JPS5954496A - ろう付け方法及びろう付けペ−スト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、フラックスを用いたろう付は方法及び該フラ
ックスを含むろ５イτ］けベーストに係る。

〔ゲー来技術〕

周知の如く、ろう付けに於ては、接合されるべき金属の
表面−Ｆの金属酸化物を除去しそし７てそれらの金属の
湿４４゛１件を増すために、フラックスが用いられてい
る。

従来のフラックスには、有機及び無機のフ）ソクスがあ
る。鉱酸、環元雰囲気及びハロゲン化塩は活性フラック
スのだめの典型的な無機フラックス構成成分である。ロ
ジン及び有機酸は非活性フラックスのだめの典型的な有
機フラックスｔｉｅ；成成分である。

本明細丙に於て、′ろう付り′″は、一般に低温を用い
で金属を相互に接合させる方法とされている軟ろ’）　
イ＝ｔけと、一般に洪型的には３００乃至４５０℃又Ｑ
、１、それ以」二の程度のより高温を用いて金属を相伝
に接ｎさぜる方法とされている硬ろうイ・４けとをゴ３
“む。（７かしながら、用いられる温度に応じて、軟ろ
う伺は方法又は硬ろ５　（＝Ｊけ方法に分類され得るろ
うイ旧Ｊ一方法もある３゜ 従来、多くの文献が、高度に開発されたろう４＝ｊけ技
術について記載し、そのだめに有用な装歯′、ろう付は
可能な金属、及Ｏ・ろう伺は用充填刊について開示して
いる１９例えは、Ｋｉｒｋ　　ａｎｄ　　Ｏｔｂｍｅｒ
Ｅｎｃｙｃ　１ｏｐｅｄ　ｉａ　％第１８巻、第５４１
頁乃至第５４８頁、ＭｃＧｒａｗ−Ｈｉ］１社出版１．
１９７１年：　Ｂｒａｚｉｎｇ　Ｍａｎｕａｌ、Ａｍｅ
ｒｉｃａｎＷｅｌｄｉｎｇ　　５ｏｃｉｅｔｙ　出版、
１９６５年；５ｐｅｃｉｆｉｃａｔｉｏｎ　　ｆｏｒ　
　ＢｒａｚｉｎｇＦｉｌｌｅｒＭｅｔａｌ　、Ａｍｅｒ
ｉｃａｎ　Ｗｅｌｄｉｎｇ　５ｏｃｉｅｔｙ出版、１９
６９年；及Ｏ’Ｗｅｌｄｉｎｇ　　ａｎｄ　ＢｒａＺｉ
ｎｇｓｅｃｔｉｏｎ　　ｏｆ　　ｔｈｅ　Ｍｅｔａｌ　
　Ｈａｎｄｂｏｏｋ。

第８版、第６袴、Ａｍｅｒｉｃａｎ　５ｏｃｉｅｔｙ　
ｆｏｒＭｅｔａｌｓ　　出版、１９７１年ｍにｊｆｆｉ
ｌ　ｌｔｋされているが、以下に代表的な従来技術につ
いで簡単に述べておく１、 ロジン・フラックスの本来の欠点、即ち分解及び重合、
炭化、不溶性残／１１の発生等の問題音生じる、活性化
されたロジンを基利とするフラックスについては、例え
ば、米国特許第２７００６２８月、第３２８１２２２月
、第６４４８５１２号、第３８３２２４２号、第４１９
４９３１号、第２４２９０３３月、第２６６４３７０号
明細吉笠に開示されている。

成る特ｒ＋−明細害は、小合体を７ラツクスへの添加物
と［７て用いることを開示し７ているが、それらの重合
体はろうによる湿潤性又はフラックス性をｂえるためで
ｄ”なく、むしろ（＝Ｊ着特性全増すために加えられて
おり（米国特♂１第３６９７３３３号明細書）、又ｄそ
の、組成物が表面安定化膜兼フラックスとしで物理的特
性を増ず／ξめに加えられている（米国特許第４２４３
４４０刊及び第４２１６０３　ｓｑ明細書）。その様な
組成物は、ロジンを基材としており、前述の問題を生じ
る。

米国特許第３０４０７８１）」明細書は、ろう付は可能
な“アクリル酸塩及びメタクリル酸塩の共重合体の保護
膜を開示１〜でいる。その開示されたフラックスは、分
解され／とフラックスとろうとの間の化学反尾、に基づ
いている。その様な重合体は、分解して酸化合物とエス
テル化合物との複雑な混合物を生じ、単１役体を牛しる
際にきれいな熱的劣化（ｕｎｚｉｐｐｉｎｇ　）’を生
じず、炭化されるかなりの残渣金銭−す。又、活性剤も
用いられている。

米国特許第６７９１０２７号明細書は、存在する金属酸
化物と化学的に反応［、で、還元剤として働く水素を発
生する様に、反応性重合体樹脂及び他の化合物を、ろう
付は用フラックスとして用いることを開示している。ポ
リイソブチレンが開７」＜されているが、それは、本発
明に於ける非反応性のポリイソブチレンと異なり、常に
官能性を櫓している、反応性のポリイソブチレンである
。

熱的劣化音生にる重合体が知られている。多数のその様
な重合体が、Ｄ、Ｗ、Ｖａｎ　　Ｋｒｅｖｅｌｅｎ宿に
よるＬ’ｒｏｐｅｒｔ、ｉｅｓ　　ｏｆ　　Ｐｏｌｙｍ
ｅｒｓ。

Ｅｌｓｅｖｉｅｒ　　５ｃｉｅｎｔｉｆｉｃ　出版社発
行、Ｎｅｗ　Ｙｏｒｋ　％　　１９７６年、及びＮ、Ｇ
ｒａｓｓｉｅにょるＣｈｅｍｉｓｔｒｙ　　ｏｆ　Ｉｌ
ｉｇｈ　　ＰｏｌｙｍｅｒＩ）ｅｇｒａｄａｔｉｏｎ　
　Ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ　Ｘ　ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙＭｉ
ｃｒｏｆ　ｉ　１ｍｓ　　社出版に開示されている。

Ｉ　ＢＭ　　Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ　　Ｄｉｓｃｌｏｓｕ
ｒｅＢ　ｕ　１１　ｅ　ｔ　ｉ　ｎ　、第２２巻、第２
−弓、１９７９年７月、第５４２頁には、熱的に劣化［
７得る重合体を未焼、結ソー　ト中に用いることを開示
［７てお９、それらの熱的に劣化し得る重合体は、粉末
セラミック月別のだめの結合剤と［７て働く。その文献
は、熱的に劣化し得る重合体をろうイ１」け用フラック
スとして用いイ）ことについて何ら開ノＪテしていない
。

Ｉ　　Ｉ３Ｍ　　　Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ　　Ｄｉｓｃｌ
ｏｓｕｒｅＢｕｌｌｅｔｉｎ、第２２巻、第２号、１９
７９年７月、第５４１頁は、相互に積層化されて多層セ
ラミック基板を構成する各未焼結シートを形成するだめ
の結合剤として用いられている７ｊｆす（アルファメチ
ルスチレン）の熱的劣化を促進するたｄ）（（ガンマ線
を用いることを開示している。しかしながら、ポリ（ア
ルファメチルスチレン）をろうト」゛け用フラックスに
用いることについてニ１、何ら開示しでいない。

従来用いられているるうイ；１け月ｊノラソクスは１゛
べて、それらのフラックスが、ろうイ」すされている金
属ｕ−４Ｊｊ及び／若しくｄ−ろう自体と反応するとい
５−７；えｈに基づいている。本発明は、後に詳述する
如く、それとは全く異なる考え方に基づくものである。

一般に人手され得る活性フラックスに１、除去が困ケ１
（又は小川能であり、腐食及び／苔しくけ好圧し２くな
い電気的特性を牛ぜし７める残渣を残す無機酸、無機基
又に１・・ロジンを含み又は牛しるので、電子的適用例
に於て用いられる／こめに適しているものは少ない。

ロジンを基旧とするろうイζ４け用フラックスは、比較
的穏やかな、非腐食性の作用ヲ有しているので、電子的
適用例に於て用いられるためには最も適している。

Ｉ〜かしながら、その様なフラックスは、次に示す理由
から望ましくない、。

松の木から得られる天然生成物である日ジンは、アビエ
チン型の酸、アビエチン酸及び脂肪酸のエステル、アル
コール、並びに酢酸塩の複雑−な混合物である。従って
、ロジンの純度ン：分析又は制御することは不り］能で
ある。

「１ジンの構成成分の多くは、空気中で不安定であり、
加熱奪れたとき酸化及び重合し７て、炭化し／こ樹脂質
の残渣（１２乃至１６係）を牛じる。その残渣の炭化し
た又は重合した部分は溶剤を用いて完全に除去されず、
ｌ−ルエン及びイノプロ・−ノールを用いて清浄化され
た後に約０６係が残される。フラックス残渣は、金属の
腐食、及びそのフラックス処理された金属に於ける適切
に熱を放散させる能力の低下に関連しているので、望ま
しく゛ない。

〔発明の概要〕

本発明は、新しい類の化学的に非反応性のフラックスを
用いたろう付は方法及び該フラックスを含むろう付はペ
ースト苓：提供する。

本発明に於けるフラックスは、熱的に安定な、高沸点の
単Ｍ体有機化合物及び／若ｔ、　＜　ｂ＝ｈ、熱的に解
重合可能ｌｆ市舎体より成る。イーの高沸点の単星体櫓
機化合物は、伺ら化学変化を生じることなく又はぞの場
で反ｒ（ｉ、−ｒ　ｊ、て残ｌｋを・残ずことなく放に
’ｉ　Ｉ、、その熱的に解市合用能な重合体υ」−１Ｊ
Ｑ’！’距合され、従ってこれもろうイマ４けが完了［
７たときに伺ら残渣を残さない。更に、いずれの拐イ′
・１も、腐食に全く関与し−ない。

〔実施例〕

本明細告に於て、パフラックス″は、相゛に７Ｊ、さな
い限り、ろう伺は用フラックスと［７て総称的に用いら
れている。

本発明に於けるフラックスは、従来技術による反応４イ
１のフラックスとは異なり、非反応性である。

又、本”Ａｒ明に於けるフラックス、は、次に示ず点に
於て、ロジンの如き、従来技術によるフラックスよりも
優れている。

それらり、例えばニッケル、合成１いは錫等の王！１１
々の材ネ」の表面へのろう付け、又は例えば金−錫箔の
種々の粉末によるろライス１りに於て、より効果的であ
る。

それらは、容易に１１７されそしてｌＩ′１′徴イー４
けられ、従ってより均一な組成にされる。

それらは、酸化及び重合に対してより安定であり、従っ
て著しく延長された貯蔵ｌイ命を有する。

それらは、加熱さＪｌている間、溶融されたろうから熱
的に追い出されて、冷却されたとき、フラックスを含有
しない金属を生じるが、ロジンでフラックス処理された
試料は、ろう付は部分を構造的に弱める、フラックス残
渣を含有する金属を生じる。

更に、本発明に於けるフラックスは、何ら残渣を残さな
いという利点を有する。表面に残渣が存在ｊ〜ないこと
により、接合後の７１ｊ浄化処理がすべて不要になる。

どの様な環境下でも、本発明に於けるフラックスは、ロ
ジンの場合の如く、炭化部分を残さないことが解った。

本発明の大きな１つの利点は、本発明が反応による方法
でなく物理的な方法に基づいているの−ｒ゛、多くの異
なる型のろう及びろう付けされるべき刀根とともに広範
囲に用いら′１１ることである。−１周知の如く、ろう
伺は中に、ろうは溶融ｉｉｌ能でなければならず、ろ５
イ・」けされている基＋ルは７＾浄でなりれｖ、１′な
らず即ち酸化物をイ）んでいて（弓ならない。しかしな
がら、実際に於て、その様な酸化物を完全に除くことは
本ａ的に於て小川能である。

本発明に於て、ろうが加熱されるとき（対流及び／佑し
くＣ」マイクロ波）、金属基板−１−＆？Ｚ存在する酸
化物の膨張率が該金属基板の膨張率よりも低いことがｊ
竹っだ。従って、酸化物の下で金属が膨’４Ｊ（する＆
’ｉ　１．’４−１ｒＩ’２化物中に微細な亀裂が牛し
、本発明に於りるフラックスがそれらの亀裂に浸透して
、ろう（＝Ｊけ尽れるべき、賞出されている高表面エネ
ルギの金Ａ・＋ｇ　’：ｌ（’、：板ｆ：満１潤させ、
更に望まし７くない金属酸化物の除去を促進する。又、
その液状の７ラツクスは、処叩中に、溶融されたろうの
４Ｍ　酸化を防ぐ様に働く。、フラックスの放散点及び
／若しくは解重合点とろうの融点との間の関係について
は、後に詳述する。

ろう付けされるべき金属基板上の酸化物の厚さに関して
は、本発明に於けるフラックスは、当技術分野に於て従
来ろう付けされている、僅か数オンゲストロー］１、例
えば１０只の）Ｈ／さの酸化物から、当技術分野に於て
″厚い酸化″と考えられている、２００乃至４００只程
度の極めて厚い酸化物迄、全般的に適用される。しかし
ながら、いずれの場合にも、本発明に於けるフラックス
のメカニズムは、物理的なメカニズムであり、何ら化学
反応ｆｇ）含んでいない１） 従って、本発明は、ろうが溶融司能でありそし２てその
ろうの溶融温度に於て本発明に於けるフラックスが流体
である限りに於て、当技術分野に於て知られでいる、軟
ろう及び硬ろうを含む、すべてのろうとともに用いられ
る。その様な軟ろうの例としては、鉛−硅の軟ろう、金
−錫の軟ろう、鉛−インジウｌ、の軟ろう、鉛−ビスマ
スの軟ろう、銀の軟ろう、及び同種のものがあるが、好
ましい鉛を暴利とする軟ろ５ば６０乃至９５重都−係の
鉛を残相の他の構成成分とともに含む。有用とされてい
る他の軟ろうには、５０重量係の鉛−３２重量係の錫−
１８１有１％のカドミウム、５７重量係のビスマス−４
６ｉｌ−ｊＩｊ１チの錫、９５重ｉｉチの鉛−２重ｈＡ
′係のアンチモン−５重量係の錫、及び同種のものかあ
る。、有用な硬ろうは、典型的には、」Ｅ、ｌｒ構成成
分として、銅、銀、ニソクル、カドミウノ・及び／若し
くは亜鉛を有している。銅は単独で用いられることが多
いが、小さな比率の燐、シリコン、マンガン又はアルミ
ニウムでドープされでもよい。電子的適用例のために本
発明に於て用いられる最も好ましい硬ろうは、金−錫の
映ろうである４、本発明に於て有用とされる仙の硬ろう
付はイ１金は、米国時８′ｌ汀１；　３８３２２４２号
明細告に記載されている。

又、本究明に於て有用な硬ろ５にｄｌ、ＩＢＭＴｅｃｈ
ｎｉｃａｌ　　ＤｊｓｃｌｏＳｔｌｒｅ　　Ｂｕｌｌｅ
ｔ、ｉｎ、第２１％、第８号、１９７９年１月、へ’！
；３１１８頁に記載の金−錫一釦型の硬ろ５、ＩＢＭＴ
ｅｃｂｎｉｃａｌ　　Ｄｉｓｃｌｏｓｕｒｅ　　Ｂｕｌ
ｌｅｔｉｎ。

第２１巻、第９号、１９７９年２月、第３５９０白１／
’ＣＮＬ：載の金−錫一銀型及び金−錫−バシジウム型
の０！ハろう、Ｉ　ＢＭ　　Ｔｅｃｈｎｉｃａｉ　　Ｄ
ｉｓｃｌｏｓｕｒｅＢ　１１１１　ｅ　ｔ　ｉ　ｎ、第
２１巻、第８号、１９７９年１月、第６１１９真に記載
の金−錫一銀型の硬ろう雪もある。

本発明に於けるフラックスと組合わぜて用いられる軟ろ
うは、物理的形状に於て限定されず、例えはコア型であ
っても、パターン状に気相旧着逼れても、又はレーザ接
合されてもよい。

本発明に於けるフラックスと絹合わせて用いられる（ｉ
【Ｊ（ろうの物理的形状も、何ら具体的な形に限定され
ないが、硬ろ５は一般的にＱ゛、１ベース］・の形で用
いられ、本発明に於りるフラックスが該ペーストのだめ
の結合剤として働いて、相互に接触する両金属基板が該
ペーストと密着する。典、型的には、殆んどが金より成
る、金−錫の合金である、ベースト中の何１ろうの粒子
の粒度は何ら限定されず、当該技術分□野に於て典型的
に用いられている粒度が本発明に於て用いられ得る６、
フラックス及び溶媒の比率し１１、従来技術に於て用い
られている比率と同様であり、例えば、−〜−一般的ｌ
Ｊ’、（ｌｌｔヅ）５の重量に基づいて約ｊｓＯ乃至４
０中損係迄のフラックス及び溶媒、より一般的には５乃
至１０重１．１係程度のフラックス及び溶媒が用いられ
る。。

軟ろ５及びｃＩｌｌ：ろうの両方に於て、フラノしスの
適Ｌｌｌ方法は伺ら限定されない。

本゛ｊ仁明によりろうイス］けぺれイミノる金属基板は
イ〔１］ら限定されず、それらは当技術分野で知られて
いるるうイ・１け方法により接合され得る基板であり、
例えに１”、銅、真鍮、ニラクル、鉄、！１ト鉛、その
合金等である。１本ソ１１明によりろ５イて１けされる
金属基）１４に文１゛４る唯一の制約は、勿論ｉＴＷ　
詐司能でなけれはならぬことである。電子的適用例に於
てＵＪｌろ５イζ」けされる恐らく最も一般的な金に基
板は、ニソク−ルで被償されたモリブデン、＝ノケル、
ニッケルー金の合金、金、及び予め錫で被覆された表面
であり、それらはすべでイよめて湿ｉｆ’Ａ’＋可能で
ある５、従って、例えば、本発明に於けるフラックスし
］、集積回路構成素子を、例えは靜′素イー１−の接点
ヒ一／によりＮ”ツケルで被層されたモリノ″テンの金
杯治ど不するアルミナ基板の如き、無機又ｄ有機の基板
＋７．の対応゛する接点領域に接合するために用いらＪ
する。

本発明に於けるフラックスについで更に詳細に’Ａ’：
ｔ、ＦＩＪトすると、本発明に於けるフラックスは、１
つ又ｔ／；Ｊそれ以上の熱的に安定な、１′、ｊｌ沸点
の単量体有機化合物及び／若しくは１つ又はそれ以−に
の熱的に解重合ｂ」龍な重合体（以下に於て、’ｌ”ｌ
）Ｐと呼ぶ。）を含む。更に、１つ又はそれ以−１−の
その様な構成索子が用いられる３、 筒沸点の単量体有様化合物は、化学変化を生じることな
く又はその場で反応して残渣を残すことなく放散シフ、
低分子量の熱的に解重合可能な重合体は、後述する溶媒
と組合わせて用いられても、ろ５イ」け温度に於て、分
解して揮発性の単量体副産物を牛じることなく、従って
残渣金銭すことなく、解重合される。従来技術の場合と
異なり、フラックス全効果的に用いるために、本発明に
於けるフラックス中に活性剤又は他の添加剤を何ら用い
る必要がない。

次に、ＩＩｆま［７い高沸点の単量一体毛（幾化合′吻
及びＴ　Ｄ　Ｉ）を本発明の好実施例に於て示すが、そ
れらは当ｆｆ、　、、”ｉにより以下に示す成る包括的
ノ、（準にイ／）′一つで選択及びｆす１川される。

本５１′７明に於けるフラックスは、ロジンの１易合の
如く、恐らくは熱硬化性１１−合体の形成により、分７
ＷＬ−Ｃ残／ｌｔ１石・生じることがない。、本発明に
於けるフラックスには、残渣を残し得るかなりの不純物
が存在してはならないことは勿論である。

それらｔよ、１ツ１望の温度で気化又は解重合゛ｊる様
な蒸気耶、（又は解重合温度）を有する、。

それらは、加熱されたときに適当な流動特例を示す様な
粘度を有する。

それらは、ろう付けされるべき月利全容易に湿潤させる
様な、例えは約４００以下、典ハリ的には２０°乃至４
０°の接触角φを示す様な、表面張力を有する。

従って、本発明に於ては、ろう伺け７昌度に於て液体で
あり、従ってろうから気体として放散する、高沸点の単
−ｈ１体廟機化合物が用いられる６、それら＆Ｊ１、個
々の接合方法の加熱速度条件に適合する様し二選択さ！
−１，る。

本発明に於けるＴ　Ｄ　Ｉ）は、ろう付は完了時に、直
接気相に変化することが出来る特性を示す。これは、本
質的に昇化と同ｌ〕であり、即ち解重合によってＴ　Ｄ
　Ｐを液相を経過］７ない単計体材別に変便させる。

この点に関して、本発明に於けるフラックスは、前述の
清浄化及び保獲の作用を果すために、ろう（１けに於て
流体でなければならない１、用いられた高沸点の単量体
有機化合物は、勿論、本来的に液体である。

しかしながら、ＴＤＰは、多くの場合、ろう付けの開始
に於てそれ自体流体でない様な分子量を有する。従って
、その様な場合には、本発明ば於けるＴＤＰは一般的に
１つ又はそれ以上の溶媒及び／若しくは１つ又はそれ以
上の高沸点の単量体有機化合物と組合わせて用いられる
。Ｔ　Ｊ）　Ｉ）は溶媒又は高沸点の単量体有機化合物
中に溶解されることが不可欠であり、後者は基本的に可
塑剤として働く。溶媒及び／若し２くは高沸点の単↓一
体翁機。

化合物は、本発明に於けるｉ’　Ｉ）　Ｐが蒸発する前
に実質的に蒸発するので、１つ又はそれ以上のＴ　Ｉ）
■）とともに用いられたとき、Ｔ　Ｉ）　Ｐのだめのビ
ヒクルと］７て働く基本的機能ヲ治している。存在する
１つ又はそれ以上のＴＤＰは、ろうの再溶融に於て、フ
ラッフλが流体状態にあるとき、１つ又はそれ以上の溶
媒及び／若しくは１つ又はそれ以上の高沸点の単量体有
機化合物が蒸発した後に、実質的にその固体状態に戻り
、その後に解重合が生じる。一部の溶媒及び／若しくは
高沸点の単量体有機化合物がその蒸発の完了後にＴ　Ｉ
）　Ｐの重合体の網目構造中に保持されることも考えら
れるが、それはＴＤＰの解重合を妨げる実質的影響を何
ら与えないことが解った。

ろう何けのとき、ろう／フラックス／金属基板は激１〜
い撹乱状態にあり、即ちろうが溶融し、温度差に」、り
生じた撹乱によってフラックスがろうの内部に混入して
、前述の如き酸化物の微小な亀裂により露出された金属
に接触し、それからフラックスは絶えず蒸発又は解重合
して、ろうから放散される。従って、本発明に於けるフ
ラックスは、接合の強度が増しそして欠陥の数が減少す
る様に、ろうの内部及び金属基板を清浄化する。

１−記記載から明らかな如く、金属基板の湿潤は、前述
の如き蒸発によりフラックスが１兇去される前に良好に
牛しる１９例えは、９５　ｉｉｇ　ｉｌ：係の鉛／　５
７ＩＩＹｉ係の錫のろうを用いた場合には、湿潤ｄ、、
そのろうが典型的には３１５乃至６２０℃の領域に於て
溶融した後に、極めて迅速に生じる。フラックス―、形
成されるべきろう接合部不−：　’Ｊ’Ｌ全に覆５万１
で存右せねばならない。溶融さＪｌ、たろ５と液′状フ
ラックスとの間の接触の密接さが、ろうの表面張力を低
下させ、溶融されたろうが金属基４汐ケ自然に湿潤する
様にして、良好なろう接合部を形成させる。

高沸点の単量体有機化合物は、１５０℃又はそれ以上の
沸点不二イう［〜でいるべきであり、ぞして前）ホの如
く、何ら化学変化を牛しることなく又はその場で反応し
で残渣を・残すことなく放散するべきである。沸点の上
限は何ら限定されないが、その様な化合物は実質的に約
３２０℃ケ越える沸点を有１−でいない場合が多い３３ 更に必要とされる条件とし７て、本発明に於ける高沸点
の単量体有機化合物は、ろうのベーストが溶融する前に
実質的に蒸発するべきてなく、本発明に於ける′１”ｌ
）■〕はろうのフラックスかへ１独する前に解エト合す
るべきてはない５、勿論、ｄダ゛＋１（フラックスは、
ろう例けされている基板の表ｉｌ′ＩｌヲＩ′！１１１
潤させねし１“なｌ：）ない。

有用な１・１６沸点の単量体有機化合物に（づ、例えし
１゛、炭素／水素／酸素より成る相別があるが、それら
は、例え＆、ｆ・・１コゲン、硫黄性の残渣全形成せし
める様／、１：他の圧素を・相当な比率で含んでいるべ
きではない１、 有用な好まし−い高沸点の単量体有機化合物には、例工
ば、ジヒドロアビエチノし・フタラード、グリセロール
、シス−１，６−ドコセン酸、スデアリン酸、４−メＩ
−キシベンゾフェノン、シヒドロペンゾノエノン、ジフ
ェニルオキサゾ−、、等がある。

本づｊ゛、明に於けるＴ　、１．）　Ｐ　（ｒｉ、々ｆ
まし、＜ｄ−８固有粘１８［’（ｉ覗［１いた方法によ
り算出さｉｔだ、約５００乃至約５　Ｑ　Ｉ］　ＯＩＩ
の分子量をイ）する３、特に示さない限り、以下に於て
、すべての分子量はこの方法で算出されている６、−［
−配車合体の分子量（（ｌ、該重合体の所望の物理的特
性によって決定される。より低い分子量の重合体１は自
機溶媒中に於てより大きな溶解度を櫓に、高温に於てよ
り良好な流動特性を有する５、本発明に於けるフラック
スは、実際にヂソグが接合される前に、−旧約に該チッ
プを基板に支持り“るための′°にかわ″としても用い
られた。

従って、フラックスは、良好なイ」着を達成する様に充
分粘性でなければならないが、チップが基板の金属マト
リックス」二に自然に自己整合すること金妨げない様に
ろうの再溶融温度に於て粘性が高すきてはならない。

それらの耶介体如、好まし７くは、次に示す一般式を自
する。

上記式に於て、Ｘ及びＹは、６個迄の炭素原子を有する
１１−アルキル又はイソーアル式ル、ハロゲン、−ＣＯ
ＯＲ１（Ｒは６個迄の炭素原子を有するｎ−アルキル又
はイソ−アルキルである）、フエ−／ｌ／　、ｆ　７　
ｆ　ノ＋ハ　トリル、又ｄメチルナフチルである。言５
迄もなく、Ｘ及びＹは同一である必要はない１．勿論、
異なる配列の材料も用いられる。。

ｎは、典型的には、約５乃至約５０［］の間で変化する
が、より高い分子量の相＃１も用いられ、例えば６８０
０００の高い分子量を・廟するｆ’　Ｉ）　ｌ）が効果
的に用いられ、特別な状況に於て強度等のより大きな重
合体１１寺性が必要とされる場合には、その様フエ拐料
も本発明に於て用いられる３、分子−ｈｌが増すに従っ
て、解重合温度が低下する傾向のあることが解った。従
って、より低い′Ｍ沖合温度か必要な場合には、７０１
１１０００程ＩＷの分子量も用いられる。

本発明に於て用いられる最も々イましり・）、宕］　？
４　、ａの１％１−ｈｉ体自機化合物は、次式をｆ有す
る、熱１１勺に安定なＱ′（４，，１体化合′吻である
１、／ヒＩパ［ｊつ゛ビコニチル・アルコール（Ｄ　Ａ
　Ｂ　Ａ　）である、。

ＣＩ（３ Ｊｌ：ｌンも々ｆましい熱的に解重合用能な（熱ｌ’：
Ｉ’ｌに劣イ１１し得る）重合体は、例えば、次式１旬
−るポ１）（アルファメチルスチレン）である、。

」−記式に於て、１１は約２０００　（ｌσ）分子量を
：Ｉラメ−る値であることが好ましいが、より高い）ｌ
）子［（１の材料も効果的に用いられた。、 更ｉ／（−＆／圧しい熱的にＷ「重合＋１能な１１舎ｃ
ｈＱ−１し１ミリイノブブ−レンであり、これは、５０
０Ｍ）分＝、ａ　Ｍで用いられたとき、優れた結果を・
！−ｊえる。前述σ）一般式ケ力（では、基Ｘ及Ｏ・）
′は両ノ）ともＣＨ３Ｔある。３１：り篩分子賛の材料
も効果的に川ｔ／１られ／こ。

前述の如く、本発明に於ては、ＴＩ）ｌ）又ｔｒｉ高沸
点のｌｌ′’−ｉｔ　ｉ＋有機化合物が弔独て用いられ
る場合に限定されず、その様なイ］料の混合物も川１７
′１らｆ＋、、成る場合にはその様な混合物を・川し）
ること力（（歳〕ｄ）て好ましく、その様な混合物は典
型的Ｋ　Ｐ；↓、江「、ｆ４、でない’Ｉ’　Ｄ　Ｉ−
’が用いられる場合に、そのＴ　Ｄ　１）を適用し２易
く−するために用いられる。この点にＩＥ　して、ｆｊ
（５，）Ｊ−：１１のｉ”　Ｉ）　ｌ）に対する高沸点
の単）７；一体毛機化イ；物の１１１は何ら４）に限定
されない。従って、高沸点のｎ’１．Ｉｔ：　ｆ・トイ
〕（浅化合物１かＴ　Ｉ）　ｌ）の適用なで１１易にす
るた・ゾ）にビヒクルとし７て月１１７１ら才［、イ）
　Ｊ）、Ａ合しこＣ」、Ｔ　Ｉ）　Ｉ）にその適用に適
した粘度を与えるにヅ已分／工ｈ；が月ｊいられＪｌば
よい、、　１１に定さｉ１イ、ζ、と１．・：４、ない
が、Ｔ　Ｉ）　）］のｉト斤）に）；−＝Ｊ　Ｉ、て約
５乃ｊｌン約５０７ｆ４　）Ｆ、、’、　％　０）　高
沸点のｔｐ量体自機化合物が用いらｊしることが多い、
、例えば、Ｌ）　Ａ　Ｂ　Ａが単独で用いらｊする場合
には、比較的低沸点のＩ）　Ａ　Ｂ　Ａに対１−７でｌ
′ｌＩｔ、’、Ｊｙ、ｔｊ、が成されねばならない。望
むだけ多部のＩ）　Ａ　ＢＡが用いられ得る場合には、
温度の問題は余り沖果てない。例えば、鉛−錫のバラト
ン：消しているウェハがＰ１溶融されているとき、遜剰
のＤ　Ａ　Ｂ　Ａを用いることが出来、蒸発によるＤ　
Ａ　Ｂ　Ａの損失に車νでない１、一方、チップが基板
に密着されるチップ接合技術に於てｄ、チップと基板と
の性向に用いることが出来るＪ）　Ａ　Ｊ３　Ａ　（７
）　贋は極めて限定され、イの場合に（τ１、所望のフ
ラックス効才が達成される様に、１）　Ａ　Ｂ　Ａが放
散する速吸程ｉ朱く解重合し７ないＴ　Ｄ■）とともに
、ＤＡＢＡを用いて、（稍間一温度の範囲金鉱げること
が好ましいｌ場合が多い。

本発明にＢ′ニーて、１つ又はそれ以上の中ｈ１一体ノ
ラックス拐刺と１つ又はそれ以−１−の重合体フランク
スイー］料との混合物を用いた場合の実質的な利点は、
そのＫｌｎな糸が中ｈ；゛休フ体ックス伺料な・中独で
用いた場合Δ動も４１１当に低いｒｑ：発イ’ｌ：ｌ、
か有（７でぃｔ（、いことである。、 ［〜か［７ながら、多くのｊ場合にｄ、本発明に於ける
〜１沸点のｔ１弓１；体有機化合物人ひ／若Ｌ　＜ｒ、
Ｊ：　Ｔ　ＤＰを、１つ又はそれ以ｊ二の溶久（謁組合
わせて用いることが好ましい。

溶媒に必要とされる＋な基準杭↓、溶融°又は使用中に
フラックスの相分離な牛ぜＵ〜めではならず、又極めて
迅速に蒸発させで、ろ５イ・４けカ〃、な・ためにする
様な化くめて低い沸点ケｈ−シてはな１゛〕ないことで
ある１、 勿論、溶砂ｄイＳの蒸発後に残前全何ら残（〜でｃｌな
らないが、これは、不純物が３まれでいない限り、当技
術分野に於て典型的に用いられでいる如き壱佛：溶媒に
はめったにない問題、である１、高沸点の単音１休有機
化合’４ｈを・’ＩＩ”　Ｊ）　Ｐさ組合４月力で用い
る場合には、例えば、り１．１の溶妓が初めに蒸発シフ
、次に第２の溶媒が蒸発［７、それから高沸点の単量体
有機化合物が放散し、最後にＴ　Ｄ　ｌ−）がｊ竹車台
する様に、異なる温Ｂｌで蒸発する２つの異なる溶媒ヲ
１１桟′）ることか、最も好ましい。例えば、Ｄ　Ａ　
Ｂ　Ａのための（容媒としてベンジル・アルコールの如
きアルコールを用いぞしてポリ（アルファ／チルスチレ
ン）のための溶媒と［２でトルエンを用いた場合には、
・それらの溶媒が蒸発してから、１）　Ａ　Ｂ　Ａが放
散［７、それからポリ（アルファ／チルスチレン）が解
重合し、とのｔｌ、一定の例に於ては、フラックス構成
成分が４段階で除去される。

商機溶媒に対する高沸点の単ｈ；体重（幾化合物及び／
才、シくはＴＤＰの比率は特に１沢定されないが、通常
は、高沸点の単量体有機化合物及び／若しくｕ　Ｔ　Ｄ
　ｆ）の軍−ボの金言１に対して約５乃至約５０重部係
程度の溶媒を用いることが好ましい。高沸点の単お体有
機化合物又はＴ　Ｄ　、Ｐが紹介わされずに単独で用い
られる場合にも、同様な比率の溶媒が用いられる６、勿
論、それよりも多部の溶媒も用いられる。好ましい高沸
点の有優溶媒は、約１００℃よりも高いが、高沸点の単
量体有（・幾仕合物の沸点又はＩ”　Ｉ）　Ｐの解巾合
温度よりも低い沸点を有す本ざ（′、明に於て慣用な更
に仙、のフラックス本ｊ料の紹介ぜにｄ−１Ｉ）　Ａ　
Ｉ３　Ａ及びグリセ「１−ノＬ１１）　、Ａ　Ｉ３Ａ　
Ｅ）ヒノヅテコン、ＤＡＢＡガｌひジーノゴニルオギザ
ゾール１７（＋の紹介ぜがある。３ 次に、本発明によるろ５イ」けのために用いらｈる温度
及び時間についで計１．明する古、選択さｔ′する厳密
な温度及び時間は、用いもｆｔｆｔ７ろう、選１７＜さ
れブ（−フラックス、溶媒の有無、ろ５４′Ｎ１けされ
るへき金属基板、及び炉による加熱のブロンイルに−よ
ってＪ）ｋ−られる特定のルｌ約に依存する６゜１〜か
し／、「がら、すべてのＷ１合に、ろ５イ・１けの温度
は、ろうが溶融され、高沸点の単量体壱（幾化合物が湿
潤後に放散され、そ（〜て’ｌ’　ｆ）　Ｉ）が触′手
合される温度゛Ｃなければならない１、 通猟、約２８０乃至約４２０℃程度の温度が用いられ、
約３７５℃迄の温度が効果的に用いられるこ占がイ壷め
て多い５、 成るＩ↓將）には、Ｊ、り低い／１ＩＩＩｌｌＩ、ｇ−
が効果的に月１いられる。例、ぐ−１ｄ、ＤＡＢＡを中
独でインジウノ・−鈷のろうとともに用いブ：−場合に
は、２４０°乃至２５０°Ｃ程度の低い温度が効果的に
用いもｔ′ｒる３、’ＩＩ”　］）　Ｉ）が中独で用い
られた場合には、完全な解屯合を達成ずろ／ζめに、６
２０℃又はそＩｔ以上の（ｌ′度の１品度を用いる必要
のある（場合が俸めて多い。

角伸Ｆ舎し１１．１１１［望な［：ｑ　（ｒ−Ｊ：、〕
ｉＱｌ’　（即チ、紫外線、Ｘ線、マイクロ波活）を・
用いることによって開始及び／若Ｌ＜は増大される３゜ 当業者に明らかな如く、本発明に於けるすべでのフラッ
クスのだめの厳密な４１重度範囲を示すことは不ロ１能
であるが、考察されている個々の系に基ついて用いら′
！１．るべき最良のＶｉＡ度ｆ＋：ｌ当業者によって容
易に決定され得る。

用いられる加熱速度は、従来の方法で決定され、フラッ
クス及びろうの質量′及び金属基板の熱を吸収する能力
に依存する。加熱速度は当業者により容易に法定される
１、 所望のろう付は温度に達すると、その温度は、典型的に
は完全なろうの湿潤及び拡がＩ）不二達成しそして本発
明に於けるフラックスの構成成分の除去を達成するため
に維持さ第１る。。

例えば、４″１フ］、すＩｌｌな電了的構成素了−の場
合に（」、典型的に仁１ろ５の溶融は約１０乃牟１２分
以内で行われ、−７−’）ノクスの除去は更（心４乃至
６分以内で完Ｊ’　−Ｊ−；：、、。

、ぞ、Ｎ　Ｉ’、のｕ：、　ｉ出はイ用ら限定されず、
１列えＱ」ニレ−」Ｊ接合が用いられプ（−場合にｉｒ
；丁、溶融はイ〈■めで知時間、例λ、Ｑ３１“ｌ　５
．４＞に以内に生じ、本発明に、１．ろフラックスの（
（゛１細νＩＪψづ）□　＆：１−極めて迅速に、例え
ｄ、ｌ秒以内Ｑ′こ除去葛−Ｊ′＋る１゜ 重合体の″７７ツノル解１台を誘起さぜ又（・；」その
速度を・加速さ（トるために、永久的残渣を最終的（ｌ
こ残さずに蒸発するという必須の特性を有している限り
に於て、ラジカル抑制剤又は加速剤が小合体混合物に加
えられ得る。それらが、本発明孕効果的に実施するため
に必要とされるもので右、いことに１勿論である。

従来のろう付けのだめの系の場合と同様に、ろう付けさ
れるべき金属基板はる５　（”Ｊけの前に従来の方法で
清浄化される。典型的には、例えは酸素−アルゴンのプ
ラズマの如き、従来のプラズマによる清浄化が用いられ
るが、水、イソプロパツール及びヘキサンの如き一連の
極性／無極性溶媒等の従来の溶媒を用いた、溶媒による
清浄化、並びにプラズマによる清浄化と溶媒による？Ａ
’Ｍ”化との糾合ぜも、同様に効果的に用いられ得る。

本発明によるろうイ＼」け方法ｄ′、一般的には、例え
は窒素、アＡコン等の従来用いられている不活１４ト雰
囲気中で行われる１、不活性雰囲気中で処理不二行５（
・１的は、ろう（１げに於て用いられる如き高温に於て
酸化が生じ易いので、露出された金属基板の酸化を防ぐ
ためである。

本発明に於けるフラックスの更にも５１つの第１」点は
、ロジンの如き従来技術による材料と比べて酸素に対し
て余り感Ｌｉせず、即ち本発明に於けるフラックスは酸
素の存１″１の一トで化学的に安定であり、ロジンと比
較して重合しｌｉい。

次の記載に於て、使用される種々の好ましい温度が例示
されているが、それらに限定されることはない、。

１つの好ましいフラックス組成物は、ペン・ノノシ・ア
ルコール中に溶解されたＤ　Ａ　Ｂ　Ａである。これは
、単昂体の、熱的に安定なフラックスであり、例えば２
９０℃又はそれ以下の程度のより低い温度の適用例に用
いられることが多い。ベンジ、ＩＬ・アルコールは比較
的強い揮発性を慴Ｌ、ているの−Ｃ１この系は比較的低
温のフランク２スと（７て用いｐ、　７１゜る１、 ベノシル・アルコール中に溶解された例えば２６乃至３
１重量係のＤＡＢＡの溶液は又、５３０℃又は例えばろ
４０乃至３６０℃のより高い温度に加熱されたときに、
清浄化されたニッケ／ｌ／及び金の表面」二・＼の９５
重量係の鉛−ｓ　＊　）１１％の錫のろうの湿潤を促Ｊ
させるために、稀ｉめで効果的なフラックスであること
が解った。その様なフラックス（・、ｌ又、８０重」１
′ＬｔＩ）の金−２０重）讐；係の錫の粉末のペースト
ラ用いて、４１３０乃至４５０℃ニ於て、セラミック基
板上にピンケろうイ」けするす１１合にも、優れた結果
を牛しる。即ち、フラックス残渣のない輝く清浄なフィ
レットが得られ、「１・／ン・フラックスと比較してピ
ンの汚りが最小限であり、そして「７・／ン・フラック
スｉ、７Ｆ、Ｉいて達成され／（−場合に匹適する又は
それよりも良好な引張り強さが得られるという利点ケ有
している。

中位の温度、例えば約３７０℃；りの温１及の適用例Ｋ
　Ｐ、’ｉ　、各々ヘンシル・アルコール及びトルエン
中に溶解きれたＤ　Ａ　Ｂ　Ａ及び’ｌ”　Ｉ）　Ｉ）
としてのポリ（アルファメチルスチレン）ヲ含むフラッ
クス組成物が優れた結果’ｊａで与えることが解った。

例えば、同重量部のヘンシル・ア）シコール及ヒトルエ
／中に溶解された同市ｒｌｉ部のＤ　Ａ　Ｂ　Ａ及びポ
リ（アルファメチルスチレン）の混合物は、それらの溶
々ν、が蒸発してから、ＤＡＩ’ｌ’Ａが約２８０℃で
迅；申に蒸発し、ポリ（アルファメチルスチレン）が約
６６０℃で迅速にｊ＋＋了重合するフラックスをｈえる
。その様なフラックス＆；ｔ、３６０℃で５乃至６分間
加熱することにより、９５重妬係の鉛−５沖昂φの錫の
ろうのパッドの１！已ケタ１イを、セラミック・モジュ
ール上に支持された金の表面の対Ｉ２シする配列体上に
湿潤させるために効果的に用いられブ（−ｏイーのフラ
ックスは、優れプζろ５の湿潤不二促；＠ｌ、、顕微鏡
で検査され／ことき、観察”Ｊ’ｆｊｆＦな残渣は伺ら
残されていなかった。ポリ（アルフー〕′ノチ／ｌ／−
７、チレン）が２００００乃至６８００　Ｃ１［１）分
子ｈ１を櫓する４中々の組成物が効果的に用いら７１だ
３、 例λば約４３０℃迄の高温の適用例、又は残留表面安定
１１−膜が必要な適用例（この鳩、舎、温Ｉすは約３８
０℃を・超えるべきてはない１、）に５１、Ｔ　Ｉ）■
）とし７゛てポリイソブチレンを含むフラックス組成物
が効果的−Ｃあることが解った。ポリイソブチレン時間
］、−千の・１厘して又＆；Ｊ：　）ルエン中に溶解さ
れて用いられる。、９５中；パ係の鉛−５重年係の多（
ろの如きろう召・用い／１−ニソウル及び金の表面への
ろうイて１けに於て、父例えに１′、米国４′１′￥１
第４２７１０４７弓明細書及びＩ　ＩＩＭ　　Ｔｅｃｈ
ｎｉｃａｌ　　Ｉ）ｉＳｃｌｏｓｕｒｅＢｕｌｌｅｔｉ
ｎ、第２３巻、第７Ａ−弓、１９８０４Ｆ１２月、第２
８５２頁及び第２８５３貞πｊに於て開示されている如
き多層セラミック・モジコールへの石英チップの接合に
於て、優れた結果が１１すられだ。

例えば、４２０乃至４６０℃に於て約５分間、ポリイソ
ブチレン（平均分子量５００）は、９５重量係の鉛−５
重昂係の錫のろうをニッケル及び金の表面にろう例けす
るだめのフラックスとしてシカ末的に用いられた。低分
子昂のポリイソブチレンは充分に流体であったので、何
ら溶媒は必要とされず、熱的解重合が４２０℃以上で迅
速に進み、何ら残／ｉ！ｉ：は観察されなかった。４２
０℃よりも低い温度に於ては、この特定の分子量の重合
体は、表面安定化膜及び／若しくはアノ１．ファ粒子障
壁）ｌ：４判として用いられる、疎水性及び不活性であ
る、順応する残留被膜を残しだ。ポリイソブチレンのア
ルファ料了障壁特ゼｌ″は、従来のアルファ粒子障壁月
別であるポリソロキサンに四適することが解った。

よす高分子−尾のポリイノブチレンは、例えば５０重用
係のポリイソブチレンと５０重−Ｎ、　％のトルエンと
の溶液として適用される。

従って、本発明に於て用いられる加熱サイクルが短縮さ
れた場合には、本発明に於けるフラックスは、金属を表
面安定化するために用いられる変化しない不活性の膜で
ある、順応性の被服）ヲ残す。

特に、ＴＩ）Ｐのフラックスは、その様な表面安定化膜
を設けるために用いられる。所望又シ：１必要であれ３
−、ｒ、その得られた膜は、！ｊ３空中で乾ｉＡｌ、に
智れ／で後、又は各々の解重合温度又にＪ−それよりも
高い温度で加熱されることにより、イロ４らフラックス
残渣を残さずに、従来のアルコール及Ｏ：１−ａｂ＜ｖ
ｈ炭化水素の溶剤を用いて容易に除去される。それらの
拐オＩロ、伺ら残渣ｌ−残さないので、溶剤による又は
熱的な清浄化の後に内処理即ち可使用され得る回数が何
ら限定されない。、 本発明に於けるフラックスは、クー１−ノ・再溶融及び
グーツブ接合技術をンミコ〜Ｉ／−１・している、下記
の如きシステムを用いてデスＩ−された。

石英管のライナを設けられた、的径約７．６　ｎｎ及び
長さ約９０ｃｍの管より成る、標阜的単−・帯域の炉が
用いられた。−１−記石英管は、左側端部から窒素が導
入され、石英のスレツド（Ｉ　ＣＩｎ×２．５　ｃ１ｎ
Ｘ２、５　ｏｎ　）中に支持哀れた試別が右１ｔｌｌｌ
端部から導入される様に、設けられた。」二記石英のス
レッドは、試別の温度の上ＪＴ時間を最小限にするため
に、常に予め加熱された。−１−記石英管のイｊ側☆１
１′１１部には、村気−されるべき気体がフード・＼ｔ
Ｊｌ出される様に先細の管が設けられていた。試オニ：
１が、加熱されたスレッド上に配置されて、出来る限り
迅速に所望の温度に加熱された。溶融されたろうは、未
だ窒素雰囲気（〜１０［１℃）下にある炉の冷たい端部
で固体化された。

実際のテストに於て、９５畢届係の釘、−５距遣係の錫
のろうの小さな、’＃ｌ浄化された円柱状のブシグが、
清浄なニッケル箔（ｊ）ノさ約０．０２５　ｍｍ）の来
世な部分の中に配置され、そして石英スレッド上に支持
された。フラックスの試オ・１が上記ろう−１−に滴下
され、上記組立体全体が窒素の正の圧力下の炉中に迅速
に挿入された。試別に隣接して配置ｔ１された熱重量・
」が、フラックス処ｌ１１１及び溶融処理中の温度を・
記録した。再溶融及び玲却中に視覚的観察が成され、フ
ラックス処狸能力の半定量的測穿が、固体化されたろう
及び−ニソクル基板により形成された接触角を測定する
ことにより決定された。効果的な湿潤は概して、例えば
２０乃至４０の太き隊の小さな接触角に於て生じた。

更に、試別がホット・ステージ装置上で調べられ、′ｆ
−ツブが接合されるべき試別が銅のブロック上に配置さ
れて、窒素雰囲気（僅かに正のＶ［力）中に於て金属で
被覆されているガラスのカバーの下で加熱された。ガラ
スのカバーけ、真の炉の加熱条ｆ／ｌをシミュレ−１・
するために熱が後方・＼反射されてチェンバ内に戻され
る様にのぞき窓の部分を除いて金属で被覆されていた。

チップ接合力法が視覚的に観察される様に、順微鈴がの
ぞき窓の上方に位１＾イ」けられた。熱市゛対が、チッ
プ位置に隣接する・ヒフニール表面温度及び銅ブロック
の温度を一：１１録Ｉ７た３３上記組立体が、炉の再溶
融及び接合の条件イＩ：ノミュレートする速Ｉｆで加熱
されＡ−６気；ｆ］ｌ（・１着された９５沖昂−係のＩ
）　ｂ　−５重ｈ：係のＳｎのろ５のパッドの配列体を
有する透明な石英のパブツゾ″が、ラクタの毛のブラン
ケ用いてフラックスで被覆され、同様にフラックスで被
覆されたｌｌ’１−Ｊ−ツブ・モジュール上に配置され
た。そのチップは、５１ｆｔ微鏡の下で手で位置合せさ
れ、チップが俤ｒ１されるべき金の表面を・有する金属
（Ａｕ苓：豊′畠に畠“むＣｒ／Ｃｕ／Ａｕ　）の半分
が見える様に５（］飴だけずらされた。このテストは、
ろ５か金幻１：１にａむシ（面を被覆することが観察さ
れたことにより、山溶融温度のより良好な視覚的決定を
可能にシフ、又誤って整合されたチップが、再溶融によ
る接合中に、フラックス及び溶融された金属により与え
られた表面張力によって、完全に整合された状態にはま
り込むことが観５察されたことにより、接合中に於ける
チップの自己整合の確ＢＨＩ可能にしだ。ＤＡＢＡ、Ｉ
）ＡＢＡ−ポリ（アルファメチルスチレン）、及びポリ
イソブチレンが、この自己整合の効果を顕著に示［〜た
。フラックス残’ＵｔｋＪ１、視覚的に（２０Ｘの倍率
）調べられ、そしてランプを用いた螢光及び紫外線の吸
収によって３周べられた。

４９

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）化学変化を生じることなく又はその場で化学的に
   反応して残１に残すことなく放散する高沸点の単量体有
   機化合物と；構造式 −に記式に於てＸ及びＹは６個迄の炭素原子を有するｎ
   −アルキル及びイソ−アルキル、ハロゲン、−ＣＯＯＲ
   （但し、Ｒは６個迄の炭素原子を有するｎ−アルギル及
   びイソ−アルギル）、フェニル、ナフチル、トリル、並
   びにメチルナフチルでアリ、ｎは５乃至５００である、
   熱的に解重合可能な重合体と；それらの混合物とより成
   る群から選択された少くとも１つの材料をフシツクスと
   して用いることを含む、複数の金属構成素子全相互に接
   合させるためのろうイ・」け方法３、
2. （２）化学変化を牛しることなく又υ」その場で化学的
   に反応して残浴金銭すことなく放散する高沸点の単量体
   有機化合物と；構造式 上記式に於てＸ及びＹは６個迄の炭素原子′ｆｆ：有す
   るｎ−アルキル及びイソ−アルキル、ハロゲン、−ＣＯ
   Ｏｌ（（但し、Ｒは６個迄の炭素原イケ千」す７−、　
   ｎ　−７ルキル アフチル、トリル、並びにメチルナフチルであり、ｎは
   ５乃至５００である、熱的に解重合１］−能な小合体と
   ；それらの混合物とより成る群から選択された少くども
   １つの利料より成る一時的フランクス結合剤中に分散さ
   れた金属含有粉末より成るろう付はベースト、１