する。
に同期したエツジ検出パルスφrを形成する。
また、上記エツジトリガ回路c 1> Uは、特に制限
されないが、上記エツジトリガ回路ルト】(iと同様な
回路r<成とされている。すなわち、アドレス信号a9
〜a14と、その遅延信号とをそれぞれ受ける排他的論
理和回路と、その出力g1号を受ける論理和回路とによ
り構成され、いずれかのアドレス信号39〜a14の変
化タイミングに同期したエツジ検出パルスΦCを形成す
るG 回路記号TGで示されているのは、タイミング発生回路
であり、上記代表として示された主要な各タイミング信
号等を形成する。このタイミング発生回路は、エツジ検
出パルスのr、φCの他。
されないが、上記エツジトリガ回路ルト】(iと同様な
回路r<成とされている。すなわち、アドレス信号a9
〜a14と、その遅延信号とをそれぞれ受ける排他的論
理和回路と、その出力g1号を受ける論理和回路とによ
り構成され、いずれかのアドレス信号39〜a14の変
化タイミングに同期したエツジ検出パルスΦCを形成す
るG 回路記号TGで示されているのは、タイミング発生回路
であり、上記代表として示された主要な各タイミング信
号等を形成する。このタイミング発生回路は、エツジ検
出パルスのr、φCの他。
外部端子から供給されるライトイネーブル信号WE、チ
ップ選択信号C8を受゛けて、上記一連のタイミングパ
ルスを形成する。
ップ選択信号C8を受゛けて、上記一連のタイミングパ
ルスを形成する。
回路記号M P Xで示されているのは、マルチプレク
サであり、後述する自動リフレッシュ回路ItE l”
からの制θ11信v!FMXCに従って、上記アドレス
バッフ−r B −A D Bで形成された内部相補ア
ドレス信号aO〜a8と、上記自動リフレッシュ回路R
I’i F−C−形成された内部相補アドレス信号aO
〜a8とを選択的に上記デコーダL(、−1) Cl(
、に伝える。
サであり、後述する自動リフレッシュ回路ItE l”
からの制θ11信v!FMXCに従って、上記アドレス
バッフ−r B −A D Bで形成された内部相補ア
ドレス信号aO〜a8と、上記自動リフレッシュ回路R
I’i F−C−形成された内部相補アドレス信号aO
〜a8とを選択的に上記デコーダL(、−1) Cl(
、に伝える。
回路記号Vbb−(jで示されているのは、裁板バイア
ス亀圧発生回路である。
ス亀圧発生回路である。
回路記号tt )a Fで示されているのは、自動リフ
レッシュ回路であり、リフレッシ、アドレスカウンタ、
リーク電流シュミレーシg7回路9発振回路等を含んで
いる。
レッシュ回路であり、リフレッシ、アドレスカウンタ、
リーク電流シュミレーシg7回路9発振回路等を含んで
いる。
第2図には、上記自動リフレッシュ回路It E Ii
’の一実紬例の回路図が示さitでいる。
’の一実紬例の回路図が示さitでいる。
回路記号O8Cで示されているのは1発振回路であり、
セルフリフレッシ瓢動作のl、二と)のアドレス歩進用
のパルスを形成する。
セルフリフレッシ瓢動作のl、二と)のアドレス歩進用
のパルスを形成する。
回路記号CQ N i”で示さjtているのは、リフレ
ッシュアドレスカウンタであり、リフレッシュ用の内部
(■補アドレス信号aO−a8を形成する。
ッシュアドレスカウンタであり、リフレッシュ用の内部
(■補アドレス信号aO−a8を形成する。
そして、へ40Sli”gTQl〜QIO及びキャパシ
タcl、Cz&’!、、リーク1−流シュミレーション
回路を構成する。
タcl、Cz&’!、、リーク1−流シュミレーション
回路を構成する。
すなわち、キャパシタC1には、11[列形態のnチャ
ンネルMO81i’ETQ1 、Q2で11:を成され
たプリチャージ回路が設けられ、キャパシタC2には、
11チャンネルMO8F’13TQ3で構成されたプリ
チャージ回路が設けられるうこれにより、キャパシタC
2のプリチャージレベルは、キャパシタC1のプリチャ
ージレベルに比べMO8FE′vのしきい値電圧Vtb
だけ太き(なっている。
ンネルMO81i’ETQ1 、Q2で11:を成され
たプリチャージ回路が設けられ、キャパシタC2には、
11チャンネルMO8F’13TQ3で構成されたプリ
チャージ回路が設けられるうこれにより、キャパシタC
2のプリチャージレベルは、キャパシタC1のプリチャ
ージレベルに比べMO8FE′vのしきい値電圧Vtb
だけ太き(なっている。
そして、上記キャパシタCIにおけるリークt+i流の
値とキャパシタC2におけるリーク電流の値とが同じに
なるようにされた場合には、ダイナミック型メモリセル
のリフレッシュ周期との関連において、上記キャパシタ
C2の容tit値は、キャパシタatの容鼠値に比べて
小さく設定される。このことは、後述する動作説明から
明らかになるであろうつ 上記キャパシタcl、c2の保持■圧は、差動形態の1
1チャンネルMO8l13TQ4.Q5のゲートに印加
される。これらのMO8PHTQt。
値とキャパシタC2におけるリーク電流の値とが同じに
なるようにされた場合には、ダイナミック型メモリセル
のリフレッシュ周期との関連において、上記キャパシタ
C2の容tit値は、キャパシタatの容鼠値に比べて
小さく設定される。このことは、後述する動作説明から
明らかになるであろうつ 上記キャパシタcl、c2の保持■圧は、差動形態の1
1チャンネルMO8l13TQ4.Q5のゲートに印加
される。これらのMO8PHTQt。
Q5にそれぞれ並列形態にnチャンネルMO81i”H
TQ6.Q7が設けられ、そのゲート、ドレイン間が交
差結線され正’jf11還ループがrift成されろ。
TQ6.Q7が設けられ、そのゲート、ドレイン間が交
差結線され正’jf11還ループがrift成されろ。
そして、上Rt、’、 M 08 k’ H’J” Q
4 、 Q 6及びQ 5゜Q7の共通化されたドレ
インには、 r+ブーヤンネル負荷MQS1i’J[’
l’Q8 、Q9がそれぞれ般けられる。そして、上記
MO8FBTQ4〜Q7の共通ソースに舌よ、!1チャ
ンネルMQSI”EiTQloが設けられているうこの
MO8li’ETQ10のゲートには、適当なタイミン
グ信号のが印加されており、その間欠的な動作により低
消費電力化を図っている。
4 、 Q 6及びQ 5゜Q7の共通化されたドレ
インには、 r+ブーヤンネル負荷MQS1i’J[’
l’Q8 、Q9がそれぞれ般けられる。そして、上記
MO8FBTQ4〜Q7の共通ソースに舌よ、!1チャ
ンネルMQSI”EiTQloが設けられているうこの
MO8li’ETQ10のゲートには、適当なタイミン
グ信号のが印加されており、その間欠的な動作により低
消費電力化を図っている。
上記タイミング信号J号Φは1例えば、上記発振回路O
8Cあるいは基板バイアス屯圧発生回路vbb−Gで形
成されたパルスを用いることができる。
8Cあるいは基板バイアス屯圧発生回路vbb−Gで形
成されたパルスを用いることができる。
上記打・ハ戊の電圧比較回路の出力は、インバータIV
を1mシて出力される。
を1mシて出力される。
このインバータIVの出力は、セルフリフレッシュ制御
信号8Li−とされ2一方においてアンドグー)010
制闘信号として用いられ、特に制限されないが、他方に
おいて出力バッファ回路131の入力信号及び上記出力
バッフγ回路B1と入力バッファ回路B2の制御fB号
として用いられ、これらのバッファ回Nil、02を用
hlt的に動作させる。さらに、上記開店1信号S L
Fと、上記入力バッフγ回路132の出力信号とは、
オアゲルト回路G4を通して、第1図のマルチフ゛レク
ザMPXのlIl姉信号MX(、’として用いら1する
。
信号8Li−とされ2一方においてアンドグー)010
制闘信号として用いられ、特に制限されないが、他方に
おいて出力バッファ回路131の入力信号及び上記出力
バッフγ回路B1と入力バッファ回路B2の制御fB号
として用いられ、これらのバッファ回Nil、02を用
hlt的に動作させる。さらに、上記開店1信号S L
Fと、上記入力バッフγ回路132の出力信号とは、
オアゲルト回路G4を通して、第1図のマルチフ゛レク
ザMPXのlIl姉信号MX(、’として用いら1する
。
上記アンドゲート回路(i lの出力は、オアゲート回
路G2を通して上記カウンタ回路CON i’の入力に
伝えられる。
路G2を通して上記カウンタ回路CON i’の入力に
伝えられる。
上記出力バッファ回路口1の出力と、入力バッファ回路
H2の人力とは、外部端子1口Q B Hに接続される
。そして、上記人力バッファ回路B2の出力は、いわゆ
るオルトリフレッシ−動作を実現するため上記オアゲル
ト回路G2を而して上記カウンタ回路C0NTの入力に
伝えられる。
H2の人力とは、外部端子1口Q B Hに接続される
。そして、上記人力バッファ回路B2の出力は、いわゆ
るオルトリフレッシ−動作を実現するため上記オアゲル
ト回路G2を而して上記カウンタ回路C0NTの入力に
伝えられる。
また、特に制限されないが1畳込み又は読み出し動作タ
イミング信号として、上記データfl!!選択タイミン
グ信号φyが用いられ、上記カウンタ回路C0NTのオ
ーバーフロー信号OV F及び上記バッフγ回路B2の
出力信号とともにオアゲート回路G3を通して」:記プ
リチャージM O8Fl> TQ1〜Q3のゲートに伝
えられる。
イミング信号として、上記データfl!!選択タイミン
グ信号φyが用いられ、上記カウンタ回路C0NTのオ
ーバーフロー信号OV F及び上記バッフγ回路B2の
出力信号とともにオアゲート回路G3を通して」:記プ
リチャージM O8Fl> TQ1〜Q3のゲートに伝
えられる。
次に、第3図の動作波形図に従って、上記自動リフレッ
シ−回路It E Ii’の動作を説明する。
シ−回路It E Ii’の動作を説明する。
イ1込み又は読み出し動作により、ブータフA選択タイ
ミング信号Φyがハイレベルのとぎ上記キャパシタCI
、C2にプリチャージが行われ、キャパシタCi IJ
%411iTil[EVcc −2Vtb VCチーw
−シアツブされ、キャパシタC2がTIF、源Tt、
LJIE Vcc −Vtbにチャージアップされる。
ミング信号Φyがハイレベルのとぎ上記キャパシタCI
、C2にプリチャージが行われ、キャパシタCi IJ
%411iTil[EVcc −2Vtb VCチーw
−シアツブされ、キャパシタC2がTIF、源Tt、
LJIE Vcc −Vtbにチャージアップされる。
したが−゛〔、キャパシタC1の保持m庄Vaは、キャ
パシタC2の保持r4圧V bより低くなっているため
1.に記電圧比較回路の出力信号SLFは、ロウレベル
(論理0)にな−ている。
パシタC2の保持r4圧V bより低くなっているため
1.に記電圧比較回路の出力信号SLFは、ロウレベル
(論理0)にな−ている。
そして、以後肯込入又は設入出し動作が行われないと、
リーク?U流等により−に記キャパシタC1゜C2のレ
ベルが低下する。このとき、キャパシタC2の容量値が
小さいので、上記リーク11L流によりその保持m圧V
I)がキャパシタCtの保拉nL圧Vaに比べて連く
低下する。上記保持T(ε圧Vaとvbとの電位関係が
逆転すると、tat+−比較回路の出力信号SLFが反
転してハイレベル(fN:ii理1)になる。この信号
SLFのハイレベルにより上記カウンタ回路CQNTに
発振面NfiO8Gからのパルスが供給される。また、
出力バッフ丁B1が動作状態とされ、外部端子1口>
S IIをロウレベルとしてセルフリフレッシュ動作中
であることを出力する。これKより、外部からのvに込
み及びW、?み出し動作fa:県止する。
リーク?U流等により−に記キャパシタC1゜C2のレ
ベルが低下する。このとき、キャパシタC2の容量値が
小さいので、上記リーク11L流によりその保持m圧V
I)がキャパシタCtの保拉nL圧Vaに比べて連く
低下する。上記保持T(ε圧Vaとvbとの電位関係が
逆転すると、tat+−比較回路の出力信号SLFが反
転してハイレベル(fN:ii理1)になる。この信号
SLFのハイレベルにより上記カウンタ回路CQNTに
発振面NfiO8Gからのパルスが供給される。また、
出力バッフ丁B1が動作状態とされ、外部端子1口>
S IIをロウレベルとしてセルフリフレッシュ動作中
であることを出力する。これKより、外部からのvに込
み及びW、?み出し動作fa:県止する。
さらに、l:、記マルチプレクサM P Xを制ζ;1
1信号MXCによって制御して上記カウンタ回路C0N
Tで形成した内部相補アドレス信号aO〜a8がデコー
ダ回路tt −1) Ct(、に伝えられろ。
1信号MXCによって制御して上記カウンタ回路C0N
Tで形成した内部相補アドレス信号aO〜a8がデコー
ダ回路tt −1) Ct(、に伝えられろ。
これにより、上記カラ/り回路で形成されたアドレス信
号aO〜a8に従ったリフレッシュ動作により全メモリ
セルのリフレッシュを行うつそして、上記カウンタ回路
C0NTのオーバーフロー111号OV li”により
、上記キャパシタC1゜C2にプリチャージが行われる
ので、上記セルフリフレッシュ動作が停止される。
号aO〜a8に従ったリフレッシュ動作により全メモリ
セルのリフレッシュを行うつそして、上記カウンタ回路
C0NTのオーバーフロー111号OV li”により
、上記キャパシタC1゜C2にプリチャージが行われる
ので、上記セルフリフレッシュ動作が停止される。
以後、上記同様に書込入又は読み出し動作が行われない
と、上記キャパシタe1.c2の保持m圧Va、Vbの
逆転によりpjび上記セルフリフレッシュ動作が起動さ
れろつ この実1jQ4例で汀、上記セルフリフレッシュ中でな
いどきに、り)部端子IL In F 11なロウレベ
ルにすると、いわゆるオートリフレッシュ動作を行う。
と、上記キャパシタe1.c2の保持m圧Va、Vbの
逆転によりpjび上記セルフリフレッシュ動作が起動さ
れろつ この実1jQ4例で汀、上記セルフリフレッシュ中でな
いどきに、り)部端子IL In F 11なロウレベ
ルにすると、いわゆるオートリフレッシュ動作を行う。
すなわち、」二記タ1部端子1日qix+、tをIJウ
レー;ルにすると、その度に上記カウンタ回11’+i
CON ”fの歩進動作が行われろとともに、上記マ
ルチプレクサMPXの切り替え制filfl信号が形成
さイしるからであイ)。この時K Tt’よ、上記外部
端子+?、 t; Ir tiをロウレベルにすること
ににす、上記キャパシタCI。
レー;ルにすると、その度に上記カウンタ回11’+i
CON ”fの歩進動作が行われろとともに、上記マ
ルチプレクサMPXの切り替え制filfl信号が形成
さイしるからであイ)。この時K Tt’よ、上記外部
端子+?、 t; Ir tiをロウレベルにすること
ににす、上記キャパシタCI。
C2のプリチャージが行われるつ
上記例は、キャパシタCI、C2のリー・り11<流が
互いに同じ値にされ、メモリセルのリフレッシュ周期と
の関連において、キトハシタC2の容気値を、キャパシ
タC1の容気値に比べ小さく設定する場合であったが、
上記キャパシタC1,C2を次に述べるような?/#7
成にしてもよい。
互いに同じ値にされ、メモリセルのリフレッシュ周期と
の関連において、キトハシタC2の容気値を、キャパシ
タC1の容気値に比べ小さく設定する場合であったが、
上記キャパシタC1,C2を次に述べるような?/#7
成にしてもよい。
すなわち、」二記キャパシタC1と02を互いに同じ容
気値にしで、ダイナミック型メモリセルのリフレッシュ
II″l1期との関連に千6いて、キャパシタC1にお
けるリーク電流のf直をキャパシタC2におけるり・−
り電流よりも小さくしてもよい。このように1.でも」
:記と同様に、リーク11!流により。
気値にしで、ダイナミック型メモリセルのリフレッシュ
II″l1期との関連に千6いて、キャパシタC1にお
けるリーク電流のf直をキャパシタC2におけるり・−
り電流よりも小さくしてもよい。このように1.でも」
:記と同様に、リーク11!流により。
キャパシタC2の保持m圧vbが、キャパシタCIの保
持m庄Vn&C比べて速く低ドするようにできる。
持m庄Vn&C比べて速く低ドするようにできる。
また、ダイナミック型メモリセルのリフレッシュ周期と
の関連において、上記キャパシタC1の容量V(と上記
キャパシタC2の谷は値を制御するとともに、キャパシ
タC1におけるリーク11!流の値とキャパシタC2に
おけるリーク11!流の値を制御して、リーク電流によ
り上記保持m圧Vl)が。
の関連において、上記キャパシタC1の容量V(と上記
キャパシタC2の谷は値を制御するとともに、キャパシ
タC1におけるリーク11!流の値とキャパシタC2に
おけるリーク11!流の値を制御して、リーク電流によ
り上記保持m圧Vl)が。
上記保持電圧Vaに比べて速く低下するようにしてもよ
い。
い。
上記キャパシタCI 、C2としては、それぞれ例えば
、半導体基板(又は半導体)、(板に形成されたウェル
領J威)に形成された十2!ヌ体領J或を他方の電極と
し、薄い絶縁膜を介して上記牛導体領域上に形成された
導nL層を一方のill 倒としたtit成のキャパシ
タを使うことができる。キャパシタCI。
、半導体基板(又は半導体)、(板に形成されたウェル
領J威)に形成された十2!ヌ体領J或を他方の電極と
し、薄い絶縁膜を介して上記牛導体領域上に形成された
導nL層を一方のill 倒としたtit成のキャパシ
タを使うことができる。キャパシタCI。
C2の容量値及びリーク曳流値は比軟的容易に制御[る
ことができるつ例えば、キャパシタの誘電体を1.″り
成する上記薄い絶縁膜の膜厚、その:hj [率あるい
(よ/及び上記1対のtit、極の而(−1を制御する
ことにより、キャパシタCI、C2の容ii1: fi
(fを制御することができる。また、リークm流は1例
えば、キャパシタの(1シ方の電極を1°jη成する半
導体領域と1ん板(ウェル領域)との接合部を通しで流
れる。このため1例えば、この接合部の面積(接触面積
)を制御することによりキャパシタにt6けろリークm
流を制御することができるつまた。上記半導体領域の不
純物濃度あろいl工/及び基板(ウェル領域)の不純物
121度を制御することによ−でも、キャパシタにおけ
るリークr(を流を制御することができる。このような
各方法等をイリ1って、上記キャパシタat、czのそ
れぞれの容れt値あるいは/及びそ11.ぞれのリーク
m流を子連したよ5な状卯に設定することができろう 第4図には、この発明の他の一実6fl @の回路図が
示されている。
ことができるつ例えば、キャパシタの誘電体を1.″り
成する上記薄い絶縁膜の膜厚、その:hj [率あるい
(よ/及び上記1対のtit、極の而(−1を制御する
ことにより、キャパシタCI、C2の容ii1: fi
(fを制御することができる。また、リークm流は1例
えば、キャパシタの(1シ方の電極を1°jη成する半
導体領域と1ん板(ウェル領域)との接合部を通しで流
れる。このため1例えば、この接合部の面積(接触面積
)を制御することによりキャパシタにt6けろリークm
流を制御することができるつまた。上記半導体領域の不
純物濃度あろいl工/及び基板(ウェル領域)の不純物
121度を制御することによ−でも、キャパシタにおけ
るリークr(を流を制御することができる。このような
各方法等をイリ1って、上記キャパシタat、czのそ
れぞれの容れt値あるいは/及びそ11.ぞれのリーク
m流を子連したよ5な状卯に設定することができろう 第4図には、この発明の他の一実6fl @の回路図が
示されている。
この実施例では、メモリセルMCの記憶情報のシュミレ
ーシ冒ンをより精度よく行うため、メモリセルのキャパ
シタと同様なtit造及び回路tit成どしたキャパシ
タCI、C2が用いられている。
ーシ冒ンをより精度よく行うため、メモリセルのキャパ
シタと同様なtit造及び回路tit成どしたキャパシ
タCI、C2が用いられている。
すなわち、第5図には、上記メモリセ、ルM、Cの素子
梅漬の斜断面図が示されている。
梅漬の斜断面図が示されている。
同閃において、lはP副生導体系板、2は比較的厚い絶
縁膜(以下、フィールド絶縁膜という)。
縁膜(以下、フィールド絶縁膜という)。
4及び5はN″°型牛型体導体領域は第1導■L性ポリ
シリコン層、7はN型表面反転層、)(は第2導亀性ポ
リシリコン層、9はPSG(リン・シリケート・ガラス
)層、10はアルミニウム層をそれぞれ示すウー個のメ
モリセルMC中のアドレス選択用M OS 1’ l】
T Q mは、その基板、ソース領域。
シリコン層、7はN型表面反転層、)(は第2導亀性ポ
リシリコン層、9はPSG(リン・シリケート・ガラス
)層、10はアルミニウム層をそれぞれ示すウー個のメ
モリセルMC中のアドレス選択用M OS 1’ l】
T Q mは、その基板、ソース領域。
ドレイン領域、ゲート絶縁膜及びゲートな極が上述のP
型ソ1へ導体系板1. N″−副手導体領域4.N″−
型牛導体領域5.ゲート絶縁膜3及び第2導電性ポリシ
リコン層8によってそれぞれft&成される。
型ソ1へ導体系板1. N″−副手導体領域4.N″−
型牛導体領域5.ゲート絶縁膜3及び第2導電性ポリシ
リコン層8によってそれぞれft&成される。
第2 )jXtt’を性ポリシリコン層8は、ワード線
として使用される。N+型牛導体領JA5に接続された
アルミニj、ウム層lOは、イロ補データ、iD 、D
として使用される。
として使用される。N+型牛導体領JA5に接続された
アルミニj、ウム層lOは、イロ補データ、iD 、D
として使用される。
一方、メモリセルMC中の記憶用キャノ(シタC5は、
一方の電極、誘遜体層及び他方の電極が。
一方の電極、誘遜体層及び他方の電極が。
第1導電性ポリシリコン層6.ゲート絶縁膜3及びN型
表面反転層7によってそ11ぞれti&成されろ。
表面反転層7によってそ11ぞれti&成されろ。
すなわら、第1導屯性ボリシリニ1)層6には亀源屯庄
Vccが印加されているため、このIlf、源m圧Vc
cば、ゲート絶縁膜3を介し゛CP型半導体基板10表
面にN型反転層7を誘起せしめる。
Vccが印加されているため、このIlf、源m圧Vc
cば、ゲート絶縁膜3を介し゛CP型半導体基板10表
面にN型反転層7を誘起せしめる。
したがって、第4図の回路におけるキャノ(シタC1,
C2とMO8FETQI 、C3と+′J: 、上記記
1.a用ギャパシタC,sとアドレス選択用M08FE
Ill Q 川と同様lよMO8t’ff造とされる
。
C2とMO8FETQI 、C3と+′J: 、上記記
1.a用ギャパシタC,sとアドレス選択用M08FE
Ill Q 川と同様lよMO8t’ff造とされる
。
また1m庄比較回路は、nチャンネル差動MOs li
’ E T Q 4 、 Q 5と、そのドレインに設
けられた能動負荷を構成する電流ミラー形態のpチャン
ネルMO8FETQ8.Q9と、その共通ソースには、
低消費電力化のために微少定電流源としてのMO8F)
、i’TQ10とにより構成されている。
’ E T Q 4 、 Q 5と、そのドレインに設
けられた能動負荷を構成する電流ミラー形態のpチャン
ネルMO8FETQ8.Q9と、その共通ソースには、
低消費電力化のために微少定電流源としてのMO8F)
、i’TQ10とにより構成されている。
」二記キャパシタCIとC2へのプリチャージ電圧に上
記オフセヅトをもたせるlこめ、キャパシタC1は、タ
゛イオード形卯のN・10SF1弓’1’ Qlを、1
′IしてM Ot(Ii’ I棒1TQ2によりVcc
−Vtbにプリチャージされ、キャパシタC2注、MO
8li’Jシ’r(33によりVccにプリチャージさ
れる。
記オフセヅトをもたせるlこめ、キャパシタC1は、タ
゛イオード形卯のN・10SF1弓’1’ Qlを、1
′IしてM Ot(Ii’ I棒1TQ2によりVcc
−Vtbにプリチャージされ、キャパシタC2注、MO
8li’Jシ’r(33によりVccにプリチャージさ
れる。
また、01〕記給2図の実れ例のように、上記キャパシ
タ(1,C2のそれぞれの8 tit値あるいV″r、
/及びリークm流を制御するために1−2第2図の実施
例に関した説明で述べた各方法を使うことができる。例
えば、ゲート絶縁膜の膜厚、その誘電率あるいfar、
/及び上記1対の電極の面積を制御することによりキ
ャパシタCI 、C2の容以値を制0■することができ
る。また、リークIE流のパスは。
タ(1,C2のそれぞれの8 tit値あるいV″r、
/及びリークm流を制御するために1−2第2図の実施
例に関した説明で述べた各方法を使うことができる。例
えば、ゲート絶縁膜の膜厚、その誘電率あるいfar、
/及び上記1対の電極の面積を制御することによりキ
ャパシタCI 、C2の容以値を制0■することができ
る。また、リークIE流のパスは。
例えばキャパシタの他方のWli vfiを形成する反
転層(チャンネル)と基板(ウェル領J4Q )との接
合部によって構成される。このため、この接合部の而f
fl (接触面積)を制御することによってキャパシタ
のリーク電流を制御することができるし、例えば基板(
ウェル領域)等の不純物濃度を制−11することに」ニ
ー、でもキャパシタのリークtIL流を制御できる。
転層(チャンネル)と基板(ウェル領J4Q )との接
合部によって構成される。このため、この接合部の而f
fl (接触面積)を制御することによってキャパシタ
のリーク電流を制御することができるし、例えば基板(
ウェル領域)等の不純物濃度を制−11することに」ニ
ー、でもキャパシタのリークtIL流を制御できる。
上記実m11例においでは、リーク電流イどシュミレー
ションしてセルフリフレッシュ周uJI ’k 自II
J 制?n+するものである。したがって、必“&最大
の周期でしかリフレッシュ動作を行わないので大幅な低
消費Tr[力比を図ることができる。
ションしてセルフリフレッシュ周uJI ’k 自II
J 制?n+するものである。したがって、必“&最大
の周期でしかリフレッシュ動作を行わないので大幅な低
消費Tr[力比を図ることができる。
す4「わち、そのときのin度に合わ亡で、リフレッシ
ュ動作の周期が自動的に決められイ)ため、むだなリフ
レッシュ動作を行なわなくて済むようにすることが可能
であり、大幅な低消費電力化を図ることができろう また。この実施例においては、外部制御信号によらない
で、自動的にセルフリフレッシュ動作の起動がかけられ
るので、完全自1iH11す7レノシユ動作が実現でき
る。通常、セルフリフレ・ソシュ動作は、バッテリーバ
ックアップ動作に用いらiすることか多いので、その観
点から」二組完全自動リフレッシュ動作及び低消費電流
動作は、 tIIIiル)で有益なものとなる。
ュ動作の周期が自動的に決められイ)ため、むだなリフ
レッシュ動作を行なわなくて済むようにすることが可能
であり、大幅な低消費電力化を図ることができろう また。この実施例においては、外部制御信号によらない
で、自動的にセルフリフレッシュ動作の起動がかけられ
るので、完全自1iH11す7レノシユ動作が実現でき
る。通常、セルフリフレ・ソシュ動作は、バッテリーバ
ックアップ動作に用いらiすることか多いので、その観
点から」二組完全自動リフレッシュ動作及び低消費電流
動作は、 tIIIiル)で有益なものとなる。
さらに、キャパシタCI、C2には?li、源屯圧V電
圧に基づいた電圧なプリチャージするものであるので、
上記リフレッシュ周期は、11Σ源1狂圧VCCの変動
の影響を受けることがなく 、 1’、’f度の高いり
1mW、のシュミレーションを実現することができる。
圧に基づいた電圧なプリチャージするものであるので、
上記リフレッシュ周期は、11Σ源1狂圧VCCの変動
の影響を受けることがなく 、 1’、’f度の高いり
1mW、のシュミレーションを実現することができる。
特に、第4図、第5図のJ、うに上記キャパシタCI
、C2をメモリセルの打41告と同様にした場合には、
その精度をいっそう1す(ずイ)ことができる。
、C2をメモリセルの打41告と同様にした場合には、
その精度をいっそう1す(ずイ)ことができる。
また、@1図の実施例のように、アドレス信号の変化を
検出して内部タイミング1,1号な形成する方式とした
場合には、ダイナミック型メモリセルに対して外部から
はスタティック型メモリと同様に扱えるので、上記完全
自動リフレ・ソシス動作と相俟ってユーザーにおいて極
めて扱い易いん108記憶装置とすることが出来7)。
検出して内部タイミング1,1号な形成する方式とした
場合には、ダイナミック型メモリセルに対して外部から
はスタティック型メモリと同様に扱えるので、上記完全
自動リフレ・ソシス動作と相俟ってユーザーにおいて極
めて扱い易いん108記憶装置とすることが出来7)。
さらに、メモリアレイのプリチャージ動作は。
一対の相補デ〜り線、共通相補データ線を単に短絡させ
ることにより、約VCC/2 の中間レベルにするもの
であるので、従来のダイナミック型ILAMのように、
0ボルトからVccレベルまでチャージアップするもの
に比べ、そのレベル変化量が小さく、プリチャージM
O81i’ 1弓11のゲート電圧を通常の論理レベル
(vcc)を用い′〔も十分に非飽和状鄭でオンさせろ
ことが出来るからプリチャージ動作を高速に、しかも低
消’Mlマ珪力の下に行うことができろ。
ることにより、約VCC/2 の中間レベルにするもの
であるので、従来のダイナミック型ILAMのように、
0ボルトからVccレベルまでチャージアップするもの
に比べ、そのレベル変化量が小さく、プリチャージM
O81i’ 1弓11のゲート電圧を通常の論理レベル
(vcc)を用い′〔も十分に非飽和状鄭でオンさせろ
ことが出来るからプリチャージ動作を高速に、しかも低
消’Mlマ珪力の下に行うことができろ。
そして、上記のように、プリチャージレベルを約’ll
’cc/ 2の中間レベルにするものであるので。
’cc/ 2の中間レベルにするものであるので。
メモリセルの読み出し時においても、メモリセルのスイ
ッチMO8Fl弓Tのゲートm1.F、(ワード線選択
電圧)として11u常のNS f!l!レベル(Vcc
)を用いても十分に非飽和状態でオンさせることが出来
るから、従来のダイナミックfi!j 11 A Mの
ようにプートストラップ1L圧を用いること/、C<
、 i+1報記1意キャパシタの全電荷読み出しが可能
とは4)。
ッチMO8Fl弓Tのゲートm1.F、(ワード線選択
電圧)として11u常のNS f!l!レベル(Vcc
)を用いても十分に非飽和状態でオンさせることが出来
るから、従来のダイナミックfi!j 11 A Mの
ようにプートストラップ1L圧を用いること/、C<
、 i+1報記1意キャパシタの全電荷読み出しが可能
とは4)。
また、設入出しJル阜1は圧は、メモリセルが選択され
ない一方のデータ線のプリチャージレベルを利用してい
るので、従来のダイナミック型RA Mのように読入出
し基夢亀田を形成するダミーセルが不要になる。
ない一方のデータ線のプリチャージレベルを利用してい
るので、従来のダイナミック型RA Mのように読入出
し基夢亀田を形成するダミーセルが不要になる。
この発明は、前記実施例に限定されない。
上記マ扛【L比較回路の具体的回路借成は、抽々変形で
きるものであり、その出力8LFにより1発振回路O8
Cの動作も制御するものとして、セルフリフレッシュ動
作期間以外は、その動作を停止させて5発振回路O8C
での無効11(流の発生を防止するものであってもよい
。
きるものであり、その出力8LFにより1発振回路O8
Cの動作も制御するものとして、セルフリフレッシュ動
作期間以外は、その動作を停止させて5発振回路O8C
での無効11(流の発生を防止するものであってもよい
。
また、上記リーク電流のシュミレーション凹路は1発振
回11′f108Cに利用して、その発振周期を制御す
ることにより、カウンタ回路C0NTの1回r)が、メ
モリセルに必要とされるリフレッシュ周期に合わせるよ
うにしてもよい。
回11′f108Cに利用して、その発振周期を制御す
ることにより、カウンタ回路C0NTの1回r)が、メ
モリセルに必要とされるリフレッシュ周期に合わせるよ
うにしてもよい。
また、上述したキャパシタei、czは、配線層を形成
するどきに形成される容量を利用してもよい。この場α
、容鍛値あるいをまリークm流のml整用にキャパシタ
を付加するようにしでもよい。
するどきに形成される容量を利用してもよい。この場α
、容鍛値あるいをまリークm流のml整用にキャパシタ
を付加するようにしでもよい。
さらに、上記キャパシタCI、C2の芥h1値を制御す
る方法としCは、上述した方法以外であってもよ(、同
様にそのリーク11.流を制御する方法も上述した方法
以外の方法で行なってもよい。
る方法としCは、上述した方法以外であってもよ(、同
様にそのリーク11.流を制御する方法も上述した方法
以外の方法で行なってもよい。
爪1図は、この発明の一実RII例を示すブロック図。
第2図は、その自動リフレッシュ回1″?、の一実施例
を示す回路図。 第36゛りは、その動作の一例を示す動作波形図。 第41図は、自動リフレッシュ回路におけるリーク11
%流シュミレーシqノ回路の他の一実糊例を示す回路図
。 第5図は、メモリセルの一実施例を示すg1ルr面図で
ある。 M・・・AILY・・・メモリ丁レイ、pet・・・プ
リチャージ回路、 S A・・・センスアンプ、 I
L−A I) 13・・・ロウアドレスバッファ、C−
8W・・・カラムスインチ。 C−A I) t3・・・カラムアドレスバッファ、I
t−DC。 ■も・・・ロウアドレスデコーダ、c、octも・・・
カラムアドレスデコーダ、PO2・プリチャージ回v1
1゜MA・・・メインアンプ、1もE3 G、 CE
(j・・・エツジトリガ回路、TG・・・タイミング
発生量b’l’i、)七〇F・・自動リフレッシュ回路
、1)01S・・・データ出力バッファ、 1) I
13・データ人力バッファ1M P X−゛マルチプレ
クザ、1・・・P型1ろ導(+、l、Iiυ)、2・・
・比較的厚い絶縁膜、4及び5・・・N!I11!半専
体領域56・・・第1導Fit性ポリシリコア層、7・
・・N型表面反111<層。 8・・・第2導m性ポリシリコント+’/s 9・・・
P S U (リン・シリケート・ガラス)IS7.I
O・・・アルミニュウム層。 第 2 図 第 3 図 第 4 図 第 5 図 に
を示す回路図。 第36゛りは、その動作の一例を示す動作波形図。 第41図は、自動リフレッシュ回路におけるリーク11
%流シュミレーシqノ回路の他の一実糊例を示す回路図
。 第5図は、メモリセルの一実施例を示すg1ルr面図で
ある。 M・・・AILY・・・メモリ丁レイ、pet・・・プ
リチャージ回路、 S A・・・センスアンプ、 I
L−A I) 13・・・ロウアドレスバッファ、C−
8W・・・カラムスインチ。 C−A I) t3・・・カラムアドレスバッファ、I
t−DC。 ■も・・・ロウアドレスデコーダ、c、octも・・・
カラムアドレスデコーダ、PO2・プリチャージ回v1
1゜MA・・・メインアンプ、1もE3 G、 CE
(j・・・エツジトリガ回路、TG・・・タイミング
発生量b’l’i、)七〇F・・自動リフレッシュ回路
、1)01S・・・データ出力バッファ、 1) I
13・データ人力バッファ1M P X−゛マルチプレ
クザ、1・・・P型1ろ導(+、l、Iiυ)、2・・
・比較的厚い絶縁膜、4及び5・・・N!I11!半専
体領域56・・・第1導Fit性ポリシリコア層、7・
・・N型表面反111<層。 8・・・第2導m性ポリシリコント+’/s 9・・・
P S U (リン・シリケート・ガラス)IS7.I
O・・・アルミニュウム層。 第 2 図 第 3 図 第 4 図 第 5 図 に
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、 iJ:込み又は読入出し動作タイミング信号に
よりプリチャージされる第1のキャパシタと、宵込入又
は読み出し動作タイミング<M ’iによりプリチャー
ジされ、ダイナミック型メモリセルのリフレッシュ17
d期との関連においてそのプリチャ−ジレベルが上記第
1のキャパシタのプリチャージレベルに比べて大きなレ
ベルにされ、その容量値が上記第1のキャパシタの容量
値に比べて小さい容量イ16にされた第2のキャパシタ
と、上記面キャパシタの保持電圧を受ける電圧比較回路
と、上記電圧比較回路の反転出力により起動さオシ、内
部で形成したアドレス信号に従いダイナミック型メモリ
セルのセルフリフレッシュ動作を行う自動リフレッシュ
制御回路とを含むことを特徴とするMOS記憶装置。 2、上記第1のキャパシタは1M08FET1個のしき
い値電圧だけレベルシフトされた電源電圧によりフ゛リ
チャージされ、上d己41,2のキャパシタは、MOS
1i’ET2fl!のしきい値電圧だけレベルシフトさ
れたm?Mm圧によりプリブーヤージされるものであ4
)ことを特徴とする請求 項記載のMOS記憶装置。 3、上記電圧比較回路の出力信号は,外部Q:t3子を
通して出力されるものであることを特徴とする特fFH
求の範囲第1又は第2項記載のM(l記憶装置。 4、上記自動リフレッシュ副部1回路Cよ,外部からの
制御1n号によっても起動されるものであることを特徴
とする特許1n求の範囲第1.第2又fま第3項記載の
MOS記憶装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57164829A JPS5956291A (ja) | 1982-09-24 | 1982-09-24 | Mos記憶装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57164829A JPS5956291A (ja) | 1982-09-24 | 1982-09-24 | Mos記憶装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5956291A true JPS5956291A (ja) | 1984-03-31 |
Family
ID=15800711
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57164829A Pending JPS5956291A (ja) | 1982-09-24 | 1982-09-24 | Mos記憶装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5956291A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0128427A2 (en) * | 1983-06-06 | 1984-12-19 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor memory having circuit effecting refresh on variable cycles |
JPS6083293A (ja) * | 1983-10-14 | 1985-05-11 | Hitachi Micro Comput Eng Ltd | ダイナミツク型ram |
JPS60234298A (ja) * | 1984-05-07 | 1985-11-20 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置 |
JPS6132299A (ja) * | 1984-07-24 | 1986-02-14 | Seiko Epson Corp | 半導体メモリ |
EP0176203A2 (en) * | 1984-08-20 | 1986-04-02 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Self refresh control circuit for dynamic semiconductor memory device |
JPS63121197A (ja) * | 1986-11-07 | 1988-05-25 | Fujitsu Ltd | 半導体記憶装置 |
GB2255844A (en) * | 1991-05-16 | 1992-11-18 | Samsung Electronics Co Ltd | Semiconductor memory devices |
US5774404A (en) * | 1994-10-21 | 1998-06-30 | Fujitsu Limited | Semiconductor memory having self-refresh function |
-
1982
- 1982-09-24 JP JP57164829A patent/JPS5956291A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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